JPS6253514A - Pattern generator - Google Patents

Pattern generator

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JPS6253514A
JPS6253514A JP60194664A JP19466485A JPS6253514A JP S6253514 A JPS6253514 A JP S6253514A JP 60194664 A JP60194664 A JP 60194664A JP 19466485 A JP19466485 A JP 19466485A JP S6253514 A JPS6253514 A JP S6253514A
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JP
Japan
Prior art keywords
pattern
memory
pattern data
waveform
address
Prior art date
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Pending
Application number
JP60194664A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Genzo Ueda
上田 源三
Eiji Wada
和田 英二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP60194664A priority Critical patent/JPS6253514A/en
Publication of JPS6253514A publication Critical patent/JPS6253514A/en
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Manipulation Of Pulses (AREA)

Abstract

PURPOSE:To generate easily the generation of a test waveform pattern by storing respectively each pattern corresponding to plural generated waveform patterns in plural storage areas respectively. CONSTITUTION:An access period accessing an address (n) (where; n is a positive integer) of a memory is used as the unit, a pattern data corresponding to a generated waveform pattern is stored in a memory 12 and a prescribed waveform pattern is generated based on a pattern data obtained by accessing sequentially the memory. The memory has plural storage areas M1, M2, Mi, Mn, stores respectively each pattern data respectively corresponding to the plural generated waveform patterns in the plural storage areas and when the generated waveform pattern rises or descends is designated by the memory only with time information. Thus, the generation of the test waveform pattern is facilitated.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業−Lの利用分野コ この発明は、パターン発生装置に関し、特に、IC検査
のためのテスト波形パターンなど、複数のICテストピ
ンにそれぞれの波形パターンを発生するパターン発生装
置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application in Industry-L] This invention relates to a pattern generator, and in particular to a pattern generator that generates respective waveform patterns for a plurality of IC test pins, such as test waveform patterns for IC inspection. Regarding the generator.

[従来の技術コ IC検査システムにおいては、ICの性能,機能試験を
行うためにそれに必要な複数ビットのテスト波形パター
ンを、テストパターンプログラム等に従って自動的に発
生する必要がある。
[Conventional technology] In an IC testing system, it is necessary to automatically generate a multi-bit test waveform pattern necessary for performance and functional testing of an IC according to a test pattern program or the like.

従来、そのようなテスト波形パターンの発生装置にあっ
ては、パターン発生器によって作られたパターンデータ
とタイミング発生器により作られたクロック信号とのそ
れぞれのうちから,ICのピンごとに必要なものを選択
して合成し、所定の波形を生成する。そしてこれをドラ
イブ回路に送出して、その出力をレベル変換し、所定の
ICピンに供給する方法を採っている。
Conventionally, in such test waveform pattern generators, the necessary data for each IC pin is selected from among the pattern data created by the pattern generator and the clock signal created by the timing generator. are selected and synthesized to generate a predetermined waveform. This is then sent to a drive circuit, its output is level-converted, and then supplied to a predetermined IC pin.

その一例として、第6図に見るような具体的な回路を挙
げることができる。
As an example, a specific circuit as shown in FIG. 6 can be cited.

lは、パターン発生器であって、例えば所定のROM等
により構成されていて、所定のアドレスをアクセスし′
C第7図の(a) 、 (b)に見るパターンA + 
パター/Bのような所定のパターンデータを発生し、デ
ータセレクタ2により、そのうちの必要なパターンデー
タが所定のタイミングで選択され、波形フォーマツタ3
に送出される。
1 is a pattern generator, which is composed of, for example, a predetermined ROM, and which accesses a predetermined address.
C Pattern A + seen in (a) and (b) of Figure 7
Predetermined pattern data such as Putter/B is generated, and the data selector 2 selects the necessary pattern data at a predetermined timing, and the waveform formatter 3
sent to.

一方、タイミング発生器4により発生する第7図の(d
) 、 (e)のタイミング波形(1) 、 (2)に
見るような各種のタイミング信号のうちの1つがタイミ
ングセレクタ5により所定のタイミングで選択されて、
波形フォーマツタ3に送出される。
On the other hand, (d) of FIG. 7 generated by the timing generator 4
), one of the various timing signals shown in timing waveforms (1) and (2) in (e) is selected by the timing selector 5 at a predetermined timing,
It is sent to the waveform formatter 3.

ここで、例えば、パターンデーターンBが選択されたと
すると、波形フォーマツタ3おいて、第7図の(C)に
見るパターンデータがABの合成パターンとして生成さ
れて、例えばタイミング波形(1)、(2)がそれぞれ
選択されて、これらに従って、第7図の(f)に見るよ
うなテスト波形パターンの波形フォマッタ出力を発生す
る。
For example, if pattern data turn B is selected, the waveform formatter 3 generates the pattern data shown in FIG. 7(C) as a composite pattern of AB. 2) are selected, and in accordance with these, a waveform formatter output of a test waveform pattern as shown in FIG. 7(f) is generated.

この波形フォーマツタ3の出力信号は、テスト波形パタ
ーンとして、次段のドライブ回路6のドライバ7に送出
される。そしてドライブ回路6を経て、設定された所定
の電圧の対応する波形パターンを、例えばハンドラ側の
ソケットに挿着されている被検査ICの特定のピンに印
加するものである。
The output signal of this waveform formatter 3 is sent to the driver 7 of the next stage drive circuit 6 as a test waveform pattern. Then, via the drive circuit 6, a corresponding waveform pattern of a predetermined voltage is applied to a specific pin of the IC to be tested inserted into a socket on the handler side, for example.

なお、7a,7bは、ドライバ7に供給する基準電圧源
モジュールであって、これらにより安定な電圧VIH(
HIGHレベルの設定電圧値)。
Note that 7a and 7b are reference voltage source modules that supply the driver 7, and these provide a stable voltage VIH (
HIGH level setting voltage value).

