JPS6237897B2 - - Google Patents
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- JPS6237897B2 JPS6237897B2 JP55093537A JP9353780A JPS6237897B2 JP S6237897 B2 JPS6237897 B2 JP S6237897B2 JP 55093537 A JP55093537 A JP 55093537A JP 9353780 A JP9353780 A JP 9353780A JP S6237897 B2 JPS6237897 B2 JP S6237897B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- photoelectric conversion
- inner tube
- conversion device
- bellows
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- Expired
Links
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/024—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は冷却型光電変換装置、とくに内管の一
部を伸縮可能な金属からなるベローズ構成とした
冷却型光電変換装置に関するものである。
部を伸縮可能な金属からなるベローズ構成とした
冷却型光電変換装置に関するものである。
従来の冷却型光電変換装置は金属たとえばステ
ンレス等からなる２重管構造の気密容器で、外管
の一部に透光窓を設け該透光窓に対向した内管の
真空側管壁に光電変換素子（レーザ素子または赤
外線検知素子）を配設した構成をそなえている。
第１図はそのような従来の光電変換装置の構成を
示しており、図において１はたとえばステンレス
等からなる外管、２は内管であつて、これら２つ
の筒体でデユワ構造の気密容器を構成している。
３は前記外管１の外側に設けた透光窓、４は前記
透光窓３に対向する内管２の上部に配設した冷却
台で、該冷却台４には光電変換素子たとえば赤外
線検知素子５が半田付けしてある。前記赤外線検
知素子５にはリード端子６よりリード線７を介し
て電圧が印加される。８は輻射熱を遮蔽するため
のシールドで、９は前記冷却台４に接して冷却器
１０の寒冷発生部に連なる冷却ヘツドである。
ンレス等からなる２重管構造の気密容器で、外管
の一部に透光窓を設け該透光窓に対向した内管の
真空側管壁に光電変換素子（レーザ素子または赤
外線検知素子）を配設した構成をそなえている。
第１図はそのような従来の光電変換装置の構成を
示しており、図において１はたとえばステンレス
等からなる外管、２は内管であつて、これら２つ
の筒体でデユワ構造の気密容器を構成している。
３は前記外管１の外側に設けた透光窓、４は前記
透光窓３に対向する内管２の上部に配設した冷却
台で、該冷却台４には光電変換素子たとえば赤外
線検知素子５が半田付けしてある。前記赤外線検
知素子５にはリード端子６よりリード線７を介し
て電圧が印加される。８は輻射熱を遮蔽するため
のシールドで、９は前記冷却台４に接して冷却器
１０の寒冷発生部に連なる冷却ヘツドである。
ここで赤外線検知素子５は半導体から成るもの
であつて、常温によりはるかに低い温度に冷却し
ないと良好に動作しない性質がある。しかして第
１図の装置の場合には赤外線検知素子５を効率良
く冷却するために、赤外線検知素子５を半田付け
した冷却台４に冷却器１０の寒冷発生部に連なる
たとえば銅（Cu）等からなる冷却ヘツド９を押
接して、前記冷却台４を介して赤外線検知素子５
を冷却する構造となつているが、冷却器１０によ
つて冷却ヘツド９を急冷すると該冷却ヘツド９の
熱膨張係数が大きいため、その収縮が大きく、前
記冷却台４から冷却ヘツド９が離れる状態となつ
て冷却効率が悪くなり、赤外線検知素子を十分冷
却できず、その結果赤外線検知素子の能力を充分
発揮させ得ない欠点があつた。
であつて、常温によりはるかに低い温度に冷却し
ないと良好に動作しない性質がある。しかして第
１図の装置の場合には赤外線検知素子５を効率良
く冷却するために、赤外線検知素子５を半田付け
した冷却台４に冷却器１０の寒冷発生部に連なる
たとえば銅（Cu）等からなる冷却ヘツド９を押
接して、前記冷却台４を介して赤外線検知素子５
を冷却する構造となつているが、冷却器１０によ
つて冷却ヘツド９を急冷すると該冷却ヘツド９の
熱膨張係数が大きいため、その収縮が大きく、前
記冷却台４から冷却ヘツド９が離れる状態となつ
て冷却効率が悪くなり、赤外線検知素子を十分冷
却できず、その結果赤外線検知素子の能力を充分
発揮させ得ない欠点があつた。
本発明は前述の欠点を除去し、２重構造を有す
る冷却器の内管の一部を伸縮可能なベローズとし
て、常時冷却台と冷却ヘツドと温度変化に関係な
