JPS62250372A - 半導体素子の自動試験装置 - Google Patents
半導体素子の自動試験装置Info
- Publication number
- JPS62250372A JPS62250372A JP61092346A JP9234686A JPS62250372A JP S62250372 A JPS62250372 A JP S62250372A JP 61092346 A JP61092346 A JP 61092346A JP 9234686 A JP9234686 A JP 9234686A JP S62250372 A JPS62250372 A JP S62250372A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor element
- turntable
- measuring
- index
- rotary table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Relating To Insulation (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、回転テーブルによって半導体素子の特性を
自動的に測定する自動試験装置に関するものである。
自動的に測定する自動試験装置に関するものである。
従来、半導体素子の特性を自動的に測定する試験装置は
、大部分がシュート中を搬送する半導体素子を一定位置
に一時停止させて行なう方式のものであシ、測定項目数
が多く、測定時間が長い一部の半導体素子に対して、回
転テーブル方式のものが使用されてきた。
、大部分がシュート中を搬送する半導体素子を一定位置
に一時停止させて行なう方式のものであシ、測定項目数
が多く、測定時間が長い一部の半導体素子に対して、回
転テーブル方式のものが使用されてきた。
従来の回転テーブル方式のものは、測定電極が回転テー
ブルに取り付けられていなく、回転テーブルの停止時に
測定を行なう構成のものであった。
ブルに取り付けられていなく、回転テーブルの停止時に
測定を行なう構成のものであった。
従来の回転テーブル方式の自動試験装置は以上のように
構成されているので、メカインデックス以外に測定、分
類の時間が必要で、ｉだ、ノ・ノドリング中測定ができ
ないことが、高速化に対し大きな障害となっていた・ また、メカインデックスをフレキシブルに設定できる構
成となっていないために、多種の半導体素子に対応でき
ないという問題があった。
構成されているので、メカインデックス以外に測定、分
類の時間が必要で、ｉだ、ノ・ノドリング中測定ができ
ないことが、高速化に対し大きな障害となっていた・ また、メカインデックスをフレキシブルに設定できる構
成となっていないために、多種の半導体素子に対応でき
ないという問題があった。
この発明は、上記の問題点を解消するためになされたも
ので、より高速化が可能で、多種の半導体素子にも対応
できる自動試験装置を提供することを目的とする。
ので、より高速化が可能で、多種の半導体素子にも対応
できる自動試験装置を提供することを目的とする。
この発明は、上記目的を達成するためＫ、回転チーグル
の周辺部にそれぞれが半導体素子の特性を測定できるよ
うに接続した複数組の測定電極を等間隔に配設し、該回
転テーブルをＤＣサーボモータとインデックスユニット
で駆動して間欠回転をさせ、該回転テーブルの停止時の
メカインデックス内に所定の位置の測定電極に半導体素
子が供給され、供給された半導体素子の特性をメカイン
デックスに合せて測定し、測定の終った半導体素子を特
性値による分類ごとに所定の位置で該回転テーブルの停
止時のメカインデックス内に排出する構成とした。
の周辺部にそれぞれが半導体素子の特性を測定できるよ
うに接続した複数組の測定電極を等間隔に配設し、該回
転テーブルをＤＣサーボモータとインデックスユニット
で駆動して間欠回転をさせ、該回転テーブルの停止時の
メカインデックス内に所定の位置の測定電極に半導体素
子が供給され、供給された半導体素子の特性をメカイン
デックスに合せて測定し、測定の終った半導体素子を特
性値による分類ごとに所定の位置で該回転テーブルの停
止時のメカインデックス内に排出する構成とした。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す説明図、第２
図は第１図に示す実施例の動作を示す説明図である。
図は第１図に示す実施例の動作を示す説明図である。
図において１は回転テーブル、２は回転テーブルｌの周
辺部に等間隔に配設した測定電極、図には１２組の測定
電極２を配設した実施例を示す。
辺部に等間隔に配設した測定電極、図には１２組の測定
電極２を配設した実施例を示す。
３は測定回路で、各測定電極２は測定回路３に接続され
ていて、各測定電極２に供給された半導体素子の特性の
測定を、回転テーブル１の回転中も行なうことができる
構成とした。
ていて、各測定電極２に供給された半導体素子の特性の
測定を、回転テーブル１の回転中も行なうことができる
構成とした。
４ ハＤＣサーぎモータ、５はインデックスユニットで
、回転テーブル１の駆動源にＤＣＣサーボモータとイン
デックスユニット５を用い、それぞれ測定項目数、測定
時間が異なる多種類の半導体素子を測定する場合、容易
にそれぞれの素子に適合したメカインデックスを設定で
