JPS62254491A - Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same - Google Patents

Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same

Info

Publication number
JPS62254491A
JPS62254491A JP9922086A JP9922086A JPS62254491A JP S62254491 A JPS62254491 A JP S62254491A JP 9922086 A JP9922086 A JP 9922086A JP 9922086 A JP9922086 A JP 9922086A JP S62254491 A JPS62254491 A JP S62254491A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
enamel
metal
layer
printed wiring
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9922086A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
沼尻 文哉
健司 山口
良介 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP9922086A priority Critical patent/JPS62254491A/en
Publication of JPS62254491A publication Critical patent/JPS62254491A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はプリント配線板用ほうろう基板とその製造方法
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an enameled substrate for printed wiring boards and a method for manufacturing the same.

[従来の技術と問題点1 一般にプリント配線板に使用される基板材料は樹脂材料
とセラミック材料がおちである。プリント配線板の基本
機能は絶縁、導電、部品支持の三つであり、そこには鉄
等の金属板が使用される余地はない。
[Prior Art and Problem 1 Generally, substrate materials used for printed wiring boards are mainly resin materials and ceramic materials. The basic functions of printed wiring boards are insulation, conductivity, and component support, and there is no room for the use of metal plates such as iron.

しかし鉄等の金属板は金属固有の強度、熱電導性、電磁
気シールド性などの特性を有する。
However, metal plates such as iron have properties unique to metals, such as strength, thermal conductivity, and electromagnetic shielding properties.

したがって、そのような特性を特に必要とするプリント
配線板を得るために、基板材料として樹脂材料やセラミ
ックス材料の代わりに、金属板の表面を絶縁処理したい
わゆる金属ベース絶縁基板を使用することがある。この
金属ベース絶縁基板の一つとしてほうろう基板があり、
このほうろう基板がとくに優れた電気的絶縁性と耐熱性
を有するものであることは良く知られているところであ
る。
Therefore, in order to obtain a printed wiring board that particularly requires such characteristics, a so-called metal-based insulating substrate, in which the surface of a metal plate is insulated, is sometimes used instead of a resin material or ceramic material as the substrate material. . Enamel substrate is one of these metal-based insulating substrates.
It is well known that this enamel substrate has particularly excellent electrical insulation and heat resistance.

さて、このようなほうろう基板を用いCプリント配線板
を製造する場合において、従来は、金属芯材の表面にほ
うろう層を形成し、そのほうろう層の表面に配!!回路
を形成すべく導電ペイントを印刷しこれを焼付けて配線
回路を形成していた。
Now, when manufacturing a C printed wiring board using such an enamel substrate, conventionally, an enamel layer is formed on the surface of a metal core material, and a enamel layer is placed on the surface of the enamel layer. ! To form a circuit, conductive paint was printed and then baked to form a wiring circuit.

導電ペイントを用いて配線回路を形成する理由は、例え
ば、銅箔を乗せて焼成すると銅箔とベース金属板によっ
てほうろうがサンドイッチされ、焼成中にガス抜きが出
来なくなるので良好な絶縁のほうろうとならないこと、
また銅箔を有a材料の接着剤で接着すると耐熱性の劣る
プリント基板になってしまうことからである。
The reason why conductive paint is used to form wiring circuits is that, for example, when copper foil is placed on the enamel and fired, the enamel is sandwiched between the copper foil and the base metal plate, making it impossible to release gas during firing, which prevents the enamel from being a good insulator. thing,
Furthermore, if the copper foil is bonded with an adhesive made of aluminum, the resulting printed circuit board will have poor heat resistance.

したがってこのことから、ほうろう基板を用いてプリン
ト配線板を製造する従来方法においては、配線回路の形
成は導電ペイントの印刷によるため高精度の配線回路が
形成できない。また配線回路導体の電気的特性が銅箔等
の金属箔の導体の場合と比較して劣ることも避けられな
いという問題がある。しかもほうろうに対して使用され
る導電ペイントには、ほうろうとのVB着着肉向上計る
ために特殊な元素が添加されるのが普通であるが、この
ような元素は一般に配線回路導体の電気的特性を悪化さ
せるものであるさらに従来方法において(よ、導電ペイ
ントを印刷方式により選択的に塗布する方式(印刷り式
)では最近のミクロンオーダー配線回路の形成に限界が
あるという問題がある。
Therefore, for this reason, in the conventional method of manufacturing a printed wiring board using an enamel substrate, a highly accurate wiring circuit cannot be formed because the wiring circuit is formed by printing conductive paint. Another problem is that the electrical characteristics of the wired circuit conductor are inevitably inferior to those of a conductor made of metal foil such as copper foil. Moreover, special elements are usually added to conductive paints used for enamel in order to improve VB adhesion to the enamel, but these elements generally do not affect the electrical conductivity of wiring circuit conductors. Furthermore, in the conventional method (printing method), which deteriorates the characteristics, there is a problem in that there is a limit to the formation of recent micron-order wiring circuits.