く密着させるようにするとともに、上記内管の他
の一部をガラスで構成して冷却効率を改善した新
規な冷却型光電変換装置を提供せんとするもので
ある。以下図面を参照しながら本発明に係る冷却
型光電変換装置の実施例について詳細に説明す
る。
る冷却器の内管の一部を伸縮可能なベローズとし
て、常時冷却台と冷却ヘツドと温度変化に関係な
く密着させるようにするとともに、上記内管の他
の一部をガラスで構成して冷却効率を改善した新
規な冷却型光電変換装置を提供せんとするもので
ある。以下図面を参照しながら本発明に係る冷却
型光電変換装置の実施例について詳細に説明す
る。
第２図は、本発明に係る光電変換装置の一実施
例を示す側断面図で、前図と同等の部分について
は同一符号が付してある。１１ａはステンレス等
からなるベローズ、１１ｂはガラスで、この両者
で内管を形成している。１２は冷却型光電変換装
置と冷却器１０を止めねじである。
例を示す側断面図で、前図と同等の部分について
は同一符号が付してある。１１ａはステンレス等
からなるベローズ、１１ｂはガラスで、この両者
で内管を形成している。１２は冷却型光電変換装
置と冷却器１０を止めねじである。
このような構成において、冷却器１０を冷却型
光電変換装置に取り付けたときに、冷却ヘツド９
と冷却台４を接触させた状態で、ベローズ１１ａ
が伸びた状態となるよう固定すれば、ある程度の
温度変化による伸縮があつても、前記ベローズ１
１ａの伸縮がこれをカバーする。したがつて前記
冷却台４と冷却ヘツド９の接触面が常時密着した
状態を保持するので、冷却効率が良好となり、さ
らに内管の一部をガラスで形成することによつ
て、冷却ヘツド９に流入する熱に対する抵抗が大
きくなり、冷却器の熱負荷を減少させることは明
白である。
光電変換装置に取り付けたときに、冷却ヘツド９
と冷却台４を接触させた状態で、ベローズ１１ａ
が伸びた状態となるよう固定すれば、ある程度の
温度変化による伸縮があつても、前記ベローズ１
１ａの伸縮がこれをカバーする。したがつて前記
冷却台４と冷却ヘツド９の接触面が常時密着した
状態を保持するので、冷却効率が良好となり、さ
らに内管の一部をガラスで形成することによつ
て、冷却ヘツド９に流入する熱に対する抵抗が大
きくなり、冷却器の熱負荷を減少させることは明
白である。
なお本実施例においては冷却ヘツド９をCuに
より製し、内管のガラス部分１１ｂは冷却台４の
下部に直接溶着している。また上記ガラス部分１
１ｂの下部にはコバールから成る結合リング１３
を溶着し、該結合リング１３にベローズ１１ａを
溶接している。さらに冷却台４の内部にモリブデ
ン（Mo）から成る筒体１４を取付け、これに冷
却ヘツド９を嵌め込んである。Moは熱膨張係数
がCuに比し小さいため、冷却時には筒体１４は
Cuから成る冷却ヘツド９の収縮によつて強く締
め付けられて該冷却ヘツド９と強固に結合する
が、常温に戻つたときは冷却ヘツド９を容易に抜
去することができるため、取扱いに便利である。
より製し、内管のガラス部分１１ｂは冷却台４の
下部に直接溶着している。また上記ガラス部分１
１ｂの下部にはコバールから成る結合リング１３
を溶着し、該結合リング１３にベローズ１１ａを
溶接している。さらに冷却台４の内部にモリブデ
ン（Mo）から成る筒体１４を取付け、これに冷
却ヘツド９を嵌め込んである。Moは熱膨張係数
がCuに比し小さいため、冷却時には筒体１４は
Cuから成る冷却ヘツド９の収縮によつて強く締
め付けられて該冷却ヘツド９と強固に結合する
が、常温に戻つたときは冷却ヘツド９を容易に抜
去することができるため、取扱いに便利である。
また、本実施例では赤外線検知素子について詳
述したが、赤外線検知素子に限らずレーザ素子等
低温の保持を必要とする気密容器全般に適用が可
能である。
述したが、赤外線検知素子に限らずレーザ素子等
低温の保持を必要とする気密容器全般に適用が可
能である。
以上説明したように、本発明を適用した冷却型
光電変換装置によれば、気密容器の内管の一部を
金属からなるベローズで構成し、他の一部をガラ
スで構成することにより、熱負荷を減少し、冷却
台と冷却ヘツド間の熱伝導を良くさせるととも
に、耐振動性、耐衝撃性を向上させる利点があ
る。ゆえに赤外線検知器、半導体レーザ等の冷却
型光電変換装置に適用してきわめて有利である。
光電変換装置によれば、気密容器の内管の一部を
金属からなるベローズで構成し、他の一部をガラ
スで構成することにより、熱負荷を減少し、冷却
台と冷却ヘツド間の熱伝導を良くさせるととも
に、耐振動性、耐衝撃性を向上させる利点があ
る。ゆえに赤外線検知器、半導体レーザ等の冷却
型光電変換装置に適用してきわめて有利である。
第１図は従来の冷却型光電変換装置の側断面
図、第２図は本発明に係る冷却型光電変換装置の
一実施例構造を示す側断面図である。 １：外管、２：内管、３：透光窓、４：冷却
台、５：赤外線検知素子、６：リード端子、７：
リード線、８：シールド、９：冷却ヘツド、１
