JPS631088A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
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- JPS631088A JPS631088A JP14269386A JP14269386A JPS631088A JP S631088 A JPS631088 A JP S631088A JP 14269386 A JP14269386 A JP 14269386A JP 14269386 A JP14269386 A JP 14269386A JP S631088 A JPS631088 A JP S631088A
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- discharge
- anode
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 16
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、 −１明の詳細な説明
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は高出力のガスレーザ発振器に係り、特にレーザ
出力の過渡応答特性を改良したガスレーザ発振器に関す
る。
出力の過渡応答特性を改良したガスレーザ発振器に関す
る。
（従来の技術）
一般に大出力のガスレーザ発振器においては、送風機に
よりレーザ媒質ガスを放電励起部に高速循環させて陰極
・陽極間のグロー放電により励起し、レーザ媒質ガスの
ガス流方向と直交する方向に光軸を有する光共振器の作
用でレーザ出力を取り出している。この種のガスレーザ
発振器の例を第４図（例えば、東芝レビュー３９巻２号
（１９８４）に示された装置）に示す。第４図に示すよ
うにレーザ風胴１の内部には、放電励起部又と冷却装置
３及び送風機４が設けられている。放電励起部又は、複
数個に分解した陰極５とこれに対抗配置した棒形状の陽
極６およびこの電極間に循環させるレーザ媒質ガスのガ
ス流７の方向と直角方向に光軸を配置した光共振器８ａ
、 ８ｂとで構成されている。
よりレーザ媒質ガスを放電励起部に高速循環させて陰極
・陽極間のグロー放電により励起し、レーザ媒質ガスの
ガス流方向と直交する方向に光軸を有する光共振器の作
用でレーザ出力を取り出している。この種のガスレーザ
発振器の例を第４図（例えば、東芝レビュー３９巻２号
（１９８４）に示された装置）に示す。第４図に示すよ
うにレーザ風胴１の内部には、放電励起部又と冷却装置
３及び送風機４が設けられている。放電励起部又は、複
数個に分解した陰極５とこれに対抗配置した棒形状の陽
極６およびこの電極間に循環させるレーザ媒質ガスのガ
ス流７の方向と直角方向に光軸を配置した光共振器８ａ
、 ８ｂとで構成されている。
また電源１１の一部と陰極５それぞれの間はグロー放電
を並列して安定点弧させるための抵抗性インピーダンス
９が接続されている。電源１１の他端は陽極６に接続さ
れている。レーザ媒質ガスとしては１例えばＣｏ２．
Ｎ２． ｌｉｅガスを含む混合ガスが用いられ、約５０
Ｔｏｒｒ程度の圧力でレーザ風胴１内に封入されている
。又、放電励起部１内に循環させるレーザ媒質ガスのガ
ス流７の速度は数１ＯＩＩｌ／Ｓ程度である。動作時に
おいては電源１１から上記抵抗性インピーダンス９を介
して上記陰極５陽極６間に数１０００Ｖ以上の高電圧を
印加してグロー放ｆｌｌｔ１２を発生させ、この放電エ
ネルギーによってレーザ媒質ガスを励起する。このとき
光共振器３ａ、８ｂの作用によりレーザ発振がおこリレ
ーザ媒質ガスのガス流７方向及び放電方向と直角方向に
レーザ出力１３を得られる。
を並列して安定点弧させるための抵抗性インピーダンス
９が接続されている。電源１１の他端は陽極６に接続さ
れている。レーザ媒質ガスとしては１例えばＣｏ２．
Ｎ２． ｌｉｅガスを含む混合ガスが用いられ、約５０
