JPS6241756A - 低膨脹性耐熱材料の製法 - Google Patents
低膨脹性耐熱材料の製法Info
- Publication number
- JPS6241756A JPS6241756A JP60179663A JP17966385A JPS6241756A JP S6241756 A JPS6241756 A JP S6241756A JP 60179663 A JP60179663 A JP 60179663A JP 17966385 A JP17966385 A JP 17966385A JP S6241756 A JPS6241756 A JP S6241756A
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- JP
- Japan
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- mol
- sintered body
- temperature
- heat
- resistant material
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は低膨張性および耐熱性に優れた材料の製法に関
する。さらに詳しくは熱Ｗ１１！性が必要とされる耐熱
絶縁部品、たとえば急熱急冷の雰囲気下で使用される抵
抗器用絶縁枠、ヒータープレート、端子ボックスなどに
利用できるとともに、成形体を加熱後、焼結体とし、こ
れを粉砕した粉末は低融点がラスなどの熱膨張を調節す
る低膨張フィラーとしても用いることができる低膨張性
および耐熱性に優れた耐熱材料に関する。
する。さらに詳しくは熱Ｗ１１！性が必要とされる耐熱
絶縁部品、たとえば急熱急冷の雰囲気下で使用される抵
抗器用絶縁枠、ヒータープレート、端子ボックスなどに
利用できるとともに、成形体を加熱後、焼結体とし、こ
れを粉砕した粉末は低融点がラスなどの熱膨張を調節す
る低膨張フィラーとしても用いることができる低膨張性
および耐熱性に優れた耐熱材料に関する。
［従来の技術１
従来から耐熱性お上り低膨張性に優れた材料として石英
ガラス（Ｓｉｎ□）、ウィレマイト（Ｚｎ２ＳｉＯ，）
、コープイライト（３ＭｇＯ・２＾１２０３・５Ｓｉ０
２）、ノルコン（ＺｒＳｉＯ４）などが用いられている
が、これらのものは常温から４００℃までの平均熱膨張
係数が０．５〜４、 Ｉ Ｘ １０−’だＣである。石
英ガラスは１６００℃以上の加熱溶融に上り製造され、
ウィレマイト、コープイライトは１４００℃近辺で合成
される。またノルコンは天然のものがそのままの状態で
利用されているばあいが多い。
ガラス（Ｓｉｎ□）、ウィレマイト（Ｚｎ２ＳｉＯ，）
、コープイライト（３ＭｇＯ・２＾１２０３・５Ｓｉ０
２）、ノルコン（ＺｒＳｉＯ４）などが用いられている
が、これらのものは常温から４００℃までの平均熱膨張
係数が０．５〜４、 Ｉ Ｘ １０−’だＣである。石
英ガラスは１６００℃以上の加熱溶融に上り製造され、
ウィレマイト、コープイライトは１４００℃近辺で合成
される。またノルコンは天然のものがそのままの状態で
利用されているばあいが多い。
このような材料を用いた合成品をうるためには、通常１
４００ ”Ｃ以上の高温で加熱する必要がある。
４００ ”Ｃ以上の高温で加熱する必要がある。
［発明が解決しようとする問題点１
本発明は従来の合成品を製造する加熱温度よりもさらに
低い温度でしかも低膨張性にすぐれた耐熱材料をうるた
めになされたものである。
低い温度でしかも低膨張性にすぐれた耐熱材料をうるた
めになされたものである。
［問題を解決するための手段】
本発明は酸化亜鉛粉末、シリカ粉末およびホウ酸粉末か
らなる成形材料を金型に充填し、温度１．６０〜２００
℃、圧力３０〜３００ｋｇ７ｃｍ２で成形してえられた
成形体を温度９００〜１１００℃で加熱することにより
焼結体をうることを特徴とする低膨脹性耐熱材料の製法
に関する。
らなる成形材料を金型に充填し、温度１．６０〜２００
