JPS6298242A - X線による被測定物の非破壊測定方法 - Google Patents

X線による被測定物の非破壊測定方法

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JPS6298242A
JPS6298242A JP60238966A JP23896685A JPS6298242A JP S6298242 A JPS6298242 A JP S6298242A JP 60238966 A JP60238966 A JP 60238966A JP 23896685 A JP23896685 A JP 23896685A JP S6298242 A JPS6298242 A JP S6298242A
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monochromatic
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Yukio Komura
幸夫 香村
Hisashi Koaizawa
小相沢 久
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 r産業上の利用分野j 本発明はX線を利用した非破壊測定手段により被測定物
の組成、厚さなどを分析、測定する方法に関する。
r従来の技術] 不透明な物体の組成濃度、組成分布、厚さ等を放射線照
射により非破壊的に測定するとき、そのyj源としてア
イソト−プ(Ga、 b、 Go)などのγ線、あるい
はX線を用い、放射線照射系から出射した放射線を被測
定物に照射し、その透過線の強度を検出系で測定解析し
ているが、アイソトープによる非破壊的測定法の場合、
アイソトープの人手が困難であること、その強度が弱い
かまたは強すぎること、さらに半減期が短いこと等の理
由により工業化がむずかしいとされており、そのため白
色X線を用いる方法が普及している。
この際のXB源としては、W(タングステン)をターゲ
ットとするものがよく用いられる。
一般に、二つの構成元素からなる軸対称の被測定物につ
いてこれの組成分析を行なうとき、前記X線源から取り
出した二つの単色X線を被測定物照射してその透過X線
を測定し、かかる測定データをもとにした多層分割法、
アーベル変換法等の計算法により、被測定物の一断面に
おける組成分布を求めている。
なお、上記X!!は被測定物を透過することにより減衰
するのであり、すなわち、一定波長のX線が厚さt、質
量吸収係数p(cm−’)の物質を透過したとき、七の
x!!強度はIoからIに変る。
このときの透過X線ifは、次式のように表わすことが
できる。
1−Ioe −” ・・・・・(eq+)また、X線量
(強度)■は、波長λと時間Tの関数であるため、I(
入、T)と表わすことができる。
r発明が解決しようとする問題点j ところで、上述した(eq+)におけるIoは、前記測
定時安定していることが重要であり、これが変動すると
Iも変動し、正しい測定ができない。
したがって、X線源としては上記変動原因のない高精度
のものが要求されるが、現状のX線源では、粘度のよい
ものを用いたとしても1z程度の変動が生じ、そのため
高精度組成分析の実現が阻まれている。
本発明は上記の問題点に鑑み、X線源の変動にかかわら
ず、所定の被測定物に関する高精度の組成分析が行なえ
る方法を提供しようとするものである。
f問題点を解決するための手段」 本発明に係る被測定物の非破壊測定方法は」二記の目的
を達成するため、X線源から出射した白色X線の一部を
、被測定物への照射前または照射後において結晶により
単色X線とし、その被測定物を透過した後の透過X線を
X線検出器により測定する実測系と、上記X線源から出
射した白色X線の池の一部を結晶により回折して単色X
線とし、当該単色線をX線検出器により測定する参照測
定系とを備え、これら実測系、参照測定系により同一の
単色X線強度を同時に測定し、その測定結果に基づき、
被測定物の組成分布、厚さ等を演算して求めるとことを
特徴とする。
「実 施 例」 以ド木発明の実施例につき、図面を参照して説明する。
第1図の実施例は一組成からなる不透明な被測定物Aの
厚さを実測系1.参照測定系Hにより測定する例であり
、その実測系■はX線[1、結晶2a、 X線検出器3
aからなり、その参照測定系■はxBB10結晶2b、
 X線検出器3bからなる。
第1(54において、実測系IではX線源lから出射し
た白色X線x1の一部を被測定物Aに照射し、その被測
定物へを透過した透過X線を結晶2aにより回折して単
