JPS628754B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は放射線断層撮影装置に用いる放射線検
出器の電極板支持基板の製造方法に関するもので
ある。

放射線断層撮影装置の一つとしてコンピユー
タ・トモグラフイ（Computerized
Tomography；以下、CT装置と略称する）と呼
ばれる装置がある。この装置は第１図に示す如
く、例えば扁平な扇状に広がるフアンビームＸ線
FXをパルス的に曝射するＸ線源１と、このＸ線
FXを検出する複数の放射線検出セルを並設して
成る放射線検出器２とを被写体３を介して対峙さ
せ、且つこれらＸ線源１及び放射線検出器２を前
記被写体３を中心に互いに同期的に回転移動さ
せ、被写体３断面の種々の方向に対するＸ線吸収
データを収集する。

そして、十分なデータを収集した後、このデー
タを電子計算器で解析し、被写体断面個々の位置
に対するＸ線吸収率を算出して、その吸収率に応
じた階調度で前記被写体断面を再構成するように
したもので、組成に応じて2000段階にも及ぶ階調
度で分析できるので、軟質組織から硬質組織に至
るまで鮮明な断層像が得られる。

ところで前記放射線検出器２は被写体３の断面
を透過したＸ線のエネルギを電離電流として検出
し、これをＸ線吸収データとして出力する。

即ち、このＸ線吸収データの収集にあたつては
電離槽を形成する各放射線検出セルとＸ線源１と
を結ぶ線上（これをＸ線パスと言う）を透過して
きたＸ線のエネルギを電離電流として検出し、こ
れを所定の時定数の放電回路にて放電してその放
電時間をＸ線吸収データとするものである。

従つて、分解能は放射線検出器を構成している
放射線検出セルの配列方向単位長さ当りの数とそ
の機械精度（電極板及び電極板配設溝精度）に影
響される。一般に放射線検出セルは数百のＸ線吸
収テータを同時に得る構成となつており、第２図
の如き構成としてある。即ち、２１は放射線検出
器２の筐体で、第１図に示したように円弧状にわ
ん曲した形状を成しており、内部にはキセノンガ
ス等を密封してある。２２，２３はこの筐体２１
内に且つＸ線FXの各Ｘ線パスに平行になるよう
に所定の間隔をもつて互いに対峙して設けられた
高圧電極及び信号吸収電極であり、これらは複数
組設けられている。

前述したようにCT装置は互いに対向するＸ線
源と放射線検出器の位置関係とその間に介在する
Ｘ線吸収物体のＸ線吸収値から断層面の組成を予
測する方法であるために放射線検出器の位置精度
は高度でなければならない。

また、限られたフアンビーム内でのデータ数を
増して空間位置分解能を高めるために放射線検出
器は数百の放射線検出セルから構成されるが、そ
の放射線検出セルを構成する各電極２２，２３間
距離は数百ミクロンと短かいため、その電極配設
溝の機械的精度を高く保つには高度な技術を要す
る。

現状においては第３図に示す如く、板状のセラ
ミツク等の絶縁物２４に所定間隔で溝２４ａを工
作機械等を用いて加工して設けた電極板支持基板
を用い、この電極板支持基板を２４ａ側を対向さ
せて対を成すよう配設し、この対を成す溝間に高
圧電極２２及び信号収集電極２３を交互に挿入配
列させるようにしている。そして、各電極２２，
２３の溝２４ａ挿入部分はエポキシ樹脂等の接着
剤２５により装着固定する。上述したように放射
線検出器の筐体２１はＸ線源側を中心とする円弧
状であり、電極板支持基板は被写体の断層面と平
行な面に沿つて配され電極２２，２３を保持す
る。

従つて、電極板支持基板は円弧状の筐体２１に
収納できるよう電極数極分毎にブロツクとしてあ
る。

１ブロツク分の電極板支持基板には溝巾200μ
の溝がピツチ60μの間隔で100本形成してあり、
極めて高密度、高精度の加工品である。

各々の溝巾、ピツチ精度は１〜２μが必要であ
り、誤差が大きい場合は検出器として使用できな
い。このような１ブロツク分の電極支持基板は検
出器一台につき26枚使用するため、その加工精度
の問題から検出器の製作は極めて難しいものであ
つた。

本発明は上記機械加工の難かしさを解消すべく
成されたもので、高圧用及び信号検出用電極を所
定間隔に配設するための電極板支持基板の製造方
法として加工性が良く熱膨脹の少ない材料を用い
て高精度に加工した一枚の前記プレート溝基板を
作り、この母基板を型として弾性モールド材に転
写し、型枠を作製し、この型枠に樹脂注型（モー
ルド）して形成するようにすることにより、溝の
精度が極めて高く、しかも量産が可能な放射線検
出器の電極支持基板の製造方法を提供することを
目的とする。

以下本発明の一実施例について図面を参照しな
がら説明する。本発明は１ブロツク分の電極板支
持基板とし同形状の板体で、熱膨脹の少い、加工
性の優れた、例えばアンバ（Ni―Fe合金）等の
材料に数値制御加工機械を用いて高精度の溝切加
工を入念に行ない、これを転写用の母基板（マス
タ）とし、この転写用基板に弾性モールド材、例
えばシリコーンゴム、ポリウレタン、ラテツク
ス，ポリサルフアイド，塩化ビニールなどを用い
て型取りを行ない、弾性モールド材による転写型
を作り、この転写型に樹脂例えばエポキシ系樹脂
に機械的強度を増すためにガラスピラーを混入さ
せ、かつ、ガラスクロスをサンドイツチ状に挿入
し、次に加熱硬化し成型して、電極板支持基板を
製作する。電極板支持基板の転写型は弾力性があ
るため離型が簡単に行なえ、しかも数μのオーダ
で転写が出来るので機械加工による溝加工精度よ
り遥かに郵優れた精度の電極板支持基板を多量に
製造することができるので、この基板を使つて精
度を向上させた多層形放射線検出器を提供するこ
とができる。

