JPS63114027A - カラ−陰極線管蛍光面作成用露光装置 - Google Patents

カラ−陰極線管蛍光面作成用露光装置

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JPS63114027A
JPS63114027A JP25903186A JP25903186A JPS63114027A JP S63114027 A JPS63114027 A JP S63114027A JP 25903186 A JP25903186 A JP 25903186A JP 25903186 A JP25903186 A JP 25903186A JP S63114027 A JPS63114027 A JP S63114027A
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JP
Japan
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light
shielding member
light source
cathode ray
ray tube
Prior art date
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Pending
Application number
JP25903186A
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English (en)
Inventor
Takeo Fujimura
藤村 健男
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はカラー陰極線管の蛍光面作成用の露光装置に
関し、詳しくはミスレジスタが少なく、かつ露光時間の
短縮を図った露光装置に関する。
[従来の技術1 フェースプレートの内面に形成する三色の蛍光体モザイ
クの位置と、各色の蛍光体モザイクに対応する電子ビー
ムの射突点の位置とのずれ(以下、「ミスレジスタ」と
いう)を如何にして少なくするかは常に大きな問題であ
る。この問題を解決するため、非球面、非対称の複雑な
曲面をもつ補正レンズで露光用の光線(以下、「焼付光
線」という)の経路の補正を行うことが行なわれている
が、表面のなめらかな補正レンズを用いる限り、フェー
スプレートの全面にわたってミスレジスタを完全に補正
することは原理的に不可能であり、かなりな量の補正残
りが生じることがわかっている。
この難点を解決するため、本出願人は特公昭45−23
656号公報に示されている露光装置を提案した。この
装置は、焼付光線が各瞬間においてはフェースプレー1
・の一部分しか照射しないようにし、この照射点をフェ
ースプレート上でたえず動かすとともに、光源の位置を
これに同期して移動させる構成としたものであるが、構
成が複雑になること、およびミスレジスタの補正を完全
に行うためには、フェースプレートの当る部分の面積を
小さくする必要があるため、露光時間が非常に長くなる
という難点がある。
本出願人はこのような難点の解決を図った露光装置を特
公昭51−1509号公報および特公昭52−1307
8号公報で提案した。以下、後者の露光装置を簡単に説
明する。
第5図はこの提案の一実施例の一部破断側面図、第6図
はその要部の一部破断斜視図である。
図において(1)は本体フレーム、(2)はフェースプ
レート、(3)はフェースプレート(2)の内面に蛍光
体モザイク面を形成するために塗布されている感光膜、
(4)はシャドウマスク、(5)はフェースプレート(
2)の固定部材、(6)はミスレジスタを減少させる役
割の一部を担っている補正レンズ、(10)は遮光板、
(11)は遮光板(10)に形成されている長方形のス
リットで、第7図に示すように、インライン形電子銃(
30)の配列線(以下、「X軸」という)と長手方向が
平行の向きで、かつ一定幅に形成されている。(12)
は遮光板(10)を支持するアーム、(13)は駆動装
置で、アーム(12)を介して遮光板(10)をX軸と
垂直な矢印の方向(以下、「y軸方向」という)に、定
められた速度と振幅でもって往復駆動する。(20)は
点光源で、ランプハウス(21)内に収められている光
源と光学系によって集束された焼付光線の発散点である
。(22)は点光源(20)およびランプハウス(21
)を支持するアーム、(13)は駆動装置で、点光源(
20)を遮光板(10)の移動、すなわちスリット(1
1)の移動に同期してx−7面上に定められた閉曲線に
沿って移動するように駆動する。
このように構成された露光装置では、点光源(20)か
ら発散してフェースプレート(2)に向う焼付光線は、
スリン) (11)を通過した長方形の光束のみが補正
レンズ(6)およびシャドウマスク(4)を通って感光
膜(3)に到達して帯状の照射部(7)を形成し、この
帯状の照射部(7)が感光膜(3)上をy軸方向に往復
し、時間的な平均としてほぼ一様に焼付光線が照射され
る。この場合に必要な点光源(20)の移動軌跡は、適
当な位置を原点とするxy座標系であられした点光源(
20)の位置を(ΔX、Δy)、帯状の照射部(7)中
心点の位置を(o 、 y)とすると、ΔX=f(Y)
、Δy=g(Y)で表わされ、点光源(20)の位置は
Yの函数となる。この函数の形は、補正レンズ(6)の
特性を考慮しながら、ミスレジスタが最も小さくなるよ
うに主として実験的に定められるが、スリット(11)
