JPS625369B2 - - Google Patents

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JPS625369B2
JPS625369B2 JP15018278A JP15018278A JPS625369B2 JP S625369 B2 JPS625369 B2 JP S625369B2 JP 15018278 A JP15018278 A JP 15018278A JP 15018278 A JP15018278 A JP 15018278A JP S625369 B2 JPS625369 B2 JP S625369B2
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JP
Japan
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tuning fork
thickness
crystal resonator
vibration
counter
Prior art date
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Expired
Application number
JP15018278A
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English (en)
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JPS5575318A (en
Inventor
Shigeru Kogure
Eiji Momozaki
Minoru Inoe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP15018278A priority Critical patent/JPS5575318A/ja
Priority to US06/042,732 priority patent/US4320320A/en
Priority to FR7926237A priority patent/FR2443164B1/fr
Priority to DE19792948331 priority patent/DE2948331A1/de
Priority to CH1066979A priority patent/CH646304GA3/fr
Priority to GB7941622A priority patent/GB2042799B/en
Publication of JPS5575318A publication Critical patent/JPS5575318A/ja
Priority to HK87685A priority patent/HK87685A/xx
Publication of JPS625369B2 publication Critical patent/JPS625369B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
    • H03H3/04Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は結合タイプの音叉型振動子を用いた時
間標準信号発生回路に関する。
第1図は、従来の音叉型水晶振動子の斜視図と
音叉腕の振動方向を示す。1はある時刻における
音叉腕の振動方向、2は1/2周期後の音叉腕の振
動方向を示す。この振動子の共振周波数温度特性
は室温に頂点を有する温度についての2次曲線と
なる。その2次係数、即ち、2次温度係数は−35
×10-9/℃である。この振動子は低周波である
ため消費電力が少く、電子腕時計に使われること
が多いが温度変化による共振周波数の変化が大き
いため、時間精度をある程度以上向上させること
が難しい。そこで、誘電体を用いたコンデンサー
やサーミスタ等の感温素子を使つて振動子の共振
周波数温度特性を補償することが行われてきた
が、振動子の特性と感温素子の特性をうまく一致
させることが難しいため、量産した場合、補償す
る前よりも精度が悪下するものもでてしまうとい
う欠点があつた。また、室温で共振周波数温度特
性の変化が非常に少ないATカツトの水晶振動子
が使われたが、共振周波数が高いため消費電力が
増大してしまい、電池寿命が短かくなるという欠
点があつた。
そこで、低周波で共振周波数の温度による変化
の少ない水晶振動子が必要となつてきたが、これ
は音叉型振動子の中に存在する2つの異なつた振
