JPS6279644A - Icピンの検査装置 - Google Patents
Icピンの検査装置Info
- Publication number
- JPS6279644A JPS6279644A JP60220960A JP22096085A JPS6279644A JP S6279644 A JPS6279644 A JP S6279644A JP 60220960 A JP60220960 A JP 60220960A JP 22096085 A JP22096085 A JP 22096085A JP S6279644 A JPS6279644 A JP S6279644A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pins
- pin
- pitch
- constant speed
- bend
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業−【二の利用分野)
本発明は、ICのピンの並び方向とピッ1方向の曲がり
や間隔、欠落等の異状を、同時に判別づるための検査装
置に関するものである。
や間隔、欠落等の異状を、同時に判別づるための検査装
置に関するものである。
(従来の技術)
例えばDIP型のICはパッケージの両側に多数のピン
を有し、またF[へ■型のIC(14辺に多数のピンを
右するが、それが欠落していたり曲がっていたつづると
、その後の1−稈で支障を生ずる。従来、DIP型1c
についてはピン状態を機械的に検査Jることも行なわれ
たが、高速度で正確な検査を行なう装置は存在せず、ま
たFLAT型ICではそうした装置は使用されていなか
った。
を有し、またF[へ■型のIC(14辺に多数のピンを
右するが、それが欠落していたり曲がっていたつづると
、その後の1−稈で支障を生ずる。従来、DIP型1c
についてはピン状態を機械的に検査Jることも行なわれ
たが、高速度で正確な検査を行なう装置は存在せず、ま
たFLAT型ICではそうした装置は使用されていなか
った。
(技術的課題)
そこで本発明はICピンの曲がりや欠落笠の異状を高速
度で正確に検出することができるICピンの検査装置を
提供するもので、特にピンの並び方向と、ピッチ方向の
曲がりや間隔異状、欠落簀を同11.1に検査Jる装置
の提供を目的とするしのである。
度で正確に検出することができるICピンの検査装置を
提供するもので、特にピンの並び方向と、ピッチ方向の
曲がりや間隔異状、欠落簀を同11.1に検査Jる装置
の提供を目的とするしのである。
(技術的手段)
前記目的を達づる本発明は、ガイド部材により一定の速
咽て・移動りる′、+7速移動機構と、ICのピンの並
び方向及びピッチ方向におtJる曲がりAt)欠落等の
異状を判別JるIこめ、ICのピンの側方がらじ一11
光を照射する投光器、及びICのピンにより反則したビ
ーム光を受光してピンまでの距離を知る1次元光位置検
出器からなるピン状!との検出器構とを有づるICピン
の検査装置ぐある。
咽て・移動りる′、+7速移動機構と、ICのピンの並
び方向及びピッチ方向におtJる曲がりAt)欠落等の
異状を判別JるIこめ、ICのピンの側方がらじ一11
光を照射する投光器、及びICのピンにより反則したビ
ーム光を受光してピンまでの距離を知る1次元光位置検
出器からなるピン状!との検出器構とを有づるICピン
の検査装置ぐある。
(発明の作用)
本発明は、等連邦動機構と、ピン状態の検出は構を有す
るため、相対的に等連邦動するICのピンにより反則さ
れ、1次元光位置検出器ぐ受光されるビームのパルスは
ピン間隔が揃っていれば常に一定で、異状の検出も容易
になる。またビーム光の投光位置の調整を可能とり゛る
ことにより、最も検出しやすい位置を選んで最適の検査
が行なえる。1安に等連邦動機構で設定するICの相対
移動速度C正確なICピンの状態の検査が行なえるもの
である。
るため、相対的に等連邦動するICのピンにより反則さ
れ、1次元光位置検出器ぐ受光されるビームのパルスは
ピン間隔が揃っていれば常に一定で、異状の検出も容易
になる。またビーム光の投光位置の調整を可能とり゛る
ことにより、最も検出しやすい位置を選んで最適の検査
が行なえる。1安に等連邦動機構で設定するICの相対
移動速度C正確なICピンの状態の検査が行なえるもの
である。
(実施例)
本弁明を実施例により−T細に説明すると、第1図乃至
第7図はDIP型[Cのピンの検査装置に関づ°るbの
であり、1は装置基台11上に設置したガイド部材とし
くのレール、2は等連邦fiJm構3のベルト、4.4
は駆動用−プーリで、ガイドレール1十に跨架状態で送
給されるDIρ型I05をベル1−2に五り−・定速度
で走行させる。実施例のものはコッグドベルト式の前記
ベルi〜2の歯2aとかみあう爾4aを有し、モータ1
2により駆動される。
第7図はDIP型[Cのピンの検査装置に関づ°るbの
であり、1は装置基台11上に設置したガイド部材とし
くのレール、2は等連邦fiJm構3のベルト、4.4
