JPS6281546A - 小形ダストモニタ - Google Patents
小形ダストモニタInfo
- Publication number
- JPS6281546A JPS6281546A JP60222006A JP22200685A JPS6281546A JP S6281546 A JPS6281546 A JP S6281546A JP 60222006 A JP60222006 A JP 60222006A JP 22200685 A JP22200685 A JP 22200685A JP S6281546 A JPS6281546 A JP S6281546A
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- JP
- Japan
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- dust
- dust monitor
- flow
- suction pump
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 4
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体製造工程で発塵個所を簡易に発
見、検出する目的などに好適な、小形、軽量で容易に移
動可能な小形ダストモニタに関する。
見、検出する目的などに好適な、小形、軽量で容易に移
動可能な小形ダストモニタに関する。
従来から、被検気体流に強い光を照射して、その中に浮
遊するダストによって生ずる散乱反射光を検出して浮遊
ダスト量を測定する原理のダストモニタは存在し、幾多
の改良が重ねられて、測定性能については、はぼ所望の
高性能に達したものが得られるようになっている。
遊するダストによって生ずる散乱反射光を検出して浮遊
ダスト量を測定する原理のダストモニタは存在し、幾多
の改良が重ねられて、測定性能については、はぼ所望の
高性能に達したものが得られるようになっている。
しかし、被検気体中に浮遊する僅かな、かつ極めて微少
なダストを検出するために、光源として強力なヘリウム
ネオンレーザを使用したり、散乱光の検出に感度の高い
光電子増倍管を使用したりするために、従来のダストモ
ニタは、高性能ではあるが大形で重（、移動が不可能で
はないが、容易ではなく、別置可搬形とよべるようなも
のではなかった。
なダストを検出するために、光源として強力なヘリウム
ネオンレーザを使用したり、散乱光の検出に感度の高い
光電子増倍管を使用したりするために、従来のダストモ
ニタは、高性能ではあるが大形で重（、移動が不可能で
はないが、容易ではなく、別置可搬形とよべるようなも
のではなかった。
第２図に、従来のダストモニタの一例の概略図を示す。
図中、１は被検気体、２は被検気体の流れの周囲をエア
カーテンのように取り囲む清浄空気流、３は内蔵吸引ポ
ンプ、４はフィルタ、５は流量調整用パルプ、６は流量
計、７は排出気体、８は光源たとえばハロゲンランプや
ヘリウムネオンレーザ、９はコンデンサレンズ、１０は
集束レンズ、１１は散乱反射光検出器たとえば光電子増
倍管、１２は出力信号である。
カーテンのように取り囲む清浄空気流、３は内蔵吸引ポ
ンプ、４はフィルタ、５は流量調整用パルプ、６は流量
計、７は排出気体、８は光源たとえばハロゲンランプや
ヘリウムネオンレーザ、９はコンデンサレンズ、１０は
集束レンズ、１１は散乱反射光検出器たとえば光電子増
倍管、１２は出力信号である。
上記のような大形、高性能のものは、勿論それなりに有
効に利用されているが、一方では、例えばクリーンルー
ムやクリーンベンチ内で処理した製品に、俄にダスト付
着による不良が増加して、発塵個所を早急に発見しなけ
ればならない・ような場合に対しては、移動が簡単には
行えないため利用が困難であった。
効に利用されているが、一方では、例えばクリーンルー
ムやクリーンベンチ内で処理した製品に、俄にダスト付
着による不良が増加して、発塵個所を早急に発見しなけ
ればならない・ような場合に対しては、移動が簡単には
行えないため利用が困難であった。
上記のような従来のダストモニタの容易に移動させ難い
という問題点をなくした、小形、軽量な可搬形のダスト
モニタを提供することが本発明の目的である。
という問題点をなくした、小形、軽量な可搬形のダスト
モニタを提供することが本発明の目的である。
近年、クリーンルーム内では、その中で発生する塵埃の
除去のために、別室内に強力な吸引ポンプを設置し、そ
のポンプに接続されたパイプの吸引用開口部だけをクリ
ーンルーム内に配置した集中掃除装置や、その他、真空
ピンセット、真空チャック、反応ガス排出用ポンプなど
、真空ポンプに接続された多数の装置が使用されている
ことに着目し、本発明においては、ダストモニタ自身に
は吸引ポンプを内蔵せず、他の装置の吸引ポンプを、ダ
スト測定時だけ臨時に利用できるような接続用のパイプ
、コネクタを準備するだけにした。
除去のために、別室内に強力な吸引ポンプを設置し、そ
のポンプに接続されたパイプの吸引用開口部だけをクリ
ーンルーム内に配置した集中掃除装置や、その他、真空
ピンセット、真空チャック、反応ガス排出用ポンプなど
