JPS6238880B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6238880B2
JPS6238880B2 JP57101876A JP10187682A JPS6238880B2 JP S6238880 B2 JPS6238880 B2 JP S6238880B2 JP 57101876 A JP57101876 A JP 57101876A JP 10187682 A JP10187682 A JP 10187682A JP S6238880 B2 JPS6238880 B2 JP S6238880B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
flux
conductor
multilayer circuit
conductor paste
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP57101876A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS58219797A (en
Inventor
Shozo Yamana
Takayoshi Yabuki
Mamoru Kamyama
Hideji Kuwashima
Takao Yamada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP10187682A priority Critical patent/JPS58219797A/en
Publication of JPS58219797A publication Critical patent/JPS58219797A/en
Publication of JPS6238880B2 publication Critical patent/JPS6238880B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明はセラミツク多層回路基板の製造法に関
する。 従来、セラミツク多層回路基板は、予め焼結さ
れたセラミツク基板上に導体ペーストを印刷後、
絶縁ペーストを印刷し、これを複数回くり返して
多層回路を形成した後焼成して製造していたが、
この方法によると焼成の際に絶縁層は予め焼結さ
れたセラミツク基板より収縮が大であるため絶縁
層にクラツクが生じたり、反りなどが発生する欠
点があつた。 この欠点を補うため特公昭56−7957号公報、特
公昭55−24271号公報等に示されるようにセラミ
ツクグリーンシート(以下グリーンシートとい
う)上に導体ペーストと絶縁ペーストとを用いて
印刷法で多層回路を形成し、同時焼成する方法を
試みたが、あまり効果的ではなかつた。またこの
ような方法では最外側の導体層のメタライズ部分
と銀ろう付する材料との接着強度が低下し、銀ろ
う付けしたリードピン、端子など、はんだ付けし
たチツプキヤリアなどが剥離する欠点があつた。 一方、フラツクスを含むグリーンシートを粉砕
した後、溶剤を加えて再溶解した絶縁ペーストを
用いて上記と同様に導体ペーストと共に印刷法で
多層回路を形成し、同時焼成する方法を試みた
が、このような方法でも多層印刷した絶縁ペース
トが焼結される際に第3図に示すように絶縁層2
にクラツク1を生ずる欠点があつた。なお第3図
において3は絶縁層2の下面の導体層である。 上記の他に特公昭54−38291号公報に示される
ように仮基板上に導体ペーストとフラツクスを含
有する絶縁ペーストとを用いて印刷法で積層物を
一体に焼結せしめ、焼結時または焼結後に前記の
仮基板を積層物から取除いて積層セラミツク基板
を製造する方法があるが、この方法は、仮基板上
面の絶縁層(グリーンシートに相当する)及び他
の絶縁層を形成するのに、全て同質のフラツクス
を含有する絶縁ペーストを使用するため、前述の
フラツクスを含むグリーンシートを粉砕した後、
溶剤を加えて再溶解した絶縁ペーストを用いて導
体ペーストと共に印刷法で多層回路を形成し、同
時焼成する方法と同様の構造となり、絶縁層にク
ラツクが生じる欠点がある。 さらに上記の欠点を補うため本発明者らは種々
検討した結果、最外側の導体層を形成する導体ペ
ーストにはフラツクス成分を含有しない導体ペー
ストを、内部の導体層(スルホール部及び回路
部)を形成する導体ペーストにはフラツクス成分
を含有する導体ペーストを用いて多層回路を形成
し、同時焼成してセラミツク多層回路基板を製造
したところ、クラツク、反りなどの発生を防止す
ることができると共に、最外側の導体層のメタラ
イズ部分と銀ろう付する材料との接着強度の低下
を防止し銀ろう付けしたリードピン、端子など、
はんだ付けしたチツプキヤリアなどの剥離を防止
することができた。しかし反面、スルホール部と
回路部とに同一の導体ペーストを使用しているた
め回路の比抵坑が上昇するという欠点が生じた。 本発明は絶縁層にクラツク、反りなどの発生が
なく最外側の導体層のメタライズ部分と銀ろう付
する材料との接着強度が低下して銀ろう付けした
リードピン、端子など、はんだ付けしたチツプキ
ヤリアなどの剥離を防止し、かつ回路の比抵坑の
上昇がないセラミツク多層回路基板の製造法を提
供することを目的とするものである。 本発明者らは絶縁層に発生するクラツク、反り
などは絶縁層の焼結不足に起因することに着目
し、導体ペースト及び絶縁ペーストに含まれるフ
ラツクスの成分、含有量、融点、粒径などについ
てさらに検討を行なつた結果、最外側の導体層を
形成する導体ペーストにはフラツクス成分を含有
しない導体ペーストを使用し、内部の回路を形成
する導体ペーストには絶縁ペーストに含まれるフ
ラツクスと同一のフラツクスを含有した導体ペー
ストを使用し、スルーホール部を導通させる導体
ペーストには絶縁ペーストに含まれるフラツクス
と同一のフラツクスを含有し、かつその含有量が
内部の回路を形成する導体ペーストより多い導体
ペーストを使用したところクラツク、反りなどが
発生せず、銀ろう付したリードピン、端子など、
はんだ付けしたチツプキヤリアなどが剥離せず、
また回路の比抵坑の上昇がないセラミツク多層回
路基板を製造できることを見出した。 本発明は導体ペーストとセラミツク質の絶縁ペ
ーストとをグリーンシート上に複数回印刷し、同
時焼成してセラミツク多層回路基板を製造する方