動モードを結合させることにより可能となる。以
下、この振動子を結合音叉型振動子と呼ぶ。特に
圧電体として水晶を用いた場合には結合音叉型水
晶振動子と呼ぶ。
この結合音叉型振動子の概要を結合音叉型水晶
振動子の一具体例を基に説明する。
第2図は水晶原石からの切り出し方を示す。
X,Y,Z軸は電気軸、機械軸、光軸を示す。X
軸まわりに角度θ回転した板から音叉腕がY′軸
方向を向くように切り出す。この振動子に第1図
の振動子と同じ電極を付けて励振すると、第1図
の例と同じく屈曲振動が生じる。一方、音叉腕の
長さ方向の中心を軸とする捩り振動が生じる。以
下、屈曲振動の基本振動をF0、捩り振動の基本
振動をT0と略す。また、F0の共振周波数をF0f、
T0の共振周波数をT0fと略す。F0fをT0f近づける
と結合現象が生じる。
第3図は、カツトアングルθがθのときの結
合領域のモードチヤートである。横軸は振動子の
厚み、縦軸は共振周波数である。周波数が厚みに
依存せず一定の線は純粋のF0のF0f、周波数が厚
みに対しほぼ線型に変化している線は純粋のT0
のT0fを示す。丸でかこんだ領域が結合の生じた
領域である。第2図のカツトアングルθをある値
θとし、結合音叉型水晶振動子の厚みを変化さ
せるとT0と結合したF0の共振周波数温度特性が
変化する。実際に用いる厚みはt′よりも薄い厚み
を使う。
第4図は、結合したときの厚みに対するF0fの
一次温度係数α、二次温度係数β、三次温度係数
γを示す。カツトアングルはθである。横軸は
厚み、縦軸は一次、二次、三次温度係数α、β、
γを示し、各々のスケールは10-6/℃、10-3
、10-10/℃のオーダである。ここで、一
次、二次、三次温度係数α、β、γは、温度Tの
関数として共振周波数をf(T)と書いたときf
(T)を温度Tでテーラー展開した係数に相当す
る。即ち、 α≡f′(20)/f(20)、 β≡f″(20)/(2f(20))、 γ≡f(20)/(6f(20)) とおいたとき、 f(T)〓f(20)+f(20)α(T−20)+f(20)β(T−20)2+f(20)γ(T−20)3 と書ける。第4図から、一次、二次温度係数α、
βが零となる厚みt0が存在するわけである。
従つて、このとき共振周波数温度特性は、温度
について三次関数となる。
第5図は、結合音叉型水晶振動子と従来の音叉
型水晶振動子の共振周波数温度特性を示す。横軸
は温度、縦軸はΔf/f(≡(f(T)−f
(20)/f(20))を示す。3は結合音叉型水晶振
動子の共振周波数温度特性、4は従来の音叉型水
晶振動子の共振周波数温度特性を示す。0℃〜40
℃の温度範囲での共振周波数変化は従来の音叉型
水晶振動子の1/10程度である。また、音叉型であ
ることから共振周波数は低周波で100KHz前後で
ある。
従つて、結合音叉型水晶振動子を電子腕時計に
用いれば、長寿命、高精度な腕時計を実現でき
る。
結合音叉型水晶振動子の共振周波数温度特性は
厚みに大きく依存するため、量産する時の加工精
度の限界からくるばらつきによつて共振周波数温
度特性もばらついてしまい、従来の音叉型水晶振
動子の共振周波数温度特性よりも悪化してしま
う。
本発明の目的は、加工精度からくる共振周波数
温度特性のばらつきが修正された結合音叉型水晶
振動子を提供することにある。
第6図は本発明になる結合音叉型水晶振動子の
一具体例の斜視図である。5は結合音叉型水晶振
動子本体、6は電極、7はプラグ、8は蒸着され
た銀である。蒸着された銀8の効果により結合音
叉型水晶振動子の共振周波数温度特性は第5図の
曲線3の如くなる。従来の音叉型水晶振動子で
は、音叉腕先端に銀を蒸着することが行われてき
たが、これは共振周波数調整のために行われたも
のである。
加工精度の限界によつて生ずるばらつきとして
は、カツトアングルθ、振動子の外形寸法のばら
つきがある。カツトアングルθが共振周波数温度
特性に与える影響は、カツトアングルのばらつき
を±3分以内に抑えれば実用上問題は少なく、こ
の程度のカツトアングル精度を出すことは可能で
ある。そこで、外形寸法のばらつきの影響である
が、結合音叉型水晶振動子の幅、長さ、音叉腕
長、音叉腕幅、厚みのばらつきのうち、厚みの影
響が最も大きい。
以下の議論では、幅、長さ、音叉腕長、音叉腕
幅のばらつきの影響は少ないので無視する。
次に、厚みのばらつきを修正する方法を述べ
る。
第4図から厚みt0で最良の共振周波数温度特性
が得られる訳だが、加工後の厚みがt0よりも厚
く、厚みt0+Δt(Δt≧0)になつて場合を考
える。このとき、第4図より、一次、二次温度係
数α、βは正となつてしまう。これを零とするこ