０：冷却器、１１ａ：ベローズ、１１ｂ：内管の
ガラス部分、１３：結合リング、１４：Moから
成る筒体。
図、第２図は本発明に係る冷却型光電変換装置の
一実施例構造を示す側断面図である。 １：外管、２：内管、３：透光窓、４：冷却
台、５：赤外線検知素子、６：リード端子、７：
リード線、８：シールド、９：冷却ヘツド、１
０：冷却器、１１ａ：ベローズ、１１ｂ：内管の
ガラス部分、１３：結合リング、１４：Moから
成る筒体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 透光窓を設けた外管と、光電変換素子を配置
した冷却台を頂部に有する内管とからなる２重管
構造の冷却型光電変換装置の、前記内管の頂部に
設けた冷却台に、冷却器に連なる冷却ヘツドを内
管内部に挿入して押接した構成において、前記光
電変換素子を配設した内管の一部をベローズで形
成し、他の一部をガラスで形成したことを特徴と
する冷却型光電変換装置。 ２ 光電変換素子が半導体レーザ素子であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の冷却
型光電変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9353780A JPS5731181A (en) | 1980-07-08 | 1980-07-08 | Cooling type photoelectric converter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9353780A JPS5731181A (en) | 1980-07-08 | 1980-07-08 | Cooling type photoelectric converter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5731181A JPS5731181A (en) | 1982-02-19 |
| JPS6237897B2 true JPS6237897B2 (ja) | 1987-08-14 |
Family
ID=14085020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9353780A Granted JPS5731181A (en) | 1980-07-08 | 1980-07-08 | Cooling type photoelectric converter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5731181A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0695046B2 (ja) * | 1986-11-21 | 1994-11-24 | サンタ・バーバラ・リサーチ・センター | 一体化された検出器、ジユアー、及び低温エンジン |
| US4918308A (en) * | 1986-11-21 | 1990-04-17 | Santa Barbara Research Center | Integrated detector dewar cryoengine |
| JP4914020B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2012-04-11 | フルタ電機株式会社 | ハウスの防虫ネット付きの換気扇 |
| JP4771732B2 (ja) * | 2005-04-15 | 2011-09-14 | フルタ電機株式会社 | ハウスの防虫ネット付きの換気扇 |
| JP4771752B2 (ja) * | 2005-06-08 | 2011-09-14 | フルタ電機株式会社 | ハウスの換気扇用の防虫ネットシステム |
| JP2016050714A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 株式会社東芝 | 冷凍機用真空断熱モジュールケースと冷凍機 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4325500Y1 (ja) * | 1965-09-20 | 1968-10-25 |
-
1980
- 1980-07-08 JP JP9353780A patent/JPS5731181A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4325500Y1 (ja) * | 1965-09-20 | 1968-10-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5731181A (en) | 1982-02-19 |
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