JPS62290161A - 電子装置の冷却装置 - Google Patents
電子装置の冷却装置Info
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- JPS62290161A JPS62290161A JP13182686A JP13182686A JPS62290161A JP S62290161 A JPS62290161 A JP S62290161A JP 13182686 A JP13182686 A JP 13182686A JP 13182686 A JP13182686 A JP 13182686A JP S62290161 A JPS62290161 A JP S62290161A
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- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 44
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子装置に係り、特に電子装置に用いられる
集積回路パッケージを液体の冷媒によって冷却する電子
装置の冷却装置に関する。
集積回路パッケージを液体の冷媒によって冷却する電子
装置の冷却装置に関する。
従来、プリント配!!基板やセラミック基板等の回路基
板上に搭載された集積回路またはJJ8積回路パッケー
ジ等を冷却する手段としては1強制対流による空冷方式
が多く採用されていた。しかし。
板上に搭載された集積回路またはJJ8積回路パッケー
ジ等を冷却する手段としては1強制対流による空冷方式
が多く採用されていた。しかし。
近年、素子自身の集積度の向上と素子の実装密度の向上
とにより1発熱密度が大巾に高くなり、空冷方式では対
応しきれなくなってきている。
とにより1発熱密度が大巾に高くなり、空冷方式では対
応しきれなくなってきている。
そコテ、例えばNEC技報 Vot39 、 A 1(
1986)P36〜41 に見られるような液冷方式が
採用されるようになってきた。このような液体冷媒を用
いた冷却方式の配管図を第4図に示す。
1986)P36〜41 に見られるような液冷方式が
採用されるようになってきた。このような液体冷媒を用
いた冷却方式の配管図を第4図に示す。
第4図において、基板上に集積回路を実装した集積回路
ユニット2上には、液体の冷媒(たとえば水)の供給を
受けてユニット2全冷却する冷却ジャケットが設けられ
ている。タンク7内の冷媒は。
ユニット2上には、液体の冷媒(たとえば水)の供給を
受けてユニット2全冷却する冷却ジャケットが設けられ
ている。タンク7内の冷媒は。
ポンプ8により加圧され、弁21.フレキシブル接続管
12.弁19.菅13.コネクタ5を介して冷却ジャケ
ット3内に供給される。冷却ジャケット3に供給された
冷媒は、ジャケット内の冷媒通路を通シ、このときユニ
ット2の熱を奪って冷却ジャケット3の排出口に達し、
コネクタ5.管14、弁1817レキゾプル接続管15
、弁221管16t−介して、熱交換器6に戻される。
12.弁19.菅13.コネクタ5を介して冷却ジャケ
ット3内に供給される。冷却ジャケット3に供給された
冷媒は、ジャケット内の冷媒通路を通シ、このときユニ
ット2の熱を奪って冷却ジャケット3の排出口に達し、
コネクタ5.管14、弁1817レキゾプル接続管15
、弁221管16t−介して、熱交換器6に戻される。
熱交換器6で冷却された冷媒は、タンク7に戻され、再
開用に供される。電子回路ユニットにおける集積回路ユ
ニット2は、上記のようにして冷却ジャケットに供給さ
れる冷媒によって冷却される。
開用に供される。電子回路ユニットにおける集積回路ユ
ニット2は、上記のようにして冷却ジャケットに供給さ
れる冷媒によって冷却される。
〔発明が解決しようとする間4点〕
しかし、このような液冷方式を用いた装置においては、
集積回路または実積回路パッケージ2の保守・点検ちる
いは修理の際に冷却ジャケットを取りはずすため配管1
3.147切り離すときのe、漏れが最大の欠点であっ
た。これを防止するため、切り離す部分の前後にパルプ
18.19を設ける。あるいは、切bgす部分のコネク
ター5に工夫をこらし、切り離すと同時にパルプ18.
19が自動的に閉じるようなコネクターを採用するなど
の方法が考えられる。しかし、いずれもパルプ内に存在
する隙間に残った液体が回路基板上あるいは集積回路ま
たは集積回路パッケージ2上にたれる心配がある。たれ
た液体の骨がわずかでも。
集積回路または実積回路パッケージ2の保守・点検ちる
いは修理の際に冷却ジャケットを取りはずすため配管1
3.147切り離すときのe、漏れが最大の欠点であっ
た。これを防止するため、切り離す部分の前後にパルプ
18.19を設ける。あるいは、切bgす部分のコネク
ター5に工夫をこらし、切り離すと同時にパルプ18.
