JPS62277422A - Photo-sensitive resin composition - Google Patents

Photo-sensitive resin composition

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JPS62277422A
JPS62277422A JP12005786A JP12005786A JPS62277422A JP S62277422 A JPS62277422 A JP S62277422A JP 12005786 A JP12005786 A JP 12005786A JP 12005786 A JP12005786 A JP 12005786A JP S62277422 A JPS62277422 A JP S62277422A
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JP
Japan
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weight
acid
photosensitive resin
resin composition
epoxy
Prior art date
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Application number
JP12005786A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuaki Yokoyama
泰明 横山
Seiji Fukuhara
誠二 福原
Hiroharu Ikeda
池田 弘治
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JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS62277422A publication Critical patent/JPS62277422A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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Abstract

PURPOSE:To provide the titled composition containing specific epoxidized resin, modified resin, epoxy compound, thermal reaction catalyst and photo-polymerization initiator at specific ratios, having high sensitivity and resolution to actinic light and giving a coating film to which a mask film can be directly and closely applied. CONSTITUTION:The objective composition contains (A) 5-60(wt)%, preferably 10-40% epoxidized resin produced by reacting a phenolic compound having halogen atom and/or alkyl group with an aldehyde compound and epoxidizing the resultant novolac resin, (B) 20-75%, preferably 25-60% modified resin produced by reacting the resin A with an unsaturated carboxylic acid [e.g. (meth)acrylic acid], (C) 0.01-45%, preferably 0.02-30% epoxy compound (excluding the components A and B), (D) 0.01-10% thermal reaction catalyst enabling the thermal reaction of epoxy group and (E) 0.001-15% photo-polymerization initiator enabling the photo-polymerization of unsaturated group.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは活性
光線に高感度および高解像度で、かつ塗布後の加熱乾燥
により塗膜表面にマスクフィルムを直接密着させて露光
することが可能であり、さらに硬化膜の電気絶縁特性、
機械的特性、基板との密着性、半田耐熱性にも優れ、し
かも不燃性溶媒により現像できる、プリント回路基板用
レジストに好適な感光性樹脂組成物に関する。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a photosensitive resin composition, more specifically, it has high sensitivity to actinic rays and high resolution, and is heat-drying after application. This makes it possible to expose the mask film directly to the surface of the coating film, and further improves the electrical insulation properties of the cured film.
The present invention relates to a photosensitive resin composition suitable for a resist for printed circuit boards, which has excellent mechanical properties, adhesion to a substrate, and soldering heat resistance, and can be developed with a nonflammable solvent.

(従来の技術) 近年の高密度化および多層化実装の要求を満たすプリン
ト回路基板用材料として、感光性樹脂組成物が用いられ
、フィルム状の感光性樹脂組成物が開発されている。
(Prior Art) Photosensitive resin compositions are used as materials for printed circuit boards that meet the recent demands for higher density and multilayer packaging, and film-like photosensitive resin compositions have been developed.

しかしながら、フィルム状感光性樹脂組成物は、フィル
ム状のため解像度に限界があり、プリント回路基板との
密着性も不充分で、プリント回路基板の自動化生産のた
めにも好ましいものではない。
However, the film-like photosensitive resin composition has a limited resolution because of its film form, and has insufficient adhesion to printed circuit boards, and is not preferable for automated production of printed circuit boards.

これに対して、より高度な要求を満たすものとして液状
感光性樹脂組成物が知られており、この樹脂組成物はア
クリル系感光性樹脂組成物およびエポキシ系感光性樹脂
組成物の2つに大別される。
On the other hand, liquid photosensitive resin compositions are known as those that meet more advanced requirements, and there are two major types of these resin compositions: acrylic photosensitive resin compositions and epoxy photosensitive resin compositions. Separated.

アクリル系感光性樹脂組成物は、組成の大半が光硬化性
アクリル系またはメタクリル系モノマー、オリゴマーま
たはポリマーからなるものである。
Acrylic photosensitive resin compositions consist mostly of photocurable acrylic or methacrylic monomers, oligomers, or polymers.

上記アクリル系感光性樹脂組成物は、湿潤下での電気絶
縁性の保持性が劣るという欠点を有する。
The above-mentioned acrylic photosensitive resin composition has a drawback of poor electrical insulation retention under wet conditions.

また、液状感光性樹脂組成物として、エポキシ樹脂オリ
ゴマーに感光性を付与するために、活性光線で分解して
反応活性種を生成する光分解型エポキシ硬化触媒を混合
した組成物が知られているが、その光分解型エポキシ硬
化触媒が酸性化合物であるため、アクリル系感光性樹脂
組成物と同様に湿潤下での電気絶縁性の保持性が低いと
いう欠点を有する。
Furthermore, as a liquid photosensitive resin composition, a composition is known in which a photodegradable epoxy curing catalyst is mixed, which is decomposed by actinic light to generate reactive species, in order to impart photosensitivity to the epoxy resin oligomer. However, since the photodegradable epoxy curing catalyst is an acidic compound, it has the disadvantage of poor electrical insulation retention under wet conditions, similar to acrylic photosensitive resin compositions.

(発明が解決しようとする問題点) しかし、エポキシ系樹脂自体の電気絶縁特性は、一般に
アクリル系樹脂の電気絶縁特性よりも良いため、エポキ
シ系樹脂自体の高い電気絶縁特性を生かし、しかもプリ
ント回路基板用感光性樹脂組成物に要求される基板との
密着性、半田耐熱性、電気絶縁特性および機械的特性に
擾れ、活性光線に高感度および高解像度で、かつ塗布後
の加熱乾燥により塗膜表面にマスクフィルムを直接密着
させて露光することが可能であり、さらに従来のプリン
ト回路基板工業界で一般に使用されている不燃性溶媒(
例えば1.L  L−トリクロロエタン(クロロセン)
)で現像できるエポキシ系感光性樹脂組成物の開発が望
まれている。
(Problem to be solved by the invention) However, since the electrical insulation properties of epoxy resin itself are generally better than those of acrylic resin, it is possible to make use of the high electrical insulation properties of epoxy resin itself, and to use printed circuits. The photosensitive resin composition for substrates has the required adhesion to the substrate, soldering heat resistance, electrical insulation properties, and mechanical properties. It is possible to expose the mask film directly to the film surface, and it also uses non-flammable solvents commonly used in the conventional printed circuit board industry (
For example 1. L L-trichloroethane (chlorocene)
) It is desired to develop an epoxy-based photosensitive resin composition that can be developed.

(問題点を解決するための手段) 本発明は、(A)ハロゲン原子およびアルキル基から選
ばれる少なくとも1種を有するフェノール類と、アルデ
ヒド化合物とを反応させて得られるノボラック樹脂をエ
ポキシ化して得られるエポキシ化樹脂5〜60重量%、 (B)前記(A)のエポキシ化樹脂と不飽和カルボン酸
とを反応させて得られる変性樹脂20〜75重量%、 (C)少なくとも1種のエポキシ化合物(但し、前記成
分AおよびBを除<)0.01〜45重量%、(D)エ
ポキシ基を熱反応させることが可能な熱反応触媒0.0
1〜10重量%、ならびに(E)不飽和基を光重合させ
ることが可能な光重合性開始剤0.001〜15重量%
を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
(Means for Solving the Problems) The present invention is produced by epoxidizing a novolak resin obtained by reacting (A) a phenol having at least one kind selected from a halogen atom and an alkyl group with an aldehyde compound. (B) 20 to 75% by weight of a modified resin obtained by reacting the epoxidized resin of (A) with an unsaturated carboxylic acid; (C) at least one epoxy compound; (However, excluding the above components A and B) 0.01 to 45% by weight, (D) 0.0 of a thermal reaction catalyst capable of thermally reacting an epoxy group
1 to 10% by weight, and (E) 0.001 to 15% by weight of a photopolymerizable initiator capable of photopolymerizing unsaturated groups.
The present invention relates to a photosensitive resin composition containing the following.

本発明の感光性樹脂組成物の成分(A)におけるハロゲ
ン原子を有するフェノール類としては、o−クロロフェ
ノール、m−り四ロフェノール、p−クロロフェノール
、o−7’ロモフエノール、m−ブロモフェノール、p
−ブロモフェノール、4−ブロモー2−クロロフェノー
ル等を、アルキル基を有するフェノール類としては、0
−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2.
 5−キシレノール、2.4−キシレノール、2,5−
キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレ
ノール、3,5−キシレノール、2,3゜5−トリメチ
ルフェノール、2,3.6−トリメチルフェノール、2
,4.6−)ジメチルフェノール、0−エチルフェノー
ル、m−エチルフェノール、p−エチルフェノール、2
−メチルレゾルシノール、5−メチルレゾルシノール等
を挙げることができる。さらに、ハロゲン原子およびア
ルキル基を有するフェノール類としては、4−クロロ−
〇−クレゾール、6−クロロ−〇−クレゾール、4−ク
ロロ−m−クレゾール、6−クロロ−m−クレゾール、
4−クロロ−3,5−ジメチルフェノール、2−クロロ
−4,5−ジメチルフェノール、4−クロロ−3,5−
キシレノール、4−ブロモ−0−クレゾール、6−ブロ
モー0−クレゾール、4−ブロモ−m−クレゾール、6
−ブロモ−m−クレゾール、4−ブロモ−2,6−ジメ
チルフェノール、4−ブロモ−3,5−ジメチルフェノ
ール等を挙げることができる また、成分(A)におけるアルデヒド化合物としては、
ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアル
デヒド、n−ブチル−アルデヒド、ベンズアルデヒド、
フェニルアセトアルデヒド、フルフラール、アクロレイ
ン、クロトンアルデヒド等を挙げることができる。
Examples of the halogen-containing phenols in component (A) of the photosensitive resin composition of the present invention include o-chlorophenol, m-ditetraphenol, p-chlorophenol, o-7'lomophenol, m-bromophenol, and m-chlorophenol. phenol, p
- Bromophenol, 4-bromo-2-chlorophenol, etc., as phenols having an alkyl group, 0
-cresol, m-cresol, p-cresol, 2.
5-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-
Xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, 2,3゜5-trimethylphenol, 2,3.6-trimethylphenol, 2
, 4.6-) dimethylphenol, 0-ethylphenol, m-ethylphenol, p-ethylphenol, 2
-Methylresorcinol, 5-methylresorcinol, and the like. Furthermore, as phenols having a halogen atom and an alkyl group, 4-chloro-
〇-cresol, 6-chloro-〇-cresol, 4-chloro-m-cresol, 6-chloro-m-cresol,
4-chloro-3,5-dimethylphenol, 2-chloro-4,5-dimethylphenol, 4-chloro-3,5-
Xylenol, 4-bromo-0-cresol, 6-bromo-0-cresol, 4-bromo-m-cresol, 6
Examples of the aldehyde compound in component (A) include -bromo-m-cresol, 4-bromo-2,6-dimethylphenol, and 4-bromo-3,5-dimethylphenol.
Formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, n-butyl-aldehyde, benzaldehyde,
Examples include phenylacetaldehyde, furfural, acrolein, and crotonaldehyde.

