JPS6269133A - 圧覚センサ出力信号前処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［Ｊｌｃ業上の利用分野］ 本発明は、例えばロボットのハンドに取付けられてその
把持部の圧力分布を４１１１定することにより、物をつ
かむ、はなす、すべる等の把持状ＩＥを検知する圧覚セ
ンサの出力信号を計算機処理し易くするための圧覚セン
サ出力信号前処理装置に関する。

［従来の技術］ この発明が適用される圧覚センサの圧力検出部は１例え
ば、受圧面のＸ輛、Ｙ肴す、Ｚ軸方向の力を検出する３
組の圧力センサとその圧力センナの温度特性補償のため
のＩ　Ｍｌの温度センサを１単位としく以下、これを圧
力センサモジュールと称する）、その圧力センサモジュ
ールをマトリックス状に多数配置したものなどであり、
その圧力および温度信号の出力回路総数は数百回路にお
よぶ。

この種の圧覚センサの出力信号前処理装置は現在のとこ
ろ見当らないが、極〈少数の圧力センサモジュールから
なるものについては、出力回路側々に例えば第６図に示
すような温度特性補償回路を接続する手段をとることが
できる。

本図において、半導体ストレンゲージのような゛ト導体
のブリッジで構成された圧力検出部１の出力は、温度特
性補償回路２で半導体ストレンゲージの温度特性による
影響が除去される。すなわち、この温度補償回路２では
、圧力検出部ｌからの信号がアナログ集積回路３および
アナログ集積回路４で受信され、これらの集積回路とス
パン調整抵抗５およびオフセット調整抵抗６とで信号の
アナログ集積回路８およびスパン温度特性補償抵抗１０
とアナログ集積回路１１とにより圧力信号の温度補償が
行われた後、信号出力端子１２から出力信号が出力され
る。　１３は電源端子、　１４はアナログ用アース端子
である。

〔発明が解決しようとする問題点］ ところが、このような従来技術を上述のような多数の圧
力センサモジュールに適用しようとすると、第７図に示
すように圧力検出部側々に温度特性補償回路を接続する
ことになるので、子側を超えるアナログ集積回路、抵抗
器などを取付けなければならないため、ロボットハンド
川圧覚センサに要求される小形、軽量化が達成できず、
また甚だ茶経済でもあるという欠点があった。

そこで、この発明は、上述の欠点を除去し、圧力分布を
経済的にＸ１ｌｌ定できる圧覚センサ出力信号前処理装
置を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するため、この発明は固有のアドレスを
有する複数の圧力検出モジュール部、圧力検出モジュー
ル部内に位置する複数の圧力検出部の両検出部の出力を
オンオフする第１のアナログスイッチ、圧力検出モジュ
ール部内に位置し、圧力検出モジュール部に与えられた
第１のアドレスで第１のアナログスイッチのオンオフを
制御する第２のアナログスイッチ、圧力検出モジュール
部の第１のアナログスイッチを介して送られた肉圧力検
出部の出力群から一つの出力を与えられた第２のアドレ
スで順次選びだすアナログ信号切換器、圧力検出モジュ
ール部の第１のアドレスと圧力検出モジュール部の両検
出部の各出力信号毎の第２のアドレスとを発生するアド
レス発生部、アドレス発生部によりアドレス指定された
圧力検出部と温度検出部からアナログ信号切換器を介し
て送られた圧力信号と温度信号とをアナログデジタル変
換するアナログデジタル変換器、およびアナログデジタ
ル変換器によりデジタル化された圧力信号と温度信号と
を用いてあらかじめ定めた所定の演算式で演算すること
により圧力信号の温度補償を行う情報処理部とを具備し
たことを特徴とする。

また、この発明は圧力検出部、温度検出部へのされたも
のであることを特徴とする。

スおよび横軸アドレスで選択掃引し、さらに選ばれたモ
ジュール内の各圧力検出部の出力を信号アドレスで一つ
づつ選択掃引して行き、個々の圧力検出部ごとのオフセ
ット、スパンなどの温度補償を温度検出部の出力とマイ
クロコンピュータとを用いて行うことにより２次元平面
状さらには３次元立体面状の圧力分布の測定を行う。