[発明の目的] 本発明の目的は、上記に鑑み配線回路の形成が容易で経
済的であり、ほうろうとの密着性も著しく向上させるこ
とができる新規なプリント配線板用ほうろう基板とその
製造方法を提供することにある。
[Object of the Invention] In view of the above, the object of the present invention is to provide a novel enamel substrate for a printed wiring board, in which formation of a wiring circuit is easy and economical, and adhesion to enamel can be significantly improved, and a method for manufacturing the same. Our goal is to provide the following.

[発明の概要l すなわち本発明の要旨は、金a芯材の表面にほうろう層
を形成し、該ほうろう層の表面に当該ほうろう層の一部
を金属化せしめてなる金属の薄膜層を形成Jることによ
ってプリント配線板用ほうろう基板を構成すること、さ
らに前記金属の薄膜層上に金属のメッキ層を形成するこ
とによって十分に低い導体抵抗を6つプリント配線板用
ほうろう基板を構成することにある。
[Summary of the invention l That is, the gist of the present invention is to form an enamel layer on the surface of a gold a core material, and to form a thin metal film layer on the surface of the enamel layer by metallizing a part of the enamel layer. In addition, by forming a metal plating layer on the thin metal film layer, the enamel substrate for a printed wiring board can be constructed with sufficiently low conductor resistance. be.

また本発明の要旨は、金属芯材の表面に、ガラス賀セラ
ミックスの網目構造中に取り込まれない金属原子が同構
造中に修飾イオンとして存在することができる吊の金属
の酸化物又は亜酸化物を添加してなるほうろうを塗布し
て溶融焼成し、この焼成中又は焼成後においてほうろう
の流動温度付近で一真空を含む還元性の雰囲気を導入し
、この還元性の雰囲気を保持しながら冷却することによ
りほうろうの表面に上記金属の薄−1I!J層を形成す
るプリント配線板用ほうろう基板の製造方法、さらに前
記金属の薄膜層上に金属のメッキ層を形成するプリント
配線板用ほうろう基板の!yJ造方法、又前記金属の薄
膜層の配線回路となるべき部分以外の部分をエツチング
により除去し、ついで配線回路となるべき部分に金属の
メッキ層を形成するプリント配線板用ほうろう基板の製
造方法にある。
Furthermore, the gist of the present invention is to provide an oxide or suboxide of a suspended metal on the surface of the metal core material, in which metal atoms that are not incorporated into the network structure of glass ceramics can exist as modifying ions in the same structure. A reducing atmosphere containing a vacuum is introduced near the flow temperature of the enamel during or after the firing, and the product is cooled while maintaining this reducing atmosphere. Possibly a thin film of the above metal on the surface of the enamel! A method for manufacturing an enamel substrate for a printed wiring board in which a J layer is formed, and an enamel substrate for a printed wiring board in which a metal plating layer is formed on the metal thin film layer! yJ manufacturing method, and a method for manufacturing an enameled substrate for a printed wiring board, in which a portion of the metal thin film layer other than the portion that will become the wiring circuit is removed by etching, and then a metal plating layer is formed on the portion that will become the wiring circuit. It is in.

