JPS6236506A - 液晶膜厚測定方法 - Google Patents
液晶膜厚測定方法Info
- Publication number
- JPS6236506A JPS6236506A JP17710785A JP17710785A JPS6236506A JP S6236506 A JPS6236506 A JP S6236506A JP 17710785 A JP17710785 A JP 17710785A JP 17710785 A JP17710785 A JP 17710785A JP S6236506 A JPS6236506 A JP S6236506A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- film thickness
- crystal panel
- light
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＴＮ液晶を用いた液晶表示装置に関する。
従来の技術
ＴＮ液晶を用いた液晶表示装置において、ＴＮ液晶の屈
折率異方性Δｎと液晶の膜厚ｄは、表示コントラスト、
視野角特性等の性能を決定する大きな要因となる。この
意味でΔｎとｄの値を正確に知ることは重要である０Δ
ｎの値は液晶単独で屈折率計等を用いて容易に測定出来
るが、ｄは液晶パネルに液晶を封入した後で測定しなけ
れば、真の値は得られない。というのは、液晶パネルに
液晶を封入しない空の状態で、セルの厚みを測定するの
は比較的容易であるが、液晶を封入し、だ後の液晶膜厚
ば、空のセルの厚みとは一致しない。
折率異方性Δｎと液晶の膜厚ｄは、表示コントラスト、
視野角特性等の性能を決定する大きな要因となる。この
意味でΔｎとｄの値を正確に知ることは重要である０Δ
ｎの値は液晶単独で屈折率計等を用いて容易に測定出来
るが、ｄは液晶パネルに液晶を封入した後で測定しなけ
れば、真の値は得られない。というのは、液晶パネルに
液晶を封入しない空の状態で、セルの厚みを測定するの
は比較的容易であるが、液晶を封入し、だ後の液晶膜厚
ば、空のセルの厚みとは一致しない。
このことから、液晶が封入された状態で液晶膜厚を測定
しなければ、正しい液晶膜厚は得られない。
しなければ、正しい液晶膜厚は得られない。
従来は薄膜の干渉法等る利用して液晶膜厚を決定してい
た。
た。
発明が解決しようとする問題点
しかしながらこのような従来の液晶膜厚測定法では、通
常液晶パネルが、ガラス、表示用透明電極、絶縁膜、配
向膜、液晶などからなる多層構造となるため、薄膜の干
渉法では液晶膜厚を分離して固定することが非常に困難
であった。
常液晶パネルが、ガラス、表示用透明電極、絶縁膜、配
向膜、液晶などからなる多層構造となるため、薄膜の干
渉法では液晶膜厚を分離して固定することが非常に困難
であった。
゛本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、比較的簡
単な原理に基き、液晶パネルにＴＩ液晶を封入した状態
で正確にＴＮ液晶の膜厚を決定する液晶膜厚測定方法を
提供することを目的と１〜でいる０ 問題点を解決するための手段 本発明は前記問題点を解決するために、概ね９００のツ
イスト角を有するＴＮ液晶パネルに対し、液晶パネルの
光の入射側の偏光子と出射型の検光子が互いにその透過
軸が平行若しくは垂直にかつ透過軸はＴＮ液晶の表面分
子配向方向に４５゜の角度をなすように設定し、通過す
る光の分光透過特性のピークの値から液晶膜厚を求める
ものである。
単な原理に基き、液晶パネルにＴＩ液晶を封入した状態