VIL(LOWレベルの設定電圧値)がドライバ7に供
給される。
VIL (low level set voltage value) is supplied to the driver 7.

[解決しようとする問題点] さて >l/!,導体集積回路は、高機能化されるにつ
れてテスト時に印加される波形パターンも複雑になる傾
向にある。したがって、前記のようにパターン発生器と
タイミング発生器とにより、所定の波形パターンを発生
するものにあっては、発生できる波形の種類がハードウ
ェアの構成で決定されてしまい、多様なテスト波形パタ
ーンに対応しきれない欠点がある。
[Problem to be solved] Now >l/! As conductor integrated circuits become more sophisticated, the waveform patterns applied during testing tend to become more complex. Therefore, in the case where a predetermined waveform pattern is generated using a pattern generator and a timing generator as described above, the types of waveforms that can be generated are determined by the hardware configuration, and various test waveform patterns are generated. There are drawbacks that cannot be addressed.

また、ピンごとにテスト波形や論理値に融通性をもたせ
るため、それに対応する選択回路が必要であって、ビン
数が多くなった場合に、回路規模が大きくなるとともに
、高速性が損なわれ、装置全体が大型化するという問題
点がある。
In addition, in order to provide flexibility in test waveforms and logic values for each pin, a corresponding selection circuit is required, and when the number of bins increases, the circuit scale increases and speed is impaired. There is a problem that the entire device becomes larger.

[発明の目的] この発明は、このような従来技術の問題点を解決すると
ともに、多様で複雑なテストパターンを簡単な構成によ
り発生することができるパターン発生装置を提供するこ
とを目的とする。
[Object of the Invention] It is an object of the present invention to solve the problems of the prior art and to provide a pattern generation device that can generate various and complex test patterns with a simple configuration.

[問題点を解決するための手段コ ところで、どのような論理波形もパルス幅より短い周期
を想定して見た場合にNRZ波形として捉えることがで
きる。この発明は、このようなことに着目したものであ
って、従来のように論理信号の波形を論理データと波形
の種類,そしてそのタイミングとで決めるものではなく
、パルスの・、yち[・かり、\rちドがり時点を基準
点から計測するというものであり、メモリのアクセス周
期を中位時間としてタイミングの時間を管理するという
ものである。
[Means for solving the problem] By the way, any logical waveform can be regarded as an NRZ waveform when viewed assuming a period shorter than the pulse width. This invention focuses on this point, and instead of determining the waveform of a logic signal based on logic data, the type of waveform, and its timing, as in the past, the waveform of a logic signal is determined by the... In this method, the point in time when \r is different is measured from the reference point, and the timing time is managed using the memory access cycle as the intermediate time.

しかして、l−記[1的を達成するためにのこの発明の
パターン発生装置における手段は、メモリのn番地(n
は正の整数)のアドレスをアクセスするアクセス周期を
中位とし、発生波形パターンに対応するパターンデータ
をメモリに記憶し、このメモリを順次アクセスして得た
パターンデータに基づき所定の波形パターンを発生する
ものであって1、メモリは、複数の記憶領域を有してい
て、複数の発生波形パターンに対応するそれぞれのパタ
ーンデータ夕を複数の記憶領域にそれぞれ記憶している
というものである。
Therefore, the means in the pattern generation device of the present invention for achieving the objective 1 is to address n address (n
is a positive integer), the access cycle is set to medium, pattern data corresponding to the generated waveform pattern is stored in memory, and a predetermined waveform pattern is generated based on the pattern data obtained by sequentially accessing this memory. 1. The memory has a plurality of storage areas, and each pattern data set corresponding to a plurality of generated waveform patterns is stored in each of the plurality of storage areas.

[作用コ このように構成することにより、発生波形パターンは、
いつ立ち−[−かるか、いつ立ち一ドがるかを、時間情
報だけでメモリーににて指定することが可能となり、デ
ータとタイミングとを別々に取り扱わなくて済むことに
なる。その結果、テスト波形パターンの発生が容易とな
り、その管理、制御が111純なものとなる。
[Operation] By configuring in this way, the generated waveform pattern is
It becomes possible to specify in the memory when to stand up and down and when to stand up and down, using only time information, and there is no need to handle data and timing separately. As a result, test waveform patterns can be easily generated, and their management and control become simple.

しかも、テスト波形パターンに対応するパターンデータ
を複数の領域にそれぞれ記憶しているので、領域を選択
するだけで種々の波形パターンを簡単に発生させること
ができる。
Furthermore, since pattern data corresponding to test waveform patterns is stored in a plurality of areas, various waveform patterns can be easily generated by simply selecting an area.

また、いくつかの領域にそれぞれ一定周期の長さで基本
的な波形パターンデータを記憶するようにすれば、これ
らの組合せて順次アクセスすることにより複雑な波形パ
ターンをこれらの組合せで簡り11に発生させることが
できる。
In addition, by storing basic waveform pattern data in several areas each with a fixed cycle length, complex waveform patterns can be easily created by combining these data and sequentially accessing them. can be generated.

したがって、その自由度が大きく、ハードウェア構成が
単純となる。また、テストICの各ビンの回路を同一の
回路(同一のメモリを使用する意味として)として実現
することができる。
Therefore, the degree of freedom is large and the hardware configuration is simple. Further, the circuits of each bin of the test IC can be realized as the same circuit (meaning that the same memory is used).

[実施例] 以ド、図面を参照し、この発明の−・実施例について説
明する。
[Embodiments] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は、この発明によるパターン発生装置の一実施例
の概略ブロック図、第2図(a)は、発生すべき波形パ
ターンの具体例であって、第2図(b)は、その場合の
パターンデータメモリの記憶内容を示す説明図である。
FIG. 1 is a schematic block diagram of an embodiment of a pattern generator according to the present invention, FIG. 2(a) is a specific example of a waveform pattern to be generated, and FIG. 2(b) is a diagram showing the case in which FIG. 2 is an explanatory diagram showing the stored contents of a pattern data memory of FIG.