法において、最外側の導体層を形成する導体ペー
ストにはフラツクス成分を含有しない導体ペース
トを使用し、内部の回路形成用導体ペースト、絶
縁ペースト及びスルーホール部導通用導体ペース
トの各々に含有するフラツクス成分が同一であ
り、かつスルーホール部導通用導体ペーストのフ
ラツクス含有量を内部の回路形成用導体ペースト
のフラツクス含有量より多くしたセラミツク多層
回路基板の製造法に関する。 なお本発明においてセラミツク質は何ら制限さ
れるものではなく、例えばアルミナが一般に使用
される。また本発明で使用されるグリーンシート
は厚さ、材質、フラツクスなど何ら制限されな
い。 本発明は最外側の導体層を形成する導体ペース
トにはフラツクス成分を含有しない導体ペースト
を使用することが必要であり、導体ペーストにフ
ラツクス成分を含有させるとメタライズ部分の接
着強度が低下し、銀ろう付けしたリードピン、端
子など、はんだ付けしてチツプキヤリアなどが剥
離する欠点が生ずる。 スルーホール部導通用及び内部の回路形成に使
用される導体ペーストは絶縁ペーストに含有され
るフラツクスと同一のフラツクスを含有していれ
ば良くその含有量は比抵坑上昇の影響を考慮して
内部の回路は8重量%以下、スルーホール部は15
重量%以下であることが好ましい。ただしスルー
ホール部導通用導体ペーストに含有されるフラツ
クスの量が内部の回路形成用導体ペーストに含有
されるフラツクスの量より多いことが必要であ
る。スルーホール部導通用導体ペーストに含有さ
れるフラツクスの量が内部の回路形成用導体ペー
ストに含有されるフラツクスの量より少ないと回
路の比抵坑が上昇する欠点が生ずる。また内部の
回路形成用導体ペースト及びスルーホール部導通
用導体ペーストにフラツクス成分を含有させない
と絶縁層の焼結不足を解消することができず、本
発明の目的を達成できない。 本発明において使用される導体ペーストの種
類、印刷厚さなど何ら制限されない。 以下実施例により本発明を説明する。 実施例 1 平均粒径2μmの高純度アルミナ(アルミナ純
度99.5%以上)96.2重量部に第1表に示すフラツ
クスを3.8重量部添加し、均一に混合して原料粉
Aとした。この原料粉A100重量部にバインダー
としてポリビニルブチラール樹脂8重量部、可塑
剤としてフタル酸エステル4重量部、溶剤として
ブタノール20重量部、トリクロルエチレン50重量
部を添加し、ボールミルにて50時間均一に混合し
てセラミツクスリツプとした後、テープキヤステ
イング法により厚さ0.8mmのグリーンシートを得
た。 一方前述のセラミツクスリツプをそのまま絶縁
ペーストとして使用した。 次にW(タングステン)導体ペースト(アサヒ
化学製、商品名3TW−1000)92重量部に第1表
に示すフラツクスを8重量部添加し乳ばちで均一
に混合してフラツクス入り導体ペーストAを作成
した。また前述のW導体ペースト85重量部に第1
表に示すフラツクスを15重量部添加し乳ばちで均
一に混合してフラツクス入り導体ペーストBを作
成した。 次に前述のグリーンシートに直径0.3mm(φ)
のスルーホールを形成した後このスルーホールに
フラツクス入り導体ペーストBを塗布し、さらに
グリーンシートの表、裏それぞれにフラツクス入
り導体ペーストAで回路を形成(この状態の時グ
リーンシートの表裏は導通される)し、その上部
に前述の絶縁ペーストを30μmの厚さに印刷し、
この工程を表側4回、裏側2回くり返し6層の多
層回路を形成した後最外側の導体層にフラツクス
成分を含有しないW導体ペースト(アサヒ化学
製、商品名3TW−1000)を塗布した。その後空
気中で300℃まで50℃/時間の昇温速度で加熱
し、300℃からは水素雰囲気中で30℃/時間の昇
温速度で1500℃まで昇温させてグリーンシート、
絶縁ペースト、フラツクス成分を含有しないW導
体ペースト、フラツクス入り導体ペーストA及び
Bを同時焼成しセラミツク多層回路基板を得た。 このセラミツク多層回路基板について外観を観
察したが絶縁層にクラツク、反りなどは発生しな
かつた。第1図にセラミツク多層回路基板の絶縁
層2の表面の顕微鏡写真を示す。第1図から絶縁
層2にクラツクが発生しないことは明らかであ
る。なお第1図において3は絶縁層2の下面の導
体層である。メタライズ部分の端子上にリードピ
ンを銀ろうで接着したが、リードピンの剥離は生
じなかつた。また回路の比抵坑が上昇することも
なかつた。
The present invention relates to a method for manufacturing ceramic multilayer circuit boards. Conventionally, ceramic multilayer circuit boards are manufactured by printing conductive paste on a pre-sintered ceramic substrate, and then
Previously, they were manufactured by printing an insulating paste, repeating this multiple times to form a multilayer circuit, and then firing it.
According to this method, the insulating layer shrinks more during firing than the pre-sintered ceramic substrate, so it has the disadvantage that the insulating layer may crack or warp. In order to compensate for this drawback, as shown in Japanese Patent Publication No. 56-7957, Japanese Patent Publication No. 55-24271, etc., a multilayer printing method is used to print a ceramic green sheet (hereinafter referred to as "green sheet") using a conductive paste and an insulating