Ｔｏｒｒ程度の圧力でレーザ風胴１内に封入されている
。又、放電励起部１内に循環させるレーザ媒質ガスのガ
ス流７の速度は数１ＯＩＩｌ／Ｓ程度である。動作時に
おいては電源１１から上記抵抗性インピーダンス９を介
して上記陰極５陽極６間に数１０００Ｖ以上の高電圧を
印加してグロー放ｆｌｌｔ１２を発生させ、この放電エ
ネルギーによってレーザ媒質ガスを励起する。このとき
光共振器３ａ、８ｂの作用によりレーザ発振がおこリレ
ーザ媒質ガスのガス流７方向及び放電方向と直角方向に
レーザ出力１３を得られる。
（発明が解決しようとする問題点）
第４図に示した従来のガスレーザ発振器においては、レ
ーザ運転方式として第５図に示すものが多用される。即
ち第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は電ＶＡ１１
の電圧波形（ａ）、グロー放電の放電電流波形（ｂ）お
よびレーザ出力（ｃ）の時間変化を示すもので、レーザ
出力が零の状態では、第５図（ｂ）に示すようにシマー
電流Ｉｓと呼ぶ小電流を流し、待機法服とする。次にレ
ーザ発振を開始するには、電源１１から立上りの急峻な
電圧を陰極５陽極６間に印加し放電電流を増加させてレ
ーザ媒質ガスの電離励起を促進する。グロー放電の電気
的特性は誘導性インピーダンスである場合が多いので、
電源１１の過渡特性よりもグロー放電電流の過渡特性は
低く、放電電流は数ｍ５ｅｃ程度の立ち上がり時間ｔ１
で増加する（第５図（ｂ））。またレーザ出力は励起に
要する時間遅れのため時間１２（１工＜ｔ２）で立ちあ
がる（第５図（Ｃ））。グロー放電の放電電流を一定の
放電電流値（Ｉｃ）で維持した後、再び放電電流をシマ
ーレベルＩｓまで低下させろとレーザ発振は停止する。
ーザ運転方式として第５図に示すものが多用される。即
ち第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は電ＶＡ１１
の電圧波形（ａ）、グロー放電の放電電流波形（ｂ）お
よびレーザ出力（ｃ）の時間変化を示すもので、レーザ
出力が零の状態では、第５図（ｂ）に示すようにシマー
電流Ｉｓと呼ぶ小電流を流し、待機法服とする。次にレ
ーザ発振を開始するには、電源１１から立上りの急峻な
電圧を陰極５陽極６間に印加し放電電流を増加させてレ
ーザ媒質ガスの電離励起を促進する。グロー放電の電気
的特性は誘導性インピーダンスである場合が多いので、
電源１１の過渡特性よりもグロー放電電流の過渡特性は
低く、放電電流は数ｍ５ｅｃ程度の立ち上がり時間ｔ１
で増加する（第５図（ｂ））。またレーザ出力は励起に
要する時間遅れのため時間１２（１工＜ｔ２）で立ちあ
がる（第５図（Ｃ））。グロー放電の放電電流を一定の
放電電流値（Ｉｃ）で維持した後、再び放電電流をシマ
ーレベルＩｓまで低下させろとレーザ発振は停止する。
（第５図（Ｃ））。この場合もグロー放電の電気的特性
により放電電流立ち下がり時間（ｔ４）は電源電圧の立
ち下がり時間よりも長い。第５図（ｂ）においては電源
電圧は理想的に矩形波で画いているが実際には台形とな
り、立ち上がり時間、立ち下がり時間が微少ではあるが
存在する。さらにレーザ媒質中の励起分子痔命が数ｌｌ
１ｓ程度あるため先具振器位置の上流側から流れてきた
励起分子がレーザ発振の停止遅れを引き起こしレーザ出
力の立ち上がり時間（ｔ、）はより長くなる（ｔｓ＞ｔ
４）。シマー電流値Ｉｓでグロー放電を維持する理由は
、レーザ出力の立ち上がり時間（ｔ２）を短縮するため
で、この値はレーザ発振しきい電流値よりもごく僅かに
低い値に設定される。これによって、レーザ出力の立ち
上がり時間（ｔ２）は短縮されるが、立ち下がり時間（
ｔ、）は短縮されない。
により放電電流立ち下がり時間（ｔ４）は電源電圧の立
ち下がり時間よりも長い。第５図（ｂ）においては電源
電圧は理想的に矩形波で画いているが実際には台形とな
り、立ち上がり時間、立ち下がり時間が微少ではあるが
存在する。さらにレーザ媒質中の励起分子痔命が数ｌｌ
１ｓ程度あるため先具振器位置の上流側から流れてきた
