JPS62271973A - Labyrinth seal for dry vacuum pump - Google Patents
Labyrinth seal for dry vacuum pumpInfo
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- JPS62271973A JPS62271973A JP11375686A JP11375686A JPS62271973A JP S62271973 A JPS62271973 A JP S62271973A JP 11375686 A JP11375686 A JP 11375686A JP 11375686 A JP11375686 A JP 11375686A JP S62271973 A JPS62271973 A JP S62271973A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
三、 発明の詳細な説明
（産業上の利用分野）
本発明は、非接触型トライ真空ポンプ（スクリュウポン
プ、ルーツポンプ、ターボポンプ等）と接触型ドライ真
空ポンプ（ベーンポンプ、カムポンプ等）との組合せに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの軸シールに間する
ものである。[Detailed Description of the Invention] 3. Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention provides non-contact type tri-vacuum pumps (screw pumps, roots pumps, turbo pumps, etc.) and contact-type dry vacuum pumps (vane pumps). It is used as a shaft seal for a non-contact dry vacuum pump in combination with a non-contact type dry vacuum pump.
（従来技術）
従来大気圧より、１Ｏ−３Ｔｏｒｒまで真空排気する場
合、油回転真空ポンプが使用されていたが、油液を使用
していたため、真空容器内の油汚染、オイルミストによ
る室内汚染、水分等の凝縮性ガス排気の場合油劣化によ
る性能低下、腐蝕性ガス排気の場合油とけ込みによるポ
ンプ破損等が問題となった。(Prior art) Conventionally, oil rotary vacuum pumps have been used to evacuate from atmospheric pressure to 1O-3 Torr, but since oil liquid is used, oil contamination inside the vacuum container, indoor contamination due to oil mist, etc. In the case of exhausting condensable gases such as moisture, there were problems such as decreased performance due to oil deterioration, and in the case of corrosive gas exhausts, there were problems such as pump damage due to oil seepage.
右問題点を解決するため、出願人は特願昭６０−２４１
３８９を提供した。右発明は、スクリュウポンプとその
後段に一段又は複数段のベーンポンプを配設し、該スク
リュウポンプと該ベーンポンプは、単一の駆動源により
駆動されることを特徴とする複合型ドライ真空ポンプて
あり、非接触型ドライ真空ポンプの−っであるスクリュ
ヮボンブを前段に接触型ドライ真空ポンプの一つである
ベーンポンプを後段に配したものであるが、以下にその
概略を説明する。In order to solve the above problem, the applicant filed a patent application 1986-241.
389 was provided. The invention on the right is a composite dry vacuum pump characterized in that a screw pump and one or more stages of vane pumps are disposed at the subsequent stage, and the screw pump and the vane pump are driven by a single drive source. A screw bomb, which is the first part of a non-contact type dry vacuum pump, is placed at the front stage, and a vane pump, which is one of the contact type dry vacuum pumps, is placed at the second stage.The outline of the system will be explained below.
第四図は、右発明の一実施例を示す概略図である。真空
容器内のガスは、真空吸入口９より吸入され、スクリュ
ウポンプ駆動軸５の駆動によりスクリュウポンプｌにて
圧縮され、スクリュウポンプＩｌ−スロｌＯ１第一段ベ
ーンボンブ吸入口１１を経て、ベーンポンプ駆動軸７の
駆動により第一段ベーンポンプ２、第二段ベーンポンプ
３、第三段ベーンポンプ４の順に圧縮されて、排出口１
４より大気中に放出される。右発明は、前段にスクリュ
ウポンプを配しているため、右スクリュウポンプは、非
接触型ドライ真空ポンプの一般的な特徴である高真空で
良い性能を示し、後段にベーンポンプを配しているため
、右ベーンポンプは、接触型ドライ真空ポンプの一般的
な特徴である低真空 。FIG. 4 is a schematic diagram showing an embodiment of the invention on the right. The gas in the vacuum container is sucked in through the vacuum suction port 9, compressed by the screw pump L by driving the screw pump drive shaft 5, passes through the screw pump Il-throttle O1 first stage vane bomb suction port 11, and is transferred to the vane pump drive shaft. 7, the first stage vane pump 2, second stage vane pump 3, and third stage vane pump 4 are compressed in this order, and the discharge port 1 is compressed in this order.