また、この発明では、温度検出部を複数のブリッジから
なる圧力検出モジュールごとに設け、温度７１１１１定
回路の増幅器を圧力検出回路の増幅器と共用するように
しているので、構成がＯＭ略化し、小型化が達成される
。さらに、この発明では印加電源を他の回路アースから
フロートしたブリッジ回路で構成した圧力検出部を複数
個単位でモジュール化することにより、圧力検出部から
アナログ信号切換器に至る一方の配線を共通にすること
ができるので、ざらに小形化が達成される。

［実施例〕 以下、図面を参照して、この発明の実施例を詳細に説明
する。

第１図はこの発明の実施例の回路構成を示す。

検出ブロック１５の出力の増幅を行う増幅器、１７は増
幅器１Ｂの出力の温度補正等を行うマイクロコンピュー
タ部であり、この実施例装置はこれらの回路要素１５〜
１７から成る。

圧力検出ブロック１５は複数の圧力検出モジュール１日
と単一のアナログ信号切換器１８とで構成する。図面上
省略されているが、圧力検出モジュール１８は縦・横に
マトリックス状に多数配置されて、固有のアドレスを与
えられ、各々の圧力検出モジュール１８には後述の縦軸
デコーダライン群４３および横軸デコーダライン群４４
とが接続されている。

各圧力検出モジュール１８内には３次元の圧力ａｌｌｌ
定等を考慮して、１ｑけた複数の圧力検出部ｌｘ、Ｉｙ
　、ｌｚと、この圧力検出部の温度を検出する１個の温
度検出部２０とを配設する。圧力検出部Ｉｒ、Ｉｙ　、
ｌｚは、半導体ストレンゲージ等のブリフジからなり、
温度検出部２０はサーミスタ等からなる。また２１ｍ、
　２１Ｙ　、　２１ｚ　；１３よび２１Ｔは圧力検出部
１ｘ、Ｉｙ　＋Ｉ２および温度検出部２０の検出出力を
ｊ川り、このスイッチ２２の指示信号により上述のＩ　
Ｍｌのスイッチ部２１！、　２１Ｙ　、　２１ｚ　、　
２１Ｔが開閉動作を行う。

各モジュール用スイッチ２２は所属の圧力検出モジュー
ル１８のアドレスを示す横軸および縦軸のデコード信号
の指示を受けて開閉動作をするスイッチＳｘおよびＳＹ
と、この開閉動作を電位的に符号化する抵抗Ｒとで構成
し、その横軸および縦軸の後述のデコーダの選択により
所属の圧力検出モジュール１８が選択された詩にスイッ
チＳＸおよびＳＹを閉じて、その所属するモジュール内
の全ての信号用スイッチ部２１１，２１Ｙ　、　２１２
，２１Ｔを同時に開く。

さらに、共通の電源端子１３とアナログ用アース端子１
４に対して、１組の圧力検出部１３１ｙ　、ｌｚ毎に１
個の温度検出部２０を接続し、これらの検出部の出力端
子に上述の１Ｍｌの信号用スイッチ部２１ｘ、　２１ｙ
　、２１ｚ　、２１７を接続する。

アナログ信号切換部１８は第２図に示すように、複数の
スイッチからなり、各圧力検出モジュール１８からの信
号を受は取って、その中の一組の信号を後述の信号デコ
ーダ２５の出力値に基づいて選択出力する。

アナログ信号切換部１９の出力端子に接続する増幅部１
６は、第３図に示すように、差動増幅器として作動する
アナログ集積回路３．４および１１と複数の抵抗Ｒ０〜
Ｒ３とで構成する。この増幅部１６の出力Ｃ０は人力を
６．．６２とすると、次式（１）％式％ この増幅部１６は、誘導ノイズに強いので同相電圧ノイ
ズが少く、検出部ｌのブリッジと増幅部１６のグランド
共通（接地線共通接続）によりフローティング電源が不
要である等の利点を有する。

マイクロコンピュータ部１７は複数の構成要素２３〜２
４から構成する。ここで、２３は後述の縦軸アドレスに
応じて該尚の縦軸デコード信号を発生する縦軸デコーダ
、２４は後述の横軸アドレスに応じて該当の横軸デコー
ド信号を発生する横軸デコーダであり、」二連の両デコ
ード信号により圧力検出モジュール１８の１つが選択さ
れる。２５は信号デコーダであり、後述の信号アドレス
に応じて該当のデコード信号を発生して、縦軸および横
軸デコーダ２３．２４で選ばれた圧力検出モジュール１
８の４．８１１の信号群から１組をアナログ信号切換器
１９を介して選択する。