℃、圧力３０〜３００ｋｇ７ｃｍ２で成形してえられた
成形体を温度９００〜１１００℃で加熱することにより
焼結体をうることを特徴とする低膨脹性耐熱材料の製法
に関する。
［実施例１
本発明において、原料として酸化亜鉛粉末、シリカ粉末
、ホウ酸粉末が用いられる。
、ホウ酸粉末が用いられる。
前記酸化亜鉛粉末は低膨張性を付与するための成分であ
るが平均粒径が１０μｌ以下で一般に市販されているも
のを用いることができるが、このほか水酸化亜鉛、炭酸
亜鉛などを加熱して酸化亜鉛としたものを用いることが
できる。平均粒径は１０μ贋をこえるとｗｔ密な燃結体
をうろことができないため、好ましくない。
るが平均粒径が１０μｌ以下で一般に市販されているも
のを用いることができるが、このほか水酸化亜鉛、炭酸
亜鉛などを加熱して酸化亜鉛としたものを用いることが
できる。平均粒径は１０μ贋をこえるとｗｔ密な燃結体
をうろことができないため、好ましくない。
前記シリカ粉末は、低膨張性を付与するための成分であ
るが平均粒径が４４μＸ以下の通常市販されているシリ
カ粉末を用いることができる。平均粒径は４４μｌより
も大きくなると緻密な焼結体をうろことが困難となるた
め好ましくない。
るが平均粒径が４４μＸ以下の通常市販されているシリ
カ粉末を用いることができる。平均粒径は４４μｌより
も大きくなると緻密な焼結体をうろことが困難となるた
め好ましくない。
前記ホウ酸粉末は、平均粒径が４４μ履以下の正ホウ酸
粉末を用いる。平均粒径は４４μ屑をこえると緻密な焼
結体をうろことが困難となるため、好ましくない。
粉末を用いる。平均粒径は４４μ屑をこえると緻密な焼
結体をうろことが困難となるため、好ましくない。
上記の原料を混合することにより成形材料がえられるが
、成形材料の組成がＺｎＯ１０〜９２モル％、５１０２
２〜５６モル％、またＢ２０． ６〜３４モル％とな
るように調合して用いる。
、成形材料の組成がＺｎＯ１０〜９２モル％、５１０２
２〜５６モル％、またＢ２０． ６〜３４モル％とな
るように調合して用いる。
前記ＺｎＯは１０モル％未満のと！ ＳｉＯ２、Ｂ２０
．の占める比率が大きくなり、焼結体の強度が劣り、ま
た９２モル％をこえても焼結体の強度が劣り、膨張率が
大きくなるので好ましくない。
．の占める比率が大きくなり、焼結体の強度が劣り、ま
た９２モル％をこえても焼結体の強度が劣り、膨張率が
大きくなるので好ましくない。
前記Ｓｉｎ、は２モル％未満だと膨張率が大きくなり、
また５６モル％をこえると焼結体の強度が劣るので好ま
しくない。
また５６モル％をこえると焼結体の強度が劣るので好ま
しくない。
前記Ｂ２０．は６モル％未満のばあい成形時均−な成形
体かえられにくく、また３４モル％をこえると、正ホウ
酸の熱変化物が流動しやすくなり、成形材料が金型から
流出しやす（、均一な組成を有した成形体をうろことが
困難となるので好ましくない。
体かえられにくく、また３４モル％をこえると、正ホウ
酸の熱変化物が流動しやすくなり、成形材料が金型から
流出しやす（、均一な組成を有した成形体をうろことが
困難となるので好ましくない。
つぎにえられた成形材料をボールミル、ｍ潰機などの混
合機を用いて均一に調合したのち、金型に充填し、加熱
温度１６０〜２００℃、圧力３０〜３００ｋｇ７ｃｍ２
で約１時間保持することにより焼結体かえられる。該加
熱温度は１６０°Ｃ未満のとき正ホウ酸の熱変化にとも
なう溶融が遅く、しかも均一な成形体をうろことができ
ず、また２００°Ｃをこえると短時間に溶融するので好
ましくない。また圧力は、３０ｋｇ７ｃｍ２未満のばあ
い均一な成形体かえられにくく、また３０（Ｈｇ／ｅｘ
”をこえたばあいでも均一な成形体がえられるが、高圧
力であるので成形設備費が高価となるので好ましくない
、虫たこのばあいえられた焼結体は２ＺｎＯ ・３Ｂ２
０１ ・ｎＨ２０（ｎは３〜８．５の整数を示す）など
の含水ホウ酸亜鉛が生成しているものと考えられている
。
合機を用いて均一に調合したのち、金型に充填し、加熱