ノボラック樹脂を合成するに際して、アルデヒド化合物
の使用量は、ハロゲン原子およびアルキル基から選ばれ
る少なくとも1種を有するフェノール類1モル当たり好
ましくは0.7〜3モル、特に好ましくは0.7〜2モ
ル使用される。0.7モル未満では、未反応のフェノー
ル類の残存量が多くなるためノボラック樹脂の軟化点が
低くなり、3モルを超えるとノボラック樹脂はゲル化す
る(順向がある。
When synthesizing the novolac resin, the amount of aldehyde compound used is preferably 0.7 to 3 mol, particularly preferably 0.7 to 2 mol, per mol of phenol having at least one selected from halogen atoms and alkyl groups. used. If it is less than 0.7 mol, the remaining amount of unreacted phenols will increase, so the softening point of the novolak resin will be low, and if it exceeds 3 mol, the novolak resin will gel (there is a positive tendency).

ノボラック樹脂の合成においては、フェノール類とアル
デヒド化合物とを、通常、酸触媒を用いて重縮合させる
。前記酸触媒としては、塩酸、硝酸、硫酸等の無機酸、
または蟻酸、シュウ酸、酢酸等の有機酸が挙げられる。
In the synthesis of novolac resins, phenols and aldehyde compounds are usually polycondensed using an acid catalyst. The acid catalyst includes inorganic acids such as hydrochloric acid, nitric acid, and sulfuric acid;
Alternatively, organic acids such as formic acid, oxalic acid, and acetic acid may be mentioned.

これら酸触媒の使用量はフェノール類1モル当たり、通
常、1×1〇−7〜5X10−1モル、好ましくは1×
101〜5XIO−1モルである。
The amount of these acid catalysts used is usually 1 x 10-7 to 5 x 10-1 mol, preferably 1 x 10-1 mol, per mol of phenol.
101 to 5XIO-1 mole.

ノボラック樹脂の合成においては、反応媒質を使用しな
くてもよいが、反応媒質として水または親水性溶媒、も
しくはこれらを混合して使用することもできる。この際
使用される親水性溶媒としては、例えばメタノール、エ
タノール、プロパツール、ブタノール等のアルコール類
、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジクライム等のエ
ーテル類、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル等の
エステル類またはアセトニトリル、プロピオニトリル、
ブチロニトリル等のニトリル類が挙げられる。これらの
反応媒質の使用量は、通常、フェノール類100重量部
当たり5000重量部以下、好ましくは10〜1000
重量部である。また反応温度は、反応原料に応じて適宜
選択するが、通常、10〜200℃、好ましくは60〜
160°Cである。
In the synthesis of novolak resin, it is not necessary to use a reaction medium, but water or a hydrophilic solvent, or a mixture of these can also be used as the reaction medium. Hydrophilic solvents used in this case include, for example, alcohols such as methanol, ethanol, propatool, butanol, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, diclime, esters such as ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, or acetonitrile. propionitrile,
Nitriles such as butyronitrile are mentioned. The amount of these reaction media used is usually 5,000 parts by weight or less, preferably 10 to 1,000 parts by weight per 100 parts by weight of phenol.
Parts by weight. The reaction temperature is appropriately selected depending on the reaction raw materials, but is usually 10 to 200°C, preferably 60 to 200°C.
It is 160°C.

ノボラック樹脂をエポキシ化するに際しては、ノボラッ
ク樹脂にエピハロヒドリンを反応させる。
When epoxidizing the novolak resin, the novolak resin is reacted with epihalohydrin.

ここにおけるエビハロヒドリンとしては、エピクロルヒ
ドリン、エピブロムヒドリンなどが挙げられる。
Examples of the shrimp halohydrin here include epichlorohydrin and epibromohydrin.

エポキシ化ノボラック樹脂は、通常、ノボラック樹脂と
、ノボラック樹脂中のフェノール性水酸基1モル当量に
対して0.005〜3モル当量のエビハロヒドリンを、
溶媒中または無溶媒で均一に溶解させ、フェノール性水
酸基1モル当量に対して1〜3モル当量のアルカリ性触
媒を添加し反応させて合成する。アルカリ性触媒として
は、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムのような無機ア
ルカリの5〜60重量%、好ましくは20〜50重量%
の水溶液、ピリジンやトリエチルアミンのような有機ア
ミンが使用される。溶媒としては、例えばアセトン、ジ
メチルホルムアミド、テトラヒドロフランのようなノボ
ラック樹脂を溶解する溶媒を用いることができる。
Epoxidized novolac resin usually contains novolac resin and 0.005 to 3 molar equivalents of shrimp halohydrin per 1 molar equivalent of phenolic hydroxyl group in the novolak resin.
It is synthesized by uniformly dissolving it in a solvent or without a solvent, and adding 1 to 3 molar equivalents of an alkaline catalyst to 1 molar equivalent of phenolic hydroxyl group to cause a reaction. The alkaline catalyst is 5 to 60% by weight, preferably 20 to 50% by weight of an inorganic alkali such as sodium hydroxide or potassium hydroxide.
Aqueous solutions of pyridine and organic amines such as triethylamine are used. As the solvent, a solvent that dissolves the novolak resin, such as acetone, dimethylformamide, and tetrahydrofuran, can be used.

反応温度は、通常、20〜200℃、好ましくは50〜
120℃である。
The reaction temperature is usually 20-200°C, preferably 50-200°C.
The temperature is 120°C.

また成分(A)のエポキシ化樹脂は、市販されており、
例えば日本化葉汁!!EOCN−102、EOCN−1
03、EOCN−104、EOCN−1020等が挙げ
られる。
In addition, the epoxidized resin of component (A) is commercially available,
For example, Japanese leaf juice! ! EOCN-102, EOCN-1
03, EOCN-104, EOCN-1020, etc.

成分(A)の使用量は、5〜60重量%、好ましくは1
0〜40重量%である。成分(A)の使用量が5重量%
以下であると十分な硬度の表面が得られず、60重量%
以上であると感光性樹脂組成物の感度が低下する。
The amount of component (A) used is 5 to 60% by weight, preferably 1
It is 0 to 40% by weight. The amount of component (A) used is 5% by weight.
If it is less than 60% by weight, a surface with sufficient hardness cannot be obtained.
If it is more than that, the sensitivity of the photosensitive resin composition decreases.

成分Bは、有機溶媒中、前記(A)のエポキシ化樹脂と
、不飽和カルボン酸とを反応させることにより製造され
る。
Component B is produced by reacting the epoxidized resin (A) with an unsaturated carboxylic acid in an organic solvent.

ここにおける不飽和カルボン酸としては、例えばアクリ
ル酸、メタクリル酸、クロトン酸、珪皮酸、ビニル酢酸
、アリル酢酸、フタル酸モノアクリレート、フタル酸モ
ノメタクリレート、テレフタル酸モノアクリレート、テ
レフタル酸モノメタクリレート、フタル酸モノ (β−
アクリロイルオキシエチル)エステル、フタル酸モノ 
(β−メタクリロイルオキシエチル)エステル、テレフ
タル酸モノ (β−アクリロイルオキシエチル)エステ
ル、テレフタル酸モノ (β−メタクリロイルオキシエ
チル)エステル、コハク酸モノ (β−アクリロイルオ
キシエチル)エステル、コハク酸モノ (β−メタクリ
ロイルオキシエチル)エステル、マレイン酸モノ (β
−アクリロイルオキシエチル)エステル、マレイン酸モ
ノ (β−メタクリ口イルオキシエチル)エステル、ざ
らにフマル酸、ストラコン酸、メサコン酸の炭素数1〜
12のアルキル、アルケニル、アリルモノエステル等が
挙ケラれる。
Examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, vinyl acetic acid, allyl acetic acid, phthalic acid monoacrylate, phthalic acid monomethacrylate, terephthalic acid monoacrylate, terephthalic acid monomethacrylate, and phthalic acid monoacrylate. Acid mono (β-
Acryloyloxyethyl) ester, monophthalate
(β-methacryloyloxyethyl) ester, terephthalic acid mono (β-acryloyloxyethyl) ester, terephthalic acid mono (β-methacryloyloxyethyl) ester, succinic acid mono (β-acryloyloxyethyl) ester, succinic acid mono (β-acryloyloxyethyl) ester, -methacryloyloxyethyl) ester, maleic acid mono(β
- Acryloyloxyethyl) ester, maleic acid mono (β-methacryloyloxyethyl) ester, fumaric acid, straconic acid, mesaconic acid with 1 or more carbon atoms
12 alkyl, alkenyl, allyl monoesters, etc.

不飽和カルボン酸の使用量は、使用するエポキシ樹脂の
エポキシ基1当量に対して0.1〜1モル、好ましくは
0.2〜0.6モルである。
The amount of unsaturated carboxylic acid used is 0.1 to 1 mol, preferably 0.2 to 0.6 mol, per equivalent of epoxy group in the epoxy resin used.

成分(B)の合成に使用する有機溶媒としては、例えば
アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン等のケトン系溶媒、テトラヒドロフラン、ジオキサン
、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリ
コールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチ
ルエーテル等のエーテル系溶媒が用いられる。
Examples of the organic solvent used in the synthesis of component (B) include ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone, and ether solvents such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether. used.

これらの有機溶媒の使用量は、反応液の固形分濃度が5
〜90重量%、好ましくは30〜70重量%となる量で
ある。
The amount of these organic solvents to be used is determined when the solid content concentration of the reaction solution is 5.
The amount is 90% by weight, preferably 30-70% by weight.

成分(B)の合成においては、反応触媒を用いることが
でき、例えばトリエチルアミン、ピリジン、ルチジン、
コリジン等の有機アミンが用いられる。これらの触媒の
使用量は、反応に用いる不飽和カルボン酸1モルに対し
て、好ましくは0.001〜10モル%、特に好ましく
は0.05〜5モル%である。
In the synthesis of component (B), a reaction catalyst can be used, such as triethylamine, pyridine, lutidine,
Organic amines such as collidine are used. The amount of these catalysts used is preferably 0.001 to 10 mol%, particularly preferably 0.05 to 5 mol%, based on 1 mol of unsaturated carboxylic acid used in the reaction.