また、２Ｂは増幅部１Ｂの出力端子と接続するＡ／Ｄ（
アナログ−デジタル）変換器であり、増幅部１６で増幅
された圧力信号および温度信号をＡ／Ｄ変換する。２７
はＡ／Ｄ変換器２６から出力するデジタル信りを一時記
憶する一時記憶用ＲＡＭ　　（ランダムアクセスメモリ
）、２８および２９はＡ／Ｄ変換器２Ｂでデジタル化し
たデータを温度補償するための演算をする東算用プロセ
ッサと除算用プロセッサである。

３０は演算式や定数または制御プログラム等をあらかじ
め格納したＲＯＭ（リードオンリメモリ）、３１は演・
算により温度補償された検出データを記憶する補正後デ
ータ記憶用ＲＡＭ　、　３２は温度補償ずみの検出デー
タを外部に出力する信号出力用ボート、３３は全体の制
御を行うｃｐｕｃ中央演算処理装置）、および３４はＣ
ＰＵ３３からの圧力検出モジュールアドレスおよびその
信号アドレスを、縦軸デコーダ２３、横軸デコーダ２４
、信号デコーダ２５へ出力するアドレス出力用ボートで
ある。

さらに、３５はマイクロコンピュータ部１７の内部のデ
ータバス、３６はマイクロコンピュータ部１７のアドレ
スへス、３７はマイクロコンピュータ部１？のの信号出
力用データバスである。３８および３８はマイクロコン
ピュータ部１７のデジタル用電源およびアース端子、４
０および４１は増幅部１６のオペアンブイッチ部２２の
スイッチＳＹに接続する縦軸デコードライン群、および
４４は横軸デコーダ２４から出て、横軸フｌ工に各モジ
ュール用スイッチ部２２のスイッチＳＸに接続する横軸
デコードライン群である。

以」ユの構成において、ＣＰＵ３３はＲＯＭ３０に格納
した制御プログラムに基づいて、複数の圧力検出モジュ
ール１８のうちで、どの圧力検出モジュールのどの圧力
検出部の出力を信号出力用データバス３７に出力させる
かを決定すると、その圧力検出モジュールのアドレスと
圧力検出部のアドレスとを、アドレス出力用ボート３４
を経由して、信号デコーグ２５．縦軸デコーダ２３８よ
び横軸デコーダ２５に出力する。ここで、各圧力検出モ
ジュール１日中の圧力検出部１！、ＩＹ　、Ｉｚおよび
温度検出部２０にあらかじめ与えられたアドレスは、そ
の各検出部毎に特定されたアドレスであり、例えば信号
アドレス、縦軸アドレスおよび横軸アドレスを配列した
時の符号値を表わす。

次に、各デコーダ２３〜２５はその入力したアドレスを
解読し、そのアドレスにそれぞれ対応した信号ライン、
縦軸ラインおよび横軸ラインを信号デコードライン群４
２．縦軸デコードライン群４３および横軸デコードライ
ン群４４の中から選び出し、これらの選び出したライン
に接続されているアナログ切換器１８およびスイッチＳ
Ｘ、ＳＹだけをオン（導通）状態にさせる。

すなわち、第２図に示すように、縦軸デコーダ２３は縦
軸デコードライン群４３を通じて列方向の圧力検出モジ
ュール１８の中のスイッチＳＸを選択的にＯＮ（オン）
にし、横軸デコーダ２４は横軸デコードライン群４４を
通じて行方向の圧力検出モジュール！８の中のスィッチ
５ｙｔｅ選択的にＯＮにする０両スイッチＳＸおよびＳ
ＹがＯＮすると、信号用スイッチ２２がＯＮになり、そ
のスイッチ２２が所属する（アドレスで指定された）圧
力検出モジュール１８の圧力および温度信号を一挙に出
力する。このように、上述のデコーダ２３．２４で選ば
れた圧力検出モジュール１８の信号から一組の信号を選
択すべく、信号デコーダ２５はアナログ切換器！８内の
いずれかのスイッチを順次オンにする。

