JPS6292635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6292635U JPS6292635U JP18452085U JP18452085U JPS6292635U JP S6292635 U JPS6292635 U JP S6292635U JP 18452085 U JP18452085 U JP 18452085U JP 18452085 U JP18452085 U JP 18452085U JP S6292635 U JPS6292635 U JP S6292635U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- ring
- water passage
- rubber gasket
- shaped
- Prior art date
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- Granted
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims 3
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は本考案を実施した減圧ＣＶＤ装置の構成
例を示す断面図である。 １……反応管、２〜５……ゴムパツキンハウジ
ング、６……ヒータ、７……ゴムパツキン、８，
９……放射熱遮断部、１０……ガス導入口、１１
，１２……ねじ、１３〜１６……水冷用空洞、１
７……減圧ポンプへの接続口。
例を示す断面図である。 １……反応管、２〜５……ゴムパツキンハウジ
ング、６……ヒータ、７……ゴムパツキン、８，
９……放射熱遮断部、１０……ガス導入口、１１
，１２……ねじ、１３〜１６……水冷用空洞、１
７……減圧ポンプへの接続口。
Claims (1)
- 外部より加熱されかつ内部を減圧して使用され
る反応管の両端の気密シール部にそれぞれ使用さ
れるリング状ゴムパツキンの冷却装置であつて、
前記リング状ゴムパツキンに接している反応管の
内側に、反応管内壁に接近して設けた内部に水冷
用通水空洞を有する金属製放射熱遮断リングと、
上記リング状ゴムパツキンを反応管外壁に押しつ
けかつ内部に水冷用通水空洞を有するリング状第
１のゴムパツキンハウジングと、前記放射熱遮断
リングと一体化されかつその空洞と連結する水冷
用通水空洞を有し前記第１のゴムパツキンハウジ
ングの外側にあつて中心に減圧ポンプへの連絡口
あるいはプロセスガス流入口をそれぞれ設けてあ
る反応管に接しない最外側の第２のゴムパツキン
ハウジングとより成ることを特徴とする反応管終
端の気密シール部冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18452085U JPH069488Y2 (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 反応管終端の気密シ−ル部冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18452085U JPH069488Y2 (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 反応管終端の気密シ−ル部冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6292635U true JPS6292635U (ja) | 1987-06-13 |
| JPH069488Y2 JPH069488Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31132274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18452085U Expired - Lifetime JPH069488Y2 (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 反応管終端の気密シ−ル部冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069488Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62281418A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-07 | Teru Saamuko Kk | 加熱装置 |
-
1985
- 1985-12-02 JP JP18452085U patent/JPH069488Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62281418A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-07 | Teru Saamuko Kk | 加熱装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069488Y2 (ja) | 1994-03-09 |
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