とが必要となる訳である。
第7図は、結合音叉型水晶振動子の基部の底辺
を0、音叉腕先端を1としたときのF0のX軸方
向変位UxとT0の捩れ角τを示す。横軸は、振動
子の長さ方向の位置で、0.2は支持棒の先端位
置、0.4は叉部の位置を示す。第7図よりF0の変
位Uxは叉部付近に節を持つが、T0の捩れ角τは
位置0.2〜1の範囲に1つも節をもたないことが
わかる。従つて叉部付近に錘りを付加すると、
F0fはほとんど変化しないがT0fは低下する。これ
は叉部でF0の変位Uxは零だが、T0の捩れ角τは
零でないからである。
第8図は叉部に錘りを付加する前と後に於ける
F0f、T0fのモードチヤート上での位置を示す。横
軸は厚みt、縦軸は共振周波数である。厚みがt0
+ΔtのときF0f、T0fはそれぞれ点C、点Dにあ
るが、叉部に錘りを付加することによりT0fを点
Bまで変化させるとF0fは点Aまで変化する。又
部に錘りを付加することにより、F0f、T0fを厚み
がほぼt0の場合に一致し、F0fの一次、二次温度
係数α、βはほぼ零とすることができる。従つ
て、厚みばらつきを修正するには、叉部に付加す
る錘りの質量を若干調整することにより可能であ
る。叉部に錘りを付加して、F0fの共振周波数温
度特性を修正するには、第8図より最適厚みより
僅かに厚く作つておくことが必要である。
次に加工後の厚みがt0よりも薄く、厚みt0−Δ
t′(Δt′>0)になつた場合を考える。第4図よ
り、F0fの一次、二次温度係数α、βは負である
が、これを零とすることが必要となる。この場合
は、F0fは変化させず、T0fを上げることができれ
ば良いのだが、これは難しい。
そこで、音叉腕先端に錘りを付加したときの
F0f、T0fの低下量がF0の方が大きいことを利用
する。第7図から音叉腕先端のF0の変位Ux、T0
の捩れ角τが零でないため、音叉腕先端に付加さ
れた錘りによりF0f、T0fが低下するのである。
音叉腕先端に錘りを付加していくと、ある質量
を付加したところで、F0fの一次、二次温度係数
α、βがほぼ零となるところが存在し、厚みの修
正が可能である。
第9図は、音叉腕先端に錘りを付加する前と後
に於けるF0f、T0fのモードチヤート上での位置を
示す。横軸は厚み、縦軸は共振周波数である。9
はカツトアングルがθのときのF0f、T0fを示
し、10はカツトアングルがθ+Δθのときの
F0f、T0fを示す。点G、点Hは錘りを付加する前
のF0f、T0fの位置、点E、点Fは錘りを付加した
後のF0f、T0fの位置を示す。音叉腕先端に錘りを
付加することにより点Hの周波数を点Fの周波数
に一致させると、点Gの周波数は点Eの周波数に
一致する。このときの点E、点Fはカツトアング
ルがθ+Δθ、厚みがt0′のときに相当し、ほ
ぼF0fの一次、二次温度係数α、βは零となる。
即ち、一次、二次温度係数α、βが零になるの
は、カツトアングルθ、厚みt0のときだけでな
く、カツトアングルθ+Δθ、厚みt0′のとき
もあることを利用するわけである。尚、第9図に
於ける。2つの曲線群9,10の隔りが大きいの
は、わかりやすく強調したためである。厚み、ば
らつきを修正するには音叉腕先端に付加する質量
を若干調整することにより可能である。音叉腕先
端に錘りを付加して、F0fの共振周波数温度特性
を修正するには、第9図より最適厚みt0より僅か
に薄く作つておくことが必要である。
音叉腕先端に錘りを付加することと同じこと
が、音叉腕先端と節部以外の振動部分に錘りを付
加することでも可能であり、また数ケ所でもよ
い。このときは、カツトアングルθ+Δθ′、
厚みt0″に相当するところで、一次、二次温度係
数α、βが零となるわけである。
本発明の一具体例(第6図)はF0とT0の結合
を用いているが、F0のかわりに、屈曲振動の第
一高調波を用いることもできる。屈曲振動の第一
高調波を以下F1と略し、その共振周波数をF1fと
略すことにする。F0の代りにF1を用いると発振
周波数が200KHz前後になるため、F0を用いた場
合よりも消費電流が2倍ほど増加するが、次のよ
うな利点をもつためF1が使われることもある。
1つはQが高くなるためF1fの経年変化が小さく
なること。2つ目は、発振周波数が高くなること
により、振動子に加わる重力方向によつて発振周
波数の変化する量が少なくなることである。
F0の代りにF1を用いたときも、ある適当なカ
ツトアングθと厚みt1において、F1fの共振周
波数温度特性を第5図の曲線3の如く温度につい
ての三次関数にできる。
この場合も、F0を用いたときと同じく、加工
精度の限界からF1fの共振周波数温度特性がばら