これにより、ＣＰＵ　３３により指定されたアドレスを
有する特定の圧力検出部１！、ＩＹ　、ｌｚが選択され
、この選択された圧力検出部の出力信号が増幅部１Ｂで
増幅される。同様に温度検出部２０の出力も次に、増幅
部１６で増幅された圧力信号と温度信号とは、Ａ／［１
変換器２６でＡ／ｆｌ変換される。このＡ／Ｄ変換され
たデジタルの圧力信号と温度信号とは、内部データバス
３５を介して一時記憶用ＲＡＭ２７にそれぞれ区別され
て別の領域に記憶され、さらにＣＰＵ３３．乗算用プロ
セッサ２８．および除算用プロセッサ２９とにより圧力
信号の温度補償のための演算が行われる。ここで、乗算
用プロセッサ２８と除算用プロセッサ２８は上述の補償
演算の速度を早めるために用いられる。

かかる補償演算は以下のように行う。まず、Ａ／Ｄ変換
器２６に入力される圧力信号のアナログ値ＶＯＰは、圧
力検出部１（Ｉｌｌ、ＩＹ　、１２　（Ｆ）代表番号と
する）に圧力が印加されないときに発生するオフセット
と、スパンを決定する比例定数とを使って近似的に、 ＶＯＰ＝　　ａ６　＋　　ａｌＴ＋　　ａ２↑”（ｂｏ
　＋　　ｂ、Ｔ＋　　ｂ２Ｔ２）＊　Ｐ−＝＜２）オフ
セット　　　　比例定数 と表わすことができるので、圧力検出部ｌへの印加圧力
Ｐは次の（３）式から求めることができる。

ただし、Ｔ：圧力検出部ｌの絶対温度、ａＱ　＋ａｌ　
＋’２　＋ｂＯ＋ｂｌ　＋ｂ２　　’圧力検出部１の個
々に定まる既知の定数である。

また、　Ａ／Ｄ変換部２Ｇに入力する温度信号のアナロ
グ値ｖｏエ　は、温゛度検出部２０が例えばサーミスタ
の場合には近似的に。

ｖｏｖ　＝ｃｏ＋　ｃ、　　’ｒｏ’ｒと表わすことが
できるので、温度ＴａＴは次の０式から求めることがで
きる。

ただし、 Ｃ０，Ｃ，：温度検出部２ｏごとに定まる既知の定数、 Ｔｏ＝温度検出部２０の絶対温度である。

従って、温度検出°部２０の温度Ｔｏが圧力検出部ｌの
温度Ｔと考えられるほど、温度検出部２０と圧力検出部
１とを十分に近いところに設置しておけば、上述の（４
）式により算出した温度ＴｏＴを↑として用いて、上述
の（３）式から温度子の影響を除去した正確な圧力値Ｐ
を算出できることになる。このようにして、算出された
デジタル圧力データＰは信号出力用ボート３２を経由し
て、信号出力用データバス３７から外部に出力されると
同時に、補正後データ記憶用ＲＡＭ３１に記憶され、い
つでも必要なときに出力できるようになっている。

以上のように、ある特定の圧力検出部１の出カイ祠号が
マイクロコンピュータ部７で演算処理され、信号出力用
データバス３７に出力される。同様にして、他の出力検
出部ｌの出力も順次縦軸デコーダ２３、横軸デコーダ２
４および信号デコーダ２５とを経由してアドレス指定さ
れることにより検出されて、マイクロコンピュータ部１
７で演算処理され、信号出力用データバス３７に出力さ
れる。マトリックス配列の複数の圧力検出モジュール１
８の圧力検出部１および温度検出部２０の全部をこのよ
うにして掃引し終ると、補正後データ記憶用ＲＡＭ　３
１には圧力分布のデータファイルが完成することになる
。

このように、本例では、 ■　複数個の圧力検出部で構築した圧力検出モジュール
１８をマトリックス状に多数配列し、■　縦軸デコーダ
２３．横軸デコーダ２４とで１つの圧力検出モジュール
１８の信号を順次選択掃引して取り出し１次に選択して
取り出したその信号を信号デコーダ２５とアナログスイ
ッチ１９とによりさらに選択掃引してその信号の中から
１組の検出信号を順次取り出し。