で正確にＴＮ液晶の膜厚を決定する液晶膜厚測定方法を
提供することを目的と１〜でいる０ 問題点を解決するための手段 本発明は前記問題点を解決するために、概ね９００のツ
イスト角を有するＴＮ液晶パネルに対し、液晶パネルの
光の入射側の偏光子と出射型の検光子が互いにその透過
軸が平行若しくは垂直にかつ透過軸はＴＮ液晶の表面分
子配向方向に４５゜の角度をなすように設定し、通過す
る光の分光透過特性のピークの値から液晶膜厚を求める
ものである。
作用
本発明は、液晶が光学的異方性の複屈折媒体であること
に着目して、複屈折媒体の屈折主軸（今の場合ではＴＮ
液晶の表面分子配向方向とそれに直交する方向がこれに
該当する）に４５°の方向で入射した光が屈折主軸方向
の２成分に分かれて。
に着目して、複屈折媒体の屈折主軸（今の場合ではＴＮ
液晶の表面分子配向方向とそれに直交する方向がこれに
該当する）に４５°の方向で入射した光が屈折主軸方向
の２成分に分かれて。
進み、２つの屈折主軸の方向で屈折率が異なるために光
の進行速度が異なり、その２成分で干渉をおこすことを
利用し液晶パネル通過光の分光透過特性を測り、そのピ
ークの値から複屈折媒体の厚み、即ち液晶の膜厚を知る
ものである。これは、通常の液晶パネルが多層構造から
なっていても、一般に液晶以外の層はガラスにしろ、表
示用透明電極にしろ、絶縁膜にしろ、配向膜にしろ、す
べて光学的に等方性で、このような測定を行なった際に
は光学的異方性の膜だけを分離して測定できるという訳
である。尚かつ、通常は液晶の膜厚が３〜１０μｍ位で
あり、その程度であれば可視光の範囲にピッチの大きい
大きなピークが１つ以上現われ、液晶膜厚の同定は非常
に容易でちる。また、偏光色としても観測されることか
ら、その色から液晶膜厚を推測することも出来る。
の進行速度が異なり、その２成分で干渉をおこすことを
利用し液晶パネル通過光の分光透過特性を測り、そのピ
ークの値から複屈折媒体の厚み、即ち液晶の膜厚を知る
ものである。これは、通常の液晶パネルが多層構造から
なっていても、一般に液晶以外の層はガラスにしろ、表
示用透明電極にしろ、絶縁膜にしろ、配向膜にしろ、す
べて光学的に等方性で、このような測定を行なった際に
は光学的異方性の膜だけを分離して測定できるという訳
である。尚かつ、通常は液晶の膜厚が３〜１０μｍ位で
あり、その程度であれば可視光の範囲にピッチの大きい
大きなピークが１つ以上現われ、液晶膜厚の同定は非常
に容易でちる。また、偏光色としても観測されることか
ら、その色から液晶膜厚を推測することも出来る。
実施例
第１図は本発明の測定光学系を示した図で、１は偏光子
、１０は偏光子１の透過軸、２はＴＮ液晶の封入された
液晶パネル、２０は２つの屈折主軸で、この系では光入
射側と光出射側で概ね９００の角度をなす表面分子配向
方向がこの屈折主軸２０に対応する。３は検光子で、３
０は検光子３の透過軸である。光は図中の矢印の如く進
み、偏光子１、液晶パネル２．検光子３をそれぞれこの
順に垂直に通過するものとする。
、１０は偏光子１の透過軸、２はＴＮ液晶の封入された
液晶パネル、２０は２つの屈折主軸で、この系では光入
射側と光出射側で概ね９００の角度をなす表面分子配向
方向がこの屈折主軸２０に対応する。３は検光子で、３
０は検光子３の透過軸である。光は図中の矢印の如く進
み、偏光子１、液晶パネル２．検光子３をそれぞれこの
順に垂直に通過するものとする。
第２図は、このような光学系における偏光子１の透過軸
方向Ｐ１液晶パネル２の屈折主軸方向Ｘ。
方向Ｐ１液晶パネル２の屈折主軸方向Ｘ。
Ｙ、検光子３の透過軸方同人の相対関係を示した図であ