19が自動的に閉じるようなコネクターを採用するなど
の方法が考えられる。しかし、いずれもパルプ内に存在
する隙間に残った液体が回路基板上あるいは集積回路ま
たは集積回路パッケージ2上にたれる心配がある。たれ
た液体の骨がわずかでも。
回路がショートした)あるいは配線間つ誘電率が変化し
雑音を発生するあるいは誤動作することも考えられる。
雑音を発生するあるいは誤動作することも考えられる。
−!iた腐蝕、化学反応、あるいは膨潤等によって断線
を招く心配もある。
を招く心配もある。
また、配管系にドレンを設けて、配管を切り離す前に液
を抜くということも考えられなくはないが、タンク内の
液を抜くのとは違って、集積回路または集積回路パッケ
ージの夜冷装置は配管系が複雑であり、完全に液体を抜
くことばできず、あちらこちらに液留りができてしまい
、筬漏れの心配は解決されない。
を抜くということも考えられなくはないが、タンク内の
液を抜くのとは違って、集積回路または集積回路パッケ
ージの夜冷装置は配管系が複雑であり、完全に液体を抜
くことばできず、あちらこちらに液留りができてしまい
、筬漏れの心配は解決されない。
一方、長期間の運転停止中には冷媒の1項分停止するた
めに、冷媒の種類によっては冷媒の劣化がおこり、この
ために水冷ジャケットや配管に使われる金属材料の腐食
が加速される恐れもある。
めに、冷媒の種類によっては冷媒の劣化がおこり、この
ために水冷ジャケットや配管に使われる金属材料の腐食
が加速される恐れもある。
このため、長期間の運転停止中は集積回路や集積回路パ
ッケージ近傍の冷媒を取り除き、腐食て対する信頼性を
上げる必要がある。しかし、冷媒つ排出方法については
配慮された構造になっておらず1問題であった。
ッケージ近傍の冷媒を取り除き、腐食て対する信頼性を
上げる必要がある。しかし、冷媒つ排出方法については
配慮された構造になっておらず1問題であった。
本発明の目的は、集積回路または集積回路パッケージの
補守・点検あるいは修理の際、液漏れの心配なしに切断
できる電子装置の冷却装置を提供することである。
補守・点検あるいは修理の際、液漏れの心配なしに切断
できる電子装置の冷却装置を提供することである。
本発明は、上記目的を達成するために、液体の供給配管
にパージガスを流し、集積回路あるいは集積回路パッケ
ージ近くの液体を強制的に排出し。
にパージガスを流し、集積回路あるいは集積回路パッケ
ージ近くの液体を強制的に排出し。
さらに、パージガスの供給源を循環装置の一部に組み込
むことによシ達成される。
むことによシ達成される。
本発明では、冷媒の循環を行うための液体循環装置の配
管を使い、循環装置の一部からパージガスをコンピュー
タ本体内の配管に送り込み、水冷ジャケットや配管の冷
媒を循環装置内に設けられたタンクに回収する。こうし
て1本体内の配管や水冷ジャケットの内部は全てパージ
ガスに置換されるために本体内で配管や水冷ジャケット
を取外しても孜漏れを生じることがない。
管を使い、循環装置の一部からパージガスをコンピュー
タ本体内の配管に送り込み、水冷ジャケットや配管の冷
媒を循環装置内に設けられたタンクに回収する。こうし
て1本体内の配管や水冷ジャケットの内部は全てパージ
ガスに置換されるために本体内で配管や水冷ジャケット
を取外しても孜漏れを生じることがない。
パージガスの送込みは外部から高圧ガスを便って行うこ
とも出来るが、循環装置内部にコンプレッサを設けたり
1通常は冷媒の循環用に使うポンプを利用して加圧ガス
を作ることで省スペースを可能としている。また、冷媒
は全てタンク回収されるため1点検、補修、運転停止の
度に冷媒の抜き取りの準備が不要となる。
とも出来るが、循環装置内部にコンプレッサを設けたり
1通常は冷媒の循環用に使うポンプを利用して加圧ガス
を作ることで省スペースを可能としている。また、冷媒
は全てタンク回収されるため1点検、補修、運転停止の
度に冷媒の抜き取りの準備が不要となる。
本発明の実施例を第1図、第2図により説明する。1は
基板、2は集積回路または集積回路パッケージ(集積回
路ユニット)、3は冷却ジャケット、4は冷却ジャケッ
ト3を継ぐフレキシブル管。
基板、2は集積回路または集積回路パッケージ(集積回
路ユニット)、3は冷却ジャケット、4は冷却ジャケッ
ト3を継ぐフレキシブル管。
5は冷却ジャケットが容易に収り外すことが出きるコネ
クタ、13は冷媒の供給配管、14は戻り配管である。
クタ、13は冷媒の供給配管、14は戻り配管である。
これらは電子回路ユニット内に設置される。通常の動作
時において、冷媒は循環装置内に設けられたタンク7か
ら加圧ポンプ8によって加圧され供給配管11、循環装
置とコンビエータ本体を迷ぐフレキシブル接続管12を
径で本体側供給配管13に送り込まれる。その後、冷媒
は各冷却ジャケット3で集積回路または集積回路パッケ