■　増幅器を共用して圧力信号と温度信号とを同じ経路
で増幅した後、オフセットやスパンなどの温度補償をす
るようにしているので、圧力検出部で同一信号を束にで
きて、圧力検出モジュール１日からの引出線が少なくな
り、またアナログスイッチの数が少なくなる。そのため
、触覚部（センサアレイとマルチプレクサ等のＩＣを一
体化したもの）の超小形化が可能となる。

尚、圧力検出部１を数個単位でモジュール化することは
１例えば印加圧力を互いに直行する３分力に分解して検
出する３分力検知感圧モジュールを単一の部品として構
築する上で、有効な手段となる。また、温度検出部２０
は必ずしも各圧力検出モジュール１８に対してそれぞれ
配設する必要はなく、例えば温度補償を損なわない程度
に数と位置とを限定して配置するようにしてもよい。

第４図はこの発明の他の実施例の回路構成を示す、尚、
第１図と同一な部分は同一符号を付してその詳細な説明
は省略する。

本例の圧力検出部１（ｌｘ、ｌｙ　、ｌｚ）および温度
検出部２０は、ブリッジ回路で構成し、その供給電源と
してのブリッジ用電源端子４５およびアース端子４Ｂを
他の回路アース３９．４１に対してフロートさせて、検
出出力が端子４７と４８との間に発生するようにし、か
つ端子４８を各検出部の出力の一方のコモン線にしてい
る。すなわち、本例は、検出部の供給電源を他の回路ア
ースからフロートすることにより、検出部１．２０から
アナログ信号切換器１９に至る一方の配線（出力線）を
共通にした点が第１図の実施例と異なる。

このように圧力検出部ｌおよび温度検出部２０の供給電
源をフロートさせるようにしているので、出力信号の取
り出しをする信号用スイ数と、後述のように増幅部１６
′内のアナログ集積回路（例えばオペアンプ）１１の数
とを最小にすることができる。

増幅部１６′はアナログ信号切換器１９の出力端子と接
続する増幅器であり、第５図に示すようにアナログ集積
回路１１および数点の抵抗Ｒ，、Ｒ２のみで構成する。

この増幅器１６′の出力Ｃ０は入力を６、とすると、次
式（５）で与えられる。

６０＝ｅｉ　　・（１４−）　　　　　　　・・・（５
）Ｒ。

この増幅部１６′　は増幅器としてのアナログ集積回路
１１が１個と、抵抗が４個とで構成できる。よって回路
が大幅に簡略化して低コスト化が得られるとともに、低
消費電力化も得られる１例えば、実験によれば、アナロ
グ集積回路１１にＰＨＩ社製の０Ｐ３７（製品番号）を
使用し、電源を±１５ｖ、±８ｖにしたときの増幅部１
Ｂ’　の消費電力は１４０ｍＷ、４２ｍＷであったが、
同一条件で実施した第３図の増幅部１６の場合ではその
消費電力は４２０＋ａＷ、１２５ｍ−となった。その他
の構成は第１図の実施例とほぼ同様などでその詳細な説
明は省略する。

このように、本例では、検出部！、２０の供給電源を他
の回路アースからフロートさせ、検出部から↓得るよう
にしているので、極めて小形・軽量で経済的な圧覚セン
サを得ることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、複数個の圧力
検出部で構築した圧力検出モジュールをマトリックス状
に多数配置し、この圧力検出モジュールをモジュールご
とに与えられた縦軸アドレスおよび横軸アドレスで順次
選択して、選ばれたそのモジュール内の各圧力検出部の
出力をさらに信号アドレスで一つづつ選択して行き、選
択した検出信号に対して個々の圧力検出部ごとのオフセ
ットスパンなどの温度補償を行うようにしているので、
第２図の従来装置のように複数の圧力検出部の出力を掃
引して、個々の圧力検出部に温度補償回路を別々に設け
るという必要はなくなり、全体として回路構成部品数が
少なくなり、超小形化が達成されるばかりでなく圧力分
布のＪ１１定を廉価に経済的に行うことができる利点が
得られる。