きる構成とした。
、回転テーブル１の駆動源にＤＣＣサーボモータとイン
デックスユニット５を用い、それぞれ測定項目数、測定
時間が異なる多種類の半導体素子を測定する場合、容易
にそれぞれの素子に適合したメカインデックスを設定で
きる構成とした。
６は半導体素子供給レール、７ 、７ ｍ ＋ ７ ｂ
＋７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆは半導体素子排出レール、
８は分類機構、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅは測定信
号取出用ユニットである。
＋７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆは半導体素子排出レール、
８は分類機構、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅは測定信
号取出用ユニットである。
回転テーブル１は、ＤＣＣサーボモータとイン２に、半
導体素子供給レール６から該供給レール６の位置にきた
測定電極２に半導体素子が供給されるＯ 測定電極２に供給された半導体素子の特性を、回転テー
ブルｌのメカインデックスに合せて測定する＠測定をメ
カインデックスに合せて分割し、各項目を並行して測定
できる構成となっている。
導体素子供給レール６から該供給レール６の位置にきた
測定電極２に半導体素子が供給されるＯ 測定電極２に供給された半導体素子の特性を、回転テー
ブルｌのメカインデックスに合せて測定する＠測定をメ
カインデックスに合せて分割し、各項目を並行して測定
できる構成となっている。
各ステップ中の測定値は、各測定信号取出用ユニット９
ａ、９ｂ、９ｅ、９ｄ、９ｅによって取出され、テスタ
ーに送られる。
ａ、９ｂ、９ｅ、９ｄ、９ｅによって取出され、テスタ
ーに送られる。
測定値によって分類した半導体素子を、分類に応じて回
転テーブル１の停止時のメカインデックス内に該当する
半導体素子排出レール７へ排出する。
転テーブル１の停止時のメカインデックス内に該当する
半導体素子排出レール７へ排出する。
上記には回転テーブル１０周辺部に１２組の測定電極２
を配設した例を示したが、これに限定されるものではな
い。
を配設した例を示したが、これに限定されるものではな
い。
また、半導体素子供給機構、半導体素子排出機〔発明の
効果〕 以上のように、この発明によれば、容易に任意のメカイ
ンデックスを設定できるので、それぞれ測定項目数、測
定時間が異なる多種類の半導体素子に対して使用できる
という利点があシ１回転テーブルの回転中も測定が行な
われ、並行して多項目の測定が行なわれるとともに、半
導体素子の供給、排出がメカインデックス内に行なわれ
るので、測定が大いに高速化されるという利点がある。
効果〕 以上のように、この発明によれば、容易に任意のメカイ
ンデックスを設定できるので、それぞれ測定項目数、測
定時間が異なる多種類の半導体素子に対して使用できる
という利点があシ１回転テーブルの回転中も測定が行な
われ、並行して多項目の測定が行なわれるとともに、半
導体素子の供給、排出がメカインデックス内に行なわれ
るので、測定が大いに高速化されるという利点がある。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す説明図、第２
図は第１図に示す実施例の動作を示す説明図である。 １・・・回転テーブル、２・・・測定電極、３・・・測
定口路、４・・・ＤＣサーｔｋ”モータ、５・・・イン
デックスユニット、６・・・半導体素子供給レール、７
・・・半導体素子排出レール、８・・・分類機構、９・
・・測定信号取出用ユニット。 図中同一符号は同一部分を示す。 特許出願人 新日本無線株式会社 第１図
図は第１図に示す実施例の動作を示す説明図である。 １・・・回転テーブル、２・・・測定電極、３・・・測
定口路、４・・・ＤＣサーｔｋ”モータ、５・・・イン
デックスユニット、６・・・半導体素子供給レール、７
・・・半導体素子排出レール、８・・・分類機構、９・
・・測定信号取出用ユニット。 図中同一符号は同一部分を示す。 特許出願人 新日本無線株式会社 第１図
Claims (1)
- 回転テーブルによって半導体素子の特性を自動的に測定
する自動試験装置で、回転テーブルの周辺部にそれぞれ
が半導体素子の特性を測定できるように接続した複数組
の測定電極を等間隔に配設し、該回転テーブルをＤＣサ
ーボモータとインデックスユニットで駆動して間欠回転
をさせ、該回転テーブルの停止時のメカインデックス内
に所定の位置の測定電極に半導体素子が供給され、供給
された半導体素子の特性を該回転テーブルのメカインデ
ックスに合せて測定し、測定の終った半導体素子を特性
値による分類ごとに所定の位置で該回転テーブルの停止
時のメカインデックス内に排出するように構成した半導
体素子の自動試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61092346A JPS62250372A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 半導体素子の自動試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61092346A JPS62250372A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 半導体素子の自動試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62250372A true JPS62250372A (ja) | 1987-10-31 |
