JPS6258126A - 混成集積回路の封止試験法 - Google Patents
混成集積回路の封止試験法Info
- Publication number
- JPS6258126A JPS6258126A JP19798685A JP19798685A JPS6258126A JP S6258126 A JPS6258126 A JP S6258126A JP 19798685 A JP19798685 A JP 19798685A JP 19798685 A JP19798685 A JP 19798685A JP S6258126 A JPS6258126 A JP S6258126A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- integrated circuit
- hybrid integrated
- sealed
- sealing
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、混成集積回路゛の内部に腐食性のある金属
が使用されている時、それらの腐食を防ぐため、内部に
不活性ガス等を入れ、密封する時の封止法と試験法に関
するものである。
が使用されている時、それらの腐食を防ぐため、内部に
不活性ガス等を入れ、密封する時の封止法と試験法に関
するものである。
この発明は以前に（まミル規格ＭＩＬ−８ＴＤ−８８３
ＭＥＴＨＯＤ １０１４ Ｃｏｎｄ、Ａに記載され
た方法があり、デバイスの内部に、一般にはＨｅ以外の
不活性ガスが封入されており、外部よりＨｅカスを２
ｋｇ ／ ｃｉの圧力で４時間加圧した後、Ｈｅリーク
ディテクタでリーク率を測定する方法であった。第２図
は従来の方法を示す横断面図で、（１）はカパニ、（２
）は混成集積回路、（３）はケース、（４）；よＨｅガ
ス、（５）はＨｅガス以外の不活性ガスである。
ＭＥＴＨＯＤ １０１４ Ｃｏｎｄ、Ａに記載され
た方法があり、デバイスの内部に、一般にはＨｅ以外の
不活性ガスが封入されており、外部よりＨｅカスを２
ｋｇ ／ ｃｉの圧力で４時間加圧した後、Ｈｅリーク
ディテクタでリーク率を測定する方法であった。第２図
は従来の方法を示す横断面図で、（１）はカパニ、（２
）は混成集積回路、（３）はケース、（４）；よＨｅガ
ス、（５）はＨｅガス以外の不活性ガスである。
次に動作にって説明する。不活性ガス（５）を封入した
デバイス（６）に、その密封性をテストするため外部よ
りＨｅガス（４）を２ ｋｇ ／ ｃｒ＆で４時間加圧
した後、Ｈｅリークディテクタにてリーク率を測定する
。この時、ケースやフタやその密封部に穴があれば、デ
バイス（６）の内部へ２ ｋｇ ／ ｃｊで加圧された
Ｈｅガス（４）が入りこむ。次にＨｅガス（４）の加圧
をとき、Ｈｅリークディテクタにより、Ｈｅのもれる量
を測定することにより、リーク率を計算する。
デバイス（６）に、その密封性をテストするため外部よ
りＨｅガス（４）を２ ｋｇ ／ ｃｒ＆で４時間加圧
した後、Ｈｅリークディテクタにてリーク率を測定する
。この時、ケースやフタやその密封部に穴があれば、デ
バイス（６）の内部へ２ ｋｇ ／ ｃｊで加圧された
Ｈｅガス（４）が入りこむ。次にＨｅガス（４）の加圧
をとき、Ｈｅリークディテクタにより、Ｈｅのもれる量
を測定することにより、リーク率を計算する。
この時、Ｉ Ｘ １０−’ａｔｎａ・ｃｃ／ ｓｅｅ以
下であれば、そのデバイスは良品とする。
下であれば、そのデバイスは良品とする。
従来の封止法と試験法りよ以上の様であるので、４時間
の加圧時間がかかることと、リーク量の鯛定で精度が要
求される。（微少リークの場合、デバイスの中に入る量
が少ないのと、それをまたデバイスの外に取り出して、
その量を測定するため）又、２ ｋｇ ／ ｃｔの加圧
によりフタが薄い場合、破壊されろ可能性がある。さら
にケースがアルミの場合、アルミの外壁に加圧によりＨ
、ｅが入り込み、それが測定の時にもれ出して来るため
測定精度が落ちろ等の問題点があった。
の加圧時間がかかることと、リーク量の鯛定で精度が要
求される。（微少リークの場合、デバイスの中に入る量
が少ないのと、それをまたデバイスの外に取り出して、
その量を測定するため）又、２ ｋｇ ／ ｃｔの加圧
によりフタが薄い場合、破壊されろ可能性がある。さら
にケースがアルミの場合、アルミの外壁に加圧によりＨ
、ｅが入り込み、それが測定の時にもれ出して来るため
測定精度が落ちろ等の問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、２ ｋｇ ／ ｃｊ、 ４時間の加圧がい
らないので、加圧時間をなくすことができ、デバイスの
破壊も防げる七に、測定精度が向上することなどの利点
を有する。
れたもので、２ ｋｇ ／ ｃｊ、 ４時間の加圧がい
らないので、加圧時間をなくすことができ、デバイスの
破壊も防げる七に、測定精度が向上することなどの利点
を有する。
この発明は、デバイスの内部にＨｅガスを挿入した後に
デバイスを密封したものである。
デバイスを密封したものである。
この発明において、外から加圧してデバイスの中に入れ
なくても、最初からデバイスの中に検出用の１（ｅｊｙ
封入しであるので、加圧する手順が必要ない。リークし
ていれば、その穴からもれてくろＨｅをリークディテク
タで検出するｔ、５けて良い。
