JPS6298242A - X線による被測定物の非破壊測定方法 - Google Patents
X線による被測定物の非破壊測定方法Info
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- JPS6298242A JPS6298242A JP60238966A JP23896685A JPS6298242A JP S6298242 A JPS6298242 A JP S6298242A JP 60238966 A JP60238966 A JP 60238966A JP 23896685 A JP23896685 A JP 23896685A JP S6298242 A JPS6298242 A JP S6298242A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
r産業上の利用分野j
本発明はX線を利用した非破壊測定手段により被測定物
の組成、厚さなどを分析、測定する方法に関する。
の組成、厚さなどを分析、測定する方法に関する。
r従来の技術]
不透明な物体の組成濃度、組成分布、厚さ等を放射線照
射により非破壊的に測定するとき、そのyj源としてア
イソト−プ(Ga、 b、 Go)などのγ線、あるい
はX線を用い、放射線照射系から出射した放射線を被測
定物に照射し、その透過線の強度を検出系で測定解析し
ているが、アイソトープによる非破壊的測定法の場合、
アイソトープの人手が困難であること、その強度が弱い
かまたは強すぎること、さらに半減期が短いこと等の理
由により工業化がむずかしいとされており、そのため白
色X線を用いる方法が普及している。
射により非破壊的に測定するとき、そのyj源としてア
イソト−プ(Ga、 b、 Go)などのγ線、あるい
はX線を用い、放射線照射系から出射した放射線を被測
定物に照射し、その透過線の強度を検出系で測定解析し
ているが、アイソトープによる非破壊的測定法の場合、
アイソトープの人手が困難であること、その強度が弱い
かまたは強すぎること、さらに半減期が短いこと等の理
由により工業化がむずかしいとされており、そのため白
色X線を用いる方法が普及している。
この際のXB源としては、W(タングステン)をターゲ
ットとするものがよく用いられる。
ットとするものがよく用いられる。
一般に、二つの構成元素からなる軸対称の被測定物につ
いてこれの組成分析を行なうとき、前記X線源から取り
出した二つの単色X線を被測定物照射してその透過X線
を測定し、かかる測定データをもとにした多層分割法、
アーベル変換法等の計算法により、被測定物の一断面に
おける組成分布を求めている。
いてこれの組成分析を行なうとき、前記X線源から取り
出した二つの単色X線を被測定物照射してその透過X線
を測定し、かかる測定データをもとにした多層分割法、
アーベル変換法等の計算法により、被測定物の一断面に
おける組成分布を求めている。
なお、上記X!!は被測定物を透過することにより減衰
するのであり、すなわち、一定波長のX線が厚さt、質
量吸収係数p(cm−’)の物質を透過したとき、七の
x!!強度はIoからIに変る。
するのであり、すなわち、一定波長のX線が厚さt、質
量吸収係数p(cm−’)の物質を透過したとき、七の
x!!強度はIoからIに変る。
このときの透過X線ifは、次式のように表わすことが
できる。
できる。
1−Ioe −” ・・・・・(eq+)また、X線量
(強度)■は、波長λと時間Tの関数であるため、I(
入、T)と表わすことができる。
(強度)■は、波長λと時間Tの関数であるため、I(
入、T)と表わすことができる。
r発明が解決しようとする問題点j
ところで、上述した(eq+)におけるIoは、前記測
定時安定していることが重要であり、これが変動すると
Iも変動し、正しい測定ができない。
定時安定していることが重要であり、これが変動すると
Iも変動し、正しい測定ができない。
したがって、X線源としては上記変動原因のない高精度
のものが要求されるが、現状のX線源では、粘度のよい
ものを用いたとしても1z程度の変動が生じ、そのため
高精度組成分析の実現が阻まれている。
のものが要求されるが、現状のX線源では、粘度のよい
ものを用いたとしても1z程度の変動が生じ、そのため
高精度組成分析の実現が阻まれている。
本発明は上記の問題点に鑑み、X線源の変動にかかわら
ず、所定の被測定物に関する高精度の組成分析が行なえ
る方法を提供しようとするものである。
ず、所定の被測定物に関する高精度の組成分析が行なえ
る方法を提供しようとするものである。
f問題点を解決するための手段」
本発明に係る被測定物の非破壊測定方法は」二記の目的
を達成するため、X線源から出射した白色X線の一部を
、被測定物への照射前または照射後において結晶により
単色X線とし、その被測定物を透過した後の透過X線を
X線検出器により測定する実測系と、上記X線源から出
射した白色X線の池の一部を結晶により回折して単色X
線とし、当該単色線をX線検出器により測定する参照測
定系とを備え、これら実測系、参照測定系により同一の
単色X線強度を同時に測定し、その測定結果に基づき、
被測定物の組成分布、厚さ等を演算して求めるとことを
特徴とする。
を達成するため、X線源から出射した白色X線の一部を
、被測定物への照射前または照射後において結晶により
単色X線とし、その被測定物を透過した後の透過X線を
X線検出器により測定する実測系と、上記X線源から出
射した白色X線の池の一部を結晶により回折して単色X