は駆動用−プーリで、ガイドレール1十に跨架状態で送
給されるDIρ型I05をベル1−2に五り−・定速度
で走行させる。実施例のものはコッグドベルト式の前記
ベルi〜2の歯2aとかみあう爾4aを有し、モータ1
2により駆動される。
2bはIC5の移動を容易にするためベルト周面に添設
したスポンジその他の柔軟(イを示1oレール1の前後
両側には図示しないレジ1ノボデイを設(]、I C5
が検出機構6の領域に入ったこと及びダj域外へ出たこ
とを検出する。
したスポンジその他の柔軟(イを示1oレール1の前後
両側には図示しないレジ1ノボデイを設(]、I C5
が検出機構6の領域に入ったこと及びダj域外へ出たこ
とを検出する。
6a、6bはIC5の左右のピン5a、5bに対し左C
j両側からビーム光を照射する投光器で、逆開型に形成
されたフレーム13の内側に対向配室しである(第2図
参照)。この投光器6(6a、6b)としては光ファイ
バーを用いる透過型のものを使用している。7.8は1
次元光位首検出器テコれはPSD(I’osition
5ensitive Detector)とし略
称され、実施例では旧P !−’! l C5の両側の
ピン5a、5bに対し両側に配置している3、このPS
D7.8の配置により各ピン5a、5bまでの距離が分
るから、対向ピン間の幅ら判明する。なお9は各PSD
7.8に反則光を収束Jるレンズを示づ−0 10はビーム情買の調整機構で、実施例のしのは114
記逆閂Vシフレーム13と一体的に設置ノられており、
微動装置のスライダ14に結合されている。15は調整
摘みで、スライダ14を上下動させるものである。
j両側からビーム光を照射する投光器で、逆開型に形成
されたフレーム13の内側に対向配室しである(第2図
参照)。この投光器6(6a、6b)としては光ファイ
バーを用いる透過型のものを使用している。7.8は1
次元光位首検出器テコれはPSD(I’osition
5ensitive Detector)とし略
称され、実施例では旧P !−’! l C5の両側の
ピン5a、5bに対し両側に配置している3、このPS
D7.8の配置により各ピン5a、5bまでの距離が分
るから、対向ピン間の幅ら判明する。なお9は各PSD
7.8に反則光を収束Jるレンズを示づ−0 10はビーム情買の調整機構で、実施例のしのは114
記逆閂Vシフレーム13と一体的に設置ノられており、
微動装置のスライダ14に結合されている。15は調整
摘みで、スライダ14を上下動させるものである。
また各図中1Gは取付スデーを示す。
以上の構成に43いて、DIP型IC5が本案装置に送
給されると、センリ゛ボディにより検出された((、等
連邦動機構3に入り、(の柔軟材2bによりガイドレー
ル1上を一定の速度で走行さけられる結果、そのピン5
a、5bに欠落がなく、並び方向の幅りど、ピッfn向
の配列間隔Pが完全であれば第10図のイのように整然
と1薗っだパルスとして表示手段に表示される。ビーム
光が照射されるMnはピン5a、5bの先端に近い方が
、結果はよりj11イrて゛ある3、シかして、第4図
に鎖線図示の如く、−・側のピン5bにピッチIj向の
曲がりがある場合は隣接りるピンとの間隔1)が変って
いるから、正常なピン配り11による場合とビーム光を
疏l17iする時間間隔ら変わるため、パルスの旧聞間
隔に相違が生じ、′;:f46図のようにピッy−D、
D′の)Qいとしてあられれる。また−側のピン5 E
)が内方に曲がり、ビン間隔Bに51d状がある場合(
よパルスの波高P、β′が辺ってくる。この場合)L右
のピン間隔D b D ”に変わる。
給されると、センリ゛ボディにより検出された((、等
連邦動機構3に入り、(の柔軟材2bによりガイドレー
ル1上を一定の速度で走行さけられる結果、そのピン5
a、5bに欠落がなく、並び方向の幅りど、ピッfn向
の配列間隔Pが完全であれば第10図のイのように整然
と1薗っだパルスとして表示手段に表示される。ビーム
光が照射されるMnはピン5a、5bの先端に近い方が
、結果はよりj11イrて゛ある3、シかして、第4図
に鎖線図示の如く、−・側のピン5bにピッチIj向の
曲がりがある場合は隣接りるピンとの間隔1)が変って
いるから、正常なピン配り11による場合とビーム光を
疏l17iする時間間隔ら変わるため、パルスの旧聞間
隔に相違が生じ、′;:f46図のようにピッy−D、
D′の)Qいとしてあられれる。また−側のピン5 E
)が内方に曲がり、ビン間隔Bに51d状がある場合(
よパルスの波高P、β′が辺ってくる。この場合)L右
のピン間隔D b D ”に変わる。
第8図乃至第10図はFLAT型IC20のピンの検査
装置Mに関するちので、この1020は四角な肩中パッ
ケージの四辺より突出する多数のピン91j20a、2
0b 、20c 、20dをイ1し、ピッチP方向の曲
がりと上下方向(第8図では紙面に重直な方向)の2方
向の曲りを検出しなりればならない。この場合、検出装
置はPSD 21をX−Yテーブル22に取付t」、F
IAI”l’! I (、20の各ピン208〜20d