4, it is released into the atmosphere. The invention on the right has a screw pump in the front stage, so the right screw pump shows good performance in high vacuum, which is a general feature of non-contact dry vacuum pumps, and the invention has a vane pump in the rear stage. Low vacuum, right vane pumps are a common feature of contact dry vacuum pumps.
で良い性能を示すので、両ポンプあいまって、効率的に
真空状態が得られるのである。スクリュウポンプ１の駆
動軸である駆動軸５には、シール材としてゴムバッキン
グ６が使われている。Since it shows good performance in both pumps, a vacuum condition can be efficiently obtained by using both pumps together. A rubber backing 6 is used as a sealing material on the drive shaft 5, which is the drive shaft of the screw pump 1.
（発明が解決しようとする問題点）
このように複合型ドライ真空ポンプは、効率的性能を示
すが、よりポンプ性能をあげるためには、前段のスクリ
ュウポンプの性能により、大きく左右され、前段のスク
リュウポンプの回転数のアップが、ポンプ性能の改善に
役立つのである。しかしながら、スクリュウポンプの回
転数を、３０００ｒ、ｐ、ｍ以上に回転数をアップさせ
ると、ゴムバッキング６に用いられるゴムに発熱や摩耗
の可能性があり、したがって、３０００ｒ、ｐ、ｍ以上
に回転数を上げるのは困難であった。(Problem to be solved by the invention) As described above, the composite dry vacuum pump shows efficient performance, but in order to further improve the pump performance, it is greatly influenced by the performance of the screw pump in the previous stage. Increasing the rotation speed of the screw pump helps improve pump performance. However, if the rotation speed of the screw pump is increased to more than 3000 r, p, m, there is a possibility that the rubber used for the rubber backing 6 will generate heat or wear out. Raising numbers was difficult.
（問題点を解決する手段）
本発明は、従来の気密シール材に換えて、ラビリンスシ
ール溝を、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸５上に設
け、右溝にリークした大′ｙｃを、後段の接触型ドライ
真空ポンプで、排気することにより、前段の非接触型ド
ライ真空ポンプの回転数を、アップ出来るようにしたこ
とを特徴とする軸シール構造に間するものである。(Means for Solving the Problems) The present invention provides a labyrinth seal groove on the drive shaft 5 of a non-contact dry vacuum pump in place of the conventional airtight seal material, and eliminates large 'yc leaked into the right groove. This shaft seal structure is characterized in that the rotation speed of the non-contact type dry vacuum pump in the previous stage can be increased by exhausting air with the contact type dry vacuum pump in the latter stage.
すなわち、非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて
、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシ
ール溝を設け、線溝に排気路を介して、接触型ドライ真
空ポンプを連結したことを、特徴とする非接触型ドライ
真空ポンプのラビリンスシールに関するもの（本件第一
発明）、及び非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ
真空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおい
て、非接触型ドライ式空ポンプの駆動軸上にラビリンス
シール溝を設け、線溝に排気路を介して、接触型ドライ
真空ポンプを連結し、線溝にネジ又は回転翼機構を付加
したことを、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの軸
シールに関するもの（本件第二発明）である。That is, in a composite dry vacuum pump that connects a non-contact type dry vacuum pump and a contact type dry vacuum pump, a labyrinth seal groove is provided on the drive shaft of the non-contact type dry vacuum pump, and a labyrinth seal groove is provided in the line groove via an exhaust path. , relating to a labyrinth seal for a non-contact dry vacuum pump characterized in that a contact dry vacuum pump is connected (the first invention), and a non-contact dry vacuum pump and a contact dry vacuum pump are connected. In a composite dry vacuum pump, a labyrinth seal groove is provided on the drive shaft of the non-contact dry air pump, a contact dry vacuum pump is connected to the line groove through an exhaust path, and a screw or rotor is attached to the line groove. This invention relates to a shaft seal for a non-contact dry vacuum pump characterized by the addition of a mechanism (second invention of the present invention).
