JPS63106630A - 光スイツチ - Google Patents
光スイツチInfo
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- JPS63106630A JPS63106630A JP25078286A JP25078286A JPS63106630A JP S63106630 A JPS63106630 A JP S63106630A JP 25078286 A JP25078286 A JP 25078286A JP 25078286 A JP25078286 A JP 25078286A JP S63106630 A JPS63106630 A JP S63106630A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
月旦!IUまた乱
本発明は、光スイッチに関する。
又匪夏災米挟五
光のスイッチは、従来、特開昭60−140317、特
開昭60−88905等のごとく、PLZT等の薄膜タ
イプのものが開示されている。
開昭60−88905等のごとく、PLZT等の薄膜タ
イプのものが開示されている。
これらのものは、スイッチの切り換え角度が0゜2″と
極めて小さく、多数の方向に分岐がし難い欠点があった
。
極めて小さく、多数の方向に分岐がし難い欠点があった
。
本発明者等は、鋭意検討した結果、下記の発明をなした
。
。
A浬U戸」皮
即ち、本発明は、基板上に、プリズム型あるいは立方体
又は、直方体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型電
気光学材料の場合はその上の平面上に一方の電極を形成
し、立方体又は直方体状の場合はその上の平面上の対角
線を含んだ半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成し
他方の電極は基板に設け、両電極間に電圧を印加するこ
とにより光伝送方向を制御することを特徴とする光スイ
ッチに関する。
又は、直方体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型電
気光学材料の場合はその上の平面上に一方の電極を形成
し、立方体又は直方体状の場合はその上の平面上の対角
線を含んだ半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成し
他方の電極は基板に設け、両電極間に電圧を印加するこ
とにより光伝送方向を制御することを特徴とする光スイ
ッチに関する。
また、その実施態様として、電気光学材料が、少なくと
も鉛、チタン、ランタン及びジルコニウムを含むベロブ
スカイト型の複合酸化物であることを特徴とする上記記
載の光スイッチ、基板が電気導電性物質であることを特
徴とする上記記載の光スイッチを提供する。
も鉛、チタン、ランタン及びジルコニウムを含むベロブ
スカイト型の複合酸化物であることを特徴とする上記記
載の光スイッチ、基板が電気導電性物質であることを特
徴とする上記記載の光スイッチを提供する。
見匪災へ生血■肌
本発明において用いられる基板は、電気導電性基板であ
る。電気導電性基板としては、例えば、アルミニウムが
用いられる。これらの基板上にA1.03あるいは、酸
化クロムを2〜7wt%含むAl2O,をスパッタリン
グ、蒸着等により形成する。さらニP L Z T 、
L x N b O3、LiTaO3゜B501G
a A s等の物質を薄く基板上にスパッタリング蒸着
等により付着させるものである。
る。電気導電性基板としては、例えば、アルミニウムが
用いられる。これらの基板上にA1.03あるいは、酸
化クロムを2〜7wt%含むAl2O,をスパッタリン
グ、蒸着等により形成する。さらニP L Z T 、
L x N b O3、LiTaO3゜B501G
a A s等の物質を薄く基板上にスパッタリング蒸着
等により付着させるものである。
本発明では、特に、基板上に、プリズム型あるいは立方
体又は、直方体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型
電気光学材料の場合はその上の平面上に一方の電極を形
成し、立方体又は直方体状の場合はその上の平面上の対
角線を含んだ半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成
し他方の電極は基板に設け、両電極間に電圧を印加する
ことにより光伝送方向を制御するものである。
体又は、直方体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型
電気光学材料の場合はその上の平面上に一方の電極を形
成し、立方体又は直方体状の場合はその上の平面上の対
角線を含んだ半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成
し他方の電極は基板に設け、両電極間に電圧を印加する
ことにより光伝送方向を制御するものである。
プリズム型の場合は、電圧をかけない場合は、プリズム
による光の屈折角でのみ光が曲がり、電圧を上平面上と
電気導電性基板に設けた電極にかけると、最大1°前後
まで光を曲げることができる。
による光の屈折角でのみ光が曲がり、電圧を上平面上と
電気導電性基板に設けた電極にかけると、最大1°前後
まで光を曲げることができる。
また、基板を一方の電極とし、他方の電極として立方体
又は直方体の上の平面上の対角線を含んだ半分が電圧の
印加自在の電極とした場合は、電圧をかけない場合は、
光は直進し、電圧をかけた場合は、最大1°前後光が偏
向する。
又は直方体の上の平面上の対角線を含んだ半分が電圧の
印加自在の電極とした場合は、電圧をかけない場合は、
光は直進し、電圧をかけた場合は、最大1°前後光が偏
向する。
上記の両ケースの場合、電圧のかけかたにより0.2”
前後の巾を持たせるとすれば、一つの入射光を5箇所に
分岐させることができる。
前後の巾を持たせるとすれば、一つの入射光を5箇所に
分岐させることができる。
また、電気光学材料が少なくとも釦、チタン、ランタン
及びジルコニウムを含むベロブスカイト型の複合酸化物
であることが好ましい。
及びジルコニウムを含むベロブスカイト型の複合酸化物
であることが好ましい。
特に、PLZTで構成されていることが好ましい。さら