を一定幅のスリットに形成した場合においては、スリン
) (11)の長手方向を電子銃の配列方向と同じX軸
方向にとり、y軸方向に移動させる構成がもつとも大き
い補正効果が得られる。その理由は特公昭52−130
78号公報に述べられているので、ここでは詳細な説明
は省略する。
[発明が解決しようとする問題点1 以上説明した露光装置では、第8図に示すように、帯状
の照射部(7)がいったんフェースプレート(2)の外
に出てから反転して再び走査するように遮光板(10)
を往復駆動しなければ露光量のむらが生じるので、1回
の往復に要する時間のうち実際に露光が行なわれている
時間が短く、焼付光線の利用率が低いため、露光時間は
長くなるので、露光時間の短縮が要望されていた。
この発明はこのような問題点の解決を目的としてなされ
たもので、点光源(20)から発散されている焼イ1光
線の利用率を高め、もって露光時間のより短い露光装置
を得ることを目的とする。
[問題点を解決するための手段] この発明に係る露光装置は、円筒部の周面に所定の間隔
をおいて中心軸と平行な向きに複数のスリットが形成さ
れている筒状の遮光部材をその中心軸を回転軸として回
転駆動装置で回転させ、この遮光部材のスリットを通っ
た光でもってフェースプレーi・の内面をとぎれること
なく順次走査する帯状の照射部を形成するように構成し
た点を特徴とするものである。
[作用] 円筒状の遮光部材は所定速度で回転しているので、ある
スリットを通った光が帯状の照射部を形成してフェース
プレー1・の内面を走査し終る前に、次のスリットを通
った光がフェースプレー1・の内面を走査し初めるので
、点光源から発散される焼付光線の利用率が向上し、短
時間で必要な量の露光を行うことができる。
[発明の実施例] 第1図はこの発明の一実施例の要部を示す一部破断側面
図、第2図はこの実施例の円筒状遮光部材の斜視図であ
る。
図において、円筒状遮光部材(10)は、筒状部(10
a)と鏡板(10b)とで構成され、筒状部(10a)
には、所定の間隔でもって中心軸(10c)の方向に延
在する複数のスリン) (11)が形成されており、回
転駆動装置(14)の駆動軸(15)が鏡板(10b)
に取りつけられて、中心軸(10c)を回転軸として所
定速度で一方向に回転駆動される。点光源(20)およ
びその駆動装置(13)は、架台(16)に支承されて
筒状遮光部材(1o)の筒状部(10a)内に位置する
ように配置されており、点光源(2o)から発散した光
が、スリンl−(+1)および補正レンズ(8)ヲ通っ
てフェースプレー1−(2)の内面に照射したとき、第
3図(a)に示すように一定幅Wの帯状の照射部(7)
を形成し、筒状遮光部材(10)が回転するのに従って
、一方の端から他方の端に向って破線の矢印方向に走査
してゆき、一つの帯状の照射部(7)がフェースプ1/
−1・(2)の内面を走査し終わる前に、第3図(b)
に示すように、次のスリット(11)による帯状の照射
部(7d)で次の走査が初まるように構成されている。
このため従来の露光装置が、第8図に示すように、いっ
たんフェースプレート(2)の外に出てから反転して再
び走査を始めるように構成しなければ露光量にむらが生
じるのに対し、この実施例の露光装置では、常に幅Wの
帯状の照射部(7)で照射されているので、点光源(2
0)から発散される焼付光線を有効に利用でき、露光時
間の短縮が図れる。以下、この関係を具体的数値例でも
って説明する。
第3図において、感光面(3)のy軸方向の幅をW、帯
状の露光部(7)の幅をWとし、W+w=3:1であっ
て、帯状の露光部げ〕が等速度でy軸方向に走査するも
のとすると、従来の露光装置では第8図に示すように、
フェースプレー1・(2)の両端では、端から外れる位
置まで走査するので、全走査幅は5Wであり、その間に
感光膜(3)のある部分が露光される時間は1回の走査
時間の175であるから、焼付光線の利用率は115で
ある。
これに対して、この実施例によれば、第3図(b)に示
すように、帯状の照射部(7)と(7a)の間隔をWに
等しいとすれば、焼イ]光線の利用率は1/3となり、
露光に要する時間を375に短縮することができる。
なお、」二記実施例によるミスレジスタの補正丑は、管
軸(2a)を通るX軸に対し、少なくとも−1−下の端
部では対称となる。この理由は、第3図(b)のように
、2つの帯状の照射部(7)。
(7a)が、フェースプレート(2)のJZ−vの端部
を走査しているときには点光源(20)がほぼx 41
+ 1に位置しており、」−下の端部には同じ補正条件
でもって焼付光線が照射されるからである。しかし、こ
の対称性は、X軸に電子銃が配列されるインライン形電
子銃を有するカラー陰極線管では構造の対称性から問題
とはならない。
第4図は遮光部材(10)の他の構成例を示す斜視図で
、幅の広いベルト状の可撓性を有する部材に、幅方向に
延在するスリブ) (11)が所定の間隔でもって複数
個所形成されており、駆動ローラ(1B)および案内ロ
ーラ(17)によって矢印方向に走行駆動されるように
構成されており、点光源(20)は、第1図の実施例と
同様に遮光部材(10)で囲まれた内部に位置するよう
に配設されている。
このように遮光部材(10)を構成すると、点光源(2
0)の上を通るスリット(11)は、平板に形成された
スリブI・と同様であるので、第1図に示した実施例の
ものに比べて、いっそう精度のよいミスレジスタの補正
を行うことができる。質的には上記諸要件を満足する露
光装置が実現できる。