、真空ポンプに接続された多数の装置が使用されている
ことに着目し、本発明においては、ダストモニタ自身に
は吸引ポンプを内蔵せず、他の装置の吸引ポンプを、ダ
スト測定時だけ臨時に利用できるような接続用のパイプ
、コネクタを準備するだけにした。
これによって、重量、容積ともに従来の装置より大幅に
低減できる。なお、内蔵ポンプ除去のほかに、光源とし
て、近年かなり強力な半導体レーザが得られ、また、散
乱光検出器にもかなり高感度の半導体光検出器が得られ
るようになっているので、これらを利用することによっ
て、性能的には、従来の最高性能のものに比べれば多少
見劣りするかもしれないが、小形化、軽量化の点では非
常に向上したものを作ることが出来、十分実用的な可搬
式の小形ダストモニタが得られる。
低減できる。なお、内蔵ポンプ除去のほかに、光源とし
て、近年かなり強力な半導体レーザが得られ、また、散
乱光検出器にもかなり高感度の半導体光検出器が得られ
るようになっているので、これらを利用することによっ
て、性能的には、従来の最高性能のものに比べれば多少
見劣りするかもしれないが、小形化、軽量化の点では非
常に向上したものを作ることが出来、十分実用的な可搬
式の小形ダストモニタが得られる。
なお、他の装置の吸引ポンプを利用するようにしたため
に、第２図に示した従来のダストモニタのように、気体
の流れを循環式に構成して一組の調整パルプと流量計で
済ますことができなくなり、被検気体を所定の流量で流
すための流量計や流量調整用のパルプ、測定個所で被検
気体流をエアカーテン的に鞘状に囲む清浄空気流の流量
調整用のパルプを設置する必要が生じた。
に、第２図に示した従来のダストモニタのように、気体
の流れを循環式に構成して一組の調整パルプと流量計で
済ますことができなくなり、被検気体を所定の流量で流
すための流量計や流量調整用のパルプ、測定個所で被検
気体流をエアカーテン的に鞘状に囲む清浄空気流の流量
調整用のパルプを設置する必要が生じた。
第１図は本発明の一実施例を示し、１０ａは集束レンズ
、１３は外気、１４はフィルタ、１５は他の装置の吸引
ポンプ、１６は他の装置の筐体、１７はコネクタ、１８
は接続用可撓性パイプ、１９は被検気体流調整用パルプ
、２０は被検気体用流量計、２１は清浄空気流調整用パ
ルプ、２２は本発明小形ダストモニタの筐体、２３は小
形光源たとえば半導体レーザ、２４は光源から直進して
来た光を全く反射させない光トラツプホーン、２５はス
リット、２６は半導体光検出器で、その他の符号は第２
図の場合と同様である。外気１３は、通常、クリーンル
ーム内の空間から採るので一般の所謂外気よりは名かに
浮遊ダスト量は少ない。
、１３は外気、１４はフィルタ、１５は他の装置の吸引
ポンプ、１６は他の装置の筐体、１７はコネクタ、１８
は接続用可撓性パイプ、１９は被検気体流調整用パルプ
、２０は被検気体用流量計、２１は清浄空気流調整用パ
ルプ、２２は本発明小形ダストモニタの筐体、２３は小
形光源たとえば半導体レーザ、２４は光源から直進して
来た光を全く反射させない光トラツプホーン、２５はス
リット、２６は半導体光検出器で、その他の符号は第２
図の場合と同様である。外気１３は、通常、クリーンル
ーム内の空間から採るので一般の所謂外気よりは名かに
浮遊ダスト量は少ない。
光トラツプホーン２４は、光源からの直進光の反射など
によるノイズを抑制し、小形光源を用いたために散乱反
射光も弱くなるのに対抗して極力Ｓ／Ｎ比を向上させる
ために設置したものである。
によるノイズを抑制し、小形光源を用いたために散乱反
射光も弱くなるのに対抗して極力Ｓ／Ｎ比を向上させる
ために設置したものである。
被検気体１の流量を、利用する他の装置のポンプの吸引
力の大小に拘らず所定量に調整するために調整用パルプ
１９と流量計２０を設けである。これに対し、清浄空気
流の流量はそれほど精密に調整する必要がないので、小
形軽量化のためもあって、流量針設ぽは省略したのであ
る。
力の大小に拘らず所定量に調整するために調整用パルプ
１９と流量計２０を設けである。これに対し、清浄空気
流の流量はそれほど精密に調整する必要がないので、小
形軽量化のためもあって、流量針設ぽは省略したのであ
る。
以上説明したように本発明によれば、小形、軽量で、持
ち運びに便利な小形ダストモニタが得られる。
ち運びに便利な小形ダストモニタが得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明−実施例図、第２図は従来の高性能ダス
トモニタの一例を示す概略図である。 １− 被検気体、 ２−・−被検気体の流れを囲む清
浄空気流、 ３−内蔵吸引ポンプ、 ４−フィルタ、
５・・−流量調整用パルプ、 ６−流量計、７−排出気
体、 ８−光源たとえばハロゲンランプやヘリウムネオ
ンレーザ、 ９−コンデンサレンズ、 １０．１Ｑａ
−集束レンズ、 ｌ １−・散乱反射光検出器たとえ
ば光電子増倍管、 １２−出力信号、 １３−外気、
工４・−・フィルタ、１５・−他の装置の吸引ポンプ
、 １６−他の装置の筐体、 １７−コネクタ、
１８−・−接続用可撓性バイブ、 １９−・−被検気
体流調整用バルブ、２０−・被検気体用流量計、 ２１
−清浄空気流調整用バルブ、 ２２−・・本発明小形ダ
