JPS6289329A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業−にの利用分野〕 本発明は半導体装置に関するものであり、特に、露光装
置の照度を測定する紫外線照度泪に関するものである。

〔従来の技術〕

紫外線照度言１は第２図に示すように、照度計本体１と
、該照度計本体１に電気的に接続させる照度センサー８
とを有しておシ、照度計本体ｌの前面パネルには照度表
示ノＲネル２、照度指示針３、零補正つまみ４．０Ｎ１
０ＦＦスイツチ５、感度切換つまみ６が設けられている
。

従来、照度計本体１と照度センサー８との接続には紐状
の直線ワイヤー９が用いられていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

」二連した従来の照度計において、照度計及び照度セン
サーを運搬中に、ワイヤーを突出物などに引掛けた場合
に、その力が直接ワイヤの接続部に加わる。このため、
接続部でワイヤが断線しやすいという欠点がある。

本発明は上記欠点を解消して、接続部に直接強い力が加
わらない構造を有する照度計を提供するものである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明は照度計本体と、該照度計本体にワイヤーで電気
的に接続させる照度センサーとを有Ｌ、露光装置の照度
を測定する装置において、前記ワイヤーをらせん状にカ
ールして該ワイヤーにカールによる変形吸収部を形成し
、該ワイヤーの両端を照度計本体と照度センサーとにそ
れぞれ電気的に接続したことを特徴とする半導体製造装
置である。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図によって説明する。

第１図において、本実施例に係る装置は電気的接続用ワ
イヤー７をらせん状にカールして、これを変形吸収部７
ａとし、該ワイヤー７の両端を照度計本体１と照度セン
サー８とにそれぞれ電気的に接続したものである。

その他の構成は従来のものと同様である。

実施例において、照度計運搬時や測定時に何らかの力が
らせん状ワイヤー７に１＠、激に加わった場合、ワイヤ
ー７の変形吸収部７ａが弾性変形することにより、衝撃
力は−Ｒ吸収される。このため、照度計本体１とらせん
状ワイヤー７の接続部、及び照度センサー８とらせん状
ワイヤー７のそれぞれ接続部には急激な力が加わら々い
。これにより、これらの接続部を断線から守ることがで
きる。

〔発明の効果〕

以上説明した様に本発明は、照度計本体と照度センサー
をらせん状のワイヤーで接続する構造を用いることによ
り、照度計本体及び照度センサーとワイヤーの接続部分
に急激なカが加わることを防止して断線から守ることが
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の紫外線照度計の一実施例を示す正面図
、第２図は、従来の紫外線照度計の構造を説明するだめ
の正面図である。 １・・・照度計本体、２・・・照度表示・ぐネル、３・
・・照度指示針、４・・・零補正つまみ、５・・・ＯＮ
、ＯＦＦスイッチ、６・・・感度切換つまみ、７・・・
らせん状ワイヤー、８・・・照度センサー。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）照度計本体と、該照度計本体にワイヤーで電気的
   に接続させる照度センサーとを有し、露光装置の照度を
   測定する装置において、前記ワイヤーをらせん状にカー
   ルして該ワイヤーにカールによる変形吸収部を形成し、
   該ワイヤーの両端を照度計本体と照度センサーとにそれ
   ぞれ電気的に接続したことを特徴とする半導体製造装置
   。