JPS62245128A - レ−ザダイオ−ドの特性測定装置 - Google Patents
レ−ザダイオ−ドの特性測定装置Info
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- JPS62245128A JPS62245128A JP8605586A JP8605586A JPS62245128A JP S62245128 A JPS62245128 A JP S62245128A JP 8605586 A JP8605586 A JP 8605586A JP 8605586 A JP8605586 A JP 8605586A JP S62245128 A JPS62245128 A JP S62245128A
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 11
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ＬＤ等の発光体の諸物性を自動的に測定する
レーザダイオードの特性測定装置に関し、特に測定を能
率良く短時間で行うことができるレーザダイオードの特
性測定装置に関する。
レーザダイオードの特性測定装置に関し、特に測定を能
率良く短時間で行うことができるレーザダイオードの特
性測定装置に関する。
［従来の技術］
従来のレーザダイオードの特性測定装置の平面図を第５
図に示す。
図に示す。
被測定のＬＤ１０は、マウント３０に１個差し込んで固
定される。
定される。
このマウント３０は、駆動機構３０ａによりＬＤ１０の
発光面位置を変えずにＬＤ１０を図に示す如く回動自在
である。
発光面位置を変えずにＬＤ１０を図に示す如く回動自在
である。
また、このＬＤの発光方向上の、所定距離離れた位置に
はファーフィルドパターン（以下ＦＦＰと呼ぶ、）検出
用の受光器（ＡＰＤ素子）３１が、回動アーム３２に固
定されている０回動アーム３２は、ＬＤ１０の位置を中
心に図示の如く回動自在である。
はファーフィルドパターン（以下ＦＦＰと呼ぶ、）検出
用の受光器（ＡＰＤ素子）３１が、回動アーム３２に固
定されている０回動アーム３２は、ＬＤ１０の位置を中
心に図示の如く回動自在である。
したがって、ＬＤ１０のＦＦＰを測定するには、ＬＤ１
０の発光面に対して回動アーム３２を図示の如く移動さ
せれば受光器３１によりＬＤ１０のＸ座標のＦＦＰ測定
を行う。
０の発光面に対して回動アーム３２を図示の如く移動さ
せれば受光器３１によりＬＤ１０のＸ座標のＦＦＰ測定
を行う。
モしてＦＦＰには最小限ＬＤ１０に対してＸ。
Ｙ座標のデータを用いて表わすことができるため、続い
てＬＤ１０のＹ座標のＦＦＰｌ定を行うようになってい
る。
てＬＤ１０のＹ座標のＦＦＰｌ定を行うようになってい
る。
このため、ＬＤ１０のマウン）３０を駆動機構３０ａに
より図示の如く９０°回動させ、同様に回動アーム３２
の移動により受光器３１は、ＬＤ１０のＹ座標のＦＦＰ
測定を行う。
より図示の如く９０°回動させ、同様に回動アーム３２
の移動により受光器３１は、ＬＤ１０のＹ座標のＦＦＰ
測定を行う。
さらに不図示の別の受光器によりＬＤ１０は、スペクト
ラム、Ｉ−Ｌ特性が測定できるようになっている。
ラム、Ｉ−Ｌ特性が測定できるようになっている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら従来のレーザダイオードの特性測定装置は
、マウン）３０自体を回動させる必要があるから、この
マウント３０はＬＤ１０を１個のみしか保持できない。
、マウン）３０自体を回動させる必要があるから、この
マウント３０はＬＤ１０を１個のみしか保持できない。
つまり、１個のＬＤ１０のＦＦＰａ定を行うごと１こ別
のＬＤ１０の交換作業を必要として作業時間を短縮する
ことができず作業能率が向上できない欠点があった。
のＬＤ１０の交換作業を必要として作業時間を短縮する
ことができず作業能率が向上できない欠点があった。
さらに、従来はＦＦＰ測定、スペクトラム測定、Ｉ−Ｌ
ｌ定等を同時に行うことができなかった。
ｌ定等を同時に行うことができなかった。
本発明は、上記欠点を解決するために成されたものであ
り、複数個のＬＤのＦＦＰ測定を短時間にて行うことが
でき、かつ各種測定を連続的に行うことができ１作業部
率を向上することができるレーザダイオードの特性測定
装置を提供することを目的としている。
り、複数個のＬＤのＦＦＰ測定を短時間にて行うことが
でき、かつ各種測定を連続的に行うことができ１作業部
率を向上することができるレーザダイオードの特性測定
装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、ＬＤ１０のＦＦＰ特性、Ｉ−Ｌ（電流−光出
力）特性、スペクトラム特性等を測定するレーザダイオ
ードの特性測定装置において；複数個のＬＤ１０を所定