る。偏光子、検光子の透過軸２９人は、屈折主軸のＸ軸
とそれぞれα、βの角度（０（記βくπ）をなすものと
する。又Ｘ軸とＹ軸のなす角は９０ｏである。
る。偏光子、検光子の透過軸２９人は、屈折主軸のＸ軸
とそれぞれα、βの角度（０（記βくπ）をなすものと
する。又Ｘ軸とＹ軸のなす角は９０ｏである。
この時、以下の事が言える。
偏光子１を通過した光は線傷光で、この光学ベクトルを
Ｅｏ ＝ｌＬｃｏｓ ωｔ （１
）とおく。ここで１は振巾、ωは角周波数、ｔは時間で
ある。この線傷光はＸ軸と角度αをなして液晶パネルに
入射し７、Ｘ、Ｙ２つの屈折主軸方向の２成分に分れる
。Ｘ軸、Ｙ軸方向の成分はそれぞれ次式で与えられる。
）とおく。ここで１は振巾、ωは角周波数、ｔは時間で
ある。この線傷光はＸ軸と角度αをなして液晶パネルに
入射し７、Ｘ、Ｙ２つの屈折主軸方向の２成分に分れる
。Ｘ軸、Ｙ軸方向の成分はそれぞれ次式で与えられる。
Ｅｘａ＝ ａ ｃｏｓｃｘｃｏｓ ωｔ （Ｘ軸方向
）（２）Ｅｙｏ二ａｓｉｎαｃｏｓωｔ （Ｙ軸方向
）（３）２成分に分かれた光は、光速をａ、Ｘ軸方向の
屈折率をｎｘＳ Ｙ軸方向の屈折率をｎｙとして、液晶
パネル中を各々、Ｃ／ｎ ｒ Ｃ／ｎ の速度で
進むｘ ｙ から、液晶膜厚ｄだけ進めば、 ＥＸ＝ ａ ｃｏｓａｃｏｓω（ｔ−ｄ−ｎｘ／Ｃ）
（４）Ｅｙ＝ ａ ｓｉｎαｃｏｓω（ｔ−ｄ
＠ｎｙ／Ｃ） （６）ｋ＝ωｎ）ｃｌｏ
（７）とおく。（６）式におい
てΔｎは２つの屈折率ｎｘ＋ ｎ ｙの差で屈折率異方
性と呼ばれる。（６）式、（７）式によって（４）、
（５）式は Ｋｚ ＝ ａｃｏｓｃｔｃｏｓ （ωｔ−に−ｄ ）
（８）Ｋｙ＝ ａ ５ｉｎｃｔｃｏｓ （ωｔ−
ｋｄ −ｔ ｐ） （９）と書き直すことが出来る。
）（２）Ｅｙｏ二ａｓｉｎαｃｏｓωｔ （Ｙ軸方向
）（３）２成分に分かれた光は、光速をａ、Ｘ軸方向の
屈折率をｎｘＳ Ｙ軸方向の屈折率をｎｙとして、液晶
パネル中を各々、Ｃ／ｎ ｒ Ｃ／ｎ の速度で
進むｘ ｙ から、液晶膜厚ｄだけ進めば、 ＥＸ＝ ａ ｃｏｓａｃｏｓω（ｔ−ｄ−ｎｘ／Ｃ）
（４）Ｅｙ＝ ａ ｓｉｎαｃｏｓω（ｔ−ｄ
＠ｎｙ／Ｃ） （６）ｋ＝ωｎ）ｃｌｏ
（７）とおく。（６）式におい
てΔｎは２つの屈折率ｎｘ＋ ｎ ｙの差で屈折率異方
性と呼ばれる。（６）式、（７）式によって（４）、
（５）式は Ｋｚ ＝ ａｃｏｓｃｔｃｏｓ （ωｔ−に−ｄ ）
（８）Ｋｙ＝ ａ ５ｉｎｃｔｃｏｓ （ωｔ−
ｋｄ −ｔ ｐ） （９）と書き直すことが出来る。
しかるにＴＮ液晶パネルを通過する元は９００その偏光
面を回転させるので、Ｅｘ とＥ、は入え替り、結局検
光子を出てくる元は Ｅｘａ＝ ａ ｓｉｎ ａ ｃｏｓβＣｏ５（ωｔ−ｋ
ｄ−εｐ）（１０）Ｅｙａ： ａｃｏｓαｓｉｎβｃｏ
ｓ （ωｔ−ｋｄ） （１１）となる。透過光強度
工は、同一直線上（人軸方向）に振動するＥｘ！Ｌ＋
’７ａの二つの単色直線偏光板の合成となる。
面を回転させるので、Ｅｘ とＥ、は入え替り、結局検
光子を出てくる元は Ｅｘａ＝ ａ ｓｉｎ ａ ｃｏｓβＣｏ５（ωｔ−ｋ
ｄ−εｐ）（１０）Ｅｙａ： ａｃｏｓαｓｉｎβｃｏ
ｓ （ωｔ−ｋｄ） （１１）となる。透過光強度
工は、同一直線上（人軸方向）に振動するＥｘ！Ｌ＋
’７ａの二つの単色直線偏光板の合成となる。
いま、（１０）、（１１）式の両振動の合成によって得
られる振動を、 ］ｔ＝Ｃｃｏｓ（ωｔ−ｋｄ−η）（１２）とすると、
この合成振動では振巾がＣであシ、位相が（ｋｄ＋η）
で与えられることになる。この時、透過光強度工はＩ＝
Ｃで求められる。ここで簡単のために θ＝ωｔ −ｋｄ （１３）ム
＝ ＆５ｉｎｃｔＣＯ３β （１４）
