JPS628005A - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置Info
- Publication number
- JPS628005A JPS628005A JP14750485A JP14750485A JPS628005A JP S628005 A JPS628005 A JP S628005A JP 14750485 A JP14750485 A JP 14750485A JP 14750485 A JP14750485 A JP 14750485A JP S628005 A JPS628005 A JP S628005A
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- light
- film
- signal
- film thickness
- measuring device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば磁気テープ等の製造ラインで塗付さ
れた塗膜の膜厚を測定できるようにした膜厚測定装置に
関するものである。
れた塗膜の膜厚を測定できるようにした膜厚測定装置に
関するものである。
第４図に従来の渦電流式膜厚測定装置を示す０図におい
て、（１）は磁気テープで、透明なポリエステル等のテ
ープ状の母材（ＩＪＬ）の所定の面に、磁性体の塗膜（
１ｂ）が所定の手段で塗付されている。（ロ）は検出器
で、一端が開口された鉄心（ｌｌａ） Ｋ励磁コイル（
ｕｂ） １巻回し、励磁コイル（ｕｂ）が発振器（２）
と接続されている。
て、（１）は磁気テープで、透明なポリエステル等のテ
ープ状の母材（ＩＪＬ）の所定の面に、磁性体の塗膜（
１ｂ）が所定の手段で塗付されている。（ロ）は検出器
で、一端が開口された鉄心（ｌｌａ） Ｋ励磁コイル（
ｕｂ） １巻回し、励磁コイル（ｕｂ）が発振器（２）
と接続されている。
次に動作について説明する０第番図において、発振器（
２）によって励磁コイル（１１１）） ’６励磁すると
、 □鉄心（ｌｌａ）の開口端部には励磁コイル（
ｍｂ） Ｋよる磁界が発生する。このため、図示のよう
に近接した位置に塗膜（１ｂ）、すなわち磁性体がある
と励磁インピーダンスが変化する。この励磁インピーダ
ンスの変化は、磁性体の特性、大きさ、位置等により変
化するので、磁性体の特性、塗膜の巾、及び塗膜位置を
一定とした条件の下でインピーダンスの変化を検出する
ことにより、磁性体、すなわち塗膜（１１））の厚さが
測定されている。
２）によって励磁コイル（１１１）） ’６励磁すると
、 □鉄心（ｌｌａ）の開口端部には励磁コイル（
ｍｂ） Ｋよる磁界が発生する。このため、図示のよう
に近接した位置に塗膜（１ｂ）、すなわち磁性体がある
と励磁インピーダンスが変化する。この励磁インピーダ
ンスの変化は、磁性体の特性、大きさ、位置等により変
化するので、磁性体の特性、塗膜の巾、及び塗膜位置を
一定とした条件の下でインピーダンスの変化を検出する
ことにより、磁性体、すなわち塗膜（１１））の厚さが
測定されている。
従来の膜厚測定装置は以上のように構成されているので
、被測定膜と検出器との距離を一定にし近接しなければ
安定な膜厚測定が困Ｓになる。このため、製造ライン中
に膜厚測定装置を配置することができないという問題点
があった。
、被測定膜と検出器との距離を一定にし近接しなければ
安定な膜厚測定が困Ｓになる。このため、製造ライン中
に膜厚測定装置を配置することができないという問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、被測定膜の位置が変化しても膜厚の測定がで
きるようにした膜厚測定装置を得ることを目的とする。
たもので、被測定膜の位置が変化しても膜厚の測定がで
きるようにした膜厚測定装置を得ることを目的とする。
この発明に係る膜厚測定装置は、所定の波長帯の光を被
測定膜に透過させ、被測定膜を透過した光を２つに分岐
してそれぞれ波長が異なる狭帯域のフィルタを通過させ
て第１の光と第２の光にし、この光をそれぞれ受光器で
光電変換した第１の信号と第２の信号を演算して両信号
の比を検出するようにしたものである。
測定膜に透過させ、被測定膜を透過した光を２つに分岐
してそれぞれ波長が異なる狭帯域のフィルタを通過させ
て第１の光と第２の光にし、この光をそれぞれ受光器で
光電変換した第１の信号と第２の信号を演算して両信号
の比を検出するようにしたものである。
この発明における膜厚測定装置は、被測定膜を透過しそ
れぞれ波長が異なるフィルタを通過した第１の光と第２
の光の透過光量の比を求めることにより、被測定膜の膜
厚に比例した値の信号が得られる。
れぞれ波長が異なるフィルタを通過した第１の光と第２
の光の透過光量の比を求めることにより、被測定膜の膜
厚に比例した値の信号が得られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、 （１） （ｈ）（１’ｂ）は従来のもの
と同様である。（２）は磁気テープ（１）全透過できる
所定の波長帯の光を出す光源、（３）は集光レンズ、（
４）は光を分岐する分岐器、（５）（６）はそれぞれ分