色X線x2とした後、当該中色X線x2の強度をX線検
出器3aにより測定する。
これと同時、参照測定系■では、X線源1から出射した
白色XMAX、の他の一部を結晶2bにより回折して単
色X線x3とし、当該単色X線x3の強度をX線検出器
3bにより測定する。
上記実施例では、単色X線X2の透過X線量■にて被測
定物Aの厚さを求めるとき、単色XVj X JのX線
強度toをも測定し、これら1.Isの比に基づいて所
定の演算を行なう。
すなわち、前記(eq+)におけるI=Iqe −”か
ら導かれた下記(eqz)を演算して、被測定物Aの厚
さを求める。
lnr/Ic=−ルt””(e(12)この際、X線検
出器3a、 X線検出器3bによる各測定時間Tは数分
程度とし、X線検出器3dにより測定した?i色xVj
x2の測定値(透過X線r一つを、X線検出器3bによ
り測定した中色X線x3の測定値(X線量)で割り、そ
の値をデータとして(eqz)を演算する。
」;記のようにして被測定物Aの厚さを求める場合、I
Qが変動しても常にI/IQを測定することになるので
、所定の測定゛に項が精度高く求まり、しかも■(入、
 T) 、 Io(入、T)における入、Tが同一であ
るため、かかる観点からも測定精度が高まる。
第2図の実施例は二組成からなる不透明な被測定物Aの
M1成分布を実測系I、参照測定系Hにより測定する例
であり、その実測系工はX線源1、結晶2c、2d、 
X線検出器3C13dからなり、その参照測定系IIは
X線源l、結晶2e、24. X線検出器3e、3fか
らなる。
第2図の実測系Iでは、X線源1から出射した白色X線
x1の一部を被測定物Aに照射し、その被測定物Aを透
過した透過X線のうち、低エネルギのもの(波長が長い
)は結晶2Cにより、かつ、高エネルギのもの(波長が
短い)は結晶2dにより回折してそれぞれ単色X ii
 Xa、x5とし、その後、これら単色X @ X a
、x5の強度をX線検出器3C13dにより測定する。
これと同時、第2図の参照測定系■では、X線源1から
出射した白色X線x1の他の一部を、結晶2e、 2F
によりそれぞれ回折して上記単色X線x4、x5に対応
する低エネルギの単色X線x6、高エネルギの単色X線
x7とし、これら単色X !i Xb、xlをX線検出
器3e、3fにより測定する。
すなわち上記実施例では、Io(入1.T)および1G
(入2.T)の二波長につき、そ透過X線にを測定する
のであり、この際、X線検出器3Cを介してI(入11
丁)を測定するとともにX線検出器3dを介してI(入
2.T)を測定する。
したがって第2図の実施例では、■(入+、?)/I。
(入+、T)、1(入2.T)/Io(入2.T)を用
い、前記二組成からなる被測定物Aの組成分布を測定す
ることになる。
なお、第2図の実施例において、−・般的にはIO(入
+、T)とIo(入?、T)どの変動が同一・傾向にあ
り、一定の関係が認められることがあるが、このような
場合、結晶2eのみで白色X線を回折し、X線検出器3
eによりIo(入1.T)を測定するだけでもよい。
また、第1図、第2図の各実施例において、X線源1と
被測定物Aとの間に結晶2a、2C12dを配置しても
よい。
つぎに本発明の具体例について説明する。
具体例1 第2図の実施例において、5i02−GeO2系光フア
イバ用多孔質母材の組成分布を測定するとき、X線源l
から出射した白色X線x1をスリット板に通して絞り、
その一部を実測系工で用い、他の一部を参照測定系■で
用いた。
実測系Iにおいて被測定物Aを透過した透過X線のうち
、波長入lの長い低エネルギのものは結晶2cにより回
折して50kVの単色X線x4とし、波長入・の短い高
エネルギのものは結晶2dにより回折して90kVの単
色X線×5とし、これら単色X線x4、Xsノ強度1(
入t、T)、I(入2.T)をX線検出器3C13dに
より測定した。
これと同時、参照測定系■では、X線源lから出射した
白色X WQ X lの他の一部を、結晶2e、2fに
よりそれぞれ回折し、低エネルギ単色X線x6の強度I
o(入t、? ) 、高エネルギ単色X&l1txI(
7)強度IO(入2.T)をX線検出器3e、3fによ
り測定した。
この際、各結晶2C12d、2e、2fとしてはSi単
結晶を用い、各X線検出器3C13d、3e、3fとし
てはシンチレーションカウンタを用いた。
かくして求めた測定データを、所定の61算処理機能を
有するコンピュータにて解析したところ、上記光フアイ
バ用多孔質母材の一断面における組成分布が高精度で判
明した。
具体例2 第1図の実施例において、−成分(純度98.9以ト)