本発明はほうろうの表面にそのほうろう中に予じめ酸化
物又は亜酸化物の形で含有せしめてなる特定の金属の還
元膜を形成し、この還元膜をもってほうろうの表面に効
率的且つ密着性に優れた配線回路を形成しようというき
わめて斬新な技術思想に基づくのである。この技術思想
に対し、プリント配線板用のほうろう基板ではないが、
ほうろうを還元性雰囲気中で昇温焼成することによって
ほうろうそのものを半導電性化しようという技術思想が
ある。
In the present invention, a reduced film of a specific metal, which is preliminarily contained in the enamel in the form of an oxide or suboxide, is formed on the surface of the enamel, and this reduced film is used to effectively and adhesively adhere to the surface of the enamel. It is based on an extremely innovative technical idea of creating an excellent wiring circuit. In response to this technical philosophy, although it is not an enameled board for printed wiring boards,
There is a technical idea to make the enamel itself semi-conductive by firing the enamel at an elevated temperature in a reducing atmosphere.

しかしこの技術思想はほうろうを全体に半導電性化しよ
うというものであり、ほうろうの表面のみを薄く導電性
化しようというものではない。したがって前記技術思想
はそのままでは本発明に適用できないことは勿論である
However, this technical idea is to make the entire enamel semiconductive, not to make only the surface of the enamel thin and conductive. Therefore, it goes without saying that the above technical idea cannot be applied to the present invention as it is.

すなわちプリント配線板用ほうろう基板にあっては、も
とよりほうろうは絶縁体として機能するものであるから
、ほうろう全体を半導電性化することになるとほうろう
の絶縁体としての機能がうしなわれることになり、プリ
ント配線板の構成そのものが否定されることになるから
ぐある。
In other words, in the case of enamel substrates for printed wiring boards, the enamel naturally functions as an insulator, so if the entire enamel were to be made semiconductive, the function of the enamel as an insulator would be lost. This is because the very structure of the printed wiring board will be denied.

本発明のプリント配線板用ほうろう基板の製造方法にお
いては、まずガラス質セラミックスの網目構造中に取り
込まれない金属原子が同構造中に6mイオンとして存在
できる量の金属の酸化物又は亜酸化物を添加してなるほ
うろうを用意する必要がある。ガラス質セラミックスの
結晶構造は規則的なもしくは不規則の網目構造をなし、
特定の金属のイオンがこの網目構造の中に取り込まれな
いで修飾イオン(網目修飾体ともいわれる)として存在
することが知られている。
In the method of manufacturing an enameled substrate for printed wiring boards of the present invention, first, metal oxides or suboxides are added in an amount such that metal atoms that are not incorporated into the network structure of the glassy ceramic can exist as 6m ions in the network structure. It is necessary to prepare enamel made by adding. The crystal structure of vitreous ceramics has a regular or irregular network structure.
It is known that certain metal ions are not incorporated into this network structure and exist as modified ions (also called network modified products).

このような金属としては7n 、 13a 、 W、 
MO。
Such metals include 7n, 13a, W,
M.O.

3nなどの金属があり、これらの金属を酸化物又は亜酸
化物の形で相当M添加してなるものが本発明にいうほう
ろうである。相当量とは後述される方法により還元膜が
形成される範囲を示し、その範囲はとくに限定されるも
のではない。
There are metals such as 3n, and the enamel according to the present invention is made by adding a considerable amount of these metals in the form of oxides or suboxides. The term "considerable amount" refers to the range in which a reduced film is formed by the method described later, and the range is not particularly limited.

例えば、Zn、Ba、W、MO,3nなどの金属の酸化
物としては、Zn o、WO3、Mo Ox 。
For example, examples of oxides of metals such as Zn, Ba, W, MO, and 3n include Zno, WO3, and MoOx.

Sn 02などが上げられる。Examples include Sn02.

つぎに本発明の製造方法においては、上記したような特
定の金属酸化物又は亜酸化物を添加したほうろうを金属
芯材の表面(全面又は片面の場合がある)に塗布して8
00〜1000℃で溶融焼成するが、この焼成中又は焼
成侵においてほうろうの流vJ温度付近で真空を含む還
元性雰囲気を導入し、この還元性の雰囲気を保持しなが
ら急速に冷却する。これによって、冷却により凝固され
たほうろうの表面に金属の薄い還元膜が形成される。
Next, in the manufacturing method of the present invention, enamel added with a specific metal oxide or suboxide as described above is applied to the surface (the entire surface or one side may be) of the metal core material.
The material is melted and fired at a temperature of 00 to 1000° C. During or during firing, a reducing atmosphere including vacuum is introduced around the vJ temperature of the enamel flow, and the material is rapidly cooled while maintaining this reducing atmosphere. As a result, a thin reduced metal film is formed on the surface of the enamel that has been solidified by cooling.