paste. I tried forming the circuit and firing it at the same time, but it was not very effective. In addition, this method has the disadvantage that the adhesive strength between the metallized portion of the outermost conductor layer and the material to be silver soldered is reduced, and lead pins and terminals soldered with silver may peel off. On the other hand, we attempted a method in which a green sheet containing flux was pulverized, then an insulating paste was redissolved by adding a solvent, and a multilayer circuit was formed by printing together with a conductive paste in the same manner as described above, followed by simultaneous firing. Even with this method, when the multi-layer printed insulation paste is sintered, the insulation layer 2 is sintered as shown in Figure 3.
There was a defect that caused crack 1. In addition, in FIG. 3, 3 is a conductor layer on the lower surface of the insulating layer 2. In addition to the above, as shown in Japanese Patent Publication No. 54-38291, a conductive paste and an insulating paste containing flux are used on a temporary substrate to sinter the laminate together by a printing method. There is a method of manufacturing a laminated ceramic substrate by removing the above-mentioned temporary substrate from the laminate after drying, but this method involves forming an insulating layer (corresponding to a green sheet) on the top surface of the temporary substrate and other insulating layers. In order to use an insulating paste containing all fluxes of the same quality, after crushing the green sheet containing the aforementioned flux,
The structure is similar to that of a method in which a multilayer circuit is formed by a printing method using an insulating paste that has been redissolved by adding a solvent together with a conductor paste, and then fired at the same time, and has the disadvantage that cracks may occur in the insulating layer. Furthermore, as a result of various studies in order to compensate for the above-mentioned drawbacks, the present inventors found that a conductive paste that does not contain a flux component was used for the conductive paste that forms the outermost conductive layer, and that the conductive paste that does not contain a flux component is used for the conductive paste that forms the outermost conductive layer. When a multilayer circuit was formed using a conductor paste containing a flux component and simultaneously fired to produce a ceramic multilayer circuit board, it was possible to prevent the occurrence of cracks, warpage, etc., and to achieve the best results. Lead pins, terminals, etc. that are silver-brazed to prevent a decrease in adhesive strength between the metallized part of the outer conductor layer and the material to be silver-brazed.