ージ2を冷却する。受熱によって昇ユした冷媒は、戻シ
配管14.フレキシブルホース15等を経て、熱交換器
6へ到達して除熱され、再びタンク7に戻る。この購造
において、プロセッサユニット内の冷媒を排出するため
に吸込口25から取り込まれたパージガスをコンプレッ
サ9で加圧してガスタンク10に蓄えたのち、配管11
のパルプ22を閉じ、パルプ23を開放することで接続
管12,15.配管13,14.水冷ジャケット3内の
冷媒’を押し出しガス抜き24の付いた冷媒タンク7に
容易に回収される。その後バルブ18.19を閉じれば
プロセッサユニット内の冷媒は除去できるし、パルプ2
0.21を閉じれば。
時において、冷媒は循環装置内に設けられたタンク7か
ら加圧ポンプ8によって加圧され供給配管11、循環装
置とコンビエータ本体を迷ぐフレキシブル接続管12を
径で本体側供給配管13に送り込まれる。その後、冷媒
は各冷却ジャケット3で集積回路または集積回路パッケ
ージ2を冷却する。受熱によって昇ユした冷媒は、戻シ
配管14.フレキシブルホース15等を経て、熱交換器
6へ到達して除熱され、再びタンク7に戻る。この購造
において、プロセッサユニット内の冷媒を排出するため
に吸込口25から取り込まれたパージガスをコンプレッ
サ9で加圧してガスタンク10に蓄えたのち、配管11
のパルプ22を閉じ、パルプ23を開放することで接続
管12,15.配管13,14.水冷ジャケット3内の
冷媒’を押し出しガス抜き24の付いた冷媒タンク7に
容易に回収される。その後バルブ18.19を閉じれば
プロセッサユニット内の冷媒は除去できるし、パルプ2
0.21を閉じれば。
フレキシブルホース12,15の取外しも可能となる。
もちろん、タンク7の容量は電子回路ユニット中の冷媒
全量を回収するに足る大きさが必要である。
全量を回収するに足る大きさが必要である。
第31gJは本発明の他の実施例である。第3図は第1
図に示したコンプレッサ9の代りにパルプ操作と冷媒の
加圧ポンプ8t−用いてパージガスの加圧を行う。通常
の運転ではパルプ23.26は閉じられ、パルプ18〜
22は開いた状態で用いる。
図に示したコンプレッサ9の代りにパルプ操作と冷媒の
加圧ポンプ8t−用いてパージガスの加圧を行う。通常
の運転ではパルプ23.26は閉じられ、パルプ18〜
22は開いた状態で用いる。
保守・点検等を行うためにプロセッサユニットの冷媒を
抜く場合には、先ずパルプ22.27を閉じ、パルプ2
6.24t”!J<。その後、ポンプ8を運転しタンク
7の冷媒tり/り7より上方向に置かれたタンク25に
送り込み、タンク25中のパージガスを加圧する。所定
の圧力になった後パルプ26を閉じ、パルプ23を開け
れば加圧されたパージガスがプロセッサユニットに供給
された冷媒の排出を行う。次に、電子回路ユニットに冷
媒を供給する場合は、パルプ23を閉じたのち。
抜く場合には、先ずパルプ22.27を閉じ、パルプ2
6.24t”!J<。その後、ポンプ8を運転しタンク
7の冷媒tり/り7より上方向に置かれたタンク25に
送り込み、タンク25中のパージガスを加圧する。所定
の圧力になった後パルプ26を閉じ、パルプ23を開け
れば加圧されたパージガスがプロセッサユニットに供給
された冷媒の排出を行う。次に、電子回路ユニットに冷
媒を供給する場合は、パルプ23を閉じたのち。
パルプ27を開ければタンク25に入った冷媒はタンク
7に重力により回収される。その後、パルプ26を閉じ
パルプ22を開はポンプを運転すれば良い。
7に重力により回収される。その後、パルプ26を閉じ
パルプ22を開はポンプを運転すれば良い。
本発明によれば、集積回路または集積回路パッケージの
保守・点検、修理の際に、水冷ジャケットや配管などコ
ンピュータ本体の冷媒を容易に排出できるため液漏れの
心配なしに配管や水冷ジャケットの取シ外しが可能とな
る。一方、長期運転停止に際しても本発明によりコンピ
ュータ本体内の冷媒を排出でき2本体内の冷却系統が冷
媒により腐食することを避けられる。
保守・点検、修理の際に、水冷ジャケットや配管などコ
ンピュータ本体の冷媒を容易に排出できるため液漏れの
心配なしに配管や水冷ジャケットの取シ外しが可能とな
る。一方、長期運転停止に際しても本発明によりコンピ
ュータ本体内の冷媒を排出でき2本体内の冷却系統が冷
媒により腐食することを避けられる。
第1図、第2図は本発明の一実施例を示す図。
第3図は本発明の他の実施例を説明する図である。
第4図は従来の液冷方式を示したものである。
1・・・基板、2・・・集積回路または集積1回路パッ
ケージ、3・・・冷却ジャケット、5・・・コネクタ、
6・・・熱交換器、7・・・タンク、8・・・ポンプ、
9・・・コンプレッサ、10・・・パージガスタンク、
25・・・ガスタンク。