成分(B)の合成における反応温度は特に限定されない
が、通常、0〜200℃、好ましくは20〜80℃であ
る。
The reaction temperature in the synthesis of component (B) is not particularly limited, but is usually 0 to 200°C, preferably 20 to 80°C.

このようにして得られる反応生成物である成分(B)は
、特定の溶媒中で該生成物を析出させ、単離、精製する
ことができ、この際用いられる溶媒としては、例えばメ
タノール、エタノール等のアルコール類、ジエチルエー
テル等のエーテル類、ヘプタン、ヘキサン、シクロヘキ
サン等の炭化水素系溶媒が挙げられる。
Component (B), which is a reaction product obtained in this way, can be isolated and purified by precipitating the product in a specific solvent. Examples of the solvent used in this case include methanol, ethanol, etc. Examples include alcohols such as, ethers such as diethyl ether, and hydrocarbon solvents such as heptane, hexane, and cyclohexane.

成分(B)を本発明の感光性樹脂組成物の成分として用
いる場合は、得られる反応溶液をそのまま、または反応
生成物を前記のように単離、精製して用いる。
When component (B) is used as a component of the photosensitive resin composition of the present invention, the resulting reaction solution is used as it is, or the reaction product is isolated and purified as described above.

本発明の感光性樹脂組成物における成分(B)の使用量
は、20〜75重量%好ましくは25〜60重量%であ
る。成分(B)の使用量が20%未満では、感光性樹脂
組成物を基板上に塗布後加熱乾燥してもステ・ノキング
が生じ、マスクフィルムを密着露光できない。また75
重量%を越える場合には、光硬化後の感光性樹脂組成物
の基板との密着性が不十分となり、さらに塗膜がもろく
なり実用的でなくなる。
The amount of component (B) used in the photosensitive resin composition of the present invention is 20 to 75% by weight, preferably 25 to 60% by weight. If the amount of component (B) used is less than 20%, staining occurs even if the photosensitive resin composition is applied onto a substrate and then dried by heating, and the mask film cannot be exposed in close contact. 75 again
If it exceeds % by weight, the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate after photocuring will be insufficient, and the coating film will become brittle, making it impractical.

本発明に用いられるエポキシ化合物(但し前記成分Aお
よびBを除<)(成分(C))としては、一般式 (式中nはOまたは1〜20の整数、Xは−CH2−1
′−C(CH3)2または)S02、Yは水素原子、C
H3または臭素原子、塩素原子等のハロゲン原子を意味
する)で示されるエポキシ化合物を例示することができ
、具体的にはビスフェノールAジグリシジルエーテル、
ビスフェノールSジグリシジルエーテル(X=SO2)
 、ビスフェノールA等とジグリシジルエーテルとから
合成されるエポキシオリゴ?−(X=C(CH3)2お
よびn−1〜20)等を挙げることができる。またグリ
シジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、フ
ェニルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル
等のモノエポキシエーテル類、安息香酸グリシジルエス
テル、ソルビン酸グリシジルエステル等のモノエポキシ
エステル類、エチレングリコールジグリシジルエーテル
、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエ
チレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチル
グリコールジグリシジルエーテル、ジブロムネオペンチ
ルグリコールジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシ
ジルエーテル等のジェポキシ化合物、グリセロールポリ
グリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリ
シジルエーテル、ジクリセロールポリグリシジルエーテ
ル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビ
トールポリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシ
アヌレート、1.3−(N、N−ジグリシジルアミノメ
チル)ベンゼン、1.3− (N、N−ジグリシジルア
ミノメチル)シクロヘキサン等の2個以上のエポキシ基
を有するポリエポキシ化合物または油化シェルエポキシ
社製エピコートを用いることができる。
The epoxy compound used in the present invention (excluding components A and B) (component (C)) has the general formula (where n is O or an integer from 1 to 20, and X is -CH2-1
'-C(CH3)2 or )S02, Y is a hydrogen atom, C
H3 or a halogen atom such as a bromine atom or a chlorine atom) can be exemplified, and specifically, bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether,
Bisphenol S diglycidyl ether (X=SO2)
, an epoxy oligo synthesized from bisphenol A etc. and diglycidyl ether? -(X=C(CH3)2 and n-1 to 20), etc. can be mentioned. Also, monoepoxy ethers such as glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, monoepoxy esters such as benzoic acid glycidyl ester, sorbic acid glycidyl ester, ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, Gepoxy compounds such as polyethylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, dibromneopentyl glycol diglycidyl ether, phthalic acid diglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, dicrycerol polyglycidyl ether, 2 such as polyglycerol polyglycidyl ether, sorbitol polyglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, 1.3-(N,N-diglycidylaminomethyl)benzene, 1.3-(N,N-diglycidylaminomethyl)cyclohexane, etc. A polyepoxy compound having three or more epoxy groups or Epicoat manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. can be used.

これらのエポキシ化合物は単独でまたは2種以上混合し
て用いられる。
These epoxy compounds may be used alone or in combination of two or more.

成分(C)の配合量は成分(C)の現像液への溶解性に
より適宜選択されるが、0.01〜45重量%、好まし
くは0.2〜30重量%である。この配合量が0.01
重量%未溝の場合には感光性樹脂組成物の基板への密着
性が低下し、一方45重量%を越える場合には、活性光
線に対する感度および不燃性溶媒である1、1.1−ト
リクロロエタン(クロロセン)を現@!溶媒として用い
た場合の現像性が低下する。
The amount of component (C) to be blended is appropriately selected depending on the solubility of component (C) in the developer, and is 0.01 to 45% by weight, preferably 0.2 to 30% by weight. This amount is 0.01
If the percentage by weight is ungrooved, the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate will decrease, while if it exceeds 45% by weight, the sensitivity to actinic rays and 1,1,1-trichloroethane, which is a nonflammable solvent, will decrease. (Chlorocene) now @! Developability decreases when used as a solvent.

本発明に用いられるエポキシ基を熱反応させることが可
能な熱反応触媒(成分D)としては、例えばエチルアミ
ン、ブチルアミン、アミルアミン、n−ヘキシルアミン
等の脂肪族アミン、シクロヘキシルアミン、アミノデカ
リン等の脂環式アミン、ピリジン、ルチジン、コリジン
、アニリン、トルイジン、N、N−ジメチル−α−ナフ
チルアミン、ジフェニルアミン、アミノアントラセン、
トリフェニルアミン等の芳香族アミン、フルフリルアミ
ン、アミノピリジン、アミノピコリン、アミノキノリン
、アミノイソキノリン、アミノジベンゾフラン、アミノ
ジベンゾチオフェン、アミノアクリジン等のへテロ環状
アミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ト
リエチレンテトラアミン、テトラエチレンペンタアミン
、ジエチルアミノプロピルアミン、メタキシリレンジア
ミン、ポリエチレンアミン等の脂肪族ポリアミン、メタ
フェニレンジアミン、トリアミノベンゼン、ジアミノト
ルエン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニ
ルスルホン等の芳香族ポリアミン、1゜3−ジアミノシ
クロヘキサン、N、N−ジエチル−1,4−シクロヘキ
サンジアミン、イソホロンジアミン、N−アミノエチル
ピペラジン、ピペラジン等の脂環式ジアミン、アリルア
ミン、ジアリルアミン、アリルジエチルアミン、ジアミ
ノスチルベン等の不飽和脂肪族アミン、前記アミン類と
三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、三臭化ホウ素等のホウ
素ハロゲン化物との錯体、ジシアンジアミド等のシアン
基を含むアミン、ポリアミド樹脂、ベンゾイミダゾール
等のイミダゾール類、ベンジルテトラメチレンスルホニ
ウムイオン、ベンジルジエチルスルホニウムイオン等の
ベンジルスルホニウムイオン類、無水フタル酸、ヘキサ
ヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、エン
ドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、ドデシル無水コ
ハク酸、無水ピロメリット酸、無水クロレン酸等の酸無
水物、さらに油化シェルエポキシ社製エポキシ硬化剤エ
ビキュアが挙げられる。
Examples of the thermal reaction catalyst (component D) capable of thermally reacting an epoxy group used in the present invention include aliphatic amines such as ethylamine, butylamine, amylamine, and n-hexylamine, and fatty acids such as cyclohexylamine and aminodecalin. Cyclic amine, pyridine, lutidine, collidine, aniline, toluidine, N,N-dimethyl-α-naphthylamine, diphenylamine, aminoanthracene,
Aromatic amines such as triphenylamine, furfurylamine, aminopyridine, aminopicoline, aminoquinoline, aminoisoquinoline, aminodibenzofuran, aminodibenzothiophene, heterocyclic amines such as aminoacridine, ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetraamine, tetra Aliphatic polyamines such as ethylene pentaamine, diethylaminopropylamine, metaxylylene diamine, polyethylene amine, aromatic polyamines such as metaphenylene diamine, triaminobenzene, diaminotoluene, diaminodiphenylmethane, diaminodiphenylsulfone, 1゜3-diaminocyclohexane , N,N-diethyl-1,4-cyclohexanediamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, alicyclic diamines such as piperazine, unsaturated aliphatic amines such as allylamine, diallylamine, allyldiethylamine, diaminostilbene, and the above amines. complexes with boron halides such as boron trifluoride, boron trichloride, and boron tribromide, amines containing cyanogen groups such as dicyandiamide, polyamide resins, imidazoles such as benzimidazole, benzyltetramethylenesulfonium ion, benzyl Benzylsulfonium ions such as diethylsulfonium ion, acid anhydrides such as phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, dodecylsuccinic anhydride, pyromellitic anhydride, chlorenic anhydride, Further, the epoxy curing agent Ebicure manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. can be mentioned.

これらの化合物は単独でまたは2種以上混合して用いら
れる。
These compounds may be used alone or in combination of two or more.

成分(D)の配合量は0.01〜10重量%、好ましく
は0.05〜5重量%である。この配合量が0.01重
量%未謂の場合には、成分(A)および(B)を後記す
るポストベーク時に充分に熱反応させることができず、
半田耐熱性の高い硬化膜を得ることができず、一方10
重量%を越える場合には、硬化膜の吸湿性が高くなり、
硬化膜の絶縁抵抗が低下する。
The blending amount of component (D) is 0.01 to 10% by weight, preferably 0.05 to 5% by weight. If this blending amount is less than 0.01% by weight, components (A) and (B) cannot be sufficiently thermally reacted during post-baking, which will be described later.
It was not possible to obtain a cured film with high solder heat resistance;
If it exceeds % by weight, the hygroscopicity of the cured film will increase,
The insulation resistance of the cured film decreases.