ついてしまう。
このばらつきを修正する考え方はF0を用いた
場合の考え方と同じである。
加工精度の限界から生じるばらつきのうちで、
F1fの温度特性に与える影響のうち最も大きいの
は、厚みであり、これはF0を用いた結合音叉型
水晶振動子の場合と同じである。
第10図は、結合音叉型水晶振動子の基部の底
辺を0、音叉腕先端を1としたときのE1のX軸
方向変位UxとT0の捩れ角τを示す。横軸は、振
動子の長さ方向の位置で、0.2は支持棒の先端位
置、0.4は叉部の位置を示す。第10図よりF1
変位Uxは、叉部と位置0.9付近に節をもつ。T0
捩れ角τは位置0.2〜1の範囲に1つも節をもた
ない。
従つて、最適厚みt1よりも厚く加工したときは
叉部もしくは位置0.9付近の変位Uxの節部に錘り
を付加すれば、F1fの一次、二次温度係数α、β
をほぼ零にできる。まだ2ケ所の節に錘りを付加
してもよい。
また、最適厚みt1よりも薄く加工したときは、
変位Uxの節部以外の部分に1ケ所もしくは2ケ
所以上錘りを付加すればよい。
F1の代りに第二高調波以上の高調波を用いた
場合の考え方もF1のときの考え方と同じであ
る。ただし、第二高調波以上では、節が3ケ所以
上になり、その節のうちの1ケ所に錘りを付加す
る。もしくは、第一高調波以上の高調波について
成り立つことであるが、2ケ所以上の節部に錘り
を付加することでもよい。あるいは、節部以外の
数ケ所でもよい。
これまで述べて来た方法によりF0f、F1fの温度
特性を修正すると、F0f、F1fが指定の値からずれ
てしまう。従来の音叉型水晶振動子は指定の周波
数に調整されているため、電子腕時計に用いた場
合、フリツプフロツプ回路により分周するだけで
良かつた。本発明の如く、F0f、F1fの温特調整が
された結合音叉型水晶振動子を電子腕時計に用い
る場合はフリツプフロツプ回路で分周することは
できない。
第11図は、本発明になる結合音叉型水晶振動
子を電子腕時計に用いた場合の回路ブロツクダイ
アグラムである。11は本発明になる結合音叉型
水晶振動子、12はコンデンサ、13は相補型
MOSインバータ、14は不揮発性メモリーを用
いたカウンタ、15は時刻表示装置を示す。T0
の共振抵抗は、F0、F1に比べ非常に大きいた
め、F0、F1を発振させることは容易で、T0が発
振することは決してない。第2高調波以上でも同
様である。不揮発性メモリを用いたカウンタ14
に結合音叉型水晶振動子11を用いた発振回路の
発振周波数を記憶させ、発振周波数に等しい数の
パルスが入力されたとき、時刻表示装置14に1
つのパルスを出力することにより、電子腕時計に
用いることができる。
本発明になる結合音叉型水晶振動子を電子腕時
計に用いることにより、高精度、長寿命を実現で
きる。
本発明の一具体例では、錘りとして、銀を蒸着
したが、他の金属でもよいことはもちろん、蒸着
でなくスパツタリングでもよい。錘りとなるもの
ならば、金属以外でもよいのである。また、あら
かじめ付加した錘りをレーザ等により、取り除い
てもよい。
また、本発明の一具体例では圧電体として水晶
を用いたが、他の圧電体を用いた音叉型振動子、
あるいは、金属を用いた音叉型振動子に対しても
有効である。
本発明の考え方は、他の振動モードを用いた結
合音叉型振動子に対しても適用できることはもち
ろんである。
以上述べた如く、屈曲振動と捩り振動基本振動
の結合を利用した音叉型振動子において、該音叉
型振動子に錘りを増減することにより、屈曲振動
の共振周波数温度特性が修正される。この音叉型
振動子を電子腕時計に用いることにより、高精
度、長寿命を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の音叉型水晶振動子の斜視図と
音叉腕の振動方向を示す。第2図は、本発明の一
具体例の水晶原石からの切り出し方を示す。第3
図は、屈曲振動基本振動と捩り振動基本振動が結
合したときのモードチヤートを示す。第4図は、
捩り振動基本振動と結合した屈曲振動基本振動の
一次、二次、三次温度係数の厚み依存性を示す。
第5図は、結合を用いた音叉型水晶振動子と従来
の音叉型水晶振動子の共振周波数温度特性を示
す。第6図は屈曲振動基本振動と捩り振動基本振
動の結合を用いた音叉型水晶振動子に共振周波数
温度特性のばらつきを修正するための錘りが付加
された音叉型水晶振動子。第7図は屈曲振動基本
振動のX軸方向変位Uxと捩り振動基本振動の捩
れ角τの音叉の長さ方向の分布を示す。第8図
は、屈曲振動基本振動と捩り振動基本振動の結合
を用いた音叉型水晶振動子において、屈曲振動の
節部に錘りを付加したときのモードチヤート上で
