JPH01148853U - - Google Patents
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- JPH01148853U JPH01148853U JP4489488U JP4489488U JPH01148853U JP H01148853 U JPH01148853 U JP H01148853U JP 4489488 U JP4489488 U JP 4489488U JP 4489488 U JP4489488 U JP 4489488U JP H01148853 U JPH01148853 U JP H01148853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- humidity sensing
- thick
- sensitive
- sensing element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図は本考案に係る厚膜湿度検知素子の外観
射視図、第２図は第１図の−断面図、第３図
は第２図の−断面図、第４図及び第５図は本
考案に係る厚膜湿度検知素子の他の実施例を示す
構成図、第６図は従来の厚膜湿度検知素子の構成
例である。 １０……セラミツク板、１２……櫛型電極、１
４……感湿膜、１６……隔壁。
射視図、第２図は第１図の−断面図、第３図
は第２図の−断面図、第４図及び第５図は本
考案に係る厚膜湿度検知素子の他の実施例を示す
構成図、第６図は従来の厚膜湿度検知素子の構成
例である。 １０……セラミツク板、１２……櫛型電極、１
４……感湿膜、１６……隔壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板表面に設けられた一対の櫛形電極と該電極
を覆うよう設けられた感湿膜とを備えた厚膜湿度
検知素子であつて、 上記感湿膜部分を囲むことができる多孔質性物
質から成る枠状の隔壁を、対向配置された一対の
上記厚膜湿度検知素子で挾持する構成とすること
により、該感湿膜部分が直接外気にさらされない
構成としたことを特徴とする厚膜湿度検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4489488U JPH01148853U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4489488U JPH01148853U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148853U true JPH01148853U (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=31271229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4489488U Pending JPH01148853U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01148853U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021099364A (ja) * | 2017-04-05 | 2021-07-01 | パナソニック株式会社 | ガスセンサ |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP4489488U patent/JPH01148853U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021099364A (ja) * | 2017-04-05 | 2021-07-01 | パナソニック株式会社 | ガスセンサ |
| US11262324B2 (en) | 2017-04-05 | 2022-03-01 | Panasonic Corporation | Gas sensor |
| JP2022091977A (ja) * | 2017-04-05 | 2022-06-21 | パナソニックホールディングス株式会社 | ガスセンサ |
| US11740197B2 (en) | 2017-04-05 | 2023-08-29 | Panasonic Holdings Corporation | Gas sensor |
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