励起分子がレーザ発振の停止遅れを引き起こしレーザ出
力の立ち上がり時間（ｔ、）はより長くなる（ｔｓ＞ｔ
４）。シマー電流値Ｉｓでグロー放電を維持する理由は
、レーザ出力の立ち上がり時間（ｔ２）を短縮するため
で、この値はレーザ発振しきい電流値よりもごく僅かに
低い値に設定される。これによって、レーザ出力の立ち
上がり時間（ｔ２）は短縮されるが、立ち下がり時間（
ｔ、）は短縮されない。
レーザ光により加工を行う場合はレーザ出力光恒５
の立ち上がり時間（ｔ２）、賃下がり時間（ｔ５）は短
いほど被加工物に余分な入熱がなく加工精度が増す事は
良く知られているが、以上説明したようにグロー放電の
電気的特性は誘導性インピーダンスである場合が多いこ
と、またレーザ媒質の励起過程の影響で電源１１の過渡
特性を向上させてもグロー放電電流の過渡特性は向上し
ないことからレーザ出力の過渡特性を改善する事はでき
なかった。
いほど被加工物に余分な入熱がなく加工精度が増す事は
良く知られているが、以上説明したようにグロー放電の
電気的特性は誘導性インピーダンスである場合が多いこ
と、またレーザ媒質の励起過程の影響で電源１１の過渡
特性を向上させてもグロー放電電流の過渡特性は向上し
ないことからレーザ出力の過渡特性を改善する事はでき
なかった。
そこで１本発明はレーザ出力の過渡特性の良いガスレー
ザ発振器を提供することを目的とする。
ザ発振器を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明は複数個に分割した
陰極または陽極と電源との間に抵抗性インピーダンスと
容量性インピーダンスとを並列接続した回路を接続した
ことを特徴とする。
陰極または陽極と電源との間に抵抗性インピーダンスと
容量性インピーダンスとを並列接続した回路を接続した
ことを特徴とする。
（作用）
上記の、ように放電回路を構成すると、グロー放電の電
気的特性が誘導性インピーダンスである場合においても
容量性インピーダンスを通過する急峻な電流により、立
ち上がり及び立ち下がり時間の短いグロー放電電流を繰
り返し流すことが可能になリレーザ出力の過渡特性を大
幅に改善する事ができる。
気的特性が誘導性インピーダンスである場合においても
容量性インピーダンスを通過する急峻な電流により、立
ち上がり及び立ち下がり時間の短いグロー放電電流を繰
り返し流すことが可能になリレーザ出力の過渡特性を大
幅に改善する事ができる。
（実施例）
（実施例の構成）
以下に図面を用いて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で放電励起部の電気回路を示
す図であり、レーザ発振器全体の構成は概ね第４図に示
した従来のものと同一である。し−ザ風胴内には冷却装
置および送風機を配置し。
す図であり、レーザ発振器全体の構成は概ね第４図に示
した従来のものと同一である。し−ザ風胴内には冷却装
置および送風機を配置し。
レーザ媒質ガスを冷却したのち放電励起部に高速循環さ
せている。放電励起部の内部には第１図に示すように陰
極５と電極６とを対向配置し、レーザ媒質ガスを陰極５
から陽極６の方向に流している。又、各陰極５は抵抗性
インピーダンス９および容量性インピーダンス１０を並
列に接続した回路を介して電源１１に接続されている。
せている。放電励起部の内部には第１図に示すように陰
極５と電極６とを対向配置し、レーザ媒質ガスを陰極５
から陽極６の方向に流している。又、各陰極５は抵抗性
インピーダンス９および容量性インピーダンス１０を並
列に接続した回路を介して電源１１に接続されている。
容量性インピーダンスｌＯは抵抗１０１とコンデンサ１
０２を直列接続して構成されている。光共振器８ａ 、
８ｂは放電励起部の両側に固定して配置しレーザ発振
動作する。
０２を直列接続して構成されている。光共振器８ａ 、
８ｂは放電励起部の両側に固定して配置しレーザ発振
動作する。
（実施例の作用）
次に上記第１図に示す本発明の実施例の作用について説