（作用）
本発明の作用をその実施例について説明すると第二図は
、右実施例の全体の′ａ観図であるが、大気からリーク
した空気が、ラビリンスシール溝２３．２２．２１の順
で徐々に真空側に、リークしていく。まず右２３にリー
クした空気は第三段ベーンポンプ４の吸引により第三段
排気口２６から排気路２９を経て、第三段ベーンポンプ
４の吸入口である管１３に入り第三段ベーンポンプ４を
経て、排気口１４から大気に排出される。同様に、右２
３から２２にリークした空気は第二段ベーンポンプ３の
吸引により第二段排気口２５から、排気路２８を経て、
第二段ベーンポンプ３の吸入口である管１２に入り第二
段ベーンポンプ３、第三段ベーンポンプ４を経て、排気
口１４から大気に排出される。同様に、右２３から２２
モして２１にリークした空気は第一段ベーンポンプ２の
吸引により第一段排気口２４から、排気路２７を経て、
第一段ベーンポンプ吸入口１１より第一段ベーンポンプ
２に入り第二段ベーンポンプ３、第三段ベーンポンプ４
を経て、排気口１４から大気に排出される。(Function) To explain the function of the present invention with reference to an embodiment thereof, Fig. 2 is a general view of the right embodiment. It gradually leaks to the vacuum side. First, the air leaking to the right side 23 is sucked by the third stage vane pump 4 and passes through the third stage exhaust port 26 through the exhaust passage 29, enters the pipe 13 which is the inlet of the third stage vane pump 4, and passes through the third stage vane pump 4. , are discharged to the atmosphere from the exhaust port 14. Similarly, right 2
The air leaking from 3 to 22 is suctioned by the second stage vane pump 3 and passes from the second stage exhaust port 25 through the exhaust path 28.
It enters the pipe 12 which is the inlet of the second stage vane pump 3, passes through the second stage vane pump 3 and the third stage vane pump 4, and is discharged to the atmosphere from the exhaust port 14. Similarly, right 23 to 22
The air leaked to 21 is sucked by the first stage vane pump 2 and passes from the first stage exhaust port 24 through the exhaust path 27.
The first stage vane pump 2 enters the first stage vane pump 2 through the first stage vane pump inlet 11, the second stage vane pump 3, and the third stage vane pump 4.
It is then discharged to the atmosphere from the exhaust port 14.
（実施例）
第１．２図は、本発明の一実施例である。ポンプケース
１５にスクリュウポンプ駆動軸５が挿入されている。ス
クリュウポンプ駆動軸５に駆動軸受１６が環設されてお
り、駆動軸受１６にヘアリング押え１７が押設されてい
る。駆動軸受１６の内側には、ポンプケース１５に第一
段ラビリンスシール溝２１、第二段ラビリンスシール溝
２２、第三段ラビリンスシール溝２３が連接されている
。(Example) Figure 1.2 shows an example of the present invention. A screw pump drive shaft 5 is inserted into the pump case 15. A drive bearing 16 is provided around the screw pump drive shaft 5, and a hair ring presser 17 is pressed onto the drive bearing 16. Inside the drive bearing 16, a first stage labyrinth seal groove 21, a second stage labyrinth seal groove 22, and a third stage labyrinth seal groove 23 are connected to the pump case 15.
第一段ラビリンスシール溝２１には、第一段排気口２４
が連接されており、第一段排気口２４は、排気路２７を
介して第一段ベーンポンプ吸入口１１に接続している。The first stage labyrinth seal groove 21 has a first stage exhaust port 24.