It was possible to prevent peeling of soldered chip carriers, etc. However, on the other hand, since the same conductive paste is used for the through-hole portion and the circuit portion, there is a drawback that the resistivity of the circuit increases. The present invention does not cause cracks or warpage in the insulating layer, and the adhesive strength between the metallized portion of the outermost conductor layer and the material to be silver-brazed is reduced, resulting in silver-brazed lead pins, terminals, soldered chip carriers, etc. The object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic multilayer circuit board that prevents peeling of the ceramic material and does not cause an increase in the resistivity of the circuit. The present inventors have focused on the fact that cracks, warpage, etc. that occur in the insulating layer are caused by insufficient sintering of the insulating layer. As a result of further investigation, we decided to use a conductor paste that does not contain flux components for the conductor paste that forms the outermost conductor layer, and that the conductor paste that forms the internal circuit contains the same flux as the insulating paste. A conductive paste containing flux is used, and the conductive paste that makes the through-hole part conductive contains the same flux as that contained in the insulating paste, and the conductor paste contains more flux than the conductive paste that forms the internal circuit. When using the paste, there were no cracks or warping, and silver-brazed lead pins, terminals, etc.
Soldered chip carriers etc. do not peel off,
We have also discovered that it is possible to produce a ceramic multilayer circuit board without an increase in the resistivity of the circuit. The present invention is a method for manufacturing a ceramic multilayer circuit board by printing a conductor paste and a ceramic insulating paste on a green sheet multiple times and firing them simultaneously, in which the conductor paste forming the outermost conductor layer contains a flux component. The conductive paste for internal circuit formation, the insulating paste, and the conductive paste for through-hole continuity are the same, and the conductive paste for through-hole continuity contains flux. The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic multilayer circuit board in which the amount of flux is greater than the flux content of the internal circuit-forming conductive paste. In the present invention, the ceramic material is not limited in any way, and for example, alumina is generally used. Further, the green sheet used in the present invention is not limited in terms of thickness, material, flux, etc. In the present invention, it is necessary to use a conductor paste that does not contain a flux component as the conductor paste forming the outermost conductor layer, and if the conductor paste contains a flux component, the adhesive strength of the metallized part will decrease, and the There is a drawback that soldered chip carriers such as brazed lead pins and terminals may peel off. The conductive paste used for through-hole continuity and internal circuit formation should contain the same flux as the insulating paste, and the content should be determined by considering the effect of increasing specific resistance. The circuit is 8% by weight or less, and the through-hole part is 15% by weight.
It is preferably less than % by weight. However, it is necessary that the amount of flux contained in the through-hole conductive conductive paste is greater than the amount of flux contained in the internal circuit-forming conductive paste. If the amount of flux contained in the through-hole conductive paste is smaller than the amount of flux contained in the internal circuit-forming conductive paste, a disadvantage arises in that the resistivity of the circuit increases. In addition, unless a flux component is included in the internal circuit-forming conductive paste and the through-hole conductive conductive paste, insufficient sintering of the insulating layer cannot be solved, and the object of the present invention cannot be achieved. The type of conductive paste used in the present invention, the printing thickness, etc. are not limited at all. The present invention will be explained below with reference to Examples. Example 1 3.8 parts by weight of the flux shown in Table 1 was added to 96.2 parts by weight of high-purity alumina (alumina purity of 99.5% or more) with an average particle size of 2 μm and mixed uniformly to obtain raw material powder A. To 100 parts by weight of this raw material powder A, 8 parts by weight of polyvinyl butyral resin as a binder, 4 parts by weight of phthalate ester as a plasticizer, 20 parts by weight of butanol and 50 parts by weight of trichlorethylene as a solvent were added, and the mixture was uniformly mixed in a ball mill for 50 hours. After that, a green sheet with a thickness of 0.8 mm was obtained by tape casting. On the other hand, the ceramic strip described above was used as is as an insulating paste. Next, 8 parts by weight of the flux shown in Table 1 was added to 92 parts by weight of W (tungsten) conductor paste (manufactured by Asahi Chemical, trade name 3TW-1000) and mixed uniformly with a pestle to obtain flux-containing conductor paste A. Created. In addition, in addition to 85 parts by weight of the W conductor paste mentioned above,
Flux-containing conductor paste B was prepared by adding 15 parts by weight of the flux shown in the table and mixing uniformly with a pestle. Next, attach the green sheet mentioned above to a diameter of 0.3 mm (φ).