温度１６０〜２００℃、圧力３０〜３００ｋｇ７ｃｍ２
で約１時間保持することにより焼結体かえられる。該加
熱温度は１６０°Ｃ未満のとき正ホウ酸の熱変化にとも
なう溶融が遅く、しかも均一な成形体をうろことができ
ず、また２００°Ｃをこえると短時間に溶融するので好
ましくない。また圧力は、３０ｋｇ７ｃｍ２未満のばあ
い均一な成形体かえられにくく、また３０（Ｈｇ／ｅｘ
”をこえたばあいでも均一な成形体がえられるが、高圧
力であるので成形設備費が高価となるので好ましくない
、虫たこのばあいえられた焼結体は２ＺｎＯ ・３Ｂ２
０１ ・ｎＨ２０（ｎは３〜８．５の整数を示す）など
の含水ホウ酸亜鉛が生成しているものと考えられている
。
つぎにえられた成形体を９００〜１１００’Ｃ″ｃ３〜
１５時間焼結することにより磁器化した高密度の焼結体
がえられる。
１５時間焼結することにより磁器化した高密度の焼結体
がえられる。
前記焼結温度は９００℃よりも低いぼあい高密度の焼結
体かえられないため強度に優れたものとはならない、ま
た１ １００ ’Ｃをこえると焼結体が膨れ、ソリ、割
れなどを生じやすく形状維持が困難となるので好ましく
ない。
体かえられないため強度に優れたものとはならない、ま
た１ １００ ’Ｃをこえると焼結体が膨れ、ソリ、割
れなどを生じやすく形状維持が困難となるので好ましく
ない。
また焼結時間は、成形体の寸法、形状などによって若干
かわるが、３〜１５時間で所望のｍ密な焼結体かえられ
る。
かわるが、３〜１５時間で所望のｍ密な焼結体かえられ
る。
ところでＺｎＯ−８２０，ｊ％のばあい成形時に酸化亜
鉛とホウ酸が反応し、２ＺｎＯ ・３Ｂ２０ｓ ・ｎ１
１２０（ｑは３〜８．５）が生成されると考えられるが
、温度が４５０℃まででは２ＺｎＱ・３Ｂ、０．なる非
晶体が形成される。
鉛とホウ酸が反応し、２ＺｎＯ ・３Ｂ２０ｓ ・ｎ１
１２０（ｑは３〜８．５）が生成されると考えられるが
、温度が４５０℃まででは２ＺｎＱ・３Ｂ、０．なる非
晶体が形成される。
また温度が６００−７００℃になるとＺｎＯ ・２Ｂｚ
Ｏｓあるいは４ＺｎＯ・３Ｂ２０．が晶出するがさらに
温度が９００〜１０００℃となるとえられた結晶は溶融
する。これはＺｎＯ−Ｂ２Ｏ５，ｖ＋ノ１ｒ７ｙＮｔ’
アＱ、本発明ｆ） ： ト％ ｚｎＯ−Ｓｉ（ｈ−Ｂｚ
Ｏ１系の３成分系のばあいは、その反応形態は複雑であ
り、これらの反応形態を明確にした資料はあまりないの
が現状である。
Ｏｓあるいは４ＺｎＯ・３Ｂ２０．が晶出するがさらに
温度が９００〜１０００℃となるとえられた結晶は溶融
する。これはＺｎＯ−Ｂ２Ｏ５，ｖ＋ノ１ｒ７ｙＮｔ’
アＱ、本発明ｆ） ： ト％ ｚｎＯ−Ｓｉ（ｈ−Ｂｚ
Ｏ１系の３成分系のばあいは、その反応形態は複雑であ
り、これらの反応形態を明確にした資料はあまりないの
が現状である。
またえられた耐熱材料の組成をＸ＃ｉ［回折、熱分折な
どで分析しているが同定までにはいたっていない。
どで分析しているが同定までにはいたっていない。
つぎに本発明の製法を実施例にもとづいてさらに詳述に
説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるも
のではない。
説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるも
のではない。
実施例１
酸化亜鉛粉末（平均粒径０，８μ肩、堺化学工！！！（
株）製）１００．ＯＯｇ、シリカ粉末（平均粒径３０μ
ｍ、 ？！！気化学工ｇ（株）製）６０，００．、正ホ
ウ酸粉末（平均粒径１５μ度、石津製薬（株）！Ｊ ）
４０．００ｇを調合し、ボールミルで２４時間混合して
成形材料を調製した。
株）製）１００．ＯＯｇ、シリカ粉末（平均粒径３０μ
ｍ、 ？！！気化学工ｇ（株）製）６０，００．、正ホ
ウ酸粉末（平均粒径１５μ度、石津製薬（株）！Ｊ ）
４０．００ｇを調合し、ボールミルで２４時間混合して
成形材料を調製した。
えられた成形材料の組成はＺｎＯ４８．１８モル％、５