The first stage exhaust port 24 is connected to the first stage vane pump suction port 11 via an exhaust path 27.
同じく第二段ラビリンスシール溝２２は、第二段排気口
２５に、第三段ラビリンスシール溝２３は、第三段排気
口２６にそれぞれ連接されており、第二段排気口２５は
排気路２日を介して第二段ベーンポンプ３の吸入口であ
る管１２に、第三段排気口２６は排気路２７を介して第
三段ベーンポンプ４の吸入口である管１３にそれぞれ接
続している。右のような構造を取ることにより、大気か
ら真空への圧力差を、段階的に変えることができ、真空
側へのリークの影響を、少なくする事ができる。Similarly, the second stage labyrinth seal groove 22 is connected to the second stage exhaust port 25, the third stage labyrinth seal groove 23 is connected to the third stage exhaust port 26, and the second stage exhaust port 25 is connected to the exhaust path 2. The third stage exhaust port 26 is connected to the pipe 12 which is the inlet of the second stage vane pump 3 via the exhaust passage 27, and to the pipe 13 which is the inlet of the third stage vane pump 4 via the exhaust passage 27. By adopting the structure shown on the right, the pressure difference from the atmosphere to the vacuum can be changed in stages, and the influence of leaks to the vacuum side can be reduced.
第３図は、本発明の他の実施例を示すものである。駆動
軸受１６の内側には、ポンプケース１５に第一段ラビリ
ンスシールＷ４２１、第二段ラビリンスシール溝２２が
連接されている。第一段ラビリンスシール溝２１には、
第一段排気口２４が連接されており、第一段排気口２４
は、排気路２８を介して（但し図示されていす）、第二
段ベーンポンプ吸入口１２に接続しでいる。第二段ラビ
リンスシール溝２２には、第二段排気口２５が連接され
ており、第二段排気口２５は、排気路２９を介して（但
し図示されていず）、第三段ベーンポンプ４の吸入口で
ある管１３に接続している。それぞれ駆動軸受１６と第
二段ラビリンスシール溝−２２の間、第二段ラビリンス
シール溝２２と第一段ラビリンスジ−ルアＲ２１の間、
及び第一段ラビリンスシール溝２１より内側には、ネジ
３０．３０．３０が、スクリュウポンプ駆動軸５に環設
されており、ネジ３０．３０．３０は、スクリュウポン
プ駆動軸５とともに回転する。右回転により大気側から
もれてくる空気を、ネジの回転により再び大気側に押し
やる事が出来、第一段ラビリンスシール溝２１、第二段
ラビリンスシール溝２２とあいまって、真空側へのリー
クの影響を、最小限に食い止めることができる。FIG. 3 shows another embodiment of the invention. Inside the drive bearing 16, a first stage labyrinth seal W421 and a second stage labyrinth seal groove 22 are connected to the pump case 15. In the first stage labyrinth seal groove 21,
The first stage exhaust port 24 is connected to the first stage exhaust port 24.
is connected to the second stage vane pump inlet 12 via an exhaust passage 28 (not shown). A second stage exhaust port 25 is connected to the second stage labyrinth seal groove 22, and the second stage exhaust port 25 is connected to the third stage vane pump 4 via an exhaust path 29 (not shown). It is connected to a pipe 13 which is an inlet. between the drive bearing 16 and the second stage labyrinth seal groove 22, and between the second stage labyrinth seal groove 22 and the first stage labyrinth seal groove R21, respectively.
Inside the first-stage labyrinth seal groove 21, a screw 30, 30, 30 is installed around the screw pump drive shaft 5, and the screw 30, 30, 30 rotates together with the screw pump drive shaft 5. By rotating the screw to the right, air leaking from the atmosphere side can be pushed back to the atmosphere side by rotating the screw, and together with the first-stage labyrinth seal groove 21 and the second-stage labyrinth seal groove 22, the air that leaks from the atmosphere side can be pushed back to the atmosphere side. impact can be kept to a minimum.