ピッチａで直線状に装着保持し、かつ固定基台３より交
換可能なＬＤマウント２と； 該ＬＤ１０のＦＦＰ検出用の第１の受光部１１と； 前記ＬＤのＩ−Ｌ特性等検出用の第２の受光部１２と； 前記ＬＤのスペクトラム特性検出用の第３の受光部１３
と； 前記ＬＤマウント２上の複数個のＬＤ１０のピッチａと
同ピッチあるいは整数倍のピッチで前記第１、第２．第
３の受光部１１，１２．１３を取りつけることにより、
それぞれに対向した前記ＬＤ１０の特性を同時に測定可
能な位置関係に前記第１、第２．第３の受光部１１，１
２．１３を配こし、固定する移動台９と； 該移動台９をＬＤ１０の配置方向に所定間隔毎直線移動
可能な移動手段８と； を具備することを特徴としている。
力）特性、スペクトラム特性等を測定するレーザダイオ
ードの特性測定装置において；複数個のＬＤ１０を所定
ピッチａで直線状に装着保持し、かつ固定基台３より交
換可能なＬＤマウント２と； 該ＬＤ１０のＦＦＰ検出用の第１の受光部１１と； 前記ＬＤのＩ−Ｌ特性等検出用の第２の受光部１２と； 前記ＬＤのスペクトラム特性検出用の第３の受光部１３
と； 前記ＬＤマウント２上の複数個のＬＤ１０のピッチａと
同ピッチあるいは整数倍のピッチで前記第１、第２．第
３の受光部１１，１２．１３を取りつけることにより、
それぞれに対向した前記ＬＤ１０の特性を同時に測定可
能な位置関係に前記第１、第２．第３の受光部１１，１
２．１３を配こし、固定する移動台９と； 該移動台９をＬＤ１０の配置方向に所定間隔毎直線移動
可能な移動手段８と； を具備することを特徴としている。
［作用］
次に以上の構成による作用を説明する。
まず、複数個のＬＤ１０（１０−＋ ”１Ｏ−ｎ）を、
ＬＤマウント２上に装着する。装着峙ＬＤ１０の方向は
、ＬＤマウント２に設けられるＬＤ１０の端子受けによ
り一方向に整列配置されるようになっている。そしてＬ
Ｄ１０上部の第１の受光部１１を構成する受光器５は、
駆動手段６により第２図（ａ）の図中矢印方向に移動（
例えば左右６０＠ずつ、計１２０” ） ＬテＬＤ １
０（７）Ｘ方向のＦＦＰｌ：ＩＭ定する。
ＬＤマウント２上に装着する。装着峙ＬＤ１０の方向は
、ＬＤマウント２に設けられるＬＤ１０の端子受けによ
り一方向に整列配置されるようになっている。そしてＬ
Ｄ１０上部の第１の受光部１１を構成する受光器５は、
駆動手段６により第２図（ａ）の図中矢印方向に移動（
例えば左右６０＠ずつ、計１２０” ） ＬテＬＤ １
０（７）Ｘ方向のＦＦＰｌ：ＩＭ定する。
続いて回動手段７が動作してレール４自体を９０°回動
させる。
させる。
この後同様に受光器５が移動してＬＤ１０のＹ方向のＦ
ＦＰを測定する。
ＦＰを測定する。
以上の動作にて、１個のＬＤ１０ｌ例えばＬＤ１０−＋
に対するＦＦＰ測定は終了し、続いてＬＤ１０−２に対
するＦＦＩＩＩ定のためにレール４が移動する。レール
４は、移動手段８により、ＬＤ１０−＋〜１０−２の間
隔分だけ移動する。
に対するＦＦＰ測定は終了し、続いてＬＤ１０−２に対
するＦＦＩＩＩ定のためにレール４が移動する。レール
４は、移動手段８により、ＬＤ１０−＋〜１０−２の間
隔分だけ移動する。
そして移動後は、同様にＬＤ１０−２のＸ、Ｙ方向のＦ
ＦＰを測定する。
ＦＰを測定する。
このようにしてｎ （ＩＮ Ｌ Ｄ Ｉ Ｏ＋ 〜１０
− ｎまで順次ＦＦＰを測定する。
− ｎまで順次ＦＦＰを測定する。
また、移動台９にはＬＤ１０の配列ピッチａの９！！ａ
倍のピッチを隔てた箇所に第２、第３の受光部１２．１
３が各、ＬＤ１０（７）配列ピッチａ同ピッチの間隔で
設けられておりＬＤ１０の各種測定は、これら第１〜第
３の受光部によって同時に測定することができる。
倍のピッチを隔てた箇所に第２、第３の受光部１２．１
３が各、ＬＤ１０（７）配列ピッチａ同ピッチの間隔で
設けられておりＬＤ１０の各種測定は、これら第１〜第
３の受光部によって同時に測定することができる。
つまり、移動手段８により移動台９がＬＤ１０方向に移
動した際、第１の受光部１１によるＬＤ１０−１のＦＦ
Ｐｍ定の際、同時に第２の受光部１２により他のＬＤ１
０のＩ−Ｌ特性が検出され、第３の受光部１３により更
に他のＬＤ１０のスペクトラム特性が検出されるように
なっている。このとき、第１の受光部１１にょるＦ Ｆ
Ｐ １１定時受光器５の移動時間中で第２、第３の受
光部１２．１３が動作して同時に多数個のＬＤ１０の各
種特性を測定することができるようになっており、各種
測定に要する時間を短縮でき作業能率を向上させること
ができる。
動した際、第１の受光部１１によるＬＤ１０−１のＦＦ
Ｐｍ定の際、同時に第２の受光部１２により他のＬＤ１
０のＩ−Ｌ特性が検出され、第３の受光部１３により更
に他のＬＤ１０のスペクトラム特性が検出されるように
なっている。このとき、第１の受光部１１にょるＦ Ｆ
Ｐ １１定時受光器５の移動時間中で第２、第３の受
光部１２．