には、x/y/ (1−yi=9/65/35であるこ
とがより好ましい。
には、x/y/ (1−yi=9/65/35であるこ
とがより好ましい。
尚、電極は、スイッチ部の上面と基板に形成されるが、
スイッチ部上面の電極は、A1等を蒸着することにより
形成される。
スイッチ部上面の電極は、A1等を蒸着することにより
形成される。
以上のように本発明を実施すると以下のような効果を得
ることができる。
ることができる。
見匪災勉困
(1)低電圧で、光の偏向角を極めて大きくすることが
できる。
できる。
(2)偏向角を大きくすることができるため一つの光を
電圧を変更することにより5〜6箇所に分岐できる。
電圧を変更することにより5〜6箇所に分岐できる。
失に五よ
第1図をもって、本発明の一態様を具体的に説明する。
第1図は、アルミニウム基板上(3)に、A120)に
酸化クロムを4wt%を含むようにスパッタリングによ
りクラッド部(7)を形成した。さらに、その上に、P
LZT (9/65/35)を高岡波マグネトロンスパ
ッタにより厚さ2μm程度に(2)形成した。さらに、
PLZTの薄膜を直方体状にエツチング加工し、その上
に第1図に示すような三角状の電極用のA1を蒸着で形
成する。 入射した光は、電圧70Vを印加すると約1
″′曲げることができた。
酸化クロムを4wt%を含むようにスパッタリングによ
りクラッド部(7)を形成した。さらに、その上に、P
LZT (9/65/35)を高岡波マグネトロンスパ
ッタにより厚さ2μm程度に(2)形成した。さらに、
PLZTの薄膜を直方体状にエツチング加工し、その上
に第1図に示すような三角状の電極用のA1を蒸着で形
成する。 入射した光は、電圧70Vを印加すると約1
″′曲げることができた。
さらに、電圧を印加しない場合は、光は直進した。
災凰何叉
第2図をもって1本発明の他の具体的−態様を説明する
。
。
実施例1と同様に、スイッチ部(2)を三角形のプリズ
ム型としており、電圧をかけることによって実施例1と
同様の効果を得た。
ム型としており、電圧をかけることによって実施例1と
同様の効果を得た。
第1図、第2図は、本発明の一態様を示す。
1はスイッチ部、2はPLZT薄股、3はアルミニウム
基板、7は、Al、O,に酸化クロムを含めたクラッド
である。
基板、7は、Al、O,に酸化クロムを含めたクラッド
である。
Claims (3)
- (1)基板上に、プリズム型あるいは立方体又は、直方
体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型電気光学材料
の場合はその上の平面上に一方の電極を形成し、立方体
又は直方体状の場合はその上の平面上の対角線を含んだ
半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成し他方の電極
は基板に設け、両電極間に電圧を印加することにより光
伝送方向を制御することを特徴とする光スイッチ。 - (2)電気光学材料が、少なくとも鉛、チタン、ランタ
ン及びジルコニウムを含むベロブスカイト型の複合酸化
物であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
光スイッチ。 - (3)基板が電気導電性物質であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の光スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25078286A JPS63106630A (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 | 光スイツチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25078286A JPS63106630A (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 | 光スイツチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63106630A true JPS63106630A (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=17212965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25078286A Pending JPS63106630A (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 | 光スイツチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63106630A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0363631A (ja) * | 1989-08-01 | 1991-03-19 | Ricoh Co Ltd | 空間光マトリックススイッチデバイス |
US6061487A (en) * | 1997-04-30 | 2000-05-09 | Nok Corporation | Optical waveguide circuit, optical branched waveguide circuit, and optical modulator |
-
1986
- 1986-10-23 JP JP25078286A patent/JPS63106630A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0363631A (ja) * | 1989-08-01 | 1991-03-19 | Ricoh Co Ltd | 空間光マトリックススイッチデバイス |
US6061487A (en) * | 1997-04-30 | 2000-05-09 | Nok Corporation | Optical waveguide circuit, optical branched waveguide circuit, and optical modulator |
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