パターン発生装置10は、IC検査システムにおいてI
CJj3杏のためのテスト波形パターンを発生するもの
で、パターンデータメモリ12、テストシーケンスプロ
セッサ14、アドレスカウンタ/アクセス回路16、そ
してクロック発生回路18等を備えている。
The pattern generator 10 is an I
It generates a test waveform pattern for CJj3, and includes a pattern data memory 12, a test sequence processor 14, an address counter/access circuit 16, a clock generation circuit 18, and the like.

テストシーケンスプロセッサ14は、内部のメモリに種
々のテスト波形パターンを発生させるために必要なマイ
クロコマンドプログラムを格納しており、それを実行す
ることによりパターンデータメモリ12に対するスター
トアドレス情報aを発生するとともに、クロック発生回
路18を起動する。
The test sequence processor 14 stores microcommand programs necessary for generating various test waveform patterns in its internal memory, and by executing the microcommand programs, it generates start address information a for the pattern data memory 12 as well as , starts up the clock generation circuit 18.

パターンデータメモリ12は、被検査デバイス(IC)
の性能9機能試験に必要な種々の波形パターンに対応し
て複数のパターンデータを内部のメモリに格納しており
、各パターンデータは、等しい長さで、等しい領域に分
割された記憶領域M/、M2.”・・、Mj 、e 拳
Mnにそれぞれ記憶されている。
The pattern data memory 12 is a device under test (IC).
A plurality of pattern data are stored in the internal memory corresponding to various waveform patterns required for performance 9 functional tests, and each pattern data is stored in the storage area M/M which is divided into equal areas with equal length. , M2. ”..., Mj, e are respectively stored in the fist Mn.

これら各記憶領域は、アドレスカウンタ/アクセス回路
16から与えられるアドレス情報(及び読み出し制御信
号)により指定され、その記憶領域の先頭アドレスを基
をとした各アドレスから順次データをパターンデータh
として出力し、それをビットデータ/波形変換回路20
に送出する。
Each of these storage areas is specified by address information (and read control signal) given from the address counter/access circuit 16, and data is sequentially transferred from each address based on the start address of the storage area to the pattern data h.
and output it as bit data/waveform conversion circuit 20.
Send to.

ビットデータ/波形変換回路20は、パターンデータメ
モリ12から出力されるビットパターンデータをテスト
波形パターンに変換して、それをドライブ回路6(その
ドライバ7)へと出力する。
The bit data/waveform conversion circuit 20 converts the bit pattern data output from the pattern data memory 12 into a test waveform pattern and outputs it to the drive circuit 6 (its driver 7).

ここで、アドレスカウンタ/アクセス回路16は、テス
トシーケンスプロセッサ14からパターンデータメモリ
12の先頭アドレス値がストアされる。その後、このア
ドレス値は、テストシーケンスプロセッサ14により起
動されたクロック発主回路18からのクロック信号によ
り更新される。
Here, the address counter/access circuit 16 stores the start address value of the pattern data memory 12 from the test sequence processor 14. This address value is then updated by a clock signal from clock generator circuit 18 activated by test sequence processor 14 .

そしてアトl/スが更新されるごとに、アドレスカウン
タ/アクセス回路16は、パターンデータメモリ12に
対して読み出し、制御信号を送出する。
Each time the at.l/s is updated, the address counter/access circuit 16 reads data from the pattern data memory 12 and sends out a control signal.

したがって、パターンデータメモリ12から読み出され
るパターンデータの発生タイミングは、アドレスカウン
タ/アクセス回路16がメモリをアクセスする速度で決
定され、それは、クロック発生回路18の基本クロック
の周期で決定されることになる。
Therefore, the generation timing of pattern data read from the pattern data memory 12 is determined by the speed at which the address counter/access circuit 16 accesses the memory, which in turn is determined by the period of the basic clock of the clock generation circuit 18. .

テストシーケンスプロセッサ14からアドレスカウンタ
/アクセス回路16にストアされる先頭アドレス値のう
ち1ユ位ビット、例えば上位2ビツト■(2がパターン
データメモリ12の分割された領域の1つを指定する。
The first bit of the first address value stored in the address counter/access circuit 16 from the test sequence processor 14, for example, the upper two bits (2) specifies one of the divided areas of the pattern data memory 12.

そしてその下位ビット。and its lower bits.

例えば下位8ビツトL8がその領域におけるデータパタ
ーンのアクセスアドレスとなる。
For example, the lower 8 bits L8 become the access address of the data pattern in that area.

なお、前記のように、上位ビットを2ビツトとし、−上
位ビットを8ビツトとすると、パターンデータメモリ1
2は、4つの領域に分割されて、4つのパターンデータ
を記憶し、各パターンデータの長さは、上位が8ビツト
なので256ビツトとなる。そしてクロ・・ツク発生回
路18からのクロ・ツク信号により更新されるアドレス
は、この上位8ビツトL8のみの範囲でなされる。
Note that, as mentioned above, if the upper bits are 2 bits and the -higher bits are 8 bits, the pattern data memory 1
2 is divided into four areas and stores four pattern data, and the length of each pattern data is 256 bits since the upper part is 8 bits. The address updated by the clock signal from the clock generation circuit 18 is done within the range of only the upper 8 bits L8.

次に、テスト波形パターンの発生動作について説明する
Next, the operation of generating a test waveform pattern will be explained.

第2図(a)に見るような波形パターンを発生する場合
を考えて見ると、基準点0から50ns経たら立ち上が
り、この波形は、基準点Oから150ns経たら立ち下
がり、さらに基準点Oから850ns経たらqち+がり
、750nsで立ちFがる波形パターンとして捉えるこ
とができる。
Considering the case of generating a waveform pattern as shown in Fig. 2 (a), this waveform rises after 50 ns from reference point 0, falls after 150 ns from reference point O, and then starts from reference point O. It can be understood as a waveform pattern in which q changes after 850 ns and rises to F after 750 ns.