線とし、当該単色線をX線検出器により測定する参照測
定系とを備え、これら実測系、参照測定系により同一の
単色X線強度を同時に測定し、その測定結果に基づき、
被測定物の組成分布、厚さ等を演算して求めるとことを
特徴とする。
「実 施 例」
以ド木発明の実施例につき、図面を参照して説明する。
第1図の実施例は一組成からなる不透明な被測定物Aの
厚さを実測系1.参照測定系Hにより測定する例であり
、その実測系■はX線[1、結晶2a、 X線検出器3
aからなり、その参照測定系■はxBB10結晶2b、
X線検出器3bからなる。
厚さを実測系1.参照測定系Hにより測定する例であり
、その実測系■はX線[1、結晶2a、 X線検出器3
aからなり、その参照測定系■はxBB10結晶2b、
X線検出器3bからなる。
第1(54において、実測系IではX線源lから出射し
た白色X線x1の一部を被測定物Aに照射し、その被測
定物へを透過した透過X線を結晶2aにより回折して単
色X線x2とした後、当該中色X線x2の強度をX線検
出器3aにより測定する。
た白色X線x1の一部を被測定物Aに照射し、その被測
定物へを透過した透過X線を結晶2aにより回折して単
色X線x2とした後、当該中色X線x2の強度をX線検
出器3aにより測定する。
これと同時、参照測定系■では、X線源1から出射した
白色XMAX、の他の一部を結晶2bにより回折して単
色X線x3とし、当該単色X線x3の強度をX線検出器
3bにより測定する。
白色XMAX、の他の一部を結晶2bにより回折して単
色X線x3とし、当該単色X線x3の強度をX線検出器
3bにより測定する。
上記実施例では、単色X線X2の透過X線量■にて被測
定物Aの厚さを求めるとき、単色XVj X JのX線
強度toをも測定し、これら1.Isの比に基づいて所
定の演算を行なう。
定物Aの厚さを求めるとき、単色XVj X JのX線
強度toをも測定し、これら1.Isの比に基づいて所
定の演算を行なう。
すなわち、前記(eq+)におけるI=Iqe −”か
ら導かれた下記(eqz)を演算して、被測定物Aの厚
さを求める。
ら導かれた下記(eqz)を演算して、被測定物Aの厚
さを求める。
lnr/Ic=−ルt””(e(12)この際、X線検
出器3a、 X線検出器3bによる各測定時間Tは数分
程度とし、X線検出器3dにより測定した?i色xVj
x2の測定値(透過X線r一つを、X線検出器3bによ
り測定した中色X線x3の測定値(X線量)で割り、そ
の値をデータとして(eqz)を演算する。
出器3a、 X線検出器3bによる各測定時間Tは数分
程度とし、X線検出器3dにより測定した?i色xVj
x2の測定値(透過X線r一つを、X線検出器3bによ
り測定した中色X線x3の測定値(X線量)で割り、そ
の値をデータとして(eqz)を演算する。
」;記のようにして被測定物Aの厚さを求める場合、I
Qが変動しても常にI/IQを測定することになるので
、所定の測定゛に項が精度高く求まり、しかも■(入、
T) 、 Io(入、T)における入、Tが同一であ
るため、かかる観点からも測定精度が高まる。
Qが変動しても常にI/IQを測定することになるので
、所定の測定゛に項が精度高く求まり、しかも■(入、
T) 、 Io(入、T)における入、Tが同一であ
るため、かかる観点からも測定精度が高まる。
第2図の実施例は二組成からなる不透明な被測定物Aの
M1成分布を実測系I、参照測定系Hにより測定する例
であり、その実測系工はX線源1、結晶2c、2d、
X線検出器3C13dからなり、その参照測定系IIは
X線源l、結晶2e、24. X線検出器3e、3fか
らなる。
M1成分布を実測系I、参照測定系Hにより測定する例
であり、その実測系工はX線源1、結晶2c、2d、
X線検出器3C13dからなり、その参照測定系IIは
X線源l、結晶2e、24. X線検出器3e、3fか
らなる。
第2図の実測系Iでは、X線源1から出射した白色X線
x1の一部を被測定物Aに照射し、その被測定物Aを透
過した透過X線のうち、低エネルギのもの(波長が長い
)は結晶2Cにより、かつ、高エネルギのもの(波長が
短い)は結晶2dにより回折してそれぞれ単色X ii
Xa、x5とし、その後、これら単色X @ X a
、x5の強度をX線検出器3C13dにより測定する。
x1の一部を被測定物Aに照射し、その被測定物Aを透
過した透過X線のうち、低エネルギのもの(波長が長い
)は結晶2Cにより、かつ、高エネルギのもの(波長が
短い)は結晶2dにより回折してそれぞれ単色X ii
Xa、x5とし、その後、これら単色X @ X a
、x5の強度をX線検出器3C13dにより測定する。
これと同時、第2図の参照測定系■では、X線源1から
出射した白色X線x1の他の一部を、結晶2e、 2F
によりそれぞれ回折して上記単色X線x4、x5に対応
する低エネルギの単色X線x6、高エネルギの単色X線
x7とし、これら単色X !i Xb、xlをX線検出
器3e、3fにより測定する。
出射した白色X線x1の他の一部を、結晶2e、 2F
によりそれぞれ回折して上記単色X線x4、x5に対応
する低エネルギの単色X線x6、高エネルギの単色X線
x7とし、これら単色X !i Xb、xlをX線検出
器3e、3fにより測定する。
すなわち上記実施例では、Io(入1.T)および1G
(入2.T)の二波長につき、そ透過X線にを測定する
のであり、この際、X線検出器3Cを介してI(入11
丁)を測定するとともにX線検出器3dを介してI(入