これが金属の薄膜層である。ここで還元性雰囲気として
は水素ガス雰囲気を導入することが好ましい。
This is a thin layer of metal. Here, it is preferable to introduce a hydrogen gas atmosphere as the reducing atmosphere.

又、冷却はヒビ割れを生じない範囲で可能な限り急冷を
ちって行うことが好ましい。
Further, it is preferable that the cooling is performed as quickly as possible without causing cracks.

これによりほうろうの表面に薄く例えば1μ以下の還元
膜を容易に形成することができる。
As a result, a thin reduced film of, for example, 1 μm or less can be easily formed on the surface of the enamel.

さらにこのときマスクを用いることによって還元膜を選
択的に形成し、還元膜の形成と同時に配線回路を形成す
ることができる。
Furthermore, by using a mask at this time, a reduced film can be selectively formed, and a wiring circuit can be formed simultaneously with the formation of the reduced film.

この方法により形成された金属の薄膜層は、通熱ほうろ
うとの密着性が優れているが、導電体としての性質が十
分とはいえない場合が多い。
Although the metal thin film layer formed by this method has excellent adhesion to heat-conducting enamel, its properties as an electrical conductor are often insufficient.

したがって、この金属博膜廂の導電体としC性質を確保
および向上させるために、本発明はさらに金aasv上
に電解又は無電解により金属のメッキ層を設けたもので
ある。ここで、メッキする金属としては例えばCu 、
Ni 、Su 、 Agなどの金属が使用される。
Therefore, in order to ensure and improve the C properties of this metal film as a conductor, the present invention further provides a metal plating layer on the gold AASV by electrolysis or electroless method. Here, as the metal to be plated, for example, Cu,
Metals such as Ni, Su, and Ag are used.

さらに前記した金属の薄III層を用いて配線回路を形
成する場合、本発明はこれをエツチングにより行う。エ
ツチングでは、例えばほうろうの表面に形成された金属
の薄膜層上にマスク用の感光性樹脂を塗布し、その上へ
パターンマスクを当てて露光、現像し、配線回路を残し
て他の部分の金属の薄膜層をエツチングにより除去する
いわゆるフォトエツチグ法により、微細で正確な配線回
路を形成することができる。もちろんフォトエツチング
法によらず一般のエツチング法によりエツチングを行う
こともできる。
Furthermore, when a wiring circuit is formed using the above-mentioned thin III layer of metal, the present invention performs this by etching. In etching, for example, a photosensitive resin for a mask is applied onto a thin metal film layer formed on the surface of enamel, and a pattern mask is placed on top of it, exposed and developed, leaving the wiring circuit and removing the other parts of the metal. A fine and accurate wiring circuit can be formed by the so-called photo-etching method, in which the thin film layer is removed by etching. Of course, the etching can be performed by a general etching method instead of the photo etching method.

又、剥膜層そのものがずでに配線@4路を形成したもの
である場合はこのエツチングを省略することができる。
Further, if the peeling layer itself has wiring @4 paths formed therein, this etching can be omitted.

[実施例1 つぎに添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。第
1図は本発明の一実施例、第2図は本発明の別の実施例
を示す。
[Embodiment 1] Next, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows one embodiment of the invention, and FIG. 2 shows another embodiment of the invention.

第1図および第2図において、1は金属芯材である厚さ
111の鉄板、2は前記鉄板1の表面全体に形成された
ほうろう層、3はこのほうろう層2の表面に当該ほうろ
う層2の表面の一部を金属化せしめて形成された金属1
1111Jfflである。
1 and 2, 1 is an iron plate having a thickness of 111 which is a metal core material, 2 is an enamel layer formed on the entire surface of the iron plate 1, and 3 is an enamel layer 2 on the surface of this enamel layer 2. Metal 1 formed by metallizing a part of the surface of
1111Jffl.

ここで、ほうろう112の厚さは0.15+e■、ほう
ろうFf/12の表面に形成された金属の薄膜F43の
厚さは0.2μmである。又は、4は前記金属の薄膜W
!J3上に形成された銅金属の無電解メッキ層である。
Here, the thickness of the enamel 112 is 0.15+e■, and the thickness of the metal thin film F43 formed on the surface of the enamel Ff/12 is 0.2 μm. Or 4 is the metal thin film W
! This is an electroless plating layer of copper metal formed on J3.