After forming a through hole, apply flux-cored conductor paste B to the through-hole, and then form a circuit with flux-cored conductor paste A on each of the front and back sides of the green sheet (in this state, the front and back sides of the green sheet are not electrically conductive). ), print the above-mentioned insulating paste on top to a thickness of 30 μm,
This process was repeated four times on the front side and twice on the back side to form a six-layer multilayer circuit, and then a flux-free W conductor paste (manufactured by Asahi Chemical, trade name 3TW-1000) was applied to the outermost conductor layer. The green sheet is then heated to 300°C in air at a heating rate of 50°C/hour, and from 300°C to 1500°C at a heating rate of 30°C/hour in a hydrogen atmosphere.
An insulating paste, a W conductor paste containing no flux component, and flux-containing conductor pastes A and B were simultaneously fired to obtain a ceramic multilayer circuit board. When the appearance of this ceramic multilayer circuit board was observed, no cracks or warping occurred in the insulating layer. FIG. 1 shows a microscopic photograph of the surface of the insulating layer 2 of the ceramic multilayer circuit board. It is clear from FIG. 1 that no cracks occur in the insulating layer 2. In FIG. 1, reference numeral 3 denotes a conductor layer on the lower surface of the insulating layer 2. Lead pins were bonded onto the terminals of the metallized portion using silver solder, but no peeling of the lead pins occurred. Further, the resistivity of the circuit did not increase.

【表】 比較例 1 実施例1で使用したグリーンシートのスルーホ
ールにフラツクス成分を含有しないW導体ペース
ト(アサヒ化学製、商品名3TW−1000)を塗布
し、次いでグリーンシートの表、裏のそれぞれに
前述と同じフラツクス成分を含有しないW導体ペ
ースト及び実施例1で使用した絶縁ペーストを使
用しその他は実施例1と同様の方法で6層の多層
回路を形成した。このものを実施例1と同様の条
件で焼成してセラミツク多層回路基板を得た。こ
のセラミツク多層回路基板について外観を顕微鏡
等で観察したところ第2図に示すようにスルーホ
ール上の絶縁層2にマイクロクラツク1、反りな
どが発生した。なお第2図においては3は絶縁層
2の下面の導体層である。ただしメタライズ部分
の端子上にリードピンを銀ろうで接着したが、リ
ードピンの剥離は生ぜず、また回路の比抵坑の上
昇は見られなかつた。 比較例 2 最外側の導体層に実施例1で使用したフラツク
ス入り導体ペーストAを使用し、その他は実施例
1と同様の方法及び条件でセラミツク多層回路基
板を得た。 このセラミツク多層回路基板について外観を顕
微鏡等で観察したところスルーホール上の絶縁層
にマイクロクラツク、反りなどは発生せず、また
回路の比抵坑の上昇は見られなかつたが、メタラ
イズ部分の端子上に銀ろう付けしたところリード
ピンの接着強度は、実施例1の約50%に減少し、
リードピンに力を少しかけただけで剥離した。 比較例 3 実施例1で使用したグリーンシートのスルーホ
ール部にフラツクス入り導体ペーストBを塗布す
ると共にグリーンシートの表、裏それぞれに前述
と同様のフラツクス入り導体ペーストBで回路路
を形成し、その他は実施例1と同様の方法及び条
件でセラミツク多層回路基板を得た。 このセラミツク多層回路基板について外観を顕
微鏡等で観察したところスルーホール上の絶縁層
にマイクロクラツク、反りなどは発生せず、また
メタライズ部分の端子上にリードピンを銀ろうで
接着したが、リードピンの剥離は生じなかつた
が、回路の比抵坑が約20%上昇した。 本発明は最外側の導体層を形成する導体ペース
トにはフラツクス成分を含有しない導体ペースト
を使用し、内部の回路形成する導体ペーストには
絶縁ペーストに含まれるフラツクスと同一のフラ
ツクスを含有し、スルーホール部を導通させる導
体ペーストには絶縁ペーストに含まれるフラツク
スと同一のフラツクスを含有し、かつその含有量
が回路を形成する導体ペーストより多い導体ペー
ストを使用するので、絶縁層の焼結不足が解消さ
れクラツク、反りなどの発生を皆無にすることが
できると共に最外側の導体層のメタライズ部分と
銀ろう付する材料との接着強度が低下しないため
リードピン、端子、チツプキヤリアなどが剥離せ
ず、また回路の比抵坑の上昇がないセラミツク多
層回路基板を製造することができる。
[Table] Comparative Example 1 A flux-free W conductor paste (manufactured by Asahi Chemical, trade name 3TW-1000) was applied to the through holes of the green sheet used in Example 1, and then each of the front and back sides of the green sheet was coated. A 6-layer multilayer circuit was formed in the same manner as in Example 1, except that the W conductor paste containing no flux component as described above and the insulating paste used in Example 1 were used. This product was fired under the same conditions as in Example 1 to obtain a ceramic multilayer circuit board. When the appearance of this ceramic multilayer circuit board was observed using a microscope, microcracks 1 and warpage were found in the insulating layer 2 above the through holes, as shown in FIG. In FIG. 2, reference numeral 3 indicates a conductor layer on the lower surface of the insulating layer 2. In FIG. However, although lead pins were