なお、右ネジに換えて、周辺部に翼を供えた回転Ｒ機構
（但し、図示されていず）のものでもよい。Note that instead of the right-handed thread, a rotary R mechanism (not shown) with wings provided at the periphery may be used.
又、本発明は、スクリュウポンプとベーンポンプの組み
合わせに限定される事なく、非接触型トライ真空ポンプ
と接触型ドライ真空ポンプとを連結した複合型ドライ真
空ポンプであればよく、非接触型ドライ真空ポンプと接
触型ドライ真空ポンプとを並列に連結したものでも良い
。Furthermore, the present invention is not limited to a combination of a screw pump and a vane pump, but may be any composite dry vacuum pump that connects a non-contact type dry vacuum pump and a contact type dry vacuum pump, and can be used as a non-contact type dry vacuum pump. A pump and a contact dry vacuum pump may be connected in parallel.
（効果）
本発明による効果は、次のとおりである。すなわち、非
接触型ドライ真空ポンプの軸シールにラビリンスシール
を用いることにより、３０００ｒ。(Effects) The effects of the present invention are as follows. That is, by using a labyrinth seal for the shaft seal of a non-contact type dry vacuum pump, 3000r.
ｐ、ｍ以上の回転を可能にすることができるので、より
高真空を得ることができ、リークの心配が少なく、又、
気密シール材の発熱や摩耗の心配がなくなった。Since it is possible to rotate more than p and m, a higher vacuum can be obtained, there is less worry about leakage, and
There is no need to worry about heat generation or wear of the airtight sealing material.
又、ラビリンスシール溝に、接触型ドライ真空ポンプを
接続する事により、リークした大気を排気でき、しかも
接触型ドライ真空ポンプを効率的に運用できる。Furthermore, by connecting a contact type dry vacuum pump to the labyrinth seal groove, leaked atmosphere can be exhausted and the contact type dry vacuum pump can be operated efficiently.
更に、ネジ３０又は回転翼をつかったものでは、気密性
がより高くなる。Furthermore, if the screw 30 or rotary blades are used, the airtightness will be higher.
第２図は、本発明の一実施例の全体の概観を示す側面図
であり、第１図は第２図のラビリンスシール溝２１．２
２．２３付近の拡大図であり、第３図は本第二発明の一
実施例を示す側面図であり、第４図は、従来の非接触型
ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポンプとを連結し
た複合型トライ真空ポンプのうちの一実施例の側面図を
示すものであり、第５図は、第４図のうちのゴムバッキ
ング６の拡大図を、示すものである。
ｌ：スクリュウポンプ、２：第一段ベーンポンプ、３：
第二段ベーンポンプ、４：第三段ヘーンボンブ、５：ス
クリュウポンプ駆動軸、７：ベーンポンプ駆動軸 ６
，８：ゴムパッキング、９：真空吸入口、１０：スクリ
ュウポンプ排気口、１１：第一段ベーンポンプ吸入口、
１２，１３：管、１４：排出口、１５：ポンプケース、
１６：Ｉ！動軸軸受１７：ベアリング押え、２１：第一
段ラビリンスシール溝、２２：第二段ラビリンスシール
満、２３：第三段ラビリンスシール溝、２４：第一段排
気口、２５：第二段排気口、２６：第三段排気口、２７
，２８，２９：排気路、３０：ネジ特許出願人 大亜
真空技研株式会社
代 理 人 小 川 景
上代 理 人 渡 辺 敏
第］６図
尋
第３図
番
第５図
手続補正書（自発）
昭和６１年６月１３日
特許庁長官 宇 賀 道 部 殿
１、事件の表示
ドライ真空ポンプのラビリンスシール
３、補正する者
事件との間係 特許出願人
住 所 ａ ｇ ｓ シ １
つり９゛シンテ゛）大亜真空技研株式会社
住 所 東京都港区西新橋１丁目６番２１号７、補正
により増加する発明の数 なし９、補正の内容
ｌＯ１添付書類
（４）譲渡証書 １通FIG. 2 is a side view showing the overall appearance of one embodiment of the present invention, and FIG.