ケージ、3・・・冷却ジャケット、5・・・コネクタ、
6・・・熱交換器、7・・・タンク、8・・・ポンプ、
9・・・コンプレッサ、10・・・パージガスタンク、
25・・・ガスタンク。
Claims (1)
- 1、基板上に集積回路を実装した集積回路ユニットと、
該ユニット上に液体の冷媒によつて該ユニットを冷却す
る冷却ジャケットと、冷媒供給源からの冷媒を該冷却ジ
ャケットの冷媒供給口に導く配管路とを有する電子装置
の冷却装置において、該配管路の途中にパージガスを供
給するパージガス供給部を設けたことを特徴とする電子
装置の冷却装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13182686A JPS62290161A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 電子装置の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13182686A JPS62290161A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 電子装置の冷却装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62290161A true JPS62290161A (ja) | 1987-12-17 |
JPH0462461B2 JPH0462461B2 (ja) | 1992-10-06 |
Family
ID=15067003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13182686A Granted JPS62290161A (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 | 電子装置の冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62290161A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01268030A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | プラズマエッチング方法及び装置 |
JPH02504207A (ja) * | 1988-04-18 | 1990-11-29 | ユニシス・コーポレーション | 低応力液体冷却アセンブリ |
WO2013145693A1 (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 富士フイルム株式会社 | 冷却システム、リザーバユニットおよびカートリッジ並びにそれらを備えた固体レーザ発振装置 |
-
1986
- 1986-06-09 JP JP13182686A patent/JPS62290161A/ja active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02504207A (ja) * | 1988-04-18 | 1990-11-29 | ユニシス・コーポレーション | 低応力液体冷却アセンブリ |
JPH01268030A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | プラズマエッチング方法及び装置 |
WO2013145693A1 (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-03 | 富士フイルム株式会社 | 冷却システム、リザーバユニットおよびカートリッジ並びにそれらを備えた固体レーザ発振装置 |
JP2013229574A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-11-07 | Fujifilm Corp | 冷却システム、リザーバユニットおよびカートリッジ並びにそれらを備えた固体レーザ発振装置 |
US9263851B2 (en) | 2012-03-27 | 2016-02-16 | Fujifilm Corporation | Cooling system, reservoir unit and cartridge, as well as solid-state laser oscillator system provided with the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0462461B2 (ja) | 1992-10-06 |
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