bonded onto the terminals of the metallized portion with silver solder, no peeling of the lead pins occurred, and no increase in the resistivity of the circuit was observed. Comparative Example 2 A ceramic multilayer circuit board was obtained using the flux-cored conductor paste A used in Example 1 for the outermost conductor layer, but in the same manner and under the same conditions as in Example 1 except for the fact that the flux-cored conductor paste A used in Example 1 was used for the outermost conductor layer. When we observed the appearance of this ceramic multilayer circuit board using a microscope, we found that there were no microcracks or warpage in the insulating layer above the through holes, and no increase in the resistivity of the circuit was observed. When silver brazing was performed on the terminal, the adhesive strength of the lead pin decreased to about 50% of that in Example 1.
It peeled off with just a little force applied to the lead pin. Comparative Example 3 Flux-cored conductor paste B was applied to the through-hole portions of the green sheet used in Example 1, and circuit paths were formed on the front and back sides of the green sheet using the same flux-cored conductor paste B as described above, and other A ceramic multilayer circuit board was obtained using the same method and conditions as in Example 1. When we observed the appearance of this ceramic multilayer circuit board using a microscope, we found that there were no microcracks or warpage in the insulating layer above the through-holes.Also, although lead pins were bonded with silver solder to the terminals in the metalized part, Although no separation occurred, the resistivity of the circuit increased by approximately 20%. The present invention uses a conductor paste that does not contain a flux component for the conductor paste that forms the outermost conductor layer, and the conductor paste that forms the internal circuit contains the same flux as that contained in the insulation paste. The conductive paste that makes the hole conductive contains the same flux as the insulating paste, and has a higher content than the conductive paste that forms the circuit, so there is no possibility of insufficient sintering of the insulating layer. This eliminates the occurrence of cracks, warping, etc., and the adhesive strength between the metallized part of the outermost conductor layer and the silver soldering material does not decrease, so lead pins, terminals, chip carriers, etc. do not peel off. It is possible to manufacture a ceramic multilayer circuit board without increasing the specific resistance of the circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、実施例で得たセラミツク多層回路基
板の表面の顕微鏡写真、第2図は、比較例で得た
セラミツク多層回路基板の表面の顕微鏡写真およ
び第3図は従来法で得たセラミツク多層回路基板
の表面の顕微鏡写真である。 符号の説明、1……クラツク、2……絶縁層、
3……導体層。
Fig. 1 is a microscopic photograph of the surface of the ceramic multilayer circuit board obtained in the example, Fig. 2 is a microscopic photograph of the surface of the ceramic multilayer circuit board obtained in the comparative example, and Fig. 3 is a microscopic photograph of the surface of the ceramic multilayer circuit board obtained by the conventional method. It is a micrograph of the surface of a multilayer circuit board. Explanation of symbols, 1...Crack, 2...Insulating layer,
3...Conductor layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 導体ペーストとセラミツク質の絶縁ペースト
とをセラミツクグリーンシート上に複数回印刷
し、同時焼成してセラミツク多層回路基板を製造
する方法において、最外側の導体層を形成する導
体ペーストにはフラツクス成分を含有しない導体
ペーストを使用し、内部の回路形成用導体ペース
ト、絶縁ペースト及びスルーホール部導通用導体
ペーストの各々に含有するフラツクス成分が同一
であり、かつスルーホール部導通用導体ペースト
のフラツクス含有量を内部の回路形成用導体ペー
ストのフラツクス含有量より多くしたことを特徴
とするセラミツク多層回路基板の製造法。