からなるAl板の厚さを測定するとき、前記と同様、X
線源lから出射した白色X線x1をスリット板に通して
絞り、その一部を実測系■で用い、他の一一部を参照測
定系■で用いた。
この際のエネルギ成分は50kVとし、各結晶2d、2
bとしては5iIii結品を用い、各X線検出憲3a、
3bとしてはシンチレーションカウンタを用いた。
上記X線検出器3a、3bにより求めた測定データを、
所定の演算処理機能を石するコンピュータにて解析した
ところ、Al板の厚さが2m+++と正確に判すJした
V発Illの効果J 以1ユ説明11、た通り、本発明方法によるときは。
実測系、参照測定系により同一の単色X線強度を同時に
測定し、その測定結果に基づき、被測定物のit成分布
、厚さ等を演算して求めるから、X線源の変動にかかわ
らず、所定の被測定物に関する高精度の測定が行なえ、
特にその精度が従来例と比べ、−桁以上改善されるので
、工業的な有用性がきわめて高い。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本発明方法の各実施例を略示した説明
図である。 工・・争・・実測系 ■・・・φ・参照測定系 1・・辱・・X線源 2a〜2f・・・結晶 38〜3f・・9X線検出器 A・・・・し被測定物 XI・・・・・白色X線 x2〜Xン・・O単色X線 代理人 弁理士  斎 藤 義 雄 第1図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)X線源から出射した白色X線の一部を、被測定物
    への照射前または照射後において結晶により単色X線と
    し、その被測定物を透過した後の透過X線をX線検出器
    により測定する実測系と、上記X線源から出射した白色
    X線の他の一部を結晶により回折して単色X線とし、当
    該単色線をX線検出器により測定する参照測定系とを備
    え、これら実測系、参照測定系により同一の単色X線強
    度を同時に測定し、その測定結果に基づき、被測定物の
    組成分布、厚さ等を演算して求めるとことを特徴とする
    X線による被測定物の非破壊測定方法。
  2. (2)実測系のX線検出器で検出した単色X線強度と、
    参照測定系のX線検出器で検出した単色X線強度との比
    を用いて演算する特許請求の範囲第1項記載のX線によ
    る被測定物の非破壊測定方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1097373A2 (en) * 1998-10-29 2001-05-09 PANalytical B.V. X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5122385A (ja) * 1974-08-19 1976-02-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Musetsushokudenatsukahensochi
JPS54101396A (en) * 1978-01-06 1979-08-09 Kartridg Pak Co Device of measuring quantitative relationship of component in matter and its method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5122385A (ja) * 1974-08-19 1976-02-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Musetsushokudenatsukahensochi
JPS54101396A (en) * 1978-01-06 1979-08-09 Kartridg Pak Co Device of measuring quantitative relationship of component in matter and its method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1097373A2 (en) * 1998-10-29 2001-05-09 PANalytical B.V. X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel

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