の共振周波数の変化を示す。第9図は、屈曲振動
基本振動と捩り振動基本振動の結合を用いた音叉
型水晶振動子において、音叉腕先端に錘りを付加
したときのモードチヤート上での共振周波数の変
化を示す。第10図は、屈曲振動第一高調波のX
軸方向変位Uxと捩り振動基本振動の捩れ角τの
音叉の長さ方向の分布を示す。第11図は、本発
明になる音叉型水晶振動子を電子腕時計に用いた
ときの回路のブロツクダイアグラムを示す。 1……ある時刻における音叉腕の振動方向、2
……1/2周期後における音叉腕の振動方向、3…
…結合を用いた音叉型水晶振動子の共振周波数温
度特性、4……従来の音叉型水晶振動子の共振周
波数温度特性、5……本発明になる音叉型振動子
本体、6……電極、7……プラグ、8……蒸着さ
れた銀、9……カツトアングルがθのときのモ
ードチヤート、10……カツトアングルがθ
Δθのときのモードチヤート、11……本発明に
なる音叉型水晶振動子、12……コンデンサ、1
3……相補型MOSインバータ、14……不揮発
性メモリーを用いたカウンタ、15……時刻表示
装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 屈曲振動と捩り振動を同時に発生させるとと
    もに、屈曲振動と捩り振動を弾性的に結合させ周
    波数温度特性を調整してなる音叉振動子と、前記
    音叉振動子の両端に兀型に接続されるコンデンサ
    と前記音叉振動子に直列に接続されるインバータ
    からなる発振回路と、前記発振回路の出力信号を
    カウントするカウンタと、前記カウンタからの信
    号により駆動される時間表示部を有する時計用信
    号発生回路において、前記音叉振動子は前記屈曲
    振動の節部に付着される金属膜錘りによつて捩り
    振動周波数を変化させ前記屈曲振動周波数と前記
    捩り振動周波数の差を設定して成るとともに、前
    記カウンタは論理的にカウント周期を設定するカ
    ウンタによつて構成され、前記カウンタによつて
    設定された出力周期で前記表示部に出力信号を出
    力することを特徴とする時計用標準信号発生回
    路。
JP15018278A 1978-12-01 1978-12-04 Tuning fork type oscillator Granted JPS5575318A (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15018278A JPS5575318A (en) 1978-12-04 1978-12-04 Tuning fork type oscillator
US06/042,732 US4320320A (en) 1978-12-01 1979-05-29 Coupled mode tuning fork type quartz crystal vibrator
FR7926237A FR2443164B1 (fr) 1978-12-01 1979-10-23 Resonateur a quartz du type diapason
DE19792948331 DE2948331A1 (de) 1978-12-01 1979-11-30 Stimmgabelschwinger und verfahren zur einstellung der frequenz eines stimmgabelschwingers
CH1066979A CH646304GA3 (ja) 1978-12-01 1979-11-30
GB7941622A GB2042799B (en) 1978-12-04 1979-12-03 Tuning fork type piezo-electric vibrator
HK87685A HK87685A (en) 1978-12-04 1985-11-07 Tuning fork type piezo-electric vibrator

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JP15018278A JPS5575318A (en) 1978-12-04 1978-12-04 Tuning fork type oscillator

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JPS625369B2 true JPS625369B2 (ja) 1987-02-04

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