2.T)を測定する。
(入2.T)の二波長につき、そ透過X線にを測定する
のであり、この際、X線検出器3Cを介してI(入11
丁)を測定するとともにX線検出器3dを介してI(入
2.T)を測定する。
したがって第2図の実施例では、■(入+、?)/I。
(入+、T)、1(入2.T)/Io(入2.T)を用
い、前記二組成からなる被測定物Aの組成分布を測定す
ることになる。
い、前記二組成からなる被測定物Aの組成分布を測定す
ることになる。
なお、第2図の実施例において、−・般的にはIO(入
+、T)とIo(入?、T)どの変動が同一・傾向にあ
り、一定の関係が認められることがあるが、このような
場合、結晶2eのみで白色X線を回折し、X線検出器3
eによりIo(入1.T)を測定するだけでもよい。
+、T)とIo(入?、T)どの変動が同一・傾向にあ
り、一定の関係が認められることがあるが、このような
場合、結晶2eのみで白色X線を回折し、X線検出器3
eによりIo(入1.T)を測定するだけでもよい。
また、第1図、第2図の各実施例において、X線源1と
被測定物Aとの間に結晶2a、2C12dを配置しても
よい。
被測定物Aとの間に結晶2a、2C12dを配置しても
よい。
つぎに本発明の具体例について説明する。
具体例1
第2図の実施例において、5i02−GeO2系光フア
イバ用多孔質母材の組成分布を測定するとき、X線源l
から出射した白色X線x1をスリット板に通して絞り、
その一部を実測系工で用い、他の一部を参照測定系■で
用いた。
イバ用多孔質母材の組成分布を測定するとき、X線源l
から出射した白色X線x1をスリット板に通して絞り、
その一部を実測系工で用い、他の一部を参照測定系■で
用いた。
実測系Iにおいて被測定物Aを透過した透過X線のうち
、波長入lの長い低エネルギのものは結晶2cにより回
折して50kVの単色X線x4とし、波長入・の短い高
エネルギのものは結晶2dにより回折して90kVの単
色X線×5とし、これら単色X線x4、Xsノ強度1(
入t、T)、I(入2.T)をX線検出器3C13dに
より測定した。
、波長入lの長い低エネルギのものは結晶2cにより回
折して50kVの単色X線x4とし、波長入・の短い高
エネルギのものは結晶2dにより回折して90kVの単
色X線×5とし、これら単色X線x4、Xsノ強度1(
入t、T)、I(入2.T)をX線検出器3C13dに
より測定した。
これと同時、参照測定系■では、X線源lから出射した
白色X WQ X lの他の一部を、結晶2e、2fに
よりそれぞれ回折し、低エネルギ単色X線x6の強度I
o(入t、? ) 、高エネルギ単色X&l1txI(
7)強度IO(入2.T)をX線検出器3e、3fによ
り測定した。
白色X WQ X lの他の一部を、結晶2e、2fに
よりそれぞれ回折し、低エネルギ単色X線x6の強度I
o(入t、? ) 、高エネルギ単色X&l1txI(
7)強度IO(入2.T)をX線検出器3e、3fによ
り測定した。
この際、各結晶2C12d、2e、2fとしてはSi単
結晶を用い、各X線検出器3C13d、3e、3fとし
てはシンチレーションカウンタを用いた。
結晶を用い、各X線検出器3C13d、3e、3fとし
てはシンチレーションカウンタを用いた。
かくして求めた測定データを、所定の61算処理機能を
有するコンピュータにて解析したところ、上記光フアイ
バ用多孔質母材の一断面における組成分布が高精度で判
明した。
有するコンピュータにて解析したところ、上記光フアイ
バ用多孔質母材の一断面における組成分布が高精度で判
明した。
具体例2
第1図の実施例において、−成分(純度98.9以ト)
からなるAl板の厚さを測定するとき、前記と同様、X
線源lから出射した白色X線x1をスリット板に通して
絞り、その一部を実測系■で用い、他の一一部を参照測
定系■で用いた。
からなるAl板の厚さを測定するとき、前記と同様、X
線源lから出射した白色X線x1をスリット板に通して
絞り、その一部を実測系■で用い、他の一一部を参照測
定系■で用いた。
この際のエネルギ成分は50kVとし、各結晶2d、2
bとしては5iIii結品を用い、各X線検出憲3a、
3bとしてはシンチレーションカウンタを用いた。
bとしては5iIii結品を用い、各X線検出憲3a、
3bとしてはシンチレーションカウンタを用いた。
上記X線検出器3a、3bにより求めた測定データを、
所定の演算処理機能を石するコンピュータにて解析した
ところ、Al板の厚さが2m+++と正確に判すJした
。
所定の演算処理機能を石するコンピュータにて解析した
ところ、Al板の厚さが2m+++と正確に判すJした
。
V発Illの効果J
以1ユ説明11、た通り、本発明方法によるときは。
実測系、参照測定系により同一の単色X線強度を同時に
測定し、その測定結果に基づき、被測定物のit成分布
、厚さ等を演算して求めるから、X線源の変動にかかわ
らず、所定の被測定物に関する高精度の測定が行なえ、
特にその精度が従来例と比べ、−桁以上改善されるので
、工業的な有用性がきわめて高い。
測定し、その測定結果に基づき、被測定物のit成分布
、厚さ等を演算して求めるから、X線源の変動にかかわ
らず、所定の被測定物に関する高精度の測定が行なえ、
特にその精度が従来例と比べ、−桁以上改善されるので
、工業的な有用性がきわめて高い。
第1図、第2図は本発明方法の各実施例を略示した説明