ストモニタの筐体、 ２３−小形光源たとえば半導体レ
ーザ、２４・・〜光源から直進して来た光を全（反射さ
せない光トラツプホーン、 ２５・−・スリ・ノド、
２６−半導体光検出器。
トモニタの一例を示す概略図である。 １− 被検気体、 ２−・−被検気体の流れを囲む清
浄空気流、 ３−内蔵吸引ポンプ、 ４−フィルタ、
５・・−流量調整用パルプ、 ６−流量計、７−排出気
体、 ８−光源たとえばハロゲンランプやヘリウムネオ
ンレーザ、 ９−コンデンサレンズ、 １０．１Ｑａ
−集束レンズ、 ｌ １−・散乱反射光検出器たとえ
ば光電子増倍管、 １２−出力信号、 １３−外気、
工４・−・フィルタ、１５・−他の装置の吸引ポンプ
、 １６−他の装置の筐体、 １７−コネクタ、
１８−・−接続用可撓性バイブ、 １９−・−被検気
体流調整用バルブ、２０−・被検気体用流量計、 ２１
−清浄空気流調整用バルブ、 ２２−・・本発明小形ダ
ストモニタの筐体、 ２３−小形光源たとえば半導体レ
ーザ、２４・・〜光源から直進して来た光を全（反射さ
せない光トラツプホーン、 ２５・−・スリ・ノド、
２６−半導体光検出器。
Claims (1)
- 被検気体の流れに強い光を照射して、その中に浮遊する
ダストによる散乱反射光を検出して、被検気体中の浮遊
ダスト量を測定するようにしたダストモニタにおいて、
装置自体の吸引ポンプを備えず、他の装置の吸引ポンプ
に接続、兼用するのに通したパイプ及びコネクタを備え
、更に、被検気体流量を所定値にするための調整用バル
ブ及び流量計、並びに測定位置で被検気体流を鞘状に囲
む清浄空気の流量を調整するためのバルブを備えている
ことを特徴とする小形ダストモニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222006A JPS6281546A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | 小形ダストモニタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222006A JPS6281546A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | 小形ダストモニタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6281546A true JPS6281546A (ja) | 1987-04-15 |
Family
ID=16775621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60222006A Pending JPS6281546A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | 小形ダストモニタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6281546A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63317746A (ja) * | 1987-06-22 | 1988-12-26 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 携帯用小型微粒子検出装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5255688A (en) * | 1975-10-31 | 1977-05-07 | Rion Co | Diluting method for light scattering corpuscle analyzer |
| JPS60128336A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Hitachi Ltd | ダスト放射線モニタリングシステム |
-
1985
- 1985-10-07 JP JP60222006A patent/JPS6281546A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5255688A (en) * | 1975-10-31 | 1977-05-07 | Rion Co | Diluting method for light scattering corpuscle analyzer |
| JPS60128336A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Hitachi Ltd | ダスト放射線モニタリングシステム |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63317746A (ja) * | 1987-06-22 | 1988-12-26 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 携帯用小型微粒子検出装置 |
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