メッキ層の厚さは10μである。The thickness of the plating layer is 10μ.

さて、ここで第1図(4)、(ロ)、(ハ)。Now, here are Figure 1 (4), (b), and (c).

(4)により示されるプリント配線板用ほうろう基板の
製造方法を説明すると、まず鉄板1ともにS! Oz’
 −Pb 0−8z O3の3成分系に5〜7fflf
fi%の5bzO3を添加してなる還元しやすいガラス
組成にZnOの金属酸化物を3%添加してなるほうろう
(釉)を用意する。
To explain the manufacturing method of the enamel substrate for printed wiring boards shown in (4), first, both the iron plate 1 and the S! Oz'
-Pb 0-8z 5 to 7fflf to the three-component system of O3
Enamel (glaze) is prepared by adding 3% of ZnO metal oxide to a glass composition which is easily reduced and which is made by adding fi% of 5bzO3.

そして、鉄板1の表面にほうろう(釉)を塗布し、これ
を850℃の温度で溶融焼成する。これを還元性の雰囲
気を形成する減圧容器に移し替え、この容器の中で83
0℃の温度付近で水素ガスを導入すると同時に容器を減
圧り°る。この状態でおよそ30秒間保持しその後急冷
し、ほうろう層2の凝固とともにその表面に0.2μm
のZn金属の111層3を形成する。因に、このZn金
属の薄I!1層3の表面抵抗は10Ω/c+eである。
Then, enamel (glaze) is applied to the surface of the iron plate 1, and this is melted and fired at a temperature of 850°C. Transfer this to a reduced pressure container that forms a reducing atmosphere, and in this container
At a temperature around 0°C, hydrogen gas is introduced and at the same time the container is depressurized. This state is held for about 30 seconds, then rapidly cooled, and as the enamel layer 2 solidifies, a 0.2 μm thick layer is formed on its surface.
A 111 layer 3 of Zn metal is formed. Incidentally, this thin I of Zn metal! The surface resistance of the first layer 3 is 10Ω/c+e.

つぎにフォトエツチング法を適用してzn atのN膜
層3の配線回路となるべき部分を残し、他をエツチング
により除去する。薄膜[13は0.2μmと薄いので数
μm以下のエツチングにより十分に除去できる。これに
よって微細な配線回路を形成した剥膜層3上に銅金属を
無電解メッキし、メッキll!4の形成をもってプリン
ト配線板用ほうろう基板5を完成Jる。
Next, a photo-etching method is applied to leave a portion of the N film layer 3 of znat which is to become a wiring circuit, and remove the rest by etching. Since the thin film [13] is as thin as 0.2 .mu.m, it can be sufficiently removed by etching of several .mu.m or less. As a result, copper metal is electrolessly plated on the peeling layer 3 on which a fine wiring circuit has been formed, and plating ll! With the formation of step 4, the enamel substrate 5 for printed wiring board is completed.

次に、第2図(イ>、(U)、(ハ)により示されるプ
リント配線板用ほうろう基板の製造方法を説明すると、
鉄板1の表面に第1図において使用された組成のほうろ
う(釉)を塗布して溶融焼成する。そしてこれを還元性
雰囲気を形成する減圧容器を移し替え、この容器の中で
およそ830℃の温度付近で水素ガスを導入すると同時
に容器を減Jモし、この状態および30秒間保持した後
急冷し、ほうろう層2の表面に7n金属の薄膜1ffi
3を形成するが、このとき前記容器への移し替えの際に
予め焼成したほうろう層の表面にマスクを当てることに
よってZnn金属膜膜層3形成を選択的に行う。これに
よりほうろうWJ2の凝固形成と同時に7n金属の剥膜
FFJ3の形成及びそれにより配線回路の形成を同時に
行う。そしてこの配線回路に沿って銅金属の無電解メッ
キを行い、メッキ層4の形成をもってプリント配線板用
はうロウ規範を完成づる。
Next, the method for manufacturing the enamel substrate for printed wiring boards shown in FIG. 2 (a), (U), and (c) will be explained.
Enamel (glaze) having the composition used in FIG. 1 is applied to the surface of the iron plate 1 and then melted and fired. Then, this was transferred to a vacuum container that forms a reducing atmosphere, hydrogen gas was introduced into the container at a temperature of approximately 830°C, the container was simultaneously reduced in J, and after being held in this state for 30 seconds, it was rapidly cooled. , 7n metal thin film 1ffi on the surface of the enamel layer 2
At this time, the Znn metal film layer 3 is selectively formed by applying a mask to the surface of the pre-fired enamel layer when transferring it to the container. As a result, simultaneously with the solidification and formation of the enamel WJ2, the formation of the 7n metal peeled film FFJ3 and the formation of the wiring circuit are simultaneously performed. Then, electroless plating of copper metal is performed along this wiring circuit, and with the formation of a plating layer 4, a flying pattern for a printed wiring board is completed.