以下、本発明の一実施例について、第４図〜第
８図を参照しながら説明する。

第４図は上述したアンバ等の材料を用い、これ
を数値制御工作機械等で入念に精密加工して仕上
げた転写用に使用する前述の電極板支持基板と同
形状の母基板４１の断面図である。４１ａは基板
部、４１ｂは電極挿入用溝、４１ｃは電極間ピツ
チである。このようにして作られた母基板４１を
第５図に示すような外枠４２内にこの母基板４１
の電極挿入用溝４１ｂ側を上向きにして配置し、
上部より弾性モールド材を流し込み、この状態で
温度を制御して硬化させて弾性モールド枠型４３
を作る。この硬化させた弾性モールド枠型４３を
外枠４２より取り出し、また、母基板４１を外
す。そして、弾性モールド枠型４３を第６図の如
きその転写型部分４３ａを上向きにして置き、転
写部分４３ａに樹脂用モールド材にガラスピラー
４４ａを混入させたものを注入しながらガラス繊
維シート４４ｂをサンドイツチ状にはさみ込み規
定の厚さに樹脂を注入し、温度制御しながら硬化
させ、第７図の如きモールド材製の電極板支持基
板４４を製造する。このようにして製造すれば十
分な精度で電極板支持基板を量産することができ
る。

次に、電極板もモールド法により固定する場合
について説明する。この場合、上述のようにして
作られた電極板支持基板４４を捨て治具として用
い、この電極板支持基板４４の溝にそれぞれ電極
板４５を挿入後モールド用の外枠４６に電極板支
持基板４４側を納めて第８図の如き状態で樹脂４
７を電極４５間の電極板支持基板４４上に注入
し、硬化させた後外枠４６から取り出し、同様な
工程を電極４５の他端面部にも施すと一ブロツク
が出来上がる。この方法で溝加工を行なうと、チ
ヤンネル数の増大（溝数を増す）を図ることも簡
単に行なえ、高精度の電極板挿入固定用の等間隔
複数個の溝を有する電極板支持基板を安価かつ大
量に得ることができ、高精度で安価な多層式の放
射線検出器を得ることができる。

尚、本発明は上記し且つ図面に示す実施例に限
定することなくその要旨を変更しない範囲内で適
宜変形して実施し得るものである。このように、
電極板支持基板と同形状の基板で、熱膨脹の少
い、加工性の優れた、例えばアンバ（Ni―Fe合
金）等の材料に数値制御工作機械を用いて高精度
の溝切加工を入念に行ない、これを転写用の母基
板（マスタ）とし、この転写用基板に弾性モール
ド材、例えばシリコーンゴム、ポリウレタン、ラ
テツクスス、ポリサルフアイド、塩化ビニールな
どを用いて型取りを行ない、転写型を作り、この
転写型に樹脂、例えばエポキシ系樹脂に機械強度
を増すためにガラスピラーを混入させ、かつ、ガ
ラスクロスをサンドイツチ状に挿入し、次に加熱
硬化し成型し、電極板支持基板を製作するように
したので、転写型は弾力性があるため離型が簡単
に行なえしかも型による注型で行なうことから数
μのオーダで転写が出来るので機械加工による溝
加工精度より遥かに優れた精度で溝の成形がで
き、量産性も高いから本方法により作られた電極
板支持基板を使うことにより精度を向上させた多
層形の放射線検出器を安価に提供することができ
る等、優れた特徴を有する放射線検出器の電極板
支持基板の製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はCT装置の概略的な説明をするための
図、第２図はその放射線検出器の概略的な構成を
示す正面図、第３図はその具体的な構成を示す平
面図、第４図は本発明の一実施例を示す電極板支
持基板の母基板の断面図、第５図は母基板より弾
性モールド材による転写の型である弾性モールド
枠型を作る工程を説明するための断面図、第６図
は弾性モールド枠型への樹脂注入を説明するため
の断面図、第７図は弾性モールド枠型から形成し
た電極支持基板の構造を示す断面図、第８図は捨
て治具に使用した電極板支持基板より電極板をモ
ールド法により一体モールド固定した場合の断面
図である。 ４１……母基板、４１ａ……基板部、４１ｂ…
…電極挿入用溝、４２……外枠、４３……弾性モ
ールド枠型、４３ａ……転写型、４４ａ……ガラ
スピラー、４４ｂ……ガラス繊維シート、４４…
…電極板支持基板。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電極配列用に複数の溝を所定間隔で形成した電
   極板支持基板を用いて複数枚の高圧用及び信号検
   出用電極を交互に配設し、前記信号検出用の電極
   よりそれぞれ入射放射線の検出信号を得ることに
   より空間位置分解能を持たせた放射線検出器に用
   いられる前記電極板支持基板の製造方法におい
   て、はじめに加工性が良く熱膨脹の少ない材料を
   用いて高精度に加工して母基板を作り、次にこの
   母基板を型として弾性モールド材に転写して型枠
   を作製した後、この型枠に樹脂注型して形成する
   ことを特徴とする放射線検出器の電極板支持基板
   の製造方法。 ２ 特許請求の範囲第１項記載において、電極板
   支持基板の樹脂注型時にはガラスピラー及びガラ
   スクロスを混入させて成型することを特徴とする
   放射線検出器の電極板支持基板の製造方法。 ３ 特許請求の範囲第１項記載において、母基板
   は材料としてNi―Fe合金を用いることを特徴と
   する放射線検出器の電極板支持基板の製造方法。