図である。 工・・争・・実測系 ■・・・φ・参照測定系 1・・辱・・X線源 2a〜2f・・・結晶 38〜3f・・9X線検出器 A・・・・し被測定物 XI・・・・・白色X線 x2〜Xン・・O単色X線 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第1図
図である。 工・・争・・実測系 ■・・・φ・参照測定系 1・・辱・・X線源 2a〜2f・・・結晶 38〜3f・・9X線検出器 A・・・・し被測定物 XI・・・・・白色X線 x2〜Xン・・O単色X線 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第1図
Claims (2)
- (1)X線源から出射した白色X線の一部を、被測定物
への照射前または照射後において結晶により単色X線と
し、その被測定物を透過した後の透過X線をX線検出器
により測定する実測系と、上記X線源から出射した白色
X線の他の一部を結晶により回折して単色X線とし、当
該単色線をX線検出器により測定する参照測定系とを備
え、これら実測系、参照測定系により同一の単色X線強
度を同時に測定し、その測定結果に基づき、被測定物の
組成分布、厚さ等を演算して求めるとことを特徴とする
X線による被測定物の非破壊測定方法。 - (2)実測系のX線検出器で検出した単色X線強度と、
参照測定系のX線検出器で検出した単色X線強度との比
を用いて演算する特許請求の範囲第1項記載のX線によ
る被測定物の非破壊測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60238966A JP2599360B2 (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | X線による被測定物の非破壊測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60238966A JP2599360B2 (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | X線による被測定物の非破壊測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6298242A true JPS6298242A (ja) | 1987-05-07 |
JP2599360B2 JP2599360B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=17037940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60238966A Expired - Fee Related JP2599360B2 (ja) | 1985-10-25 | 1985-10-25 | X線による被測定物の非破壊測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2599360B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1097373A2 (en) * | 1998-10-29 | 2001-05-09 | PANalytical B.V. | X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5122385A (ja) * | 1974-08-19 | 1976-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Musetsushokudenatsukahensochi |
JPS54101396A (en) * | 1978-01-06 | 1979-08-09 | Kartridg Pak Co | Device of measuring quantitative relationship of component in matter and its method |
-
1985
- 1985-10-25 JP JP60238966A patent/JP2599360B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5122385A (ja) * | 1974-08-19 | 1976-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Musetsushokudenatsukahensochi |
JPS54101396A (en) * | 1978-01-06 | 1979-08-09 | Kartridg Pak Co | Device of measuring quantitative relationship of component in matter and its method |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1097373A2 (en) * | 1998-10-29 | 2001-05-09 | PANalytical B.V. | X-ray diffraction apparatus with an x-ray optical reference channel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2599360B2 (ja) | 1997-04-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |