JPS6289471A - 回転・直線運動導入機構 - Google Patents
回転・直線運動導入機構Info
- Publication number
- JPS6289471A JPS6289471A JP22675485A JP22675485A JPS6289471A JP S6289471 A JPS6289471 A JP S6289471A JP 22675485 A JP22675485 A JP 22675485A JP 22675485 A JP22675485 A JP 22675485A JP S6289471 A JPS6289471 A JP S6289471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- cylindrical
- magnet
- rotational
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は密封容器内にシール状態で、外部から回転と直
線運動を導入する機構に関するものである。
線運動を導入する機構に関するものである。
従来、密封容器内にシール状態で外部から回転と直線運
動を導入する機構としては、例えば特開昭５９−９３６
８号公報に記載されているように、磁性流体シールを用
いたものが提案されている。
動を導入する機構としては、例えば特開昭５９−９３６
８号公報に記載されているように、磁性流体シールを用
いたものが提案されている。
このような機構によれば、磁性流体の損耗および破断を
解消し、棟たベローズを用いたものの複雑な構造である
問題点を解消することが可能であり、密封容器内がクリ
ーンである場合に有効である。
解消し、棟たベローズを用いたものの複雑な構造である
問題点を解消することが可能であり、密封容器内がクリ
ーンである場合に有効である。
ところが、上記機構を薄膜形成装置々どに用いた場合に
は、余剰膜物質が軸に付着するため、軸の面相さを悪化
させて磁性流体を損耗、破断させるから、リークを発生
する恐れがあった。
は、余剰膜物質が軸に付着するため、軸の面相さを悪化
させて磁性流体を損耗、破断させるから、リークを発生
する恐れがあった。
本発明は上記の点にかんがみ、密封容器内の駆動軸の表
面状態がシール性能に影響するのを１潰止し、また余ｌ
ｆｔ膜物質の駆動軸への付着によるリークの発生を防止
することができる回転・直線運動導入機構を提供するこ
とを目的とするものである。
面状態がシール性能に影響するのを１潰止し、また余ｌ
ｆｔ膜物質の駆動軸への付着によるリークの発生を防止
することができる回転・直線運動導入機構を提供するこ
とを目的とするものである。
本発明は一ト記目的を達成するために、密封容器の貫通
孔部に取付けた円筒状の非磁性封止体の外周部に、内周
面に多数の凸部を有する円筒状マグネットを回転・直線
運動可能に設けると共に、該マグネットの凸部に対向す
る凸部を外周面に有し、かつ密封容器内に挿入された駆
動軸に取付けた円筒状磁性体を、前記非磁性封止体内に
回転・直線運動可能に設けたことを特徴とする。
孔部に取付けた円筒状の非磁性封止体の外周部に、内周
面に多数の凸部を有する円筒状マグネットを回転・直線
運動可能に設けると共に、該マグネットの凸部に対向す
る凸部を外周面に有し、かつ密封容器内に挿入された駆
動軸に取付けた円筒状磁性体を、前記非磁性封止体内に
回転・直線運動可能に設けたことを特徴とする。
以下５本発明の一実施例を図面について説明する。
第１図は本実施例の断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断
面図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面図である。
面図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面図である。
第１図〜第３図において、１は貫通孔２を設けた密封容
器で、該貫通孔２部にはシール材６を介してフランジ４
が取付けられている。５は該フランジ４に取付けられた
非磁性材料からなる円筒状封止体で、核封止体５の外周
部には、内周面に磁束収束用の凸部６を多数設けたマグ
ネット７が、外部ベアリング８を介して回転・直線運動
可能に設けられている。９はマグネット７の外側に外部
ベアリング８を介して回転・直線運動可能に設けられた
ハウジングで％骸ハウジング９には入力軸１０が結合さ
れている。１２は前記マグネット７の凸部乙に対向する
凸部１１を外周面に多数設けた円筒状磁性体で、該磁性
体１２は前記フランジ４に内部ベアリング１４を介して
支持された出力軸１３に取付けられ、かつ前記封止体４
内に回転・直線運動可能に設けられている。
器で、該貫通孔２部にはシール材６を介してフランジ４
が取付けられている。５は該フランジ４に取付けられた
非磁性材料からなる円筒状封止体で、核封止体５の外周
部には、内周面に磁束収束用の凸部６を多数設けたマグ
ネット７が、外部ベアリング８を介して回転・直線運動
可能に設けられている。９はマグネット７の外側に外部
ベアリング８を介して回転・直線運動可能に設けられた
ハウジングで％骸ハウジング９には入力軸１０が結合さ
れている。１２は前記マグネット７の凸部乙に対向する
凸部１１を外周面に多数設けた円筒状磁性体で、該磁性
体１２は前記フランジ４に内部ベアリング１４を介して
支持された出力軸１３に取付けられ、かつ前記封止体４
内に回転・直線運動可能に設けられている。
本実施例は上記のような構成からなり、マグネット７の
磁力はその凸部６により収束され、非磁性封止体５を経
て円筒状磁性体１２の凸部１１に伝達されるので、入力
軸１００回転・直線運動は出力軸１３に伝達される。
磁力はその凸部６により収束され、非磁性封止体５を経
て円筒状磁性体１２の凸部１１に伝達されるので、入力
軸１００回転・直線運動は出力軸１３に伝達される。
すなわち、密封容器１の外部から内部へシール状態で運
動が導入されるため、出力軸１６と内部ベアリング１４
との間のクリアランスを適切に設定することにより、出
力軸１６に余剰膜物質が付着しても、該出力軸１３は安
定した動作を行うことができる。
動が導入されるため、出力軸１６と内部ベアリング１４
との間のクリアランスを適切に設定することにより、出
力軸１６に余剰膜物質が付着しても、該出力軸１３は安
定した動作を行うことができる。
以上説明したように、本発明によれば円筒状非磁性封止
体の外側で回転・直線運動するマグネットの磁力により
、内側の円筒状Ｖ１ｉ１体性駆動させ、該磁性体を取付
けた出力軸を回転・直線運動させるようにしたので、該
出力軸の表面状態がシール性能に影響するのを阻止する
ことができるばかりでなく、薄膜形成装置に用いた場合
でも、余剰膜物質が出力軸に付着するととによシ、リー
クが発生するのを防止することができる。
体の外側で回転・直線運動するマグネットの磁力により
、内側の円筒状Ｖ１ｉ１体性駆動させ、該磁性体を取付
けた出力軸を回転・直線運動させるようにしたので、該
出力軸の表面状態がシール性能に影響するのを阻止する
ことができるばかりでなく、薄膜形成装置に用いた場合
でも、余剰膜物質が出力軸に付着するととによシ、リー
クが発生するのを防止することができる。
第１図は本発明の回転・直線導入機構の一実施例を示す
断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２
図のＢ−Ｂ断面図である。 １・・・・・・密封容器 ２・・・・・・貫通孔 ５・・・・・・円筒状非磁性封止体 ６．１１・・・・・・凸部 ７・・・・・・円筒状マグネット １２・・・・・・円筒状磁性体 ７１図
断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第２
図のＢ−Ｂ断面図である。 １・・・・・・密封容器 ２・・・・・・貫通孔 ５・・・・・・円筒状非磁性封止体 ６．１１・・・・・・凸部 ７・・・・・・円筒状マグネット １２・・・・・・円筒状磁性体 ７１図
Claims (1)
- 密封容器の貫通孔部に取付けた円筒状の非磁性封止体の
外周部に、内周面に多数の凸部を有する円筒状マグネッ
トを回転・直線運動可能に設けると共に、該マグネット
の凸部に対向する凸部を外周面に有し、かつ密封容器内
に挿入された駆動軸に取付けた円筒状磁性体を、前記非
磁性封止体内に回転・直線運動可能に設けたことを特徴
とする回転・直線運動導入機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22675485A JPS6289471A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 回転・直線運動導入機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22675485A JPS6289471A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 回転・直線運動導入機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6289471A true JPS6289471A (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=16850086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22675485A Pending JPS6289471A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 回転・直線運動導入機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6289471A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006144994A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Japan Science & Technology Agency | 小型磁気カップリング |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP22675485A patent/JPS6289471A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006144994A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Japan Science & Technology Agency | 小型磁気カップリング |
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