さらに、この発明では、圧力検出部の供給電源を他の回
路アースからフロートさせることにより、配線、スイッ
チおよび増幅部の構成部品点←得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例の構成を示す回路図。 第２図は第１図のアナログ信号切換器の４Ｉｉ成を示す
回路図、 第３図は第１図の増幅部の構成を示す回路図、第４図は
この発明の他の実施例の構成を示す回路図、 第５図は第４図の増幅部の構成を示す回路図、第６図は
従来の圧力センサの温度特性補償回路を示す回路図。 第７図は従来の圧力センサとその温度特性補償回路を用
いて圧力分布を測定する場合のシステム構成例を示すブ
ロック図である。 １・・・圧力検出部、 ２・・・温度特性補償回路、 ３・・・アナログ集積回路、 ４・・・アナログ集積回路、 ５・・・スパン：ＪＪ整抵抗、 ６・・・オフセット調整抵抗。 １１・・・アナログ集積回路、 １２・・・信号出力端子、 １３・・・電源端子、 １４・・・アナログ用アース端子。 ５・・・圧力検出ブロック。 ６・・・増幅部、 ７・・・マイクロコンピュータ部。 １日・・・圧力検出モジュール、 １９・・・アナログ信号切換器、 ２０・・・温度検出部。 ２１・・・信号用スイッチ部、 ２２・・・モジュール用スイッチ、 ２３・・・縦軸デコーダ、 ２４・・・横軸デコーダ、 ２５・・・信号デコーダ。 ２６・・・Ａ／Ｄ変換器、 ２７・・・一時記憶用ＲＡＭ、 ２８・・・乗算用プロセッサ。 ２９・・・除算用プロセッサ、 ３０・・・ＲＯＭ、 ３１・・・補正後データ記憶用ＲＡＭ、３２・・・信号
出力用ボート。 ３３・・・ＣＰＵ、 ３４・・・アドレス出力用ボート、 ３５・・・内部データバス、 ３Ｂ・・・アドレスバス、 ３７・・・信号出力用データバス、 ４２・・・信号デコードライン群。 ４３・・・縦軸デコードライン群、 ４４・・・横軸デコードライン群、 ４５・・・ブリッジ用電源端子。 ４Ｇ・・・ブリッジ用アース端子、 ４７．４８・・・圧力検出部の出力端子。 特許畠ｆｉｊ人工１ｉ１：１１ユ・ｆ、τ・、？力　達
第４図のアナロク発号切換益の言（永訂脈す回ズＨＡ第
２図 第３図 第４図の増幅部の回路面 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）ａ）固有のアドレスを有する複数の圧力検出モジュ
   ール部、 ｂ）該圧力検出モジュール部内に位置する複数の圧力検
   出部、 ｃ）前記圧力検出モジュール部内に位置し、前記圧力検
   出部の温度を検出する温度検出部、ｄ）前記圧力検出モ
   ジュール筒内に位置し、前記圧力検出部と、前記温度検
   出部の両検出部の出力をオンオフする第１のアナログス
   イッ チ、 ｅ）前記圧力検出モジュール部内に位置し、該圧力検出
   モジュール部に与えられた第１のアドレスで前記第１の
   アナログスイッチのオンオフを制御する第２のアナログ
   スイッチ、 ｆ）前記圧力検出モジュール部の第１のアナログスイッ
   チを介して送られた前記両圧力検出部の出力群から一つ
   の出力を与えられた第２のアドレスで順次選びだすアナ
   ログ信号切換器、ｇ）前記圧力検出モジュール部の前記
   第１のアドレスと前記圧力検出モジュール部の前記両検
   出部の各出力信号毎の前記第２のアドレスとを発生する
   アドレス発生部、 ｈ）該アドレス発生部によりアドレス指定された前記圧
   力検出部と前記温度検出部から前記アナログ信号切換器
   を介して送られた圧力信号と温度信号とをアナログデジ
   タル変換するアナログデジタル変換器、 ｉ）および該アナログデジタル変換器によりデジタル化
   された前記圧力信号と前記温度信号とを用いてあらかじ
   め定めた所定の演算式で演算することにより前記圧力信
   号の温度補償を行う情報処理部とを具備したことを特徴
   とする圧覚センサ出力信号前処理装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記圧
   力検出部、前記温度検出部への供給電源は装置内の他の
   アースから浮かして印加されたものであることを特徴と
   する圧覚センサ出力信号前処理装置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項のいずれかの項
   に記載の装置において、前記複数の圧力検出部により印
   加圧力を互いに直交する３方向の分力に分解して検知す
   る感圧モジュールが構成されていることを特徴とする圧
   覚センサ出力信号前処理装置。