列にス・1し定速で相対移動さけることとなる。逆にP
SD 21をX−Yテーブル等により定速移動さけても
良い、23は役尤器、24はレールを示す。F 1.A
T型1c20で(よ標準的には全てのピンの先が同一
平面上にあるので1個のPSD 21のみで前記2方向
の曲りを検査することかでさ、出力波形は第10図のよ
うになる。図面中、イの部分は正常なピン列、口の部分
(まピッチ4P方向の曲り、ハの部分はピン先のに下方
向の曲りEを示す。
装置Mに関するちので、この1020は四角な肩中パッ
ケージの四辺より突出する多数のピン91j20a、2
0b 、20c 、20dをイ1し、ピッチP方向の曲
がりと上下方向(第8図では紙面に重直な方向)の2方
向の曲りを検出しなりればならない。この場合、検出装
置はPSD 21をX−Yテーブル22に取付t」、F
IAI”l’! I (、20の各ピン208〜20d
列にス・1し定速で相対移動さけることとなる。逆にP
SD 21をX−Yテーブル等により定速移動さけても
良い、23は役尤器、24はレールを示す。F 1.A
T型1c20で(よ標準的には全てのピンの先が同一
平面上にあるので1個のPSD 21のみで前記2方向
の曲りを検査することかでさ、出力波形は第10図のよ
うになる。図面中、イの部分は正常なピン列、口の部分
(まピッチ4P方向の曲り、ハの部分はピン先のに下方
向の曲りEを示す。
〈発明の効果)
従って本発明によれば、ICはピン状態を1次元光位置
検出器(PSDIで検出するので、ピンのピッヂ方向の
曲りとス・1白ピン間の間隔(DIP型の場合)或いt
よ上下方向の曲り(FL八へ型の場合)の2方向の曲り
を同(時にI′T確に検査することができ、特にPSD
はピンまでの距囮[を非接触で測定でき、CCD !J
の画像方式より分解能が高く、測定のために複雑な機械
制御を心数としイヱい特徴/);あり、J:た測定値を
処理するソフトウT1ノにより、V[l! 離だt」で
なく、ピン曲りの方向や標県からずれを正確にO出づる
ことがでさる効果がある。さらに検出機構はビーム光の
位置調整門構に」、リピンの良さ方向に移動できるため
、最す正(イ「に検査し背るピン先端にビーム光の黒用
IQ胃を合わけて史【こ止1i(fを明りことができ、
また被検ICの種類が変わっても僅かな調整で支障なく
検査がi”l ’、’;えるなど穎菖イr効果がある。
検出器(PSDIで検出するので、ピンのピッヂ方向の
曲りとス・1白ピン間の間隔(DIP型の場合)或いt
よ上下方向の曲り(FL八へ型の場合)の2方向の曲り
を同(時にI′T確に検査することができ、特にPSD
はピンまでの距囮[を非接触で測定でき、CCD !J
の画像方式より分解能が高く、測定のために複雑な機械
制御を心数としイヱい特徴/);あり、J:た測定値を
処理するソフトウT1ノにより、V[l! 離だt」で
なく、ピン曲りの方向や標県からずれを正確にO出づる
ことがでさる効果がある。さらに検出機構はビーム光の
位置調整門構に」、リピンの良さ方向に移動できるため
、最す正(イ「に検査し背るピン先端にビーム光の黒用
IQ胃を合わけて史【こ止1i(fを明りことができ、
また被検ICの種類が変わっても僅かな調整で支障なく
検査がi”l ’、’;えるなど穎菖イr効果がある。
図面は本発明に係るICピンの検査装置の1実施例を承
りもので第1図は第1実施例の側面図、第2図は要部正
面図、第3図は平面図、第4図はD[P型ICの側面図
、第5図はその正面図、第6図、第7図は出力波形の説
明図、第8図はFLAT型IGの平面図、第9図tま第
2実施例の概念図、第10図は出力波形の説明図である
。 1・・・ガイドレール、2・・・ベルト、3・・・等連
邦動1幾構、5・・・IC16・・・投光器、7.8・
・・1次元光位冒検出器、10・・・ビーム位置の調整
機構。 特 許 出 願 人 三和エレクトロニクス株式会社 代理人 弁理上 井 沢 同第1 図
りもので第1図は第1実施例の側面図、第2図は要部正
面図、第3図は平面図、第4図はD[P型ICの側面図
、第5図はその正面図、第6図、第7図は出力波形の説
明図、第8図はFLAT型IGの平面図、第9図tま第
2実施例の概念図、第10図は出力波形の説明図である
。 1・・・ガイドレール、2・・・ベルト、3・・・等連
邦動1幾構、5・・・IC16・・・投光器、7.8・
・・1次元光位冒検出器、10・・・ビーム位置の調整
機構。 特 許 出 願 人 三和エレクトロニクス株式会社 代理人 弁理上 井 沢 同第1 図
Claims (4)
- (1)ガイド部材により一定の速度で移動する等速移動
機構と、ICのピンの並び方向及びピッチ方向における
曲がりや欠落等の異状を判別するため、ICのピンの側
方からビーム光を照射する投光器、及びICのピンによ
り反射したビーム光を受光してピンまでの距離を知る1
次元光位置検出器からなるピン状態の検出器構とを有す
るICピンの検査装置。 - (2)検出機構の全体或いは投光器を支持し、ピンの基
端から先端までの適当な位置にビーム光の照射位置を変