ｉｎ２３９．１５モル％、Ｂ、０．１２．６８モル％で
あった。
ｉｎ２３９．１５モル％、Ｂ、０．１２．６８モル％で
あった。
この成形材料を高さ５０ｚ履、幅１２５ｚｚ、長さ１２
５凝履の寸法の金型に充模し、１８０℃に加熱された熱
盤間に挿入し、加圧力２００Ａｇ／ｃ＋ｔ２で６０分間
加熱加圧成形した。
５凝履の寸法の金型に充模し、１８０℃に加熱された熱
盤間に挿入し、加圧力２００Ａｇ／ｃ＋ｔ２で６０分間
加熱加圧成形した。
つぎに熱外を冷却し、金型が１００℃以下になってから
除圧し、金型から成形体をとりだした。
除圧し、金型から成形体をとりだした。
成形体を常温から４５０″Ｃまで３℃／ｌｌ１ｎの昇温
速度で、つぎに４５０℃から９８０℃までは１０°Ｃ／
ｗｉｎの昇温速度で加熱し、さらに９８０℃で３時間保
持した。
速度で、つぎに４５０℃から９８０℃までは１０°Ｃ／
ｗｉｎの昇温速度で加熱し、さらに９８０℃で３時間保
持した。
つぎに徐冷して、２００℃以下になってから焼結体をと
りだした。えられた焼結体は厚さが約５ｚｉのもので磁
器化していた。
りだした。えられた焼結体は厚さが約５ｚｉのもので磁
器化していた。
この焼結体から原厚さのままで、幅ＺＯｚｘ％長さ１０
０■となるようにダイヤモンドカッターで切断し、曲げ
強さの測定用試料とした。また焼結体を幅５ｘｘＱ長さ
５０ｚｚに切断加工したものを熱膨張率の測定用試料と
した。
０■となるようにダイヤモンドカッターで切断し、曲げ
強さの測定用試料とした。また焼結体を幅５ｘｘＱ長さ
５０ｚｚに切断加工したものを熱膨張率の測定用試料と
した。
曲げ強さの測定方法は通常行なわれている方法で行ない
、また熱膨張率は２５°Ｃから４００℃まで３’Ｃ／＋
＊ｉｎの昇温速度で測定し、そのときの平均熱膨張率を
求めた。その測定結果を第１表に示す。
、また熱膨張率は２５°Ｃから４００℃まで３’Ｃ／＋
＊ｉｎの昇温速度で測定し、そのときの平均熱膨張率を
求めた。その測定結果を第１表に示す。
実施例２
酸化亜鉛粉末１７９．３４ｇ、シリカ粉末２．８８ｇ、
正ホウ酸１７．７８ｇを実施例１と同様にして調合、混
合して成形材料を調製した。
正ホウ酸１７．７８ｇを実施例１と同様にして調合、混
合して成形材料を調製した。
えられた成形材料の組成はＺｎＯ９２，００モル％、Ｓ
ｉｎ、 ２．００モル％、Ｂ、０． ６．０’０モル％
であった。
ｉｎ、 ２．００モル％、Ｂ、０． ６．０’０モル％
であった。
この成形材料を高さ５０璽ｘ、 ［１２５ｚｚ、長さ１
２５１履の金型に充填し、２００℃に加熱された熱盤間
に挿入し、加圧力３００Ａｙ／ｃｍ２で６０分間加熱加
圧成形した。
２５１履の金型に充填し、２００℃に加熱された熱盤間
に挿入し、加圧力３００Ａｙ／ｃｍ２で６０分間加熱加
圧成形した。
つぎに熱外を冷却し、金型が１００℃以下になって除圧
し、金型から成形体をとりだした。
し、金型から成形体をとりだした。
成形体を常温から４５０°Ｃまで３℃／ｗｉｎの昇温速
度で、つぎに４５０’Ｃから１１００℃まで１０’Ｃ／
ｗｉｎの昇温速度で加熱し、さらに１１００℃で３時間
保持した。
度で、つぎに４５０’Ｃから１１００℃まで１０’Ｃ／
ｗｉｎの昇温速度で加熱し、さらに１１００℃で３時間
保持した。
つぎに徐冷して２００°Ｃ以下になってから焼結体をと
りだした。えられた焼結体は厚さが約４．５Ｉのもので
磁器化していた。
りだした。えられた焼結体は厚さが約４．５Ｉのもので
磁器化していた。
つぎに実施例１と同様にして曲げ強さと膨張率を測定し
た。その結果を第１表に示す。
た。その結果を第１表に示す。
実施例３
酸化亜鉛粉末１９．４２ｇ、シリカ粉末８０．２８ｇ、
正ホウ酸１００．３０ｇを実施例１と同様にして調合、
混合し成形材料を調製した。えられた成形材料の組成は
ＺｎＯ１．０モル％、５ｉ０２５６モル％、ＢｚＯｚ
３４モル％であった。成形材料を高さ５０１１幅１２５
ｚｉ、長さ１２５ｚｚの金型に充填し、１６０°Ｃに加
熱された熱盤間に挿入し、加圧力３０ｋｇ／ｃＲ”で６