以上説明した実施例では、点光源(20)をxy平面と
平行に移動させる構成としたが、xy平面と垂直な方向
(管軸(2a)方向)に移動させる構成とすることもで
きる。
また、スリブ) (11)によって形成される帯状の照
射部(7)の長手方向が、インライン形電子銃(30)
の配列方向と平行に形成される構成としたが、ミスレジ
スタの補正量の条件が許される場合には、電子銃の配列
方向と一致させる必要はなく、また、インライン形以外
の電子銃用のカラー陰極線管にも適用することができる
[発明の効果] この発明は以上説明したとおり、所定間隔でもって幅方
向に延在する複数のスリットが形成されている環状の遮
光部材を一方向に走行させるように駆動し、この遮光部
材のスリット、補正レンズおよびシャドウマスクを通し
て点光源から出た光でフェースプレートの内面に帯状の
照射部を形成して走査するように構成した露光装置であ
るから、遮光部材によって遮られる光線量を少なくして
利用効率を高めることができるので、露光時間が短く、
かつミスレジスタの少い蛍光面が作成できる露光装置が
得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の要部の構成を示す一部破
断側面図、第2図はこの実施例の遮光部材の斜視図、第
3図はこの実施例の作用を説明するための図、第4図は
遮光部材の他の実施例を示す斜視図、第5図は従来の露
光装置の一部破断側面図、第6図はこの従来装置の要部
の構成を示す斜視図、第7図および第8図はこの従来装
置の作用を説明するための図である。 (2)・・・フェースプレート、(3)・・・感光膜、
(4)・・・シャドウマスク、(6)・・・補正レンズ
、(7)・・・帯状の照射部、(lO)・・・遮光部材
、(11)・・・スリット、(13)・・・駆動装置、
(14)・・・回転駆動装置、(15)・・・駆動軸、
(16)・・・駆動ローラ、(17)・・・案内ローラ
、(20)・・・点光源。 なお、各図中、同一符号はそれぞれ同一、または相当部
分を示す。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)感光膜が形成されているフェースプレートの内面
    に補正レンズおよびシヤドウマスクを介して光を照射す
    る点光源と、幅方向に延在する複数のスリットが所定間
    隔で形成され、かつ上記点光源と補正レンズの間に配設
    されている遮光部材と、この遮光部材をその幅方向と直
    角方向に走行駆動する駆動装置と、上記遮光部材のスリ
    ットを通つた光が上記フェースプレートの内面上に一定
    幅の帯状の照射部を形成して走査するのに同期して上記
    点光源をミスレジスタが少なくなる所定の軌跡でもつて
    移動させる駆動装置とを備えたカラー陰極線管蛍光面作
    成用露光装置。
  2. (2)遮光部材は円筒状の部材の周面に中心軸と平行の
    向きにスリットが形成され、かつ駆動装置はこの円筒状
    遮光部材をその中心軸を回転軸として回転駆動するよう
    に構成されてなる特許請求の範囲第1項記載のカラー陰
    極線管蛍光面作成用露光装置。
  3. (3)遮光部材は幅の広いベルト状の部材に幅方向の向
    きにスリットが形成され、かつ駆動装置はこのベルト状
    遮光部材の走行経路を規制して一方向に駆動する案内ロ
    ーラと駆動ローラとで構成してなる特許請求の範囲第1
    項記載のカラー陰極線管蛍光面作成用露光装置。
  4. (4)遮光部材に形成されている複数のスリットは、当
    該スリットを通つた光で形成された帯状の照射部が当該
    遮光部材の回転にともなつてフェースプレートの内面を
    走査し終わる前に次のスリットを通つた光で形成された
    帯状の照射部が当該フェースプレートの内面を走査し初
    める間隔に形成されてなる特許請求の範囲第2項または
    第3項記載のカラー陰極線管蛍光面作成用露光装置。
JP25903186A 1986-10-29 1986-10-29 カラ−陰極線管蛍光面作成用露光装置 Pending JPS63114027A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8395364B2 (en) 2008-09-10 2013-03-12 Renesas Electronics Corporation Internal packaging of a semiconductor device mounted on die pads

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8395364B2 (en) 2008-09-10 2013-03-12 Renesas Electronics Corporation Internal packaging of a semiconductor device mounted on die pads
US9478483B2 (en) 2008-09-10 2016-10-25 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device having a chip mounting portion on which a separated plated layer is disposed

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