Ｂ ＝＝ａ ｃｏｓαｓｉｎβ （
１５）とおく。
られる振動を、 ］ｔ＝Ｃｃｏｓ（ωｔ−ｋｄ−η）（１２）とすると、
この合成振動では振巾がＣであシ、位相が（ｋｄ＋η）
で与えられることになる。この時、透過光強度工はＩ＝
Ｃで求められる。ここで簡単のために θ＝ωｔ −ｋｄ （１３）ム
＝ ＆５ｉｎｃｔＣＯ３β （１４）
Ｂ ＝＝ａ ｃｏｓαｓｉｎβ （
１５）とおく。
Ｅ ＝ Ｅｘ、＋ Ｅ。
であるから（１ｏ）、（１１）、（１３）、（１４）、
（１５）式から Ｅ ＝ ａｓｉｎαｃｏｓβｃｏｓ （ωｔ−ｋｄ −
１） ＋ａｃｏｓαｓｉｎβＣＯ５（ωｔ−ｋｄ） ＝
（人ｃｏｓｅｐ＋Ｂ）ｃｏｓθ＋Ａｓ１ｎｔｐ ｓｉｎ
θ（１６）となる。一方（１２）式は（１３）式を使っ
てＫ ： ＣＣＯ５η００５θ＋０ｓｉｎｙ７ ｓｉ、
ｎθ （１７）と書き直すことが出来る。これと
（１６）式と比較して Ｇ ｃｏｓη＝＝ＡｃｏｓＣｐ十Ｂ
（１８）Ｃｓｉｎη＝ムｓｉｎ ｔｐ
（１９）となる。これからηを消去すれば、 ０２：Ａ２−１− Ｂ２＋ ２ Ａ Ｂ ０Ｏ５ｔｐ
（２０）即ち、 ニー人士Ｂ ＋ ２ＡＢ ００３ ｔｐ
（２１）となる。よって（１４）、 （１６）式か
らＩ ＝ （ａ ｓｉｎαｃｏｓβ） ＋ （ａｃｏｓ
αｓｉｎβ）＋２ （＆ＳｉｎαＣＯ８β） （ａｃｏ
ｓαｓｉｎβ） ００５ Ｅｐ＝（ａｓｉｎαｃｏｓβ
＋１ＬＱＯ５ａＳｌｎβＣ０８ｔｐ）２＋ （ａｃｏｓ
αｓｉｎβｓｉｎ ｔｐ） ２（２２）となり、ｔｐ
を含む項と含まない項に分ければＩ ＝ ａ２ｓｉｎ２
（α＋β）−２２Ｌ２ｓ＝ｎａｃｏｓβｃｏｓαｓｉｎ
β（１−ｃｏｓεｐ）＝ａ ｓｌｎ （α＋β）−ａ
２ｓｉｎ ２α５ｉｎ２β５ｉｎ２（１／２） ｔ’９
（２３）となる。ここで、偏光子１と検光子３に各
々その透過軸が平行で、かつ液晶パネル２の屈折主軸２
０に対し４５°の角度になるように光学系を設定したと
すれば、（２３）式においてα＝β＝π／４とおけるか
ら、（２３）式は Ｉ ＝ ａ２ｃｏｓ２（１／２） ｔｐ
（２４）となる。従ってｋｉ正の整数として Ａεｐ二にπ （２５）のとき工
は極小値を、 Ａεｐ＝ ％（２に＋１）π （２
６）のときＩは極太値をとる。即ち、（６）式を用いて
書き直すと、 Δｎ＠ｄ＝＝に・λ （２
７）で極小値を、 Δｎ−ｄ：ｌ（２に＋１）−λ
（２８）で極大値をとる。
（１５）式から Ｅ ＝ ａｓｉｎαｃｏｓβｃｏｓ （ωｔ−ｋｄ −
１） ＋ａｃｏｓαｓｉｎβＣＯ５（ωｔ−ｋｄ） ＝
（人ｃｏｓｅｐ＋Ｂ）ｃｏｓθ＋Ａｓ１ｎｔｐ ｓｉｎ
θ（１６）となる。一方（１２）式は（１３）式を使っ
てＫ ： ＣＣＯ５η００５θ＋０ｓｉｎｙ７ ｓｉ、
ｎθ （１７）と書き直すことが出来る。これと
（１６）式と比較して Ｇ ｃｏｓη＝＝ＡｃｏｓＣｐ十Ｂ
（１８）Ｃｓｉｎη＝ムｓｉｎ ｔｐ
（１９）となる。これからηを消去すれば、 ０２：Ａ２−１− Ｂ２＋ ２ Ａ Ｂ ０Ｏ５ｔｐ
（２０）即ち、 ニー人士Ｂ ＋ ２ＡＢ ００３ ｔｐ
（２１）となる。よって（１４）、 （１６）式か
らＩ ＝ （ａ ｓｉｎαｃｏｓβ） ＋ （ａｃｏｓ
αｓｉｎβ）＋２ （＆ＳｉｎαＣＯ８β） （ａｃｏ
ｓαｓｉｎβ） ００５ Ｅｐ＝（ａｓｉｎαｃｏｓβ
＋１ＬＱＯ５ａＳｌｎβＣ０８ｔｐ）２＋ （ａｃｏｓ
αｓｉｎβｓｉｎ ｔｐ） ２（２２）となり、ｔｐ
を含む項と含まない項に分ければＩ ＝ ａ２ｓｉｎ２
（α＋β）−２２Ｌ２ｓ＝ｎａｃｏｓβｃｏｓαｓｉｎ
β（１−ｃｏｓεｐ）＝ａ ｓｌｎ （α＋β）−ａ
２ｓｉｎ ２α５ｉｎ２β５ｉｎ２（１／２） ｔ’９
（２３）となる。ここで、偏光子１と検光子３に各