０分間加熱加圧成形した。
正ホウ酸１００．３０ｇを実施例１と同様にして調合、
混合し成形材料を調製した。えられた成形材料の組成は
ＺｎＯ１．０モル％、５ｉ０２５６モル％、ＢｚＯｚ
３４モル％であった。成形材料を高さ５０１１幅１２５
ｚｉ、長さ１２５ｚｚの金型に充填し、１６０°Ｃに加
熱された熱盤間に挿入し、加圧力３０ｋｇ／ｃＲ”で６
０分間加熱加圧成形した。
つぎに熱外を冷却し、金型が１００℃以下になって除圧
し、金型から成形体をとりだした。
し、金型から成形体をとりだした。
成形体を常温から４５０ ’Ｃまで３℃／ｍｉｎの昇温
速度で、つぎに４５０℃から９００℃まで１０℃／ｌ１
ｌｉｎの昇温速度で加熱し、さらに９００℃で３時間保
持した。
速度で、つぎに４５０℃から９００℃まで１０℃／ｌ１
ｌｉｎの昇温速度で加熱し、さらに９００℃で３時間保
持した。
つぎに徐冷して２００℃以下になってから焼結体をとり
だした。えられた焼結体は厚さが約５．５ｚｚのもので
磁器化していた。
だした。えられた焼結体は厚さが約５．５ｚｚのもので
磁器化していた。
つぎに実施例１と同様にしてえられた焼結体の曲げ強さ
お上り熱膨張率を測定した。その結果を第１表に示す。
お上り熱膨張率を測定した。その結果を第１表に示す。
比較例１
酸化亜鉛粉末１６０ｇと正ホウ酸４０．を実施例１と同
様にして調合、混合して成形材料を調製した。
様にして調合、混合して成形材料を調製した。
えられた成形材料の組成はＺｎＯ８５，８８モル％、Ｂ
２０．１４．１２モル％で５ｉＯ７が存在しない組成で
あった・ 以下実施例１と同様にして焼結体を作製し、えられた焼
結体の曲げ強さと熱膨張率を測定した。
２０．１４．１２モル％で５ｉＯ７が存在しない組成で
あった・ 以下実施例１と同様にして焼結体を作製し、えられた焼
結体の曲げ強さと熱膨張率を測定した。
その結果を第１表に示す。
比較例２
シリカ粉末１６０ｇと正ホウ酸４０ｇを実施例１と同様
にして調合、混合して成形材料を調製した。えられた成
形材料の組成は５ｉ０２８９．１７モル％、Ｂ２０ｚ１
０．８３モル％で、ＺｎＯが存在しない組成であった。
にして調合、混合して成形材料を調製した。えられた成
形材料の組成は５ｉ０２８９．１７モル％、Ｂ２０ｚ１
０．８３モル％で、ＺｎＯが存在しない組成であった。
以下実施例１と同様にして焼結体を作製し、曲げ強さす
５よび熱膨張率を測定した。その結果を第１表に示す。
５よび熱膨張率を測定した。その結果を第１表に示す。
［以下余晶１
第１表の結果から本発明の耐熱材料は５ｉＯ＝が含まれ
ていない比較例１に比べて膨張率が小さく、またＺｎＯ
が含まれていない比較例２に比べて高い曲げ強さを示す
。
ていない比較例１に比べて膨張率が小さく、またＺｎＯ
が含まれていない比較例２に比べて高い曲げ強さを示す
。
［発明の効果１
本発明の方法によりえられた耐熱材料は、１６０〜２０
０’Ｃと比較的低温で加圧することにより成形体をうろ
ことができる。さらに９００〜１１００’Ｃで磁器化し
て高密度の焼結体となるので耐圧力３７０ｋｇ７ｃｍ”
以上の強度、熱膨張係数２．６８Ｘ １０−’／’Ｃ以
下の耐熱材料が容易に製造され、しかも原料コストが安
価であり、したがって製品コストが安価となる。また本
発明の方法によりえられた耐熱材料は不燃性であり、抵
抗器用絶縁枠、ヒータープレート、端子ボックスなど急
熱急冷の雰囲気で使用する部品に好適に用いることがで
きる。
０’Ｃと比較的低温で加圧することにより成形体をうろ
ことができる。さらに９００〜１１００’Ｃで磁器化し
て高密度の焼結体となるので耐圧力３７０ｋｇ７ｃｍ”
以上の強度、熱膨張係数２．６８Ｘ １０−’／’Ｃ以
下の耐熱材料が容易に製造され、しかも原料コストが安
価であり、したがって製品コストが安価となる。また本
発明の方法によりえられた耐熱材料は不燃性であり、抵
抗器用絶縁枠、ヒータープレート、端子ボックスなど急
熱急冷の雰囲気で使用する部品に好適に用いることがで
きる。