本発明に用いられる光重合性開始剤(成分(E))とし
ては、例えばベンジル、ジアセチル等のα−ジケトン類
、ベンゾイン等のアシロイン類、ベンゾインジメチルエ
ーテル、ベンゾインジエチルエーテル、ベンゾインジイ
ソプロビルエーテル、ベンゾインジメチルケタール等の
アシロインエーテル類、チオキサントン、2,4−ジエ
チルチオキサントン、チオキサントン−1−スルホン酸
、チオキサントン−4−スルホン酸等のチオキサントン
類、ヘンシフエノン、4.4“−ジメチルアミノベンゾ
フェノン(ミヒラーズケトン)等のヘンシフエノン類、
アセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、
α、α1−ジメトキシアセトキシアセトフェノン、2,
2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、p−メ
トキシアセトフェノン等のアセトフェノン類、およびア
ントラキノン、1.4−ナフトキノン等のキノン類が挙
げられる。
Examples of the photopolymerization initiator (component (E)) used in the present invention include α-diketones such as benzyl and diacetyl, acyloins such as benzoin, benzoin dimethyl ether, benzoin diethyl ether, benzoin diisopropyl ether, and benzoin. Acilloin ethers such as dimethyl ketal, thioxanthone such as thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, thioxanthone-1-sulfonic acid, thioxanthone-4-sulfonic acid, hensifhenone, 4.4"-dimethylaminobenzophenone (Michler's ketone), etc. hensifenones,
Acetophenone, p-dimethylaminoacetophenone,
α,α1-dimethoxyacetoxyacetophenone, 2,
Examples include acetophenones such as 2-dimethoxy-2-phenylacetophenone and p-methoxyacetophenone, and quinones such as anthraquinone and 1,4-naphthoquinone.

これらの化合物は単独でまたは2種以上混合して用いら
れる。
These compounds may be used alone or in combination of two or more.

成分(E)の配合量は0.001〜15重置%、好まし
くは0.5〜10重量%である。この配合量が0.00
1重量%未膚0場合には、感光性樹脂組成物に充分な光
硬化性を与えることができず、一方15重量%を越える
場合には、光硬化時に全ての光重合開始剤を反応に関与
させることができないため、光硬化後の塗膜の保存安定
性を悪化させたり、また光重合開始剤が硬化前の感光性
樹脂組成物から析出したりする。
The blending amount of component (E) is 0.001 to 15% by weight, preferably 0.5 to 10% by weight. This amount is 0.00
If the amount is 0% by weight, sufficient photocurability cannot be imparted to the photosensitive resin composition, while if it exceeds 15% by weight, all the photopolymerization initiator is not allowed to react during photocuring. Since it cannot be involved, the storage stability of the photocured coating film may be deteriorated, and the photopolymerization initiator may precipitate from the photosensitive resin composition before curing.

本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分としての前記成
分(A)〜(E)の他に、活性光線に対する感度を高め
るために、任意成分として少なくとも1個のエチレン性
不飽和二重結合を有する光重合性化合物(成分(F))
を混合して用いることができる。
In addition to the above-mentioned components (A) to (E) as essential components, the photosensitive resin composition of the present invention contains at least one ethylenically unsaturated double bond as an optional component in order to increase the sensitivity to actinic rays. A photopolymerizable compound (component (F)) having
can be used in combination.

成分(F)としては、まず1 (i[[iまたは多価ア
ルコールのアクリル酸またはメタクリル酸のエステルを
使用することができる。
As component (F), 1 (i [[i or an ester of acrylic acid or methacrylic acid of a polyhydric alcohol can be used.

前記1価アルコールとしては、例えばメタノール、エタ
ノール、プロパツール、イソプロパツール、n−ブタノ
ール、イソブタノール、む−ブタノール、シクロヘキシ
ルアルコール、ベンジルアルコール、オクチルアルコー
ル、2−エチルヘキサノール、ラウリルアルコール、n
−デカノール、ウンデカノール、セチルアルコール、ス
テアリルアルコール、メトキシエチルアルコール、エト
キシエチルアルコール、ブトキシエチルアルコール、ポ
リエチレングリコールモノメチルアルコール、ポリエチ
レングリコールモノエチルアルコール、2−ヒドロキシ
エチルアルコール、2−ヒドロキシプロピルアルコール
、2−ヒドロキシ−3−クロロプロパン、ジメチルアミ
ノエタノール、ジエチルアミノエタノール、グリシドー
ル、2−トリメトキシシリルエタノール、エチレンクロ
ルヒドリン、エチレンブロムヒドリン、2.3−ジブロ
ムプロパノール、アリルアルコール、オレイルアルコー
ル、エポキシステアリルアルコール、フェノール、ナフ
トール等が挙げられる。
Examples of the monohydric alcohol include methanol, ethanol, propatool, isopropyl alcohol, n-butanol, isobutanol, m-butanol, cyclohexyl alcohol, benzyl alcohol, octyl alcohol, 2-ethylhexanol, lauryl alcohol, and n-butanol.
-decanol, undecanol, cetyl alcohol, stearyl alcohol, methoxyethyl alcohol, ethoxyethyl alcohol, butoxyethyl alcohol, polyethylene glycol monomethyl alcohol, polyethylene glycol monoethyl alcohol, 2-hydroxyethyl alcohol, 2-hydroxypropyl alcohol, 2-hydroxy- 3-chloropropane, dimethylaminoethanol, diethylaminoethanol, glycidol, 2-trimethoxysilylethanol, ethylene chlorohydrin, ethylene bromohydrin, 2,3-dibromopropanol, allyl alcohol, oleyl alcohol, epoxystearyl alcohol, phenol, Examples include naphthol.

前記多価アルコールとしては、例えばエチレングリコー
ル、1.3−プロパンジオール、1.4−ブタンジオー
ル、1,5−ベンタンジオール、ヘキサンジオール、ヘ
プタンジオール、オクタンジオール、ノナンジオール、
ドデカンジオール、ネオペンチルグリコール、1,1.
O−デカンジオール、2−ブテン−1,4−ジオール、
2−n−ブチル−2−エチルプロパンジオール、2−ブ
テン−1,4−ジオール、シクロへブタンジオール、1
.4−シクロヘキサンジメタツール、3−シクロヘキセ
ン−1,1−ジェタノール、ポリエチレングリコール(
ジエチレングリコール、トリエチレングリコール等)、
ポリプロピレングリコール(ジプロピレングリコール、
トリプロピレングリコール等)、ポリスチレンオキシド
グリコール、ポリテトラヒドロフラングリコール、キシ
リレンジオール、ビス(β−ヒドロキシエトキシ)ベン
ゼン、3−クロル−1,2−プロパンジオール、2.2
−ジメチル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジエ
チル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジフェニル
−1,3−プロパンジオール、デカリンジオール、1.
5−ジヒドロキジー1.2,3.4−テトラヒドロナフ
タレン、2゜5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール
、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、2−エチル
−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−プロパンジオー
ル、2−エチル−2−メチル−1,3−プロパンジオー
ル、3−ヘキセン−2,5−ジオール、ヒドロキシベン
ジルアルコール、2−メチル−1,4−ブタンジオール
、2−メチル−2,4−ベンタンジオール、1−フェニ
ル−1,2−エタンジオール、2,2,4.4−テトラ
メチル−1,3−シクロブタンジオール、2,3,5.
6−テトラメチル−p−キシレン−α、α1−ジオール
、1. 1. 4. 4−テトラフェニル−2−ブチン
−1,4−ジオール、1.1′−ビー2−ナフトール、
ジヒドロキシナフタレン、1.1°−メチレン−ジー2
−ナフトール、ビフェノール、2.2−ビス(4−ヒド
ロキシフェニル)ブタン、1.1−ビス(4−ヒドロキ
シフェニル)シクロヘキサン、ビス(ヒドロキシフェニ
ル)メタン、カテコール、レゾルシノール、2−メチル
レゾルシノール、4−クロルレゾルシノール、ヒドロキ
ノン、フロログルシノール、ピロガロール、χ−(1−
アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジルアルコール、
2−アミノ−2−エチル−1,3−プロパンジオール、
2−アミノ−2−メチル−1゜3−プロパンジオール、
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、N−(3−ア
ミノプロピル)−ジエタノールアミン、N、N−ビス(
2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,3−ビス(ヒ
ドロキシメチル)ウレア、1,2−ビス(4−ピリジル
)−1,2−エタンジオール、N−n−ブチルジェタノ
ールアミン、N−エチルジェタノールアミン、3−メル
カプト−1,2−プロパンジオール、3−ピペリジン−
1,2−プロパンジオール、2−(2−ピリジル)−1
,3−プロパンジオール、α−(1−アミノエチル)−
p−ヒドロキシベンジルアルコール、グリセリン、トリ
メチロールエタン、トリメチロールプロパン、ペンタエ
リスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエ
リスリトール、ソルビトール、グルコース、α−マンニ
トール、ブタントリオール、1,2゜6−トリヒドロキ
シヘキサン、1,2.4−ベンゼントリオール、トリエ
タノールアミン、2.2−ビス(ヒドロキシメチル)−
2,2° 2 IT=ニトリロトリエタノール等が挙げ
られる。これらの1価または多価アルコールのアクリル
酸またはメタクリル酸のエステルのうち、エチレングリ
コールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリ
レート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリ
エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメ
タクリレート、ジペンタエリスリトールへキサアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールへキサメタクリレート、
ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタメタクリレート、グリセリントリ
アクリレート、グリセリントリメタクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリ
アクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペン
チルグリコールジメタクリレート、ソルビトールへキサ
アクリレート、ソルビトールへキサメタクリレート、ソ
ルビトールペンタアクリレート、ソルビトールペンタメ
タクリレート等が特に好ましい。
Examples of the polyhydric alcohol include ethylene glycol, 1.3-propanediol, 1.4-butanediol, 1,5-bentanediol, hexanediol, heptanediol, octanediol, nonanediol,
Dodecanediol, neopentyl glycol, 1,1.
O-decanediol, 2-butene-1,4-diol,
2-n-butyl-2-ethylpropanediol, 2-butene-1,4-diol, cyclohebutanediol, 1
.. 4-cyclohexane dimetatool, 3-cyclohexene-1,1-jetanol, polyethylene glycol (
diethylene glycol, triethylene glycol, etc.)
Polypropylene glycol (dipropylene glycol,
tripropylene glycol, etc.), polystyrene oxide glycol, polytetrahydrofuran glycol, xylylene diol, bis(β-hydroxyethoxy)benzene, 3-chloro-1,2-propanediol, 2.2
-dimethyl-1,3-propanediol, 2,2-diethyl-1,3-propanediol, 2,2-diphenyl-1,3-propanediol, decalindiol, 1.
5-dihydroxydi1.2,3.4-tetrahydronaphthalene, 2゜5-dimethyl-2,5-hexanediol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)-1 , 3-propanediol, 2-ethyl-2-methyl-1,3-propanediol, 3-hexene-2,5-diol, hydroxybenzyl alcohol, 2-methyl-1,4-butanediol, 2-methyl- 2,4-bentanediol, 1-phenyl-1,2-ethanediol, 2,2,4.4-tetramethyl-1,3-cyclobutanediol, 2,3,5.
6-tetramethyl-p-xylene-α,α1-diol, 1. 1. 4. 4-tetraphenyl-2-butyne-1,4-diol, 1,1'-bi-2-naphthol,
Dihydroxynaphthalene, 1.1°-methylene-di2
- Naphthol, biphenol, 2,2-bis(4-hydroxyphenyl)butane, 1,1-bis(4-hydroxyphenyl)cyclohexane, bis(hydroxyphenyl)methane, catechol, resorcinol, 2-methylresorcinol, 4-chlor Resorcinol, hydroquinone, phloroglucinol, pyrogallol, χ-(1-
aminoethyl)-p-hydroxybenzyl alcohol,
2-amino-2-ethyl-1,3-propanediol,
2-amino-2-methyl-1°3-propanediol,
3-amino-1,2-propanediol, N-(3-aminopropyl)-diethanolamine, N,N-bis(
2-hydroxyethyl)piperazine, 1,3-bis(hydroxymethyl)urea, 1,2-bis(4-pyridyl)-1,2-ethanediol, N-n-butylgetanolamine, N-ethylgetanol Amine, 3-mercapto-1,2-propanediol, 3-piperidine-
1,2-propanediol, 2-(2-pyridyl)-1
, 3-propanediol, α-(1-aminoethyl)-
p-hydroxybenzyl alcohol, glycerin, trimethylolethane, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, sorbitol, glucose, α-mannitol, butanetriol, 1,2°6-trihydroxyhexane, 1, 2.4-benzenetriol, triethanolamine, 2.2-bis(hydroxymethyl)-
Examples include 2,2° 2 IT=nitrilotriethanol. Among these esters of acrylic acid or methacrylic acid of monohydric or polyhydric alcohols, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, Pentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate,
Dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, glycerin triacrylate, glycerin trimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, Particularly preferred are neopentyl glycol dimethacrylate, sorbitol hexaacrylate, sorbitol hexamethacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol pentamethacrylate, and the like.