そこで、このような波形を発生させようとした場合に、
基準点Oからの立ち上がり時間と)γち一ドがり時間と
を管理すれば1.波形の周期に関係なく、表現できる。
Therefore, when trying to generate a waveform like this,
If you manage the rise time from the reference point O and the γ difference time, 1. It can be expressed regardless of the period of the waveform.

この基準点Oは、パターンデータメモリ12の先頭アド
レスのアクセス開始時間に対応させて、各立ちにかり時
間と立ち下がり時間をメモリ1番地をアクセスするアク
セス周期で計測すれば、前記波形が表現できる。
If this reference point O corresponds to the access start time of the first address of the pattern data memory 12, and each rising time and falling time are measured in the access cycle of accessing memory address 1, the above waveform can be expressed. .

ここに、パターンデータメモリ12のアクセス時間の栄
位は、アドレスカウンタ/アクセス回路16のアドレス
灯新時間により811測でき、それは、クロック発生回
路18のクロック周期で決定される。すなわち、先頭ア
ドレス位置からクロック発生回路18で発生したクロッ
ク数がアドレスの更新数に対応し、アドレスアクセス数
と時間とが1対1で決定される。
Here, the access time of the pattern data memory 12 can be measured by the address light refresh time of the address counter/access circuit 16, which is determined by the clock cycle of the clock generation circuit 18. That is, the number of clocks generated by the clock generation circuit 18 from the first address position corresponds to the number of address updates, and the number of address accesses and time are determined on a one-to-one basis.

したがって、テスト波形パターンが立ち上がる場合には
、パターンデータメモリ12の先頭アドレスからアクセ
ス周期X番地数+1のところで立ち上がりを示すフラグ
を立てる。仮に、このフラグを2ビツト構成とすれば、
そのデータフラグは、“例えば11”をもってqちL−
がりとすることができる。そして同様に立ち下がる場合
には、アクセス周期X番地数+1のところで電ち下がり
のフラグを立てればよい。その立ちト°がりデータフラ
グは、例えば°’30″又は°’01”をもって〜γち
ドがりとすることができる。
Therefore, when the test waveform pattern rises, a flag indicating the rise is set at the access period X address number+1 from the start address of the pattern data memory 12. If this flag is made up of 2 bits,
The data flag is "for example 11".
It can be stiffened. If the voltage falls in the same way, it is sufficient to set a falling flag at the access cycle X number of addresses +1. The rising edge data flag can be set to .gamma. difference, for example, by .degree.'30'' or .degree.'01''.

このように複数のビットにより立ち]−かり、及び〃ち
下がりを表現することもできるが、フラグを1ビツトと
すると、フラグ1″を立ち−1−かり(若しくはHIG
Hレベルの状態)として、フラグ0”を立ち一ドがり(
若しくはL OW lzベベル状態)として表現するこ
ともできる。
In this way, it is also possible to express rising, rising and falling with multiple bits, but if the flag is one bit, flag 1'' can be expressed as rising, rising and falling (or HIG).
When the flag 0" is set to high level (H level state), the flag is set to
Alternatively, it can also be expressed as a LOW lz bevel state).

第2図(b)は、このjビットによる場合のパターンデ
ータメモリ12の記憶状態を示すものであって、このメ
モリは1,1アドレスに1ビツトの情報を記憶するビッ
トメモリである。今仮に、クロック発生回路18のアド
レス更新時間を1 On8周期とし、第2図の波形パタ
ーンに対応するパターンデータが第3番L1の記憶領域
M3に記憶されているものとする。この第3番IIの領
域は、1−位2ビットH2が“10゛で指定されるもの
であって、512番地から開始3される。
FIG. 2(b) shows the storage state of the pattern data memory 12 in this j-bit case, and this memory is a bit memory that stores 1-bit information at the 1,1 address. Assume now that the address update time of the clock generation circuit 18 is 1 on 8 cycle, and that pattern data corresponding to the waveform pattern of FIG. 2 is stored in the storage area M3 of the third L1. In this third area II, the 1st-order 2 bits H2 are specified by "10" and start from address 512.

そこで、512番地をアクセスの基準番地(先頭計地)
として第2図(21)のテスト波形パターンを考えて見
ると、50r1s後は、517番地となり、150ns
後は、52727番地り、650 n s後は、577
番地、そして750 n s後は、58787番地クセ
スすることになる。
Therefore, address 512 is the standard address for access (first location).
Considering the test waveform pattern in Fig. 2 (21), after 50 r1s, the address will be 517, and it will be 150 ns.
After 52727, after 650 ns, 577
address, and after 750 ns, address 58787 will be accessed.

このような場合には、第2図(b)に見るように、パタ
ーンデータメモリ12の51212番地準にシーケンシ
ャルにアクセスした場合、512番地〜518番地まで
の間フラグ°“0”を記憶し、517番地〜526番地
までの間フラグ1”を記憶し、527番地〜576番地
までの間フラグ゛′0”を記憶し、577番地〜586
番地までの間フラグ1”を記憶する。このことにより、
512許地からパターンデータメモリ12のアクセスを
開始すれば、第2図(a)に対応するビットパターンが
得られる。
In such a case, as shown in FIG. 2(b), when address 51212 of the pattern data memory 12 is accessed sequentially, the flag "0" is stored between addresses 512 and 518, and Flag 1'' is stored between addresses 517 and 526, flag ``0'' is stored between addresses 527 and 576, and flag ``0'' is stored between addresses 577 and 586.
Flag 1" is stored until the address. By this,
If access to the pattern data memory 12 is started from the 512 location, a bit pattern corresponding to FIG. 2(a) is obtained.