また焼結体を微粉末化したものは、封着用がラスの低膨
張フィラーとしても利用できる。
張フィラーとしても利用できる。
Claims (2)
- （１）酸化亜鉛粉末、シリカ粉末およびホウ酸粉末から
なる成形材料を金型に充填し、温度１６０〜２００℃、
圧力３０〜３００ｋｇ／ｃｍ＾２で成形してえられた成
形体を温度９００〜１１００℃で加熱し焼結体をうるこ
とを特徴とする低膨脹性耐熱材料の製法。 - （２）低膨脹性耐熱材料の組成がＺｎＯ１０〜９２モル
％、ＳｉＯ＿２２〜５６モル％、Ｂ＿２Ｏ＿３６〜３４
モル％である特許請求の範囲第１項記載の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179663A JPS6241756A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 低膨脹性耐熱材料の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179663A JPS6241756A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 低膨脹性耐熱材料の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241756A true JPS6241756A (ja) | 1987-02-23 |
Family
ID=16069699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60179663A Pending JPS6241756A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 低膨脹性耐熱材料の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6241756A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5550768B1 (ja) * | 2012-07-03 | 2014-07-16 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | 焼結体及びアモルファス膜 |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP60179663A patent/JPS6241756A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5550768B1 (ja) * | 2012-07-03 | 2014-07-16 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | 焼結体及びアモルファス膜 |
| JP2014141392A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-08-07 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 焼結体及びアモルファス膜 |
| JP2014141386A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-08-07 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 焼結体及びアモルファス膜 |
| JP2014166950A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-09-11 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 焼結体及びアモルファス膜 |
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