また成分(F)としては、モノアミンもしくはポリアミ
ンのアクリルアミドまたはメタクリルアミドを使用する
こともできる。
Furthermore, as component (F), it is also possible to use acrylamide or methacrylamide of monoamines or polyamines.

前記モノアミンとしては、例えばエチルアミン、ブチル
アミン、アミルアミン、ヘキシルアミン、オクチルアミ
ン、シクロヘキシルアミン、9−アミノデカリン等のモ
ノアルキルアミン、アリルアミン、メタアリルアミン、
ベンジルアミン等のモノアルケニルアミン、アニリン、
トルイジン、p−アミノスチレン等の芳香族アミンなど
が挙げられる。
Examples of the monoamines include monoalkylamines such as ethylamine, butylamine, amylamine, hexylamine, octylamine, cyclohexylamine, and 9-aminodecalin, allylamine, metaallylamine,
Monoalkenylamines such as benzylamine, aniline,
Examples include aromatic amines such as toluidine and p-aminostyrene.

前記ポリアミンとしては、例えばエチレンジアミン、ト
リメチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタ
メチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメ
チレンジアミン、ヘキサメチレンビス(2−アミノプロ
ピル)アミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテ
トラアミン、ポリエチレンポリアミン、トリス(2−ア
ミノエチル)アミン、4.4’−メチレンビス(シクロ
ヘキシルアミン)、N、N’−ビス(2−アミノエチル
)−1,3−プロパンジアミン、N、N’−ビス(3−
アミノプロピル)−1,4−ブタンジアミン、N、N’
−ビス(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、
N’−ビス(3−アミノプロピル)−1,3−プロパン
ジアミン、1゜3−シクロヘキサンビス(メチルアミン
)、フェニレンジアミン、キシリレンジアミン、β−(
4−アミノフェニル)エチルアミン、ジアミノトルエン
、ジアミノアントラセン、ジアミノナフタレン、ジアミ
ノスチルベン、メチレンジアニリン、2.4−ビス(4
−アミノベンジル)アニリン、アミノフェニルエーテル
等が挙げられる。
Examples of the polyamines include ethylenediamine, trimethylenediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, octamethylenediamine, hexamethylenebis(2-aminopropyl)amine, diethylenetriamine, triethylenetetraamine, polyethylenepolyamine, and tris. (2-aminoethyl)amine, 4,4'-methylenebis(cyclohexylamine), N,N'-bis(2-aminoethyl)-1,3-propanediamine, N,N'-bis(3-
aminopropyl)-1,4-butanediamine, N, N'
-bis(3-aminopropyl)ethylenediamine, N,
N'-bis(3-aminopropyl)-1,3-propanediamine, 1゜3-cyclohexanebis(methylamine), phenylenediamine, xylylenediamine, β-(
4-aminophenyl)ethylamine, diaminotoluene, diaminoanthracene, diaminonaphthalene, diaminostilbene, methylene dianiline, 2,4-bis(4
-aminobenzyl)aniline, aminophenyl ether, and the like.

さらに成分(F)として、アリル化合物、例えばギ酸、
酢酸プロピオン酸、酪酸、ラウリン酸、安息香酸、クロ
ル安息香酸、マロン酸、シュウ酸、グリタル酸、アジピ
ン酸、セバシン酸、フタル酸、テレフタル酸、ヘキサヒ
ドロフタル酸、クロレンド酸等のモノまたはジカルボン
酸のモノまたはジアリルエステル、トリメリット酸トリ
アリル、ベンゼンジスルホン酸、ナフタレンジスルホン
酸等のジスルホン酸のモノまたはジアリルエステル、ジ
アリルアミン、N、N“−ジアリルシュウ酸ジアミド、
1,3−ジアリル尿素、ジアリルエーテル等も用いられ
る。
Furthermore, as component (F), an allyl compound such as formic acid,
Mono- or dicarboxylic acids such as acetic acid propionic acid, butyric acid, lauric acid, benzoic acid, chlorobenzoic acid, malonic acid, oxalic acid, glitaric acid, adipic acid, sebacic acid, phthalic acid, terephthalic acid, hexahydrophthalic acid, chlorendic acid, etc. mono- or diallyl esters of disulfonic acids such as triallyl trimellitate, benzenedisulfonic acid, naphthalenedisulfonic acid, diallylamine, N,N''-diallyl oxalate diamide,
1,3-diallylurea, diallyl ether, etc. are also used.

また成分(F)として、例えばジビニルベンゼン、p−
アリルスチレン、p−イソプロペニルスチレン、ジビニ
ルスルホン、エチレングリコールジビニルエーテル、グ
リセロールトリビニルエーテル、ジビニルフタレート、
ジビニルフタレート、ジビニルテレフタレート等のポリ
ビニル化合物、2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオ
キシプロピルトリメチルアンモニウムクロリド、および
メタクリロイルオキシフェニルトリメチルアンモニウム
クロリド等のイオン性基を有するアクリル酸またはメタ
クリル酸のエステル化合物も用いられる。
Further, as component (F), for example, divinylbenzene, p-
Allyl styrene, p-isopropenyl styrene, divinyl sulfone, ethylene glycol divinyl ether, glycerol trivinyl ether, divinyl phthalate,
Polyvinyl compounds such as divinyl phthalate and divinyl terephthalate, ester compounds of acrylic acid or methacrylic acid having ionic groups such as 2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyltrimethylammonium chloride, and methacryloyloxyphenyltrimethylammonium chloride are also used.

さらに成分(F)として市販の光重合性モノマーまたは
オリゴマー、例えば東亜合成化学工業社製アロニ・ック
スM57QQ、M6100、M8O30、M152、M
2O3、M215、M315、M325等のアクリレー
ト系七ツマー1新中村化学工業社製NKエステル2G、
4G、9G、14G、ABPE−4、A−TMPT、、
U−4HA。
Furthermore, as component (F), commercially available photopolymerizable monomers or oligomers, such as Alonix M57QQ, M6100, M8O30, M152, M manufactured by Toagosei Kagaku Kogyo Co., Ltd.
Acrylate sevenmers such as 2O3, M215, M315, M325, etc. 1 NK ester 2G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.
4G, 9G, 14G, ABPE-4, A-TMPT,,
U-4HA.

CB−1、CBX−1、日本化葉汁!l!KAYARA
D  R604、DPCA−30、DPCA−66、K
AYAMERPM−1、PM−2、サンノプコ社製フォ
トマー4061.5007等のアクリレートまたはメタ
クリレート系七ツマー1昭和高分子社製リポキシVR6
0、VR90,5p1509等のエポキシアクリレート
、同社層スビラソクE−4000X、03000等のス
ピロ7セクール構造とアクリル基またはメタクリル基と
ををするスピラン樹脂等も用いられる。
CB-1, CBX-1, Nipponka Leaf Juice! l! KAYARA
DR604, DPCA-30, DPCA-66, K
Acrylate or methacrylate sevenmers such as AYAMER PM-1, PM-2, Photomer 4061.5007 manufactured by San Nopco Co., Ltd. 1 Lipoxy VR6 manufactured by Showa Kobunshi Co., Ltd.
Also used are epoxy acrylates such as 0, VR90, and 5p1509, and spiran resins having a spiro 7 secur structure and an acrylic or methacrylic group such as Subirasoku E-4000X and 03000 manufactured by the same company.

これらの化合物は単独でまたは2種以上混合して用いら
れる。
These compounds may be used alone or in combination of two or more.

成分(F)の配合量は、光硬化後の塗膜の耐冷熱衝撃性
および耐溶剤性の点から60重量%以下、好ましくは3
0重量%以下である。
The blending amount of component (F) is 60% by weight or less, preferably 3% by weight or less, from the viewpoint of thermal shock resistance and solvent resistance of the coating film after photocuring.
It is 0% by weight or less.