明する。−般的なレーザ発振動作は上述した第４図に示
す実来例のものと同様で、レーザ媒質ガスとしてＣＯ□
＋Ｎｉ＋Ｈｅガスを含む混合ガスを約５０Ｔｏｒｒ程度
の圧力で使用し、上記混合ガスを数１０１１Ｉｌ／ｓ程
度の速度で第１図に示す陰極５から陽極６の方向に＠環
させている。動作時においては電源１１から抵抗性イン
ピーダンス９および容量性インピーダンス１０を介して
上記陰極５陽極６間に数１０００Ｖ以上の韮電圧を印加
して、グロー放電１２を発生させ、この放電エネルギー
によって媒質ガスを励起する。このとき全反射鏡および
反透過鏡で構成される光共振器の作用によってレーザ発
振がおこり放電方向と直角方向にレーザ出力１３を得る
。
明する。−般的なレーザ発振動作は上述した第４図に示
す実来例のものと同様で、レーザ媒質ガスとしてＣＯ□
＋Ｎｉ＋Ｈｅガスを含む混合ガスを約５０Ｔｏｒｒ程度
の圧力で使用し、上記混合ガスを数１０１１Ｉｌ／ｓ程
度の速度で第１図に示す陰極５から陽極６の方向に＠環
させている。動作時においては電源１１から抵抗性イン
ピーダンス９および容量性インピーダンス１０を介して
上記陰極５陽極６間に数１０００Ｖ以上の韮電圧を印加
して、グロー放電１２を発生させ、この放電エネルギー
によって媒質ガスを励起する。このとき全反射鏡および
反透過鏡で構成される光共振器の作用によってレーザ発
振がおこり放電方向と直角方向にレーザ出力１３を得る
。
第２図は第１図に示した放電励起部の電気回路図を等価
的に表した図で第２図中のｎｌ、Ｃ０，Ｒ，は第１図の
抵抗性インピーダンス９および容量性インピーダンスＩ
Ｏの総和の値を示している。又グロー放電１２を等価回
路で表すと、抵抗分Ｒｄ、誘導分Ｌｄおよび陰極降下陽
極降下などによる起電力分Ｅｄとなる。抵抗分１１ｄ、
誘導分Ｌｄおよび起電力分Ｅｄの値は放電条件すなわち
ガス圧力、ガス成分、ガス流速、電極形状などのパラメ
ータ値によって異なるが、上記パラメータ値がほぼ一定
のときはＲｄ 、 Ｌｄ 。
的に表した図で第２図中のｎｌ、Ｃ０，Ｒ，は第１図の
抵抗性インピーダンス９および容量性インピーダンスＩ
Ｏの総和の値を示している。又グロー放電１２を等価回
路で表すと、抵抗分Ｒｄ、誘導分Ｌｄおよび陰極降下陽
極降下などによる起電力分Ｅｄとなる。抵抗分１１ｄ、
誘導分Ｌｄおよび起電力分Ｅｄの値は放電条件すなわち
ガス圧力、ガス成分、ガス流速、電極形状などのパラメ
ータ値によって異なるが、上記パラメータ値がほぼ一定
のときはＲｄ 、 Ｌｄ 。
Ｅｄ値を固定して考えることができる。
第２図に示すように放電回路はＲＬＣの直並列回路であ
る。抵抗性インピーダンス９および容量性インピーダン
ス１０を流れる電流をそれぞれＩｒ。
る。抵抗性インピーダンス９および容量性インピーダン
ス１０を流れる電流をそれぞれＩｒ。
Ｉｃで表すと、グロー放電電流ＩｄはＩｄ ＝ Ｉｒ
＋ Ｉｃとなる。各部の電流波形およびレーザ出力波形
は第３図（ａ） 、 （ｂ） 、’（ｃ） 、 （ｄ）
に示すようになる。抵抗性インピーダンス９を流れる電
流Ｉｒは第５図（ｂ）に示すグロー放電の放電電流値と
同様の波形である。
＋ Ｉｃとなる。各部の電流波形およびレーザ出力波形
は第３図（ａ） 、 （ｂ） 、’（ｃ） 、 （ｄ）
に示すようになる。抵抗性インピーダンス９を流れる電
流Ｉｒは第５図（ｂ）に示すグロー放電の放電電流値と
同様の波形である。
また、容量性インピーダンス１０を構成する抵抗１０２
、コンデンサ１０１の値をＬＣＲ回路が臨界制動条件に
なるように設定すると、すなわち１ ／ＬｄＣ。
、コンデンサ１０１の値をＬＣＲ回路が臨界制動条件に
なるように設定すると、すなわち１ ／ＬｄＣ。
＝ （（Ｒ，＋Ｒｄ） ／２Ｌｄ）”と選ぶとＩｃは第
３図（ｂ）に示すような波形となる。抵抗１０２容量性
インピーダンス１０を流れる゛上流波高値および立ち上
がり時間を最適化する役目を持っている。グロー放電１
２を流れるグロー放電電流ＩｄはＩｃと１ｒの重ね合わ
せであるから、第３図（ｃ）の様になる。第３図（ｃ）
より明らかなようにシマー電流値Ｉｓより放電電流を立
