JPS6233322Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体製造装置のウエハー搬送機構
に付帯する基板収納治具に関するものである。

従来、基板収納治具には主として弗素系樹脂に
より成形されたもの（以下樹脂製という）と、メ
タル製のものとが使われていた。前記樹脂製のも
のは150℃〜200℃程度に加熱された場合に、熱歪
みを生じ、これが搬送時のトラブルの原因とな
る。且つ該樹脂材は真空中での使用に際しては多
量のガス放出源となり、適切な使用材料ではな
い。

メタル製基板収納治具はかかる問題を解決する
目的で、使用されてきたのであるが、メタル製の
場合、ウエハーと接触する面を精密な表面に仕上
げても真空中での摩擦抵抗増大により、円滑な搬
送動作が損なわれるという欠点がある。

なおプラズマエツチング装置等、反応性ガスを
使用する装置では耐腐食性を考慮してアルミニウ
ムにアルマイト処理をしたものが一般に使用され
ているが、解離した塩素イオンによる腐食作用が
激しく、耐久性に欠ける欠点がある。このため、
耐腐食性の良いステンレス製のものが使用される
場合もあるが、加工性、量産性に問題があり、し
かも重量が大きいため、運搬上不便であるという
点で実用性に欠ける。

本考案はこれらの欠点を除去したもので、上面
が開放され対向壁にそれぞれ基板を垂直に支持さ
せる仕切板を平行に備えた金属製の基板収納治具
において、その全表面に耐腐食性多孔質層を形成
し、少なくとも前記仕切板の多孔質層表面に潤滑
性被膜による平坦面を形成したことを特徴とする
潤滑性被膜付基板収納治具を提供するものであ
る。

以下本考案の実施例を図によつて説明する。第
１図に一般に使用されている基板収納治具の外観
図を示す。基板収納治具１は、上面が開放され、
対向壁に、それぞれ基板を、垂直に支持させる仕
切板２，２，……を平行に備えたものである。

本案はこの基板収納治具の本体を保型性に優れ
たアルミニウムなどのメタルで作り、その表面に
潤滑性被膜を施こしたものである。第２図にその
要部を示す。本実施例では基板収納治具本体３を
アルミニウムで作り、その全表面に多孔質の硬質
酸化アルミニウムの層４を形成させ、この多孔質
の硬質酸化アルミニウムの層４の表面に潤滑性被
膜材として弗素系樹脂を含浸並びにコーチングし
て熱処理で融着し、その表面に平坦な潤滑性被膜
５を施こした例を示している。

実施例の場合、硬質酸化アルミニウム自体は塩
素イオンなどに対して耐食性を有しているため、
必ずしも本体３の全表面にわたつて潤滑性被膜を
施こす必要はなく、少くとも基板を支持させる仕
切板２，２，……の表面に施こすのみでもよい。
また、潤滑性被膜材としては弗素系樹脂に限定さ
れず、ポリイミド樹脂その他潤滑性を有する耐食
性の樹脂であつてもよい。潤滑性被膜を被着する
面が多孔質であることは該膜の固定に有利であ
る。

本案は以上のようにアルミニウムなどのメタル
面に耐腐食性多孔質層を積層し、その外面の特に
仕切板の板面に潤滑性被膜による平坦面を定着さ
せたため、基板との間の摩擦抵抗が小さく、円滑
な搬送動作が可能であり、また、耐食性に優れ、
軽量で堅牢な基板収納治具を得ることができる効
果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の外観斜視図、第２図は要部拡
大断面図である。 １……基板収納治具、２……仕切板、３……本
体、４……硬質酸化アルミニウムの膜、５……潤
滑性被膜。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上面が開放され対向壁にそれぞれ半導体基板を
   垂直に支持させる仕切板を平行に備えた金属製の
   基板収納治具において、その全表面に耐腐食性多
   孔質層を形成し、少なくとも前記仕切板の多孔質
   層表面に潤滑性被膜による平坦面を形成したこと
   を特徴とする潤滑性被膜付基板収納治具。