そしてこのパターンデータメモリ12の出カビノドパタ
ーンは、ビットデータ/波形変換回路20に送出されて
、第2図(a)に見るパターデータに変換され、ドライ
ブ回路8のドライバ7に送出される。
The output pattern of the pattern data memory 12 is then sent to the bit data/waveform conversion circuit 20, converted into the putter data shown in FIG. 2(a), and sent to the driver 7 of the drive circuit 8.

なお、この場合のビットデータ/波形変換回路20は、
いわゆるNRZで符号化されたビットデータをパルス波
形に変換する回路である。なお、ここでクロック発生回
路18のアドレス更新時間を100nsとすると、51
212番地準にシーケンシャルにアクセスして行けば1
μsを経た後は、10番地をアクセスすることになる。
Note that the bit data/waveform conversion circuit 20 in this case is as follows:
This is a circuit that converts bit data encoded by so-called NRZ into a pulse waveform. Note that if the address update time of the clock generation circuit 18 is 100 ns, then 51
If you sequentially access address 212, 1
After μs, address 10 will be accessed.

以上のようにすれば、パターンデータメモリ12のメモ
リーLのフラグ記憶位置がパルス波形の立ち上がり(若
しくはHIGHレベルの状態)又は立ち下がり(若しく
はLOWレベルの状態)を示すことになる。
By doing so, the flag storage position in memory L of the pattern data memory 12 will indicate the rising edge (or HIGH level state) or falling edge (or LOW level state) of the pulse waveform.

ところで、この実施例では、パターンデータメモリの領
域を均等に領域分割しているが、この分割の仕方は、必
ずしも均等でな(でもよい。複数のパターンデータが複
数の領域に記憶されていればよく、この場合には、各領
域に記憶されるパターンデータの長さは等しくない。そ
して各領域の先頭アドレスがテストシーケンスプロセッ
サ14でそれぞれ管理されることになる。なお、均等に
分割すれば、各領域に記憶されるパターンデータの長さ
が等しくなるので、テストシーケンスプロセ、すの制御
で前の領域アクセス終了後に連続的に次の領域をアクセ
スできるように組合せてアクセスすることが容易となり
、これらパターンデータを組合せて使用することが簡単
にできる。その結果、複雑な波形パターンを簡単に発生
させることができる。
By the way, in this embodiment, the area of the pattern data memory is equally divided into areas, but the method of division is not necessarily equal (or may be).If multiple pieces of pattern data are stored in multiple areas, In this case, the length of pattern data stored in each area is often not equal.The start address of each area is managed by the test sequence processor 14.In addition, if the pattern data is divided evenly, Since the length of pattern data stored in each area is equal, it is easy to access the next area in combination so that the next area can be accessed continuously after the previous area has been accessed under the control of the test sequence process. These pattern data can be easily used in combination.As a result, complex waveform patterns can be easily generated.

また、ここでは、4つに領域分割したものを例としてい
るが、これは複数の領域に分かれていればよいものであ
る。
Furthermore, here, an example is given in which the area is divided into four areas, but it is sufficient if the area is divided into a plurality of areas.

さて、第3図は、この発明のパターンデータ発生装置の
他の一実施例を示すものであって、第1図に示すものと
同様なものは、同一・の符号で示す。
Now, FIG. 3 shows another embodiment of the pattern data generating device of the present invention, and the same parts as those shown in FIG. 1 are designated by the same symbols.

この実施例では、テスト波形パターンの立ち一ヒがりと
立ちFがりの位置をそれぞれ別々のメモリにパターンデ
ータとして記憶したものであって、パターンデータメモ
リ12に代えて、パターンデータメモリ12aが立ち十
、がりの位置をフラグ1“として記憶し、パターンデー
タメモリ12bが立ち下がりの位置をフラグ1”として
記憶している。なお、これらパターンデータメモリ12
a、12bもパターンデータメモリ12と同様に記憶領
域が分割されているものである。
In this embodiment, the positions of the rising edge and rising edge of the test waveform pattern are stored as pattern data in separate memories, and instead of the pattern data memory 12, the pattern data memory 12a is used as pattern data. The position of the trailing edge is stored as a flag 1'', and the pattern data memory 12b stores the position of the trailing edge as a flag 1''. Note that these pattern data memories 12
Similarly to the pattern data memory 12, the storage areas of the pattern data memory a and 12b are divided.

そして、波形発生回路13がそれぞれのパターンデータ
メモリ12a、12bからフラグ1”が読み出されたタ
イミングで、発生波形をNγち1〕げ、又は立ち下げる
動作をする。
Then, the waveform generation circuit 13 increases or decreases the generated waveform by Nγ1] at the timing when the flag 1'' is read from the respective pattern data memories 12a and 12b.

例えば、領域分割された第1番目の領域がそれぞれのパ
ターンデータメモリ12a、12bにおいて選択される
と仮定すると、パターンデータメモリ12aの3番地に
フラグ1”を記憶し、パターンデータメモリ12bの6
番地にフラグ1”を記憶した場合には、アドレスカウン
タ/アクセス回路16が0番地から順次カウントして行
き、順次メモリアドレスが増加し、パターンデータメモ
リ12aでは、4サイクル目にフラグ″1”が読み出さ
れ、図に見るような“oooioooo”のビットパタ
ーンが発生する。
For example, assuming that the first divided area is selected in each of the pattern data memories 12a and 12b, flag 1'' is stored at address 3 of the pattern data memory 12a, and flag 1'' is stored at address 3 of the pattern data memory 12b.
When flag 1" is stored at the address, the address counter/access circuit 16 counts sequentially from address 0, the memory address increases sequentially, and in the pattern data memory 12a, the flag "1" is stored in the fourth cycle. The data is read out, and a bit pattern of "ooooiooo" as shown in the figure is generated.