岐器（４）から出た光を通過させそれぞれ波長が異なる
第１と第２の狭帯域フィルタ、 （７）（８）はそれぞ
れ各フィルタ（５） （６）から出た光を受は光電変換
する受光器、（９）αＱはそれぞれ各受光器（７） （
８）の出力を増幅する交流増幅器、（至）は各交流増幅
器（９）（イ）の出力を演算する割算器、（ロ）は光源
（２）をパルス駆動する駆動装置であるＯ 次に動作について説明する。第１図において駆動装置Ｑ
４によって光源（２）が駆動されると、光源（２）から
出された光が集光レンズ（３）で集光され、集光された
光が磁気テープ（１）を透過する。この磁気テープ（１
）全透過した元は分岐器（４）で２つの光にそ・れぞれ
分岐され、それぞれの光は第１と第２の狭帯域フィルタ
（５） （６）を通って、それぞれ波長帯域が異なる第
１と第２の光となり、それぞれ受光器（７） （８）で
光電変換され、第１と第２の光と対応した第１と第２の
信号となる。
図において、 （１） （ｈ）（１’ｂ）は従来のもの
と同様である。（２）は磁気テープ（１）全透過できる
所定の波長帯の光を出す光源、（３）は集光レンズ、（
４）は光を分岐する分岐器、（５）（６）はそれぞれ分
岐器（４）から出た光を通過させそれぞれ波長が異なる
第１と第２の狭帯域フィルタ、 （７）（８）はそれぞ
れ各フィルタ（５） （６）から出た光を受は光電変換
する受光器、（９）αＱはそれぞれ各受光器（７） （
８）の出力を増幅する交流増幅器、（至）は各交流増幅
器（９）（イ）の出力を演算する割算器、（ロ）は光源
（２）をパルス駆動する駆動装置であるＯ 次に動作について説明する。第１図において駆動装置Ｑ
４によって光源（２）が駆動されると、光源（２）から
出された光が集光レンズ（３）で集光され、集光された
光が磁気テープ（１）を透過する。この磁気テープ（１
）全透過した元は分岐器（４）で２つの光にそ・れぞれ
分岐され、それぞれの光は第１と第２の狭帯域フィルタ
（５） （６）を通って、それぞれ波長帯域が異なる第
１と第２の光となり、それぞれ受光器（７） （８）で
光電変換され、第１と第２の光と対応した第１と第２の
信号となる。
ところで、光を透過させる磁気テープ（１）は、塗膜（
ｘｂ）が塗付される母材（ｌａ）にほぼ光をｌＯｏチ透
過できるポリエステル等の透明な材料が用いられている
ので、塗膜（１ｂ）の光透過特性は、第２図に実線で示
す特性曲線のように波長依存性を示し、しかもその特性
は膜厚が厚い場合は一点鎖線、膜厚が薄す場合には破線
でそれぞれ示すように、透過開始波長が異なる。一方、
光源（２）の光強度の変動は、透過開始波長は同じで、
その傾斜が異なる。
ｘｂ）が塗付される母材（ｌａ）にほぼ光をｌＯｏチ透
過できるポリエステル等の透明な材料が用いられている
ので、塗膜（１ｂ）の光透過特性は、第２図に実線で示
す特性曲線のように波長依存性を示し、しかもその特性
は膜厚が厚い場合は一点鎖線、膜厚が薄す場合には破線
でそれぞれ示すように、透過開始波長が異なる。一方、
光源（２）の光強度の変動は、透過開始波長は同じで、
その傾斜が異なる。
したがって、両受光器（７） （８）の各出力信号すな
わち第１と￥；２の信号をそれぞれ交流増幅器（９）（
ト）で増幅し、割算器（至）で各交流増幅器（９）（６
）の出力を演算して、第１と第２の信号比を検出すると
、透過開始波長が移動したときに変化が生じる。これに
よって、塗膜（１））の膜厚に比例した出力を得ること
ができる。
わち第１と￥；２の信号をそれぞれ交流増幅器（９）（
ト）で増幅し、割算器（至）で各交流増幅器（９）（６
）の出力を演算して、第１と第２の信号比を検出すると
、透過開始波長が移動したときに変化が生じる。これに
よって、塗膜（１））の膜厚に比例した出力を得ること
ができる。
なお、上記実施例においては、受光器（７） （８）の
暗電流の影響を防止するために、光源（２）を駆動装置
α◆でパルス駆動するようにしたが、第３図に示すよう
に、分岐器（４）に入力される光を通過、遮断できるよ
らに複数個のスリットを有する円板を電動機で回転させ
る光路遮断装置（ト）で、光をパルス化しても上記実施
例と同様の動作を期待できる。
暗電流の影響を防止するために、光源（２）を駆動装置
α◆でパルス駆動するようにしたが、第３図に示すよう
に、分岐器（４）に入力される光を通過、遮断できるよ
らに複数個のスリットを有する円板を電動機で回転させ
る光路遮断装置（ト）で、光をパルス化しても上記実施
例と同様の動作を期待できる。
以上のように、この発明によれば、被測定膜を透過でき
る波長帯域の光で被測定膜を透過した光を２方向に分岐
し、それぞれの光をそれぞれ波長 ず。
る波長帯域の光で被測定膜を透過した光を２方向に分岐
し、それぞれの光をそれぞれ波長 ず。
が異なる第１とｆｉｒ、２の変にして各党を光電変換に
よってＩ！１と第２の信号にし、両信号を演算すること
によって、被測定膜の膜厚に比例した値の信号が得られ
るので、磁気テープ等の位置が変化しても膜厚の測定精
度を維持することができる。
よってＩ！１と第２の信号にし、両信号を演算すること
によって、被測定膜の膜厚に比例した値の信号が得られ
るので、磁気テープ等の位置が変化しても膜厚の測定精
度を維持することができる。
これによって、膜厚測定装置を製造ラインに配置するこ