ち上げると立ち上がり時間ｔ、は第５図（ｄ）に比較し
て短縮されろ。このためレーザ出力の立ち上がり時１ｆ
ｔｌ（ｈ）も短い。また放電電流立ち下がり時間（シ４
）も第５図（ｃ）と比較して大幅に短くなリレーザ出力
は急激に低下する。レーザ出力の立ち上がり時にピーク
が現れるが、これはレーザ加工上好ましいものであるこ
とが解っている。放ｆｆｌ？Ｉｉ流の立ち上がり時のピ
ーク値および立ち下がり時のピーク値は抵抗Ｒ０を変え
ることにより調整できる。
３図（ｂ）に示すような波形となる。抵抗１０２容量性
インピーダンス１０を流れる゛上流波高値および立ち上
がり時間を最適化する役目を持っている。グロー放電１
２を流れるグロー放電電流ＩｄはＩｃと１ｒの重ね合わ
せであるから、第３図（ｃ）の様になる。第３図（ｃ）
より明らかなようにシマー電流値Ｉｓより放電電流を立
ち上げると立ち上がり時間ｔ、は第５図（ｄ）に比較し
て短縮されろ。このためレーザ出力の立ち上がり時１ｆ
ｔｌ（ｈ）も短い。また放電電流立ち下がり時間（シ４
）も第５図（ｃ）と比較して大幅に短くなリレーザ出力
は急激に低下する。レーザ出力の立ち上がり時にピーク
が現れるが、これはレーザ加工上好ましいものであるこ
とが解っている。放ｆｆｌ？Ｉｉ流の立ち上がり時のピ
ーク値および立ち下がり時のピーク値は抵抗Ｒ０を変え
ることにより調整できる。
立ち下がり時のピーク電流値は負にならないように調整
している。
している。
以上述べてきたように１本発明に係るガスレーザ発振器
は放電電流の立ち上がり立ち下がり時間を大幅に短縮し
、レーザ出力の過渡応答特性を大幅に数置することがで
きる。
は放電電流の立ち上がり立ち下がり時間を大幅に短縮し
、レーザ出力の過渡応答特性を大幅に数置することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例を示す放電励起部の電気回路
を示す図、第２図は第１図に示した放電励起部の電気回
路の等価回路を示す図、第：３図は本発明に係るガスレ
ーザ発振器のレーザ運転時の電流波形レーザ出力波形を
示す図で、＋ｍ（ａ）は抵抗性インピーダンスを流れる
電流と時間との関係を示す図、＋１ｌ（ｂ）は容量性イ
ンピーダンスを流れろ電流と時間との関係を示す図、＋
Ｍ（ｃ ）はグロー放電７１ｉ流値と時間との関係を示
す図、ｒＥ’＋ （ｄ ）はレーザ出力と時間との関係
を示す図、第４図は従来のガスレーザ発振器を示す斜視
図、第５図は従来のレーザ発振器の運転方式を示す図、
１ｆｌ（ａ）は電源電圧と時間との関係を示す図、＋：
ｆｆ１（ｂ ）はグロー放電の放電電流と時間との関係
を示す図、１ｍ（ｃ ）はレーザ出力値と時間との関係
を示す図である。 １：レーザ風胴、Ｉ：放電励起部、３：冷却装置、４：
送風機、５：陰極、６：陽極、７：ガス流、８：光共振
器、９：抵抗性インピーダンス、１０：容量性インピー
ダンス、１１：ｆ！！源、１２ニゲロー放電、１３：レ
ーザ出力。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第１図 第２図 時間 第３図（ａ） 第４図
を示す図、第２図は第１図に示した放電励起部の電気回
路の等価回路を示す図、第：３図は本発明に係るガスレ
ーザ発振器のレーザ運転時の電流波形レーザ出力波形を
示す図で、＋ｍ（ａ）は抵抗性インピーダンスを流れる
電流と時間との関係を示す図、＋１ｌ（ｂ）は容量性イ
ンピーダンスを流れろ電流と時間との関係を示す図、＋
Ｍ（ｃ ）はグロー放電７１ｉ流値と時間との関係を示
す図、ｒＥ’＋ （ｄ ）はレーザ出力と時間との関係
を示す図、第４図は従来のガスレーザ発振器を示す斜視
図、第５図は従来のレーザ発振器の運転方式を示す図、
１ｆｌ（ａ）は電源電圧と時間との関係を示す図、＋：
ｆｆ１（ｂ ）はグロー放電の放電電流と時間との関係
を示す図、１ｍ（ｃ ）はレーザ出力値と時間との関係
を示す図である。 １：レーザ風胴、Ｉ：放電励起部、３：冷却装置、４：
送風機、５：陰極、６：陽極、７：ガス流、８：光共振
