JPS63105329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63105329U JPS63105329U JP19834186U JP19834186U JPS63105329U JP S63105329 U JPS63105329 U JP S63105329U JP 19834186 U JP19834186 U JP 19834186U JP 19834186 U JP19834186 U JP 19834186U JP S63105329 U JPS63105329 U JP S63105329U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solvent
- dried
- heating
- vapor
- drying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第1図、第2図及び第3図は、本考案の乾燥装
置の代表的な態様を鉛直方向の平面で切断した断
面の概略図である。 図中、1は箱体、2は溶媒、3は熱源、4は凝
縮器、5は被乾燥物、6は蒸気浴、7は受け皿、
8は排出管、9は整流板を夫々示す。
置の代表的な態様を鉛直方向の平面で切断した断
面の概略図である。 図中、1は箱体、2は溶媒、3は熱源、4は凝
縮器、5は被乾燥物、6は蒸気浴、7は受け皿、
8は排出管、9は整流板を夫々示す。
Claims (1)
- 下部に溶媒を加熱するための熱源が設けられて
おり、上部には該熱源による加熱で発生した溶媒
の蒸気を凝縮させる凝縮器が設けられた箱体から
なり、該熱源と該凝縮器との間に形成される溶媒
の蒸気浴中で被乾燥物を乾燥させる乾燥装置であ
つて、該被乾燥物の下方に被乾燥物から落下する
液滴の受け皿が設けられており、さらに、該被乾
燥物と該受け皿との間に加熱により発生した溶媒
の蒸気を被乾燥物の方向に誘導する整流板が設け
られてなる乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986198341U JPH062263Y2 (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | 乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986198341U JPH062263Y2 (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | 乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63105329U true JPS63105329U (ja) | 1988-07-08 |
JPH062263Y2 JPH062263Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31158938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986198341U Expired - Lifetime JPH062263Y2 (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | 乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH062263Y2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58222528A (ja) * | 1982-06-21 | 1983-12-24 | Hitachi Ltd | ウエハ乾燥装置 |
JPS6166937U (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-08 | ||
JPS61151335U (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-18 | ||
JPS61237430A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-22 | Wakomu:Kk | 半導体蒸気乾燥洗浄用石英容器 |
JPS62245639A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Hitachi Ltd | ベ−パ乾燥装置 |
-
1986
- 1986-12-25 JP JP1986198341U patent/JPH062263Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58222528A (ja) * | 1982-06-21 | 1983-12-24 | Hitachi Ltd | ウエハ乾燥装置 |
JPS6166937U (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-08 | ||
JPS61151335U (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-18 | ||
JPS61237430A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-22 | Wakomu:Kk | 半導体蒸気乾燥洗浄用石英容器 |
JPS62245639A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Hitachi Ltd | ベ−パ乾燥装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH062263Y2 (ja) | 1994-01-19 |
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