とが可能となるので、塗膜塗付装ａをオンライン制御す
ることができる。
とが可能となるので、塗膜塗付装ａをオンライン制御す
ることができる。
第１図はこの発明の一実施例による膜厚測定装置の構成
図、第２図は磁気テープの光透過率の波長依存特性図、
第３図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第４図は
従来の膜厚測定装置の構成図である。 図において、 （ｌａ）は被測定膜、（２）は光源、（
３）は集光レンズ、（４）は分岐・器、（５）は！ｌの
フィルター、（６）は第２のフィルター、（７） （８
）は光電変換器、（９）（至）は増幅器、（至）は割算
器、（ロ）は駆動装置である。
図、第２図は磁気テープの光透過率の波長依存特性図、
第３図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第４図は
従来の膜厚測定装置の構成図である。 図において、 （ｌａ）は被測定膜、（２）は光源、（
３）は集光レンズ、（４）は分岐・器、（５）は！ｌの
フィルター、（６）は第２のフィルター、（７） （８
）は光電変換器、（９）（至）は増幅器、（至）は割算
器、（ロ）は駆動装置である。
Claims (4)
- （１）所定の波長帯を有する単一光源の光を光路とほぼ
直角方向に移動された被測定膜に透過させ、この透過し
た光を２つの光路に分岐してそれぞれ波長帯域が異なる
第１のフィルタと第２のフィルタを通過させて光電変換
して第１の信号と第２の信号にし、上記両信号を演算回
路で演算して上記被測定膜の膜厚を比例した信号を検出
することを特徴とする膜厚測定装置。 - （２）第１のフィルタと第２のフィルタを透過する光を
点滅させ第１の信号と第２の信号を交流統合して信号処
理することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の膜
厚測定装置。 - （３）光源をパルス駆動して光を点滅させることを特徴
とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の膜厚測定
装置。 - （４）被測定膜を透過した光を２つに分岐するまでの光
路に回転によつて光をパルス状に通過させる光路遮断装
置を配置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項記載の膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14750485A JPS628005A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14750485A JPS628005A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 膜厚測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS628005A true JPS628005A (ja) | 1987-01-16 |
Family
ID=15431860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14750485A Pending JPS628005A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 膜厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS628005A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7214328B2 (en) | 2001-12-11 | 2007-05-08 | Okamura Oil Mill, Ltd. | Composition for electrolytic solution and process for producing the same |
| CN108775960A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-09 | 昆山钧沃光电有限公司 | 一种基于可调接收器的均匀色彩分析仪 |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP14750485A patent/JPS628005A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7214328B2 (en) | 2001-12-11 | 2007-05-08 | Okamura Oil Mill, Ltd. | Composition for electrolytic solution and process for producing the same |
| CN108775960A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-09 | 昆山钧沃光电有限公司 | 一种基于可调接收器的均匀色彩分析仪 |
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