々その透過軸が平行で、かつ液晶パネル２の屈折主軸２
０に対し４５°の角度になるように光学系を設定したと
すれば、（２３）式においてα＝β＝π／４とおけるか
ら、（２３）式は Ｉ ＝ ａ２ｃｏｓ２（１／２） ｔｐ
（２４）となる。従ってｋｉ正の整数として Ａεｐ二にπ （２５）のとき工
は極小値を、 Ａεｐ＝ ％（２に＋１）π （２
６）のときＩは極太値をとる。即ち、（６）式を用いて
書き直すと、 Δｎ＠ｄ＝＝に・λ （２
７）で極小値を、 Δｎ−ｄ：ｌ（２に＋１）−λ
（２８）で極大値をとる。
液晶のΔｎの波長依存性は予め測定で求めておくことは
可能であるので、透過光の分光スペクトルの極小値ある
いは極太値のピーク波長とその波長でのΔｎを（２７）
あるいは（２８）式に代入すれば液晶の膜厚ｄを決定す
ることが出来るわけである。
可能であるので、透過光の分光スペクトルの極小値ある
いは極太値のピーク波長とその波長でのΔｎを（２７）
あるいは（２８）式に代入すれば液晶の膜厚ｄを決定す
ることが出来るわけである。
偏光子１と検光子３の透過軸が垂直の場合（α＝π／４
．β＝３π／４）には（２７）＋（２８）式の極小・極
大値条件は逆になり、この場合も上と同様にして液晶の
膜厚ｄを決定することが可能である。
．β＝３π／４）には（２７）＋（２８）式の極小・極
大値条件は逆になり、この場合も上と同様にして液晶の
膜厚ｄを決定することが可能である。
偏光子１．液晶パネル２．検光子３の光学的配置が、上
記以外の場合には、（２３）式に立ち戻って液晶膜厚ｄ
を決定すれば良い。
記以外の場合には、（２３）式に立ち戻って液晶膜厚ｄ
を決定すれば良い。
またこのような光学系では、上述のように液晶パネル透
過光が、極大、極小のピークをもつため、所謂偏光色が
観察され、その色からもある程度液晶の膜厚を推定する
ことも出来る。
過光が、極大、極小のピークをもつため、所謂偏光色が
観察され、その色からもある程度液晶の膜厚を推定する
ことも出来る。
液晶パネルは通常、ガラス、表示用透明電極。
絶縁膜、配向膜、液晶等からなる多層構造であるが、液
晶以外の層はすべて光学的に等方性である。
晶以外の層はすべて光学的に等方性である。
屈折主軸方向の２成分の元は光学的に等方性な層を進む
間は、その進行速度に差がないので、位相の差は生じな
い。位相の差を生じるのは、光学的に異方性である液晶
中を進行するときだけで、この意味から、本発明によれ
ば液晶膜厚だけを分離して正確に測定できるわけである
。このことは本発明のエツセンスで、６る。
間は、その進行速度に差がないので、位相の差は生じな
い。位相の差を生じるのは、光学的に異方性である液晶
中を進行するときだけで、この意味から、本発明によれ
ば液晶膜厚だけを分離して正確に測定できるわけである
。このことは本発明のエツセンスで、６る。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば、液晶が光学的
異方性を示すことを利用して、液晶パネル中のＴＮ液晶
の膜厚を正確に測定することができ、実用的にきわめて
有用である。
異方性を示すことを利用して、液晶パネル中のＴＮ液晶
の膜厚を正確に測定することができ、実用的にきわめて
有用である。
第１図は本発明の一実施例における測定光学系の構成図
、第２図はその偏光子、液晶パネル、検光子の相対配置
を示しだ配置図である。 １・・・・・・偏光子、２・・・・・・液晶パネル、３
・・印・検光子０ 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 了