銅金属のメッキ層4の形成は配線回路の導電体としての
性質を高める意味で非常に有効である。すなわち、銅金
属のメッキ層の電気的性質は電解銅箔のそれと木質的に
同じであり、導電ペイントによる従来の導電体と比較し
て非常に優れているといえる。
The formation of the copper metal plating layer 4 is very effective in improving the conductive properties of the wiring circuit. In other words, the electrical properties of the copper metal plating layer are similar to those of electrolytic copper foil, and can be said to be extremely superior to conventional conductors made of conductive paint.

[発明の効果] 以、ヒのように本発明のプリント配線板用ほうろう基板
およびその製造方法によれば次のような顕著な効果があ
る。
[Effects of the Invention] As described in (5) below, the enamel substrate for printed wiring boards and the manufacturing method thereof of the present invention have the following remarkable effects.

(1)ほうろう層の表面に当該ほうろう層の表面の一部
を金属化せしめてなる金属のkDrh層を形成すること
により、ほうろう層に対する金属の密着性に優れた機械
的に健全なほうろう基板を得ることができる。
(1) By forming a metal kDrh layer on the surface of the enamel layer by metallizing a part of the surface of the enamel layer, a mechanically sound enamel substrate with excellent adhesion of the metal to the enamel layer is created. Obtainable.

(2)前記した金属の薄膜層上に金属のメッキ層を形成
することにより、配線用導体の電気的性質を高め、これ
により39ffiペーストを用いて配線用導体を形成し
ていた従来のほうろう基板の一大欠点を解消し、電気的
に優れたほうろう基板を得ることができる。
(2) By forming a metal plating layer on the metal thin film layer described above, the electrical properties of the wiring conductor are improved, and as a result, the conventional enamel board in which the wiring conductor was formed using 39ffi paste It is possible to solve the major drawback of 1 and obtain an electrically superior enamel substrate.

(3)ほうろう表面に予めそのほうろう中に酸化物又は
亜酸化物の形で含有せしめてなる特定の金属の薄膜層を
還元により形成し、この薄膜層をもとに配線回路を形成
するので配線回路の形成が容易であり、とくにほうろう
の焼成と同時にその表面に薄膜層を形成する方法では配
線回路の形成作業が効率的で経済的になり、ほうろう基
板のコストの低下に大きく貢献することができる。
(3) A thin film layer of a specific metal, which is previously contained in the enamel in the form of an oxide or suboxide, is formed on the surface of the enamel by reduction, and a wiring circuit is formed based on this thin film layer. It is easy to form circuits, and in particular, the method of forming a thin film layer on the surface at the same time as firing the enamel makes the process of forming wiring circuits efficient and economical, and can greatly contribute to lowering the cost of enamel substrates. can.

(4)従来のほうろう基板はほうろうの表面に導電ペイ
ントをスクリーン印刷等して配線回路を形成していたた
めにそのような印刷方式では配線の微細化および正確化
に限界があったが、本発明はエツチング方式を採用する
ことによりとくにフォトエツチング法の適用により微細
で正確な配線回路を容易に形成づることができる。
(4) Conventional enamel substrates had wiring circuits formed by screen printing conductive paint on the surface of the enamel, so there was a limit to miniaturization and accuracy of wiring with such printing methods, but the present invention By employing an etching method, particularly by applying a photoetching method, it is possible to easily form a fine and accurate wiring circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明プリント配線用ほうろう基板とその製造
方法の一実施例説明図、第2図は同本発明に係る他の実
施例説明図である。 1・・・鉄      板。 2・・・は  う  ろ  う  層。 3・・・ZnfL属薄膜層。 4・・・銅金属のメッキ層。 代理人 弁理士 薄 1)利 幸 参10 看 謄zea 1 金0反 z 1¥うろう1 3  zn金海1のaL!L4 今  金トに酬&1の!、Δに
FIG. 1 is an explanatory diagram of one embodiment of the enamel substrate for printed wiring and its manufacturing method according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram of another embodiment according to the present invention. 1... Iron plate. 2... Floating layer. 3...ZnfL thin film layer. 4... Copper metal plating layer. Agent Patent Attorney Bo 1) Ri Kosan 10 Kanzea 1 Kim 0 Anz 1 ¥ Urou 1 3 zn Gimhae 1 aL! L4 Now gold and reward & 1! , to Δ

