JPS6242444Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はエネルギーアナライザ等に使用される
スリツト可変装置に関する。

電子顕微鏡においては、しばしば試料透過電子
線のエネルギー分析が行われる。第１図はこのよ
うなエネルギー分析の概略を示すもので、薄膜状
試料１に細く絞られた電子線２を照射し、その透
過電子線３をこの静電極からなるアナライザ４に
導くとアナライザ４の出射方向Ｚに垂直なxy平
面のｙ方向に沿つて電子線３が３ａ，３ｂ，３ｃ
のように分離される。このｙ方向における電子線
強度Ｉの分布は、第２図のようなスペクトルとな
るが、このスペクトルを得るには、xy平面のｘ
方向に平行なスリツト装置５とその後段に電子検
出器６を設け、エネルギアナライザ４に印加され
るアナライザ電圧Ｅを掃引し、該掃引電圧Ｅに対
する検出器６の出力を記録表示すればよい。この
時微細なスペクトルを得るにはスリツト装置５の
スリツト間隔５ａをなるべく小さくしなければな
らない。一方、第２図中のスペクトルピークＰに
注目し、このピーク波形のエネルギー幅ΔＥに対
応する比較的大きなスリツト幅となるようなスリ
ツト装置５を選び、エネルギアナライザ４の印加
電圧をE₁に設定してスペクトルＰに対応する電
子線がスリツト装置５を通過させるようにする。
この状態で電子線２による試料１の走査を行い、
該走査と同期したCRT（図示しない）に検出器
６の出力を供給すればスペクトルＰを生じる物質
構造の試料内の分布が観察できる。

以上のように電子顕微鏡におけるエネルギアナ
ライザの使用方法には二通りあり、スリツト装置
は夫々の使用方法に応じて予め異なつた幅のスリ
ツトを２枚或るいは３枚用意し、測定毎に交換し
て用いていた。しかしながら、スリツト幅の固定
されたものを選択して用いる場合には、任意のス
リツト幅が得られず測定条件の僅かな変化を打ち
消すためにスリツト幅を微少に増減させることは
勿論できなかつた。

本考案はこのような問題を解決し、微少なスリ
ツト幅では精度の高い微調整が行え、大きなスリ
ツト幅では粗調整が行えるような可変スリツト装
置を提供することを目的とするもので、軸Ｚに垂
直なxy平面内に設けられた二枚のスリツト板
と、各スリツト板のスリツト形成用のスリツト辺
が常にｘ方向と平行を保ちつつそのｙ方向位置を
規制する二つのスリツトホルダと、該両ホルダと
当接しｘ方向に移動することによつて前記各スリ
ツト辺のｙ方向間隔Ｓを可変するための移動軸と
を備えた装置において、前記移動軸の移動量Δｘ
に対する前記各スリツト辺のｙ方向移動量Δｙの
比Δｙ／ΔｘがＳの値の増加に従つて大きくなる
よう構成したことを特徴とするものである。

以下本考案の一実施例を添付図面に基づき詳述
する。

第３図は本考案の一実施例を示す断面図で、図
中１０は例えば電子顕微鏡の鏡筒であり、この鏡
筒１０には気密を保つてスリツト保持体１１が貫
通している。この保持体１１は鏡筒１０に固定し
てもよいが、図示外の駆動機構を用いて電子線軸
Ｚと直角な平面で移動可能に構成してもよい。該
保持体１１の鏡筒内部には板バネ１２a₁，１２a₂
及び１２b₁，１２b₂の夫々一端が固定され、各対
をなす板バネの他端にはホルダ１３ａ，１３ｂが
夫々固定されている。このホルダ１３ａにはスリ
ツト板１４ａが固着され、又１３ｂにはスリツト
板１４ｂが固着され両スリツト板のスリツト辺の
間隙によつて微小スリツトＳを形成する。尚第４
図はｘ軸方向からスリツト板を眺めた略図であ
る。１５は保持体１１内に気密を保つて移動可能
に配置された移動軸で、真空内先端部１５ａは、
緩かな傾斜Ａ及び急峻な傾斜Ｂの二段のテーパが
形成され、そのいずれかの傾斜面はホルダ１３
ａ，１３ｂの端部に接しており、その状態は第５
図に示される。該移動軸１５の他の端部には、鍔
部１５ｂが形成され、該鍔部１５ｂと保持体１１
との間にコイルバネ１６が挿入され、移動軸１５
を鏡筒外に向けて常に押すよう構成されている。
１７は移動軸１５を移動させる制御棒で、該制御
棒１７の先端は前記移動棒１５の鍔部１５ｂの端
面に当接し、該制御棒１７は図示外の駆動装置に
よつて移動できるよう構成されている。