、第２図はその偏光子、液晶パネル、検光子の相対配置
を示しだ配置図である。 １・・・・・・偏光子、２・・・・・・液晶パネル、３
・・印・検光子０ 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 了
Claims (2)
- （１）偏光子と、ＴＮ液晶を封入した液晶パネルと、検
光子をこの順に配置して光学系を構成し、前記偏光子と
前記検光子は何れも通過光が線偏光となるような偏光機
能を有し、前記液晶パネルを通過する光の分光スペクト
ルの各ピーク波長の値を用いて液晶の膜厚を決定するこ
とを特徴とする液晶膜厚測定方法。 - （２）ＴＮ液晶は概ね９０°のツイスト角を有し、偏光
子と検光子の透過軸は互いに平行もしくは垂直に配置し
、前記透過軸とＴＮ液晶を封入した液晶パネルの表面分
子配向方向とは概ね４５°の角度をなし、前記ＴＮ液晶
の屈折率異方性ΔｎとＴＮ液晶の膜厚ｄと液晶パネルを
通過する光のピーク波長λとの間にｋを正の整数として
、ｋ・λ＝Δｎ・ｄ もしくは、 （２ｋ＋１）・λ／２＝Δｎ・ｄ の関係が成立することから、ＴＮ液晶の屈折率異方性Δ
ｎと検光子を通過する光のピーク波長λを知って、ＴＮ
液晶の膜厚ｄを決定することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の液晶膜厚測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17710785A JPS6236506A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 液晶膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17710785A JPS6236506A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 液晶膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236506A true JPS6236506A (ja) | 1987-02-17 |
Family
ID=16025273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17710785A Pending JPS6236506A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 液晶膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236506A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02118406A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Orc Mfg Co Ltd | 液晶セルギャップ測定装置 |
| JPH0545129A (ja) * | 1991-08-15 | 1993-02-23 | Masaaki En | 合成樹脂薄膜の厚みまたは枚数検出装置 |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP17710785A patent/JPS6236506A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02118406A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Orc Mfg Co Ltd | 液晶セルギャップ測定装置 |