本発明の感光性樹脂組成物は、組成物のフィルム性をよ
り高めるために高分子量のポリマーを添加することがで
きる。高分子量のポリマーとしては、アクリル酸、メタ
クリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル
の単独重合体および共重合体、例えばポリアクリル酸、
ポリメチルメタクリレート、アクリル酸とメチルメタク
リレートとの共重合体、およびポリ塩化ビニル、ポリ酢
酸ビニル1、ナイロン等を用いることができる。
A high molecular weight polymer may be added to the photosensitive resin composition of the present invention in order to further enhance the film properties of the composition. High molecular weight polymers include acrylic acid, methacrylic acid, acrylic esters, homopolymers and copolymers of methacrylic esters, such as polyacrylic acid,
Polymethyl methacrylate, a copolymer of acrylic acid and methyl methacrylate, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate 1, nylon, and the like can be used.

これらのポリマーは単独でまたは2種以上混合して用い
られる。
These polymers may be used alone or in combination of two or more.

前記高分子量のポリマーの配合量は、前記成分(A)〜
(E)の総量100重量部に対し、好ましくは0.1〜
30重量部、特に好ましくは5〜25重量部である。
The blending amount of the high molecular weight polymer is from the component (A) to
Preferably 0.1 to 100 parts by weight of (E)
It is 30 parts by weight, particularly preferably 5 to 25 parts by weight.

本発明の感光性樹脂組成物には、加熱硬化前の重合防止
のため熱付加重合禁止剤を配合することが好ましい。熱
付加重合禁止剤としては、例えばヒドロキノン、p−メ
トキシフェノール、p−を−ブチルカテコール、2,6
−ジーむ−ブチルーp−クレゾール、β−ナフトール、
ピロガロール等の芳香族ヒドロキシ化合物、ベンゾキノ
ン、p−トルキノン等のキノン類、ナフチルアミン、と
リジン、p−トルイジン、フェノチアジン等のアミン類
、N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンのアルミニ
ウム塩またはアンモニア塩、フロラニール、およびニト
ロベンゼンが挙げられる。これらの化合物は単独でまた
は2種以上混合して用いられる。
The photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a heat addition polymerization inhibitor to prevent polymerization before heat curing. Examples of thermal addition polymerization inhibitors include hydroquinone, p-methoxyphenol, p-butylcatechol, 2,6
-Zim-butyl-p-cresol, β-naphthol,
Aromatic hydroxy compounds such as pyrogallol, quinones such as benzoquinone and p-toluquinone, naphthylamine, amines such as lysine, p-toluidine, and phenothiazine, aluminum salts or ammonia salts of N-nitrosophenylhydroxylamine, floranil, and nitrobenzene. can be mentioned. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

熱付加重合禁止剤の配合量は前記成分(A)〜(E)の
総量100重量部に対し、好ましくはO0001〜15
重量部、特に好ましくは0.005〜5重量部である。
The blending amount of the heat addition polymerization inhibitor is preferably O0001 to 15 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of components (A) to (E).
Parts by weight, particularly preferably 0.005 to 5 parts by weight.

さらに本発明の感光性樹脂組成物には、粘着付与剤、密
着助剤、分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベリング剤、
消泡剤、難燃化剤、光沢剤、着色剤等の補助的添加剤を
必要に応じて配合してもよい。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention includes a tackifier, an adhesion aid, a dispersant, a plasticizer, an anti-sagging agent, a leveling agent,
Auxiliary additives such as antifoaming agents, flame retardants, brighteners, colorants, etc. may be added as necessary.

粘着付与剤または密着助剤の添加により、光硬化後の感
光性樹脂組成物の基板との密着性が高まり、特に銅装着
積層板および半田装着積層板にラミネートする場合にそ
の効果が大きく発揮される。
Addition of a tackifier or adhesion aid increases the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate after photocuring, and this effect is particularly pronounced when laminated to copper-mounted laminates and solder-mounted laminates. Ru.

分散剤は感光性樹脂組成物の分散性、保存安定性等を向
上させるために使用される。可塑剤、垂れ防止剤、レベ
リング剤および消泡剤の配合の必要性は、感光性樹脂組
成物の使用方法、すなわち感光性樹脂組成物の塗膜の作
成方法に依存し、使用する種類と配合量は適宜選択され
る。
A dispersant is used to improve the dispersibility, storage stability, etc. of a photosensitive resin composition. The necessity of blending plasticizers, anti-sagging agents, leveling agents, and antifoaming agents depends on the method of using the photosensitive resin composition, that is, the method of creating a coating film of the photosensitive resin composition, and the type and composition used. The amount is selected accordingly.

これらの補助的添加剤は、単一の化合物が一種類の性質
(分散性、可塑性、垂れ防止性、レベリング性または消
泡性)を示すのみでなく、複数の添加効果を示すことが
ある。例えば分散剤は、感光性樹脂組成物の可塑剤、レ
ベリング剤および消泡剤としても働くことがあり、また
分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベリング剤および消泡
剤は、光硬化後の感光性樹脂組成物の光沢性にも効果を
示し、光沢剤として働くことがある。
A single compound of these auxiliary additives may not only exhibit one type of property (dispersibility, plasticity, anti-sagging, leveling or anti-foaming properties), but also multiple additive effects. For example, dispersants may also act as plasticizers, leveling agents, and antifoaming agents for photosensitive resin compositions; It also has an effect on the glossiness of photosensitive resin compositions, and may act as a brightening agent.

粘着付与剤または密着助剤としては、例えばノボラック
樹脂、ポリビニルエチルエーテル、ポリビニルイソブチ
ルエーテル、ポリビニルブチラール、ポリイソブチレン
、スチレン−ブタジェン共重合ゴム、ブチルゴム、塩化
ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ゴム、アクリル系粘
着剤、芳香族系、脂肪族系または脂環族系の石油樹脂等
が挙げられる。これらの化合物は単独でまたは2f!以
上混合して用いられる。
Examples of tackifiers or adhesion aids include novolak resin, polyvinylethyl ether, polyvinyl isobutyl ether, polyvinyl butyral, polyisobutylene, styrene-butadiene copolymer rubber, butyl rubber, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, chlorinated rubber, and acrylic. Examples include aromatic, aliphatic, or alicyclic petroleum resins. These compounds alone or 2f! A mixture of the above is used.

粘着付与剤または密着助剤の配合量は前記成分(A)〜
(E)の総量100重量部に対し、好ましくは0.05
〜40重量部、特に好ましくは0.05〜30M量部で
ある。
The amount of the tackifier or adhesion aid is the above component (A) ~
Preferably 0.05 parts by weight per 100 parts by weight of the total amount of (E)
-40 parts by weight, particularly preferably 0.05-30 M parts.

分散剤としては、例えばフッ素含有高分子化合物、界面
活性剤、改質レシチン、非シリコン系の長鎖カルボン酸
アミン塩、有機モントモリライト等が用いられる。
As the dispersant, for example, a fluorine-containing polymer compound, a surfactant, a modified lecithin, a non-silicon long-chain carboxylic acid amine salt, an organic montmorillite, etc. are used.

可塑剤としては、剥えばエチレングリコールシフタレー
ト、ジエチレングリコールシフタレート、エチレングリ
コールシカプリン酸エステル、ジエチレングリコールシ
カプリン酸エステル等のグリコールエステル類、ジメチ
ルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、ジアリールフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸エステル類、トリ
フェニルホスフェート等のリン酸エステル類、ジエチル
マレート、ジブチルアジペート、クエン酸トリエチル、
およびラウリル酸エチルが用いられる。
Plasticizers include glycol esters such as ethylene glycol siphthalate, diethylene glycol siphthalate, ethylene glycol capriate, diethylene glycol capriate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, diaryl phthalate, and butyl. Phthalic acid esters such as benzyl phthalate, phosphoric acid esters such as triphenyl phosphate, diethyl maleate, dibutyl adipate, triethyl citrate,
and ethyl laurate are used.

垂れ防止剤としては、例えばタルク、マイカ、二酸化ケ
イ素、二酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウ
ム、炭酸バリウム等の無機質の微粉末が用いられる。
As the anti-sag agent, for example, inorganic fine powder such as talc, mica, silicon dioxide, titanium dioxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, etc. is used.

レベリング剤としては、例えばシュウニゲマン社(西ド
イツ)製のANTIGELやBLISTERFREE 
 84等が用いられる。
Examples of leveling agents include ANTIGEL and BLISTERFREE manufactured by Schuenigemann (West Germany).
84 etc. are used.

消泡剤としては、例えばシリコンオイル等が用いられる
As the antifoaming agent, silicone oil or the like is used, for example.

さらに例えばビー・エム・ヘミー社(西ドイツ)製分散
剤BM1000、BMIloo、沈降防止剤および増粘
垂れ防止剤BM−TX、消泡剤BM1200、流動性改
善剤BM100O1接着向上剤BM340等を用いるこ
ともできる。
Furthermore, for example, dispersant BM1000, BMIloo, anti-settling agent and thickening anti-sag agent BM-TX, anti-foaming agent BM1200, fluidity improver BM100O1, adhesion improver BM340, etc. manufactured by BM Hemie (West Germany) may be used. can.

これらの分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベリング剤、
消泡剤および光沢剤の配合量は、前記成分(A)〜(E
)の総量100重量部に対し、好ましくは合計量で40
重量部以下、特に好ましくは合計量で20重量部以下で
ある。
These dispersants, plasticizers, anti-sagging agents, leveling agents,
The blending amounts of the antifoaming agent and brightening agent are as follows: Components (A) to (E)
), preferably 40 parts by weight in total.
The total amount is not more than 20 parts by weight, particularly preferably not more than 20 parts by weight.

難燃化剤としては、例えば二酸化アンチモン、水酸化ジ
ルコニウム、メタホウ酸バリウム、水酸化マグネシウム
、水酸化アルミニウム等の無機系難燃化剤、テトラブロ
モビスフェノールA、塩素化パラフィン、パークロロペ
ンタシクロデカン、テトラブロモベンゼン、塩素化ジフ
ェニル等のハロゲン系難燃化剤、および塩化ホスフォニ
トリル誘導体、ビニルホスフォネート、アリルホスフォ
ネート、トリス(β−クロロエチル)ホスフォネート、
トリクレジルホスフォネート、リン酸アンモニウム等の
リン系難燃化剤が用いられる。
Examples of flame retardants include inorganic flame retardants such as antimony dioxide, zirconium hydroxide, barium metaborate, magnesium hydroxide, and aluminum hydroxide, tetrabromobisphenol A, chlorinated paraffin, perchloropentacyclodecane, Halogen-based flame retardants such as tetrabromobenzene and chlorinated diphenyl, and chlorinated phosphonitrile derivatives, vinyl phosphonates, allyl phosphonates, tris (β-chloroethyl) phosphonates,
Phosphorous flame retardants such as tricresyl phosphonate and ammonium phosphate are used.

