JPS63115715U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63115715U JPS63115715U JP737687U JP737687U JPS63115715U JP S63115715 U JPS63115715 U JP S63115715U JP 737687 U JP737687 U JP 737687U JP 737687 U JP737687 U JP 737687U JP S63115715 U JPS63115715 U JP S63115715U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic sensor
- legs
- built
- magnetic material
- material core
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例による電磁センサー
内蔵装置の概略図であり、図中電磁センサーは斜
視図で示し、ピストンロツドは側面図で示してお
り、第2図は電磁センサーを内蔵した油圧アクチ
ユエータの全体を示す断面図であり、第3図及び
第4図は電磁センサーの磁性材料コアの他の形状
を示す斜視図であり、第5図は電磁センサーを2
つ使用した実施例の該略図である。 図中、符号1……ピストンロツド(相対移動可
能な2つの部材の一方)、2,30,31……電
磁センサー、3,20,22……磁性材料コア、
3a,3b,20a,20b,20c、22a,
22b……脚部、3d,3e,22c,22d,
22e,22f,22g,22h……感受面、3
c……胴部、4,21……コイル、M……移動方
向、G……主磁路。
内蔵装置の概略図であり、図中電磁センサーは斜
視図で示し、ピストンロツドは側面図で示してお
り、第2図は電磁センサーを内蔵した油圧アクチ
ユエータの全体を示す断面図であり、第3図及び
第4図は電磁センサーの磁性材料コアの他の形状
を示す斜視図であり、第5図は電磁センサーを2
つ使用した実施例の該略図である。 図中、符号1……ピストンロツド(相対移動可
能な2つの部材の一方)、2,30,31……電
磁センサー、3,20,22……磁性材料コア、
3a,3b,20a,20b,20c、22a,
22b……脚部、3d,3e,22c,22d,
22e,22f,22g,22h……感受面、3
c……胴部、4,21……コイル、M……移動方
向、G……主磁路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 相対移動可能な2つの部材の一方を被検体
とし、それに、高透磁率体と低透磁率体との境界
部からなるスケールをそれら部材の移動方向に所
定のピツチで形成し、他方の部材に、スケールに
対面するよう電磁センサーを設置してなる電磁セ
ンサー内蔵装置において、 電磁センサーを、それぞれ下端に少なくとも1
つの感受面を備える少なくとも2つの脚部を有す
る磁性材料コアと、これら脚部の感受面に別々に
主磁路の磁束が通るようにその磁性材料コアに巻
回したコイルとで構成し、 各脚部の感受面を相互に上記スケールのピツチ
のてい倍の距離で離隔させると共に、磁性材料コ
アをそれら感受面の離隔方向が上記2つの部材の
移動方向に一致するように配置したことを特徴と
する電磁センサー内蔵装置。 (2) 電磁センサーが、2つの脚部とこれら脚部
上端を接続する胴部とを有するU字形の磁性材料
コアからなり、コイルがその胴部に巻回されてい
る実用新案登録請求の範囲第1項記載の電磁セン
サー内蔵装置。 (3) 電磁センサーが、3つの脚部とこれら脚部
の上端を接続する胴部とを有するE字形の磁性材
料コアからなり、コイルが中央の脚部に巻回され
ている実用新案登録請求の範囲第1項記載の電磁
センサー内蔵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP737687U JPS63115715U (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP737687U JPS63115715U (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63115715U true JPS63115715U (ja) | 1988-07-26 |
Family
ID=30790770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP737687U Pending JPS63115715U (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63115715U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008145140A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Ushio Inc | 磁束センサおよび磁束センサを備えた平面ステージ |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6035897U (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-12 | 近藤 玄悟 | ブラインド |
JPS60168017A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-08-31 | S G:Kk | 直線位置検出装置 |
JPS6123915A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転センサ |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP737687U patent/JPS63115715U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6035897U (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-12 | 近藤 玄悟 | ブラインド |
JPS60168017A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-08-31 | S G:Kk | 直線位置検出装置 |
JPS6123915A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008145140A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Ushio Inc | 磁束センサおよび磁束センサを備えた平面ステージ |