−方、パターンデータメモリ12bでは、7サイクルロ
にフラグ1゛が読み出され、図に見るような“oooo
ooio”のビットパターンが発生する。これをパター
ンデータの立ち」−かり及び立ち下がりの指令信号とし
て、これらが順次波形発生回路13に入力されて、それ
ぞれのサイクルに相当する時間位置でドライブ回路6の
ドライz<7(第8図参照)を高レベル又は低レベルに
セットするものである。
- On the other hand, in the pattern data memory 12b, flag 1 is read out in the 7th cycle, and as shown in the figure, "ooooo" is read out.
A bit pattern of "ooio" is generated. These are sequentially input to the waveform generation circuit 13 as command signals for the rising and falling edges of the pattern data, and are input to the drive circuit 6 at time positions corresponding to each cycle. The dry z<7 (see FIG. 8) is set to a high level or a low level.

第4図は、この発明のパターンデータ発生装置のさらに
他の一実施例を示すものであって、第1図に示すものと
同様なものは、同一の符号で示す。
FIG. 4 shows still another embodiment of the pattern data generating device of the present invention, and the same parts as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

この実施例では、同様に領域分割されたパターンデータ
メモリ12cの1アドレスから読み出されるパターンデ
ータを例えば1バイトとして、それをビットパラレルに
読み出して一旦シフトレジスタ15に格納する。そして
シフトレジスタ15からシリアルにパターンデータを読
み出してビットデータ/波形変換回路20に送出するも
のである。
In this embodiment, the pattern data read from one address of the pattern data memory 12c similarly divided into areas is, for example, one byte, which is read out in bit parallel and temporarily stored in the shift register 15. Then, pattern data is serially read out from the shift register 15 and sent to the bit data/waveform conversion circuit 20.

なお、波形の立ち上がり(若しくはHIGHレベルの状
態)又は立ちドがり(若しくはLOWレベルの状態)は
、第1図の場合と同様に、フラグ“1”を最初に立ち−
にがりとして、フラグ°“0”を立ちドがりとして表現
するものとすれば、第5図に見るように8ビツトのうち
のビット°“1”を立てた位置がその立ち一トがり時点
となる。そしてこのタイミングは、パターンデータメモ
リ12cの番地をアクセスしてきた時刻にさらに加算さ
れる。
Note that when the waveform rises (or HIGH level state) or falls (or LOW level state), as in the case of FIG. 1, first set the flag "1" to -
As a bittern, if the flag ``0'' is expressed as a rising edge, the position where bit ``1'' of the 8 bits is set is the point at which the rising edge occurs, as shown in Figure 5. . This timing is further added to the time when the address of the pattern data memory 12c is accessed.

この加算される時刻は、シフトレジスタ15がビットシ
フトする時間により決定されるもので、シフトレジスタ
15の1ビツトシフト時間をパターンデータメモリ12
cのアクセス周期より短い値とすることにより、より細
がいタイミング設定ができる。
The time at which this addition is performed is determined by the time when the shift register 15 shifts bits.
By setting a value shorter than the access cycle of c, more precise timing can be set.

このようにシフトレジスタによりパラレルに読み出すこ
とにより高速なパターンデータを発生することが可能で
あって、細かなタイミング制御が実現できる。
In this way, by reading data in parallel using a shift register, it is possible to generate high-speed pattern data, and fine timing control can be realized.

ところで、テストシーケンスプロセッサ14の内部にお
けるマイクロコマンドプログラムの実行動作それ自体は
、一般的なマイクロプログラムの実1−を動作と同様で
ある。ここで大切なことは、パターンデータメモリにテ
スト波形パターンの立ちl二かり(若しくは\rち−1
−がり状態、若しくはHIGHレベル)又は立ち下がり
(若しくは立ち下がり状態、若しくはLOWレベル)の
時間位置が特定の情報として記憶されていて、メモリの
アクセス周期が時間計測の基準となることである。
Incidentally, the execution operation of the microcommand program within the test sequence processor 14 itself is similar to the actual operation of a general microprogram. What is important here is that the test waveform pattern is stored in the pattern data memory.
The time position of the falling state (or falling state, or HIGH level) or falling state (or falling state, or LOW level) is stored as specific information, and the access cycle of the memory is used as the reference for time measurement.

したがって、マイクロコマンドにより先頭アドレスをア
ドレスカウンタ/アクセス回路にセットするだけで一連
のテスト波形パターンが生成できる。
Therefore, a series of test waveform patterns can be generated simply by setting the start address in the address counter/access circuit using a microcommand.

以−L説明してきたが、各実施例におけるアドレスカウ
ンタ/アクセス回路とかパターンデータメモリは、検査
ICのピン対応に複数個設けられることになる。この場
合、テストシーケンスプロセッサとかクロック発生回路
等は、各アドレスカウンタ/アクセス回路とかパターン
データメモリに共通に用いることができる。
As described above, in each embodiment, a plurality of address counter/access circuits and pattern data memories are provided corresponding to the pins of the test IC. In this case, the test sequence processor, clock generation circuit, etc. can be used in common for each address counter/access circuit and pattern data memory.

さらに、この例では、パターンデータメモリは、先頭ア
ドレスを指定して特定の波形パターンに対応するパター
ンデータを読み出すものであり、パターンデータメモリ
の領域の分割は、波形発生パターンの1つの単位長さに
対応している。そして各領域には相違するパターンデー
タが記憶されている。したがって、他の領域の先頭アド
レスをアドレスカウンタ/アクセス回路にストアするこ
とにより、他の波形パターンを発生させることができる
Furthermore, in this example, the pattern data memory is for reading pattern data corresponding to a specific waveform pattern by specifying the start address, and the area of the pattern data memory is divided into one unit length of the waveform generation pattern. It corresponds to Different pattern data is stored in each area. Therefore, by storing the start address of another area in the address counter/access circuit, other waveform patterns can be generated.