えるビーム位置調整機構を有する特許請求の範囲第1項
記載のICピンの検査装置。 - (3)ICがDIP型であり、等速移動機構により一定
の速度で検査領域を移動するところの特許請求の範囲第
1項又は第2項記載のICピンの検査装置。 - (4)ICがFLAT型であり、検出機構がXYテーブ
ル等のガイド部材により等速移動する特許請求の範囲第
1項又は第2項記載のICピンの検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60220960A JPS6279644A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | Icピンの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60220960A JPS6279644A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | Icピンの検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6279644A true JPS6279644A (ja) | 1987-04-13 |
Family
ID=16759251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60220960A Pending JPS6279644A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | Icピンの検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6279644A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01272126A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Sony Corp | 半導体装置のリード曲り検査装置 |
US5208463A (en) * | 1990-08-24 | 1993-05-04 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for detecting deformations of leads of semiconductor device |
US5859924A (en) * | 1996-07-12 | 1999-01-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for measuring object features |
US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5663275A (en) * | 1979-10-30 | 1981-05-29 | Nec Kyushu Ltd | Lead testing device for semiconductor device |
-
1985
- 1985-10-02 JP JP60220960A patent/JPS6279644A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5663275A (en) * | 1979-10-30 | 1981-05-29 | Nec Kyushu Ltd | Lead testing device for semiconductor device |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01272126A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Sony Corp | 半導体装置のリード曲り検査装置 |
US5208463A (en) * | 1990-08-24 | 1993-05-04 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for detecting deformations of leads of semiconductor device |
US5859924A (en) * | 1996-07-12 | 1999-01-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for measuring object features |
US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
US6603874B1 (en) | 1996-11-12 | 2003-08-05 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
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