Family
ID=14051839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61092346A Pending JPS62250372A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 半導体素子の自動試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62250372A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02245674A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-01 | Iwatsu Electric Co Ltd | 電気部品の温度特性測定装置 |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP61092346A patent/JPS62250372A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02245674A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-01 | Iwatsu Electric Co Ltd | 電気部品の温度特性測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1065062A (en) | Non-logic printed wiring board test system | |
| US4128174A (en) | High-speed integrated circuit handler | |
| EP0485238A2 (en) | A semiconductor integrated circuit | |
| US3723868A (en) | System for testing electronic apparatus | |
| EP0113393B1 (en) | A self-clocked signature analyser | |
| JPS62250372A (ja) | 半導体素子の自動試験装置 | |
| US3757940A (en) | Memory system having two clock pulse frequencies | |
| JPS58186620A (ja) | 電子検出装置 | |
| EP0388784A3 (en) | Method and apparatus for high speed integrated circuit testing | |
| US3621215A (en) | Method and apparatus for sequential testing of a plurality of specimens | |
| US2621232A (en) | Apparatus for measuring moisture | |
| US4135082A (en) | Electrical pulse train comparator | |
| US3353669A (en) | Electrical component tester with duplexed handlers | |
| US4092533A (en) | Timing signal generating device | |
| JPS6351273B2 (ja) | ||
| Spencer | Digital design for computer data acquisition | |
| KR950002165Y1 (ko) | 아이씨 칩 분류기의 테스트 사이트 콘택트 자동 조절회로 | |
| SU940088A1 (ru) | Устройство дл контрол переходного сопротивлени электрических контактов коммутационных изделий | |
| JPS58619B2 (ja) | 機械タイミングシステム | |
| JPS59141077A (ja) | 集積回路測定装置 | |
| SU634290A1 (ru) | Устройство дл контрол металлизации отверстий в печатных платах | |
| CN206411214U (zh) | 一体化自动测试的装置 | |
| US3294959A (en) | Electrical system having rotatable indicator drum for displaying stored data | |
| JPS6457189A (en) | Method for counting discrete pulse | |
| JPH0429350A (ja) | 半導体テスト方法 |