JPS6296558U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6296558U JPS6296558U JP17271086U JP17271086U JPS6296558U JP S6296558 U JPS6296558 U JP S6296558U JP 17271086 U JP17271086 U JP 17271086U JP 17271086 U JP17271086 U JP 17271086U JP S6296558 U JPS6296558 U JP S6296558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion layer
- moisture
- atmosphere
- humidity
- semiconductor substrate
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
第1図は考案明による感湿素子の断面図、第2
図は実施例の特性を測定するための回路、第3図
は実施例の特性を示す図である。 図中の1はソース拡散層、2はドイレン拡散層
、3は半導体基板、4は絶縁膜、5は感湿部材、
6はゲート電極、7は感湿素子である。
図は実施例の特性を測定するための回路、第3図
は実施例の特性を示す図である。 図中の1はソース拡散層、2はドイレン拡散層
、3は半導体基板、4は絶縁膜、5は感湿部材、
6はゲート電極、7は感湿素子である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ソース拡散層1とドレイン拡散層2とを備え
た半導体基板3と;該半導体基板上に設けられた
絶縁膜4と;雰囲気の湿度に応じてそのインピー
ダンスが変化する特性を有し、該絶縁膜上に設け
られた感湿部材5と;該感湿部材が周囲の雰囲気
に接触するごとき雰囲気透過性をもち、かつ該感
湿部材を覆つて付着されており、該ソース拡散層
と該ドイレン拡散層の間の該半導体基板中に前記
感湿部材のインピーダンスに対応した電流の通る
チヤンネルを形成するための雰囲気透過性ゲート
電極6とを備えた感湿素子。 前記感湿部材として、陽極酸化Al2O3を
用いた事を特徴とする実用新案登録請求の範囲第
1項記載の感湿素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986172710U JPH0313721Y2 (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986172710U JPH0313721Y2 (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6296558U true JPS6296558U (ja) | 1987-06-19 |
JPH0313721Y2 JPH0313721Y2 (ja) | 1991-03-28 |
Family
ID=31109498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986172710U Expired JPH0313721Y2 (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0313721Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0210146A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Nok Corp | 感湿素子およびその動作回路 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53132981A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-20 | Massachusetts Inst Technology | Charge flow transistor and machine using same |
-
1986
- 1986-11-12 JP JP1986172710U patent/JPH0313721Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53132981A (en) * | 1977-04-25 | 1978-11-20 | Massachusetts Inst Technology | Charge flow transistor and machine using same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0210146A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Nok Corp | 感湿素子およびその動作回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0313721Y2 (ja) | 1991-03-28 |
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