なくても、最初からデバイスの中に検出用の１（ｅｊｙ
封入しであるので、加圧する手順が必要ない。リークし
ていれば、その穴からもれてくろＨｅをリークディテク
タで検出するｔ、５けて良い。
以下、この発明の一実施例を説明する。
第１図において、（１ｊはカバー、（２）は混成集積回
路、（３）はケース、＋４］はＨｅガス、（６）（よ全
体の構成であるデバイスを示す。本発明ζよ、（４）の
Ｈ８ガスを（３）と（１）の中に密封する。その後、Ｈ
ｅリークディテクタによりリーク率を測定する。
路、（３）はケース、＋４］はＨｅガス、（６）（よ全
体の構成であるデバイスを示す。本発明ζよ、（４）の
Ｈ８ガスを（３）と（１）の中に密封する。その後、Ｈ
ｅリークディテクタによりリーク率を測定する。
次に動作について説明する。Ｈｅがデバイスの中に予め
封入されたものを、リークディテクタに入れろ。まず、
デバイスの外部を真空にして行くと、デバイスに穴があ
れば、Ｈｅガスが外部にもれ、それをＨｅディテクタで
検出する。又、予めデバイスの内部に、Ｈｅを封入して
おくので、Ｈｅの検出量が多いため、測定精度が上がる
。これは従来法では、外部から加圧して微少穴を通して
デバイス内部に挿入する方法は、Ｈｅの量が非常に少な
い。（１桁以上） なお、上記実施例ではデバイス内部にはＨｅガスを密封
したが、他の不活性ガス（例えばアルゴンガス）をデバ
イスに密封し、穴よりもれてくるそのガスを検出出来、
そのようなガスを使用しても同様の効果を奏する。
封入されたものを、リークディテクタに入れろ。まず、
デバイスの外部を真空にして行くと、デバイスに穴があ
れば、Ｈｅガスが外部にもれ、それをＨｅディテクタで
検出する。又、予めデバイスの内部に、Ｈｅを封入して
おくので、Ｈｅの検出量が多いため、測定精度が上がる
。これは従来法では、外部から加圧して微少穴を通して
デバイス内部に挿入する方法は、Ｈｅの量が非常に少な
い。（１桁以上） なお、上記実施例ではデバイス内部にはＨｅガスを密封
したが、他の不活性ガス（例えばアルゴンガス）をデバ
イスに密封し、穴よりもれてくるそのガスを検出出来、
そのようなガスを使用しても同様の効果を奏する。
Ｃ発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、デバイスの中に不活
性ガスＨｅを予め密封したので、加圧時間が必要なく、
測定精度も向トし、ケースがアルミの場合、ケースの影
響を無視出来ろ上、カバーが薄い場合、加圧により破壊
されろこともなくなる。
性ガスＨｅを予め密封したので、加圧時間が必要なく、
測定精度も向トし、ケースがアルミの場合、ケースの影
響を無視出来ろ上、カバーが薄い場合、加圧により破壊
されろこともなくなる。
第１図（ｆこの発明の封止試験法の一実施例による横断
面図、第２図１よ従来の封止試験法の横断面図を示す。 図において（１）はカバー、（２）は混成集積回路、（
３）（よケース、（４）はＨｅガス、（５）はＨｅガス
以外、（６）はデバイス全体を示す。 なお図中、同一符号（よ同一、又は相当部分を示す、１ 第１図 第２図 手続補正書（自発）
面図、第２図１よ従来の封止試験法の横断面図を示す。 図において（１）はカバー、（２）は混成集積回路、（
３）（よケース、（４）はＨｅガス、（５）はＨｅガス
以外、（６）はデバイス全体を示す。 なお図中、同一符号（よ同一、又は相当部分を示す、１ 第１図 第２図 手続補正書（自発）
Claims (1)
- 混成集積回路の封止において、封止する容器の内部に不
活性ガスを封入し、容器の外部を真空にして、リークデ
ィテクタで不活性ガスのリークを検出することを特徴と
する混成集積回路の封止試験法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19798685A JPS6258126A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 混成集積回路の封止試験法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19798685A JPS6258126A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 混成集積回路の封止試験法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6258126A true JPS6258126A (ja) | 1987-03-13 |
Family
ID=16383608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19798685A Pending JPS6258126A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 混成集積回路の封止試験法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6258126A (ja) |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP19798685A patent/JPS6258126A/ja active Pending
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