この場合、同じ波形パターンを繰り返し発生するときに
は、ストシーケンスプロセッサがそのマイクロプログラ
ムにより繰り返し同じ先頭アドレスをアドレスカウンタ
/アクセス回路にストアすることにより行う。
In this case, when the same waveform pattern is repeatedly generated, the strike sequence processor repeatedly stores the same start address in the address counter/access circuit using its microprogram.

また、実施例では、1ビツトの場合又は2ビツトの場合
においてそれぞれのピントでその立ち上がり又は立ち下
がりを表現している。しかし、これは、1バイトデータ
で表現するものであってもよく、さらには、立ち上がり
パターンデータの場合では、最初のフラグ1”で立ち−
[−がりを示し、次のフラグ“1パで)yちドがり位置
を示すようにして交1jに設定し、1ビツトのフラグの
みで波形の17′、ちドがり又は11ち[−がり位置を
表現してもよいことはもちろんである。
Further, in the embodiment, in the case of 1 bit or 2 bits, each focus represents the rising or falling edge. However, this may be expressed as 1-byte data, and furthermore, in the case of rising pattern data, the first flag 1'' causes the flag to rise.
Set the intersection 1j so as to indicate the y difference position with the next flag "1 pa", and use only 1 bit flag to indicate the waveform's 17', difference or 11 [- difference]. Of course, the position may also be expressed.

また、フラグは、“1”の状態に限らず、°“0“の状
態を\yち1−がり又は−rち下がりデータとして使用
することができるものである。
Furthermore, the flag is not limited to the "1" state, but the "0" state can be used as \y minus one or -r falling data.

さらに、実施例では、1アドレスのアクセス周期を単位
として発生波形のタイミングを計測しているが、これは
、1アドレスに1ビツトのデータを書き込むものに限定
されるものではなく、例えば2アドレスに2ビツトのデ
ータを書込み、2アドレス単位にアクセス周期を決定し
てもよ<、一般にn(nは正の整数)を基本単位とした
アクセス周期を基をとしてそのタイミングを計1ijl
lしてもよいことはもちろんである。
Furthermore, in the embodiment, the timing of the generated waveform is measured using the access period of one address as a unit, but this is not limited to writing one bit of data to one address; You can write 2-bit data and determine the access cycle in units of 2 addresses.Generally, the timing is calculated based on the access cycle with n (n is a positive integer) as the basic unit.
Of course, it is also possible to do this.

また、パターンデータメモリは、RAMであっても、R
OMであってもよいことはもちろんである。
Furthermore, even if the pattern data memory is RAM, R
Of course, it may be OM.

以l−6、この発明の−・実施例としてテスト波形パタ
ーン発生装置につき説明したが、この発明は他の同様の
パターンデータを発生する装置にも適用できることはも
ちろんである。
Although the test waveform pattern generating device has been described as an embodiment of the present invention in 1-6, it goes without saying that the present invention can be applied to other similar pattern data generating devices.

[発明の効果コ 以1−説明から理解できるようにこの発明にあっては、
メモリのn番地(nは正の整数)のアドレスをアクセス
するアクセス周期を単位とし、発生波形パターンに対応
するパターンデータをメモリに記憶し、このメモリを順
次アクセスして得たパターンデータに基づき所定の波形
パターンを発生するものであって、メモリは、複数の記
憶領域を有していて、複数の発生波形パターンに対応す
るそれぞれのパターンデータを複数の記憶領域にそれぞ
れ記憶しているので、発生波形パターンは、いつ立ち−
Lがるか、いつ立ち下がるかを、時間情報だけでメモU
 、Thにて指定することが可能となり、データとタイ
ミングとを別々に取り扱わなくて済むことになる。その
結果、テスト波形パターンの発生が容易きなり、その管
理、側御がili純なものとなる。しかも、テスト波形
パターンに対応するパターンデータを複数の領域にそれ
ぞれ記憶しているので、領域を選択するだけで種々の波
形パターンをmi中に発生させることができる。
[Effects of the Invention (1) As can be understood from the description, this invention has the following effects:
The access period for accessing address n (n is a positive integer) of the memory is used as a unit, pattern data corresponding to the generated waveform pattern is stored in the memory, and a predetermined value is determined based on the pattern data obtained by sequentially accessing this memory. The memory has a plurality of storage areas, and each pattern data corresponding to the plurality of generated waveform patterns is stored in the plurality of storage areas. When does the waveform pattern start?
Make a memo with just the time information of when the L will go down and when it will go down.
, Th, and there is no need to handle data and timing separately. As a result, test waveform patterns can be easily generated, and their management and control become extremely simple. Moreover, since the pattern data corresponding to the test waveform patterns are stored in a plurality of areas, various waveform patterns can be generated in mi simply by selecting an area.

また、いくつかの領域にそれぞれ−・定周期の長さでノ
、(木的な波形パターンデータを記憶するようにすれば
、これらの組合せて順次アクセスすることにより複雑な
波形パターンをこれらの組合せで而41に発生させるこ
とができる。
In addition, if you store tree-like waveform pattern data in several areas, each with a fixed period length, you can create complex waveform patterns by combining them and sequentially accessing them. Therefore, it can be generated in 41 seconds.

したがって、その自由度が大きく、ハードウェア構成が
f11純となる。また、テストICの各ピンの回路を同
一の回路(同一のメモリを使用する意味として)として
実現することができる。
Therefore, the degree of freedom is large, and the hardware configuration is pure f11. Further, the circuits for each pin of the test IC can be realized as the same circuit (meaning that the same memory is used).