以上の構成において、図示外の駆動装置により
制御棒１７をＭ方向に移動させると、それに当接
する移動軸１５は軸方向に移動する。その結果、
先端部１５ａが板バネ１２a₁，１２a₂，１２b₁，
１２b₂に抗してホルダ１３ａ，１３ｂを押し開き
スリツトＳの幅は広くなる。又制御棒１７をＮ方
向に移動させると、コイルバネ１６により移動軸
１５は右方（Ｎ方向）に押し戻されホルダ１３
ａ，１３ｂの間隔が狭くなり、従つてスリツトＳ
の幅は狭くなる。第６図は本実施例の移動軸１５
が移動した場合のスリツト幅の変化を示したグラ
フである。ところで、本実施例では移動軸１５の
先端部１５ａの形状は、第５図に示すように傾斜
Ａと傾斜Ｂの二段のテーパから形成されている。
このため、該移動軸１５をＯ〜x₁移動させた場
合、第６図に示すごとく、先ずホルダ１３ａ，１
３ｂは緩かな傾斜Ａに沿つて押し開かれスリツト
幅Ｓも変化する。さらに移動軸１５をx₁〜x₂まで
移動させた場合は、ホルダ１３ａ，１３ｂは急峻
な傾斜Ｂに沿つて押し開かれスリツト幅Ｓも変化
する。いま、移動軸１５がＯ〜x₁の間にある場
合、一定の移動量Δx₁に対してはホルダ１３ａ，
１３ｂはΔy₁だけ移動し従つてスリツト幅ＳもΔ
S₁＝２Δy₁だけ変化するのに対し、移動軸１５が
x₁〜x₂の間にある場合には一定の移動量Δx₂に対
してホルダ１３ａ，１３ｂはΔy₂だけ移動し、従
つてスリツト幅ＳもΔS₂＝２Δy₂だけ変化する。
図のように、ΔS₂＞ΔS₁が成り立つ構成にすると
種々の利点が得られる。即ち、移動軸１５の移動
精度や移動速度が、一定であるとするとスリツト
幅Ｓが小さな値のときには高精度の微調整が可能
となり、スリツト幅Ｓが大きな値のときには粗調
整ではあるがスリツトの移動速度を速くして操作
時間を短くすることが可能となる。従つて、スリ
ツト幅の可変が広い場合、例えば200μｍより20
μｍに変化させたい場合は、200μｍから50μｍ
までは粗調整機能で短時間で目的のスリツト幅を
設定することができ、50μｍから20μｍまでは、
微調整機能を使用することによつてスリツト幅の
可変を精度良く行うことができる。

尚本考案は以上の実施例装置に限定されるもの
ではなく、本実施例においては移動軸先端部の形
状を二段のテーパ状としたが、更に段数を増加し
てもよく、又第７図に示す如く曲線状の形状とし
てもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図はエネルギ分析器の概略図、第２図は電
子線強度とエネルギの関係を示す図、第３図は本
考案の一実施例を示す断面図、第４図はスリツト
板の断面略図、第５図は移動軸の先端部の拡大
図、第６図は移動軸が移動した場合のスリツト幅
の変化を示す図、第７図は本考案の他の実施例を
示す図である。 １：試料、２：電子線、３：透過電子線、４：
アナライザ、５：スリツト装置、６：検出器、１
０：鏡筒、１１：スリツト保持体、１２a₁，１２
a₂，１２b₁，１２b₂：板バネ、１３ａ，１３ｂ：
ホルダ、１４ａ，１４ｂ：スリツト板、１５：移
動軸、１６：コイルバネ、１７：制御棒。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 軸Ｚに垂直なxy平面内に設けられた二枚のス
   リツト板と、各スリツト板のスリツト形成用のス
   リツト辺が常にｘ方向と平行を保ちつつそのｙ方
   向位置を規制する二つのスリツトホルダと、該両
   ホルダと当接しｘ方向に移動することによつて前
   記各スリツト辺のｙ方向間隔Ｓを可変するための
   移動軸とを備えた装置において、前記移動軸の移
   動量Δｘに対する前記各スリツト辺のｙ方向移動
   量Δｙの比Δｙ／ΔｘがＳの値の増加に従つて大
   きくなるよう構成したことを特徴とする可変スリ
   ツト装置。