11燃化剤の配合量は、前記成分(A)〜(E)の総量
100重量部に対し、好ましくは10重量部以下、特に
好ましくは5重量部以下である。
The amount of the combustion agent No. 11 to be blended is preferably 10 parts by weight or less, particularly preferably 5 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the total amount of components (A) to (E).

光沢剤としては、例えばシュウニゲマン社(西ドイツ)
製のANTIGELが用いられる。
As a brightening agent, for example, Schunigemann AG (West Germany)
ANTIGEL manufactured by Manufacturer Co., Ltd. is used.

着色剤としては、例えば酸化チタン、カーボンブランク
、酸化鉄等の無機顔料、メチレンブルー、クリスタルバ
イオレット、ローダミンB1フクシン、オーラミン、ア
ゾ系染料、アントラキノン系染料等の有機染料、フタロ
シアニンブルー、フタロシアニングリーン等のフタロシ
アニン系またはアブ系有機顔料、および三菱化成工業社
製ダイアレジンレッドZ1ブルーに1グリーンCが用い
られる。
Examples of colorants include inorganic pigments such as titanium oxide, carbon blank, and iron oxide, organic dyes such as methylene blue, crystal violet, rhodamine B1 fuchsin, auramine, azo dyes, and anthraquinone dyes, and phthalocyanines such as phthalocyanine blue and phthalocyanine green. 1 Green C is used for pigment-based or ab-based organic pigments, and Dia Resin Red Z1 Blue manufactured by Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.

着色剤の配合量は、前記成分A−Eの総量100重量部
に対し、好ましくは5重量部以下、特に好ましくは2重
量部以下である。
The amount of the colorant to be blended is preferably 5 parts by weight or less, particularly preferably 2 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the total amount of components A to E.

本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分を有機溶媒に
溶解させることにより得られる。
The photosensitive resin composition of the present invention is obtained by dissolving each of the above components in an organic solvent.

この際用いられる有機溶媒としては、例えばアセトン、
メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロ
ヘキサノン、シクロペンタノン等のケトン類、ジオキサ
ン、テトラヒドロフラン、エチレングリコールジエチル
エーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の
エーテル類、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等
のハロゲン化炭化水素類、酢酸エチル、2−メトキシエ
チルアセテート、2−エトキシエチルアセテート、2−
ブトキシエチルアセテート等のエステル類、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ
エチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエー
テル、む−ブチルアルコール等のアルコール類、および
N、N−ジメチルホルムアミド、N、N−ジメチルアセ
トアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシ
ド、ヘキサメチルホスホルアミド等の極性溶媒が挙げら
れる。これらの有機溶媒は単独でまたは2種以上混合し
て用いられる。
Examples of organic solvents used at this time include acetone,
Ketones such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, ethers such as dioxane, tetrahydrofuran, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, halogenated hydrocarbons such as methylene chloride, 1,2-dichloroethane, acetic acid Ethyl, 2-methoxyethyl acetate, 2-ethoxyethyl acetate, 2-
Esters such as butoxyethyl acetate, alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, butyl alcohol, and N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, N- Examples include polar solvents such as methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, and hexamethylphosphoramide. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

このようにして得られる本発明の感光性樹脂組成物を用
いて画像を形成するに際しては、この感光性樹脂組成物
を基板に塗布後、乾燥して溶媒を飛散させ、次いで乾燥
塗膜にマスクフィルムを重ねて露光し、有機溶媒により
現像する。
When forming an image using the photosensitive resin composition of the present invention obtained in this manner, the photosensitive resin composition is applied to a substrate, dried to scatter the solvent, and then a mask is applied to the dried coating film. The films are exposed in layers and developed with an organic solvent.

本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法とし
ては、例えばスプレー法、浸し塗り法、はけ塗り法、ロ
ーラー塗装法、フローコーター法、カーテンコーター法
、スクリーン印刷法等が挙げられ、特に′4膜金屈やプ
リント回路基板にコーティングする場合には、スプレー
法、ローラー塗装法、フローコーター法、カーテンコー
ター法、スクリーン印刷法等が好ましい。
Examples of methods for applying the photosensitive resin composition of the present invention onto a substrate include a spray method, a dip coating method, a brush coating method, a roller coating method, a flow coater method, a curtain coater method, and a screen printing method. In particular, in the case of coating a 4-layer film or a printed circuit board, a spray method, a roller coating method, a flow coater method, a curtain coater method, a screen printing method, etc. are preferable.

溶媒を飛散するための塗布膜の乾燥温度は、使用する溶
媒により選択されるが、通常、20〜180℃、好まし
くは20〜130°Cである。
The drying temperature of the coating film for scattering the solvent is selected depending on the solvent used, but is usually 20 to 180°C, preferably 20 to 130°C.

本発明の感光性樹脂組成物の光硬化に用いられる露光装
置は、特に限定されないが、300〜400nm付近の
紫外線を放射する高圧水銀灯を装着した紫外線露光装置
を用いるqとが好ましい。
The exposure device used for photocuring the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but it is preferable to use an ultraviolet exposure device equipped with a high-pressure mercury lamp that emits ultraviolet light in the vicinity of 300 to 400 nm.

本発明の感光性樹脂組成物の現像液として用いられる有
機溶媒としては、例えばアセトン、メチルエチルケトン
、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロ
ペンタノン等のケトン類、ジオキサン、テトラヒドロフ
ラン、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、塩化メ
チレン、1.2−ジクロロエタン、1.1 1−トリク
ロロエタン等のハロゲン化炭化水素類、酢酸エチル、2
−メトキシエチルアセテート、2−エトキシエチルアセ
テート、2−ブトキシエチルアセテート等のエステル類
、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレング
リコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモ
ノエチルエーテル、L−ブチルアルコール等のアルコー
ル類、およびN、N−ジメチルホルムアミド、N、N−
ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチ
ルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド等の極性
溶媒が挙げられる。これらの化合物は単独でまたは2種
以上混合して用いられる。特に不燃性溶媒である1、1
.1−トリクロロエタン(クロロセン)または燃えない
程度の1.1.1−トリクロロエタンとその他の溶媒の
混合溶媒を用いることが好ましい。
Examples of the organic solvent used as a developer for the photosensitive resin composition of the present invention include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, and cyclopentanone, dioxane, tetrahydrofuran, ethylene glycol diethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether. Ethers such as methylene chloride, 1.2-dichloroethane, 1.1 halogenated hydrocarbons such as 1-trichloroethane, ethyl acetate, 2
- Esters such as methoxyethyl acetate, 2-ethoxyethyl acetate, and 2-butoxyethyl acetate, alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and L-butyl alcohol, and N,N -dimethylformamide, N, N-
Examples include polar solvents such as dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, and hexamethylphosphoramide. These compounds may be used alone or in combination of two or more. Particularly non-flammable solvents 1, 1
.. It is preferable to use 1-trichloroethane (chlorocene) or a mixed solvent of non-flammable 1.1.1-trichloroethane and other solvents.

またポリオキシエチレングリコールオクチルフェニルモ
ノエーテル、ステアリン酸の硫酸エステル等の界面活性
剤を現像液に添加することもできる。
Further, surfactants such as polyoxyethylene glycol octylphenyl monoether and stearic acid sulfate ester can also be added to the developer.

また本発明の感光性樹脂組成物は、通常、光硬化後にポ
ストベークを行なう。これにより、密着性、半田耐熱性
および硬さのより向上した硬化膜を得ることができる。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention is usually post-baked after photocuring. Thereby, a cured film with improved adhesion, soldering heat resistance, and hardness can be obtained.

ポストベークの温度は50〜200℃、好ましくは80
〜150℃である。
Post-bake temperature is 50-200℃, preferably 80℃
~150°C.

(実施例) 以下、実施例により本発明を詳説する。(Example) Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to Examples.

製造例1 (変性樹脂:成分(B)の合成)エポキシ化
樹脂(日本化薬社製EOCN−102)165g (1
モル)と2,6−ルチジン0.5gとをメチルエチルケ
トン130gに溶解させた。
Production Example 1 (Synthesis of modified resin: component (B)) Epoxidized resin (EOCN-102 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 165 g (1
mol) and 0.5 g of 2,6-lutidine were dissolved in 130 g of methyl ethyl ketone.

次いでメタクリル酸27.5g(0,32モル、前記エ
ポキシ化樹脂のエポキシ基1当量に対して40モル%)
をメチルエチルケトン100gに溶解させ、室温で前記
エポキシ化樹脂のメチルエチルケトン溶液に滴加した後
、80°Cで6時間反応させた。反応溶液を31の氷水
/メタノールく容量比1/1)中に注ぎ、反応生成物で
ある変性樹脂を沈殿させ、減圧下に乾燥させた。生成物
のNMRスペクトルは、前記エポキシ化樹脂のエポキシ
基の40%がメタクリル酸と反応したことを示した。
Next, 27.5 g of methacrylic acid (0.32 mol, 40 mol % based on 1 equivalent of epoxy group of the epoxidized resin)
was dissolved in 100 g of methyl ethyl ketone, added dropwise to the methyl ethyl ketone solution of the epoxidized resin at room temperature, and then reacted at 80° C. for 6 hours. The reaction solution was poured into 31 volumes of ice water/methanol (volume ratio 1/1) to precipitate the modified resin, which was a reaction product, and was dried under reduced pressure. The NMR spectrum of the product showed that 40% of the epoxy groups of the epoxidized resin had reacted with methacrylic acid.

製造例2(変性樹脂:成分(B)の合成)エポキシ化樹
脂(日本化薬社製EOCN102S)165g (1モ
ル)と2.6−ルチジン0.5gとをメチルエチルケト
ン200gに熔解させた。
Production Example 2 (Synthesis of Modified Resin: Component (B)) 165 g (1 mole) of an epoxidized resin (EOCN102S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and 0.5 g of 2,6-lutidine were dissolved in 200 g of methyl ethyl ketone.

次いでフタル酸モノ (β−アクリロイルオキシエチル
)エステル84.6g(0,32モル、前記エポキシ化
樹脂のエポキシ基1当量に対して60モル%)をメチル
エチルケトン175gに溶解させ、室温で前記エポキシ
化樹脂のメチルエチルケトン溶液に滴加した後、80゛
Cで6時間反応させた。
Next, 84.6 g of phthalic acid mono (β-acryloyloxyethyl) ester (0.32 mol, 60 mol % based on 1 equivalent of epoxy group in the epoxidized resin) was dissolved in 175 g of methyl ethyl ketone, and the epoxidized resin was dissolved at room temperature. The mixture was added dropwise to a methyl ethyl ketone solution and reacted at 80°C for 6 hours.