1. In a method of manufacturing a ceramic multilayer circuit board by printing a conductor paste and a ceramic insulating paste multiple times on a ceramic green sheet and firing them simultaneously, a flux component is added to the conductor paste forming the outermost conductor layer. The conductor paste for internal circuit formation, the insulation paste, and the conductor paste for through-hole continuity are the same, and the flux content of the conductor paste for through-hole continuity is the same. A method for manufacturing a ceramic multilayer circuit board, characterized in that the flux content is greater than that of the internal circuit-forming conductor paste.
JP10187682A 1982-06-14 1982-06-14 Method of producing ceramic multilayer circuit substrate Granted JPS58219797A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10187682A JPS58219797A (en) 1982-06-14 1982-06-14 Method of producing ceramic multilayer circuit substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10187682A JPS58219797A (en) 1982-06-14 1982-06-14 Method of producing ceramic multilayer circuit substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58219797A JPS58219797A (en) 1983-12-21
JPS6238880B2 true JPS6238880B2 (en) 1987-08-20

Family

ID=14312163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10187682A Granted JPS58219797A (en) 1982-06-14 1982-06-14 Method of producing ceramic multilayer circuit substrate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58219797A (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4883105A (en) * 1972-02-09 1973-11-06
JPS5696794A (en) * 1979-12-29 1981-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Metalizing composition
JPS56160705A (en) * 1980-05-14 1981-12-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Metallized composition
JPS5782188A (en) * 1980-11-07 1982-05-22 Hitachi Ltd Metallizing paste

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4883105A (en) * 1972-02-09 1973-11-06
JPS5696794A (en) * 1979-12-29 1981-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Metalizing composition
JPS56160705A (en) * 1980-05-14 1981-12-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Metallized composition
JPS5782188A (en) * 1980-11-07 1982-05-22 Hitachi Ltd Metallizing paste

Also Published As

Publication number Publication date
JPS58219797A (en) 1983-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6335077B1 (en) Electrically conductive paste for via-hole and method of producing monolithic ceramic substrate using the same
JPH08161930A (en) Conductive paste, and conductive body and multilayer ceramic board using it
JP5582069B2 (en) Ceramic multilayer substrate
JPS6238880B2 (en)
JPS6238878B2 (en)
JP2807976B2 (en) Manufacturing method of through hole filled with conductor
JP2005268672A (en) Substrate
JP2001291959A (en) Manufacturing method for multilayer ceramic substrate and copper conductive paste
JP2006108399A (en) Conductive paste for forming conductive section for ferrite multilayer circuit board and ferrite multilayer circuit board using conductive paste
JPH08134388A (en) Electrically conductive ink
JP3222296B2 (en) Conductive ink
JPS6238877B2 (en)
JP2002252124A (en) Chip-type electronic component and its manufacturing method
JP2515165B2 (en) Method for manufacturing multilayer wiring board
JPH05267854A (en) Ceramic multilayer circuit board and manufacture thereof
JP3197147B2 (en) Method for manufacturing multilayer ceramic substrate
JPS6238879B2 (en)
JPS60257196A (en) Ceramic multilayer circuit board
JPS58130590A (en) Ceramic circuit board and thick film hybrid ic using same board
JPS6237917B2 (en)
JP2005072558A (en) Ceramic substrate and its manufacturing method
JPS6237920B2 (en)
JPS60132393A (en) Ceramic multilayer circuit board and method of producing same
JPS6237919B2 (en)
JPH1097949A (en) Manufacture of laminated capacitor