| JPH0545129A (ja) * | 1991-08-15 | 1993-02-23 | Masaaki En | 合成樹脂薄膜の厚みまたは枚数検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2019024753A1 (zh) | 一种互易型差动式调频连续波干涉保偏光纤陀螺仪 | |
| US4272195A (en) | Method and apparatus for determining the wavelength of light | |
| KR100293008B1 (ko) | 액정프리틸트각의측정방법및액정프리틸트각의측정장치 | |
| JP4031643B2 (ja) | Ｖａ液晶パネルのセルギャップ測定方法及び装置 | |
| Chang | Application of polarimetry and interferometry to liquid crystal-film research | |
| JPS6236506A (ja) | 液晶膜厚測定方法 | |
| KR20100048907A (ko) | 액정 셀의 틸트각 측정 방법 및 장치 | |
| Kimura et al. | Offset of multiple-beam interference inside anisotropic multilayered structure: Determination of polar anchoring strength at nematic liquid crystal-wall interface | |
| CN110231024B (zh) | 一种用于光纤萨格纳克干涉仪相位调制的方法和装置 | |
| JP3875116B2 (ja) | 複屈折体の複屈折率の波長分散の測定方法、プログラム及び記録媒体 | |
| JP2898298B2 (ja) | 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 | |
| CN1282892C (zh) | 基于光学干涉和色散原理的偏振分波的方法和装置 | |
| JP3108938B2 (ja) | 液晶分子のチルト角測定方法 | |
| JPH01162134A (ja) | 液晶セルのプレチルト角測定法 | |
| JP3755303B2 (ja) | 液晶素子における液晶層厚とツイスト角度の測定方法 | |
| JPH0518859A (ja) | 液晶層厚測定方法 | |
| KR101309819B1 (ko) | 필름의 광학특성 측정 방법 | |
| JPH03269305A (ja) | 液晶セルの液晶層厚測定方法 | |
| JP3006806B2 (ja) | 液晶セルのセル厚測定方法 | |
| JPH06265318A (ja) | 複屈折体のセルギャップ測定方法およびその装置 | |
| JP2635803B2 (ja) | 液晶セルおよび液晶の物性値測定方法とそれを用いた測定装置 | |
| Wang | Photoelasticity | |
| JP2820163B2 (ja) | 液晶セルのセル厚測定装置 | |
| Hwang et al. | Heterodyne method for determining the surface tilt angle of nematic liquid‐crystal displays | |
| JPH02118406A (ja) | 液晶セルギャップ測定装置 |