器、９：抵抗性インピーダンス、１０：容量性インピー
ダンス、１１：ｆ！！源、１２ニゲロー放電、１３：レ
ーザ出力。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第１図 第２図 時間 第３図（ａ） 第４図
Claims (2)
- （１）対向配置した陰極及び陽極を有し、この両電極間
に高電圧を印加し、この両電極間でグロー放電する放電
励起部にレーザ媒質ガスを高速循環させて、レーザ媒質
ガスを励起し、光共振器によりレーザ出力を取り出すガ
スレーザ発振器において、上記陰極もしくは陽極と電源
とを抵抗性インピーダンスおよび容量性インピーダンス
を並列接続して構成した回路を介して接続したことを特
徴とするガスレーザ発振器。 - （２）容量性インピーダンスは抵抗とコンデンサの直列
回路からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14269386A JPS631088A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14269386A JPS631088A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631088A true JPS631088A (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=15321335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14269386A Pending JPS631088A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631088A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194579A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-01 | Fanuc Ltd | 高周波放電励起レーザ装置 |
| JPH0323686A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| WO1998019374A1 (fr) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Fanuc Ltd | Laser pompe a decharge gazeuse |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14269386A patent/JPS631088A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194579A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-01 | Fanuc Ltd | 高周波放電励起レーザ装置 |
| JPH0323686A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| WO1998019374A1 (fr) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Fanuc Ltd | Laser pompe a decharge gazeuse |
| EP0881725A1 (en) * | 1996-10-29 | 1998-12-02 | Fanuc Ltd. | Gas discharge pumped laser |
| EP0881725A4 (en) * | 1996-10-29 | 2004-03-17 | Fanuc Ltd | LASER GAS DISCHARGE PUMP |
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