JPS63106630A - 光スイツチ - Google Patents

光スイツチ

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Publication number
JPS63106630A
JPS63106630A JP25078286A JP25078286A JPS63106630A JP S63106630 A JPS63106630 A JP S63106630A JP 25078286 A JP25078286 A JP 25078286A JP 25078286 A JP25078286 A JP 25078286A JP S63106630 A JPS63106630 A JP S63106630A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode
voltage
cube
electro
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25078286A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Segawa
瀬川 秀夫
Norihiro Kiuchi
木内 規博
Tsutomu Tominaga
力 冨永
Hiroto Ueno
裕人 上野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eneos Corp
Original Assignee
Nippon Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Mining Co Ltd filed Critical Nippon Mining Co Ltd
Priority to JP25078286A priority Critical patent/JPS63106630A/ja
Publication of JPS63106630A publication Critical patent/JPS63106630A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 月旦!IUまた乱 本発明は、光スイッチに関する。
又匪夏災米挟五 光のスイッチは、従来、特開昭60−140317、特
開昭60−88905等のごとく、PLZT等の薄膜タ
イプのものが開示されている。
これらのものは、スイッチの切り換え角度が0゜2″と
極めて小さく、多数の方向に分岐がし難い欠点があった
本発明者等は、鋭意検討した結果、下記の発明をなした
A浬U戸」皮 即ち、本発明は、基板上に、プリズム型あるいは立方体
又は、直方体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型電
気光学材料の場合はその上の平面上に一方の電極を形成
し、立方体又は直方体状の場合はその上の平面上の対角
線を含んだ半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成し
他方の電極は基板に設け、両電極間に電圧を印加するこ
とにより光伝送方向を制御することを特徴とする光スイ
ッチに関する。
また、その実施態様として、電気光学材料が、少なくと
も鉛、チタン、ランタン及びジルコニウムを含むベロブ
スカイト型の複合酸化物であることを特徴とする上記記
載の光スイッチ、基板が電気導電性物質であることを特
徴とする上記記載の光スイッチを提供する。
見匪災へ生血■肌 本発明において用いられる基板は、電気導電性基板であ
る。電気導電性基板としては、例えば、アルミニウムが
用いられる。これらの基板上にA1.03あるいは、酸
化クロムを2〜7wt%含むAl2O,をスパッタリン
グ、蒸着等により形成する。さらニP L Z T 、
 L x N b O3、LiTaO3゜B501G 
a A s等の物質を薄く基板上にスパッタリング蒸着
等により付着させるものである。
本発明では、特に、基板上に、プリズム型あるいは立方
体又は、直方体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型
電気光学材料の場合はその上の平面上に一方の電極を形
成し、立方体又は直方体状の場合はその上の平面上の対
角線を含んだ半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成
し他方の電極は基板に設け、両電極間に電圧を印加する
ことにより光伝送方向を制御するものである。
プリズム型の場合は、電圧をかけない場合は、プリズム
による光の屈折角でのみ光が曲がり、電圧を上平面上と
電気導電性基板に設けた電極にかけると、最大1°前後
まで光を曲げることができる。
また、基板を一方の電極とし、他方の電極として立方体
又は直方体の上の平面上の対角線を含んだ半分が電圧の
印加自在の電極とした場合は、電圧をかけない場合は、
光は直進し、電圧をかけた場合は、最大1°前後光が偏
向する。
上記の両ケースの場合、電圧のかけかたにより0.2”
前後の巾を持たせるとすれば、一つの入射光を5箇所に
分岐させることができる。
また、電気光学材料が少なくとも釦、チタン、ランタン
及びジルコニウムを含むベロブスカイト型の複合酸化物
であることが好ましい。
特に、PLZTで構成されていることが好ましい。さら
には、x/y/ (1−yi=9/65/35であるこ
とがより好ましい。
尚、電極は、スイッチ部の上面と基板に形成されるが、
スイッチ部上面の電極は、A1等を蒸着することにより
形成される。
以上のように本発明を実施すると以下のような効果を得
ることができる。
見匪災勉困 (1)低電圧で、光の偏向角を極めて大きくすることが
できる。
(2)偏向角を大きくすることができるため一つの光を
電圧を変更することにより5〜6箇所に分岐できる。
失に五よ 第1図をもって、本発明の一態様を具体的に説明する。
第1図は、アルミニウム基板上(3)に、A120)に
酸化クロムを4wt%を含むようにスパッタリングによ
りクラッド部(7)を形成した。さらに、その上に、P
LZT (9/65/35)を高岡波マグネトロンスパ
ッタにより厚さ2μm程度に(2)形成した。さらに、
PLZTの薄膜を直方体状にエツチング加工し、その上
に第1図に示すような三角状の電極用のA1を蒸着で形
成する。 入射した光は、電圧70Vを印加すると約1
″′曲げることができた。
さらに、電圧を印加しない場合は、光は直進した。
災凰何叉 第2図をもって1本発明の他の具体的−態様を説明する
実施例1と同様に、スイッチ部(2)を三角形のプリズ
ム型としており、電圧をかけることによって実施例1と
同様の効果を得た。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は、本発明の一態様を示す。 1はスイッチ部、2はPLZT薄股、3はアルミニウム
基板、7は、Al、O,に酸化クロムを含めたクラッド
である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に、プリズム型あるいは立方体又は、直方
    体状に電気光学薄膜を形成し、プリズム型電気光学材料
    の場合はその上の平面上に一方の電極を形成し、立方体
    又は直方体状の場合はその上の平面上の対角線を含んだ
    半分が電圧の印加自在の一方の電極を形成し他方の電極
    は基板に設け、両電極間に電圧を印加することにより光
    伝送方向を制御することを特徴とする光スイッチ。
  2. (2)電気光学材料が、少なくとも鉛、チタン、ランタ
    ン及びジルコニウムを含むベロブスカイト型の複合酸化
    物であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    光スイッチ。
  3. (3)基板が電気導電性物質であることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載の光スイッチ。
JP25078286A 1986-10-23 1986-10-23 光スイツチ Pending JPS63106630A (ja)

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JP25078286A JPS63106630A (ja) 1986-10-23 1986-10-23 光スイツチ

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JP (1) JPS63106630A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0363631A (ja) * 1989-08-01 1991-03-19 Ricoh Co Ltd 空間光マトリックススイッチデバイス
US6061487A (en) * 1997-04-30 2000-05-09 Nok Corporation Optical waveguide circuit, optical branched waveguide circuit, and optical modulator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0363631A (ja) * 1989-08-01 1991-03-19 Ricoh Co Ltd 空間光マトリックススイッチデバイス
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