反応溶液を312の氷水/メタノール(容量比1/1)
中に注ぎ、反応生成物である変性エポキシ化樹脂を沈殿
させ、減圧下に乾燥させた。生成物のNMRスペクトル
は、前記エポキシ化樹脂のエポキシ基の40%がフタル
酸モノ (β−アクリロイルオキシエチル)エステルと
反応したことを示した。
The reaction solution was diluted with 312 ice water/methanol (volume ratio 1/1).
The reaction product, the modified epoxidized resin, was precipitated and dried under reduced pressure. The NMR spectrum of the product showed that 40% of the epoxy groups of the epoxidized resin had reacted with phthalic acid mono (β-acryloyloxyethyl) ester.

実施例1 製造例2で得られた変性樹脂の60重量%メチルエチル
ケトン溶液87.5 g、エポキシ化樹脂(日本化薬社
製EOCN−102)15g、エポキシ化樹脂(日本化
薬社製BREN)15g、ポリメチルメタクリレート5
g、東亜合成化学工業社製アロニソクスM315  t
og、トリメチロールプロパントリアクリレートLog
、)リグリシジルイソシアヌレート10g、ペンゾイン
ジメチルケクール3g、N−ニトロソフェニルヒドロキ
シルアミンのアルミニウム塩0.03 g、 m化シェ
ルエポキシ社製エポキシ硬化剤エビキュア1479g2
ベンゾイミダゾール0.25 g、三菱化成社製ダイア
レジングリーンC0,25g、メチルエチルケトン7.
5gおよび2−エトキシエチルアセテート40gを、3
00m/ナスフラスコに秤量し、40°Cで均一に熔解
して未発明の感光性樹脂組成物を調製した。
Example 1 87.5 g of a 60% by weight methyl ethyl ketone solution of the modified resin obtained in Production Example 2, 15 g of epoxidized resin (EOCN-102 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 15 g of epoxidized resin (BREN manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) , polymethyl methacrylate 5
g, Alonisox M315 manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.
og, trimethylolpropane triacrylate Log
,) 10 g of liglycidyl isocyanurate, 3 g of penzoin dimethyl kecur, 0.03 g of aluminum salt of N-nitrosophenylhydroxylamine, 1479 g of epoxy curing agent Ebicure manufactured by Shell Epoxy Co., Ltd.
0.25 g of benzimidazole, 25 g of Diaresin Green C0 manufactured by Mitsubishi Kasei, methyl ethyl ketone 7.
5 g and 40 g of 2-ethoxyethyl acetate, 3
The mixture was weighed into an eggplant flask and uniformly melted at 40°C to prepare an uninvented photosensitive resin composition.

(感光性樹脂組成物の評+i[[i) アプリケータを用い、銅張りガラスエポキシ積層板に、
実施例1で得られた感光性樹脂組成物を塗布後、80℃
で30分間乾燥させ、厚さ70μmの感光性樹脂層を作
製した。マスクフィルムを重ね合わせ、露光量I J 
/ cdの紫外線を照射した7i、1.1.1−)リク
ロロエタン(クロロセン)を用いて3分間現像し、鮮明
な画像を得た。130℃で1時間ポストベークした後、
ナイフでクロスカットし、さらに市販のテープで剥離テ
ストを行なったところ、剥がれは観察されず、本発明の
感光性樹脂組成物が銅板に対して密着性に優れているこ
とを示した。また260°Cの半田浴に20秒間浸した
が、剥がれやふくれは全くみられず、半田耐熱性にも優
れていることを示した。
(Evaluation of photosensitive resin composition +i
After applying the photosensitive resin composition obtained in Example 1, the temperature was 80°C.
It was dried for 30 minutes to produce a photosensitive resin layer with a thickness of 70 μm. Overlap the mask films and set the exposure amount I J
A clear image was obtained by developing for 3 minutes using 7i, 1.1.1-)lichloroethane (chlorocene) irradiated with UV light of /cd. After post-baking at 130°C for 1 hour,
When cross-cutting was performed with a knife and a peeling test was performed using a commercially available tape, no peeling was observed, indicating that the photosensitive resin composition of the present invention has excellent adhesion to the copper plate. Furthermore, when immersed in a 260°C solder bath for 20 seconds, no peeling or blistering was observed, indicating excellent soldering heat resistance.

銅張りガラスエポキシ積層板の代わりに、銅スルーホー
ルプリント回路基板を用い、前記と同様にして評価した
ところ、銅張りガラスエポキシ積層板と同様な結果が得
られ、本発明の感光性樹脂組成物がプリント回路基板用
レジストとして、特にソルダー用レジストとして好適で
あることを示した。
When a copper through-hole printed circuit board was used instead of the copper-clad glass epoxy laminate and evaluated in the same manner as described above, the same results as the copper-clad glass epoxy laminate were obtained, indicating that the photosensitive resin composition of the present invention It has been shown that this is suitable as a resist for printed circuit boards, especially as a resist for solder.

実施例2〜17 第1表に示す化合物を、同表に示す割合で用い、実施例
1と同様に処理して本発明の感光性樹脂組成物を調製し
た。
Examples 2 to 17 Photosensitive resin compositions of the present invention were prepared in the same manner as in Example 1 using the compounds shown in Table 1 in the proportions shown in the table.

これらの感光性樹脂組成物について、銅スルーホールプ
リント回路基板を用い、実施例1と同様に評価したとこ
ろ、密着性および半田耐熱性に優れ、ソルダー用プリン
ト回路基板用レジストとして好適であることを示した。
These photosensitive resin compositions were evaluated in the same manner as in Example 1 using copper through-hole printed circuit boards, and were found to have excellent adhesion and soldering heat resistance, and were suitable as resists for printed circuit boards for soldering. Indicated.

以下余白 比較例1〜4 第2表に示す化合物を、同表に示す割合で用い、実施例
1と同様に処理して感光性樹脂組成物を調製した。
Margin Comparative Examples 1 to 4 Photosensitive resin compositions were prepared in the same manner as in Example 1 using the compounds shown in Table 2 in the proportions shown in the table.

これらの感光性樹脂組成物について、実施例1と同様な
方法で評価したところ、テープ剥′f4i後に剥がれが
みられ、また260℃の半田浴に20秒つけたところ剥
がれがみられ、本発明の感光性樹脂組成物に比べて密着
性および半田耐熱性が低いことを示した。
When these photosensitive resin compositions were evaluated in the same manner as in Example 1, peeling was observed after tape removal 'f4i, and peeling was observed when immersed in a solder bath at 260°C for 20 seconds. The adhesion and soldering heat resistance were lower than that of the photosensitive resin composition.

以下余白 第   2   表 (出 1)日本化薬社製エポキシ化樹脂、EOCN−1
022)油化シェルエポキシ社製エポキシ硬化剤3)三
菱化成社製染料 (発明の効果) 本発明の感光性樹脂組成物は、例えば銅、半田面等の金
属、例えばエポキシ樹脂、ガラスエポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂等の樹脂、紙などとの密着性に掘めて優れてお
り、また半田耐熱性にも優れており、しかも活性光線に
高感度および高解像度で、かつ硬化膜の電気絶縁特性、
機械的特性にも優れ、しかもクロロセン等の不燃性溶媒
により現像できる。
Table 2 (Exhibit 1) Epoxidized resin manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN-1
022) Epoxy curing agent manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. 3) Dye manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd. (Effects of the invention) The photosensitive resin composition of the present invention can be used to cure metals such as copper, solder surfaces, etc., such as epoxy resins, glass epoxy resins, It has excellent adhesion with resins such as phenolic resin and paper, and has excellent soldering heat resistance.It also has high sensitivity and resolution to actinic rays, and the electrical insulation properties of the cured film.
It has excellent mechanical properties and can be developed with nonflammable solvents such as chlorocene.

本発明の感光性樹脂組成物は、銅張りガラスエポキシ積
層板等からなる銅スルーホールプリント回路基板、半田
スルーホールプリント回路基板等のプリント回路基板用
ホトレジスト、特にプリント回路基板用ソルダーレジス
トとして好適である。
The photosensitive resin composition of the present invention is suitable as a photoresist for printed circuit boards such as copper through-hole printed circuit boards made of copper-clad glass epoxy laminates, solder through-hole printed circuit boards, etc., and particularly as a solder resist for printed circuit boards. be.

さらに本発明の感光性樹脂組成物は、メッキ用レジスト
、エツチング用レジスト、各種印刷用樹脂版、光接着剤
等に使用することもでき、また感光性材料を用いること
が好ましい分野、特に電子部品用の永久絶縁膜、層間絶
縁膜等の広い用途にも使用することができる。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention can be used in plating resists, etching resists, various printing resin plates, photoadhesives, etc., and can also be used in fields where it is preferable to use photosensitive materials, especially electronic components. It can also be used in a wide range of applications such as permanent insulation films and interlayer insulation films.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (A)ハロゲン原子およびアルキル基から選ばれる少な
くとも1種を有するフェノール類と、アルデヒド化合物
とを反応させて得られるノボラック樹脂をエポキシ化し
て得られるエポキシ化樹脂5〜60重量%、 (B)前記(A)のエポキシ化樹脂と不飽和カルボン酸
とを反応させて得られる変性樹脂20〜75重量%、 (C)少なくとも1種のエポキシ化合物(但し、前記成
分AおよびBを除く)0.01〜45重量%、(D)エ
ポキシ基を熱反応させることが可能な熱反応触媒0.0
1〜10重量%、ならびに (E)不飽和基を光重合させることが可能な光重合性開
始剤0.001〜15重量%を含有してなる感光性樹脂
組成物。
[Scope of Claims] (A) 5 to 60 weight epoxidized resin obtained by epoxidizing a novolak resin obtained by reacting a phenol having at least one selected from a halogen atom and an alkyl group with an aldehyde compound %, (B) 20 to 75% by weight of a modified resin obtained by reacting the epoxidized resin of (A) with an unsaturated carboxylic acid, (C) at least one epoxy compound (however, the above components A and B (excluding) 0.01 to 45% by weight, (D) 0.0 of a thermal reaction catalyst capable of thermally reacting an epoxy group
1 to 10% by weight, and (E) 0.001 to 15% by weight of a photopolymerizable initiator capable of photopolymerizing an unsaturated group.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014115887A1 (en) * 2013-01-28 2014-07-31 日産化学工業株式会社 Method for producing substrate having pattern and resin composition for hydrofluoric acid etching

Cited By (2)

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WO2014115887A1 (en) * 2013-01-28 2014-07-31 日産化学工業株式会社 Method for producing substrate having pattern and resin composition for hydrofluoric acid etching
JPWO2014115887A1 (en) * 2013-01-28 2017-01-26 日産化学工業株式会社 Manufacturing method of substrate having pattern and resin composition for hydrofluoric acid etching

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