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明によるパターン発生装置の−・実施
例の概略プロ、り図、第2図(a)は、発生すべき波形
パターンの具体例の説明図、第2図(b)は、その場合
のパターンデータメモリの記憶内容を示す説明図、第3
図は、この発明のパターンデータ発生装置の他の一実施
例の概略ブロック図、第4図は、この発明のパターンデ
ータ発生装置のさらに他の一実施例の概略ブロフク図、
第5図は、パターンデータメモリの1アドレスに記憶さ
れるパターンデータの具体例の説明図、第6図は、従来
のパターンデータ発生装置のブロック図、第7図は、そ
れぞれその波形発生タイミングチャートである。 ■・・・パターン発生器、2・・・データセレクタ、3
・・・波形フォーマツタ、 4・・・タイミング発生器、 6・・・次段のドライブ回路、7・・・ドライバ、7 
a +  7 b・・・基準電圧源モジュール、10・
・・パターン発生装置、 12+  12 a、12 b、12 c・=パターン
データメモリ、13・・・波形発生回路、 14・・・テストシーケンスプロセッサ、15・・・シ
フトレジスタ、 16・・・アドレスカウンタ/アクセス回路、18・・
・クロック発生回路。 20・・・ビットデータ/波形変換回路。 M/ 9M21Ml 、Mn −・記憶領域。 第、1図 第 2 図 (0−) 第2図(b) 第4図 第3図 第5図 第  6  図 第7図
FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment of the pattern generator according to the present invention, FIG. 2(a) is an explanatory diagram of a specific example of a waveform pattern to be generated, and FIG. , an explanatory diagram showing the storage contents of the pattern data memory in that case, Part 3
FIG. 4 is a schematic block diagram of another embodiment of the pattern data generating device of the present invention, FIG. 4 is a schematic block diagram of still another embodiment of the pattern data generating device of the present invention,
FIG. 5 is an explanatory diagram of a specific example of pattern data stored in one address of the pattern data memory, FIG. 6 is a block diagram of a conventional pattern data generator, and FIG. 7 is a waveform generation timing chart thereof. It is. ■...Pattern generator, 2...Data selector, 3
... Waveform formatter, 4... Timing generator, 6... Next stage drive circuit, 7... Driver, 7
a + 7 b...Reference voltage source module, 10.
...Pattern generator, 12+12 a, 12 b, 12 c.=pattern data memory, 13... Waveform generation circuit, 14... Test sequence processor, 15... Shift register, 16... Address counter /Access circuit, 18...
・Clock generation circuit. 20...Bit data/waveform conversion circuit. M/9M21Ml, Mn--Storage area. Figure 1 Figure 2 (0-) Figure 2 (b) Figure 4 Figure 3 Figure 5 Figure 6 Figure 7

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)メモリのn番地(nは正の整数)のアドレスをア
クセスするアクセス周期を単位とし、発生波形パターン
に対応するパターンデータを前記メモリに記憶し、この
メモリを順次アクセスして得たパターンデータに基づき
所定の波形パターンを発生するものであって、前記メモ
リは、複数の記憶領域を有していて、複数の前記発生波
形パターンに対応するそれぞれのパターンデータが前記
複数の記憶領域にそれぞれ記憶されていることを特徴と
するパターン発生装置。
(1) The pattern data corresponding to the generated waveform pattern is stored in the memory, and the pattern obtained by sequentially accessing this memory is determined by the access period in which the address n (n is a positive integer) of the memory is accessed. A predetermined waveform pattern is generated based on data, and the memory has a plurality of storage areas, and each pattern data corresponding to the plurality of generated waveform patterns is stored in each of the plurality of storage areas. A pattern generator characterized by being memorized.
(2)発生波形パターンはテスト波形パターンであり、
メモリはビットメモリであって、そのアクセスはアドレ
スカウンタをクロック周期に対応して更新するごとに行
われ、アクセス周期はこのクロック周期で決定されるも
のであって、パターンデータは発生波形パターンのHI
GHレベル又はLOWレベルの状態に対応して、所定の
番地を基準に前記HIGHレベル又はLOWレベルのタ
イミング対応にアクセス周期を単位として計測されるア
ドレス位置に特定のデジタル信号の情報を記録すること
により形成されることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載のパターン発生装置。
(2) The generated waveform pattern is a test waveform pattern,
The memory is a bit memory, and its access is performed every time the address counter is updated in accordance with the clock cycle, and the access cycle is determined by this clock cycle, and the pattern data is the HI of the generated waveform pattern.
By recording information on a specific digital signal at an address position measured in units of access cycles in response to the timing of the HIGH level or LOW level with a predetermined address as a reference in response to the state of the GH level or LOW level. Claim 1 characterized in that:
The pattern generator described in Section 1.
(3)発生波形パターンはテスト波形パターンであり、
メモリはビットメモリであって、そのアクセスはアドレ
スカウンタをクロック周期に対応して更新するごとに行
われ、アクセス周期はこのクロック周期で決定されるも
のであって、パターンデータは、発生波形パターンの立
ち上がり又は立ち下がりに対応して、所定の番地を基準
に前記立ち上がり又は立ち下がりのタイミング対応にア
クセス周期を単位として計測されるアドレス位置に特定
のデジタル信号の情報を記録することにより形成される
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のパターン
発生装置。
(3) The generated waveform pattern is a test waveform pattern,
The memory is a bit memory, and its access is performed every time the address counter is updated in accordance with the clock cycle.The access cycle is determined by this clock cycle, and the pattern data is based on the generated waveform pattern. Formed by recording information of a specific digital signal at an address position that is measured in units of access cycles corresponding to the timing of the rising or falling edge based on a predetermined address in response to the rising edge or falling edge. A pattern generating device according to claim 1, characterized in that:
(4)パターンデータは、立ち上がりを2値信号の一方
の値に対応させ、立ち下がりを2値信号の他方の状態に
対応させた情報として形成され、発生波形パターンは、
NRZデータとしてこのパターンデータから再生さるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第3項記載のパターン発
生装置。
(4) The pattern data is formed as information in which the rising edge corresponds to one value of the binary signal and the falling edge corresponds to the other state of the binary signal, and the generated waveform pattern is
4. The pattern generating device according to claim 3, wherein NRZ data is reproduced from this pattern data.
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