2.23 is an enlarged view of the vicinity, FIG. 3 is a side view showing an embodiment of the second invention, and FIG. 4 is a diagram showing a conventional non-contact type dry vacuum pump and a contact type dry vacuum pump. 5 shows a side view of one embodiment of the connected compound tri-vacuum pump, and FIG. 5 shows an enlarged view of the rubber backing 6 in FIG. 4. l: Screw pump, 2: First stage vane pump, 3:
Second stage vane pump, 4: Third stage vane bomb, 5: Screw pump drive shaft, 7: Vane pump drive shaft 6
, 8: Rubber packing, 9: Vacuum suction port, 10: Screw pump exhaust port, 11: First stage vane pump suction port,
12, 13: Pipe, 14: Discharge port, 15: Pump case,
16:I! Dynamic shaft bearing 17: Bearing holder, 21: First stage labyrinth seal groove, 22: Second stage labyrinth seal full, 23: Third stage labyrinth seal groove, 24: First stage exhaust port, 25: Second stage exhaust port , 26: Third stage exhaust port, 27
, 28, 29: Exhaust path, 30: Screw Patent applicant: Taia Vacuum Giken Co., Ltd. Representative: Kei Ogawa
[Satoshi Watanabe] 6 Figure 3 Figure 5 Procedural Amendment (Voluntary) June 13, 1985 Director General of the Patent Office Michibe Uga 1, Indication of Case Labyrinth Seal of Dry Vacuum Pump 3. Interaction with the case of the person making the amendment Patent applicant address a g s 1
Address: 1-6-21-7 Nishi-Shinbashi, Minato-ku, Tokyo Number of inventions increased by amendment None 9 Contents of amendment 1O1 Attached documents (4) Deed of assignment 1 copy
Claims (1)
プとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて、非接
触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシール溝
を設け、該溝に排気路を介して、接触型ドライ真空ポン
プを連結したことを特徴とする非接触型ドライ真空ポン
プのラビリンスシール ２）非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポン
プとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて、非接
触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシール溝
を設け、該溝に排気路を介して、接触型ドライ真空ポン
プを連結し、該溝にネジ又は回転翼機構を付加したこと
を、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの軸シール[Claims] 1) In a composite dry vacuum pump that connects a non-contact type dry vacuum pump and a contact type dry vacuum pump, a labyrinth seal groove is provided on the drive shaft of the non-contact type dry vacuum pump, and the groove Labyrinth seal for a non-contact dry vacuum pump, characterized in that a contact dry vacuum pump is connected to the vacuum pump via an exhaust path.2) A composite dry vacuum pump in which a non-contact dry vacuum pump and a contact dry vacuum pump are connected. In the vacuum pump, a labyrinth seal groove is provided on the drive shaft of the non-contact type dry vacuum pump, a contact type dry vacuum pump is connected to the groove via an exhaust path, and a screw or rotary blade mechanism is added to the groove. The shaft seal of a non-contact dry vacuum pump is characterized by
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375686A JPS62271973A (en) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | Labyrinth seal for dry vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375686A JPS62271973A (en) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | Labyrinth seal for dry vacuum pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62271973A true JPS62271973A (en) | 1987-11-26 |
| JPH0312676B2 JPH0312676B2 (en) | 1991-02-20 |
Family
ID=14620339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11375686A Granted JPS62271973A (en) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | Labyrinth seal for dry vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62271973A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021193A (en) * | 1988-03-03 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | Laser oscillating device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52106110A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Hitachi Ltd | Rotating air tight seal mechanism |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP11375686A patent/JPS62271973A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52106110A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Hitachi Ltd | Rotating air tight seal mechanism |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021193A (en) * | 1988-03-03 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | Laser oscillating device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312676B2 (en) | 1991-02-20 |
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