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)金属芯材の表面にほうろう層を形成し、該ほうろ
う層の表面に当該ほうろう層の一部を金属化せしめてな
る金属の薄膜層を形成してなることを特徴とするプリン
ト配線板用ほうろう基板。
(1) A printed wiring board characterized by forming an enamel layer on the surface of a metal core material, and forming a thin metal film layer on the surface of the enamel layer by metallizing a part of the enamel layer. Enamel board for use.
(2)金属心材の表面にほうろう層を形成し、該ほうろ
う層の表面に当該ほうろう層の一部を金属化せしめてな
る金属の薄膜層を形成し、該金属の薄膜層上に金属のメ
ッキ層を形成してなることを特徴とするプリント配線板
用ほうろう基板。
(2) Forming an enamel layer on the surface of the metal core material, forming a thin metal film layer by metallizing a part of the enamel layer on the surface of the enamel layer, and plating the metal on the thin metal layer. An enameled substrate for printed wiring boards characterized by forming layers.
(3)金属芯材の表面に、ガラス質セラミックスの網目
構造中に取り込まれない金属原子が同構造中に修飾イオ
ンとして存在することができる量の金属の酸化物又は亜
酸化物を添加してなるほうろうを塗布して溶融焼成し、
この焼成中又は焼成後においてほうろうの流動温度付近
で真空を含む還元性の雰囲気を導入し、この還元性の雰
囲気を保持しながら急いで冷却することによりほうろう
の表面に上記金属の薄膜膜を形成することを特徴とする
プリント配線板用ほうろう基板の製造方法。
(3) A metal oxide or suboxide is added to the surface of the metal core material in an amount that allows metal atoms that are not incorporated into the network structure of the glassy ceramic to exist as modifying ions in the network structure. Naru enamel is applied and melted and fired,
During or after this firing, a reducing atmosphere including vacuum is introduced near the flow temperature of the enamel, and by cooling quickly while maintaining this reducing atmosphere, a thin film of the above-mentioned metal is formed on the surface of the enamel. A method for manufacturing an enameled substrate for a printed wiring board, characterized by:
(4)金属芯材の表面にガラス質セラミックスの網目構
造中に取り込まれない金属原子が同構造中に修飾イオン
として存在することができる量の金属の酸化物又は亜酸
化物を添加してなるほうろうを塗布して溶融焼成し、こ
の焼成中又は焼成後においてほうろうの流動温度付近で
真空を含む還元性の雰囲気を導入し、この還元性の雰囲
気を保持しながら冷却することによりほうろうの表面に
上記金属の薄膜層を形成し、該金属の薄膜層上に金属の
メッキ層を形成することを特徴とするプリント配線板用
ほうろう基板の製造方法。
(4) A metal oxide or suboxide is added to the surface of the metal core material in an amount that allows metal atoms that are not incorporated into the network structure of the glassy ceramic to exist as modifying ions in the same structure. Enamel is applied, melted and fired, and during or after firing, a reducing atmosphere including vacuum is introduced near the flow temperature of the enamel, and by cooling while maintaining this reducing atmosphere, the surface of the enamel is heated. A method for manufacturing an enameled substrate for a printed wiring board, comprising forming a thin film layer of the metal described above, and forming a plating layer of metal on the thin film layer of the metal.
(5)金属芯材の表面に、ガラス質セラミックスの網目
構造中に取り込まれない金属原子が同構造中に修飾イオ
ンとして存在することができる量の金属の酸化物又は亜
酸化物を添加してなるほうろうを塗布して溶融焼成し、
この焼成中又は焼成後においてほうろうの流動温度付近
で真空を含む環元性の雰囲気を導入し、この還元性の雰
囲気を保持しながら冷却することによりほうろうの表面
に上記金属の薄膜層を形成し、該金属の薄膜層の配線回
路となるべき部分以外の部分をエッチングにより除去し
、ついで配線回路となるべき部分に金属のメッキ層を形
成することを特徴とするプリント配線板用ほうろう基板
の製造方法。
(5) A metal oxide or suboxide is added to the surface of the metal core material in an amount that allows metal atoms that are not incorporated into the network structure of the glassy ceramic to exist as modifying ions in the same structure. Naru enamel is applied and melted and fired,
During or after this firing, a cyclic atmosphere containing vacuum is introduced near the flow temperature of the enamel, and by cooling while maintaining this reducing atmosphere, a thin film layer of the above-mentioned metal is formed on the surface of the enamel. , manufacturing an enamel substrate for a printed wiring board, characterized in that the portions of the thin metal film layer other than the portions that will become the wiring circuit are removed by etching, and then a metal plating layer is formed on the portions that will become the wiring circuit. Method.
JP9922086A 1986-04-28 1986-04-28 Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same Pending JPS62254491A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9922086A JPS62254491A (en) 1986-04-28 1986-04-28 Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9922086A JPS62254491A (en) 1986-04-28 1986-04-28 Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62254491A true JPS62254491A (en) 1987-11-06

Family

ID=14241578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9922086A Pending JPS62254491A (en) 1986-04-28 1986-04-28 Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62254491A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6317594A (en) * 1986-07-10 1988-01-25 松下電器産業株式会社 Manufacture of conductive circuit
WO2007072789A1 (en) * 2005-12-21 2007-06-28 Jsr Corporation Anistropic conductive connector, conversion adapter for inspection device having the anisotropic conductive connector, and method for manufacturing the anistropic conductive connector

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6317594A (en) * 1986-07-10 1988-01-25 松下電器産業株式会社 Manufacture of conductive circuit
WO2007072789A1 (en) * 2005-12-21 2007-06-28 Jsr Corporation Anistropic conductive connector, conversion adapter for inspection device having the anisotropic conductive connector, and method for manufacturing the anistropic conductive connector
US7618266B2 (en) 2005-12-21 2009-11-17 Jsr Corporation Anisotropic conductive connector, conversion adapter for inspection device having the anisotropic conductive connector, and method for manufacturing the anisotropic conductive connector
JP5050856B2 (en) * 2005-12-21 2012-10-17 Jsr株式会社 Method for manufacturing anisotropic conductive connector
TWI403723B (en) * 2005-12-21 2013-08-01 Jsr Corp Manufacturing method of foreign - shaped conductive connector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0946013A (en) Through-hole filling conductive paste and ceramic circuit board
JPS62254491A (en) Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same
JPH11514627A (en) Multilayer co-fired ceramic composition and ceramic-on-metal circuit board
JPH0568877B2 (en)
KR100715152B1 (en) Methods of forming metal contact pads on a metal support substrate
JPS62254492A (en) Enamelled board for printed wiring board and manufacture of the same
JP3426920B2 (en) Wiring board
JP2798566B2 (en) Circuit board manufacturing method
JPS61245555A (en) Terminal connecting structure for semiconductor
JPS62287695A (en) Manufacture of metal core copper-cladded enamelled board
JPH0794839A (en) Circuit board
JP2001284774A (en) Film with metal foil and method for manufacturing ceramic wiring board
JPS6231190A (en) Electronic circuit board and manufacture thereof
JPS63182894A (en) Manufacture of ceramic wiring board
JPH0334676B2 (en)
JP2000022029A (en) Wiring board
Partridge et al. High Thermal Dissipation Glass-Ceramic/Metal Substrates
JPH01201996A (en) Manufacture of multi-layer ceramic printed-circuit board
JPS6263488A (en) Manufacturing thick film substrate
JPS62198188A (en) Insulating board for electric apparatus
JPH0253951B2 (en)
JPS6381894A (en) Manufacture of ceramic circuit board
JPH0818201A (en) Thick film circuit board and its manufacture
JPS6194394A (en) Manufacture of thin film circuit board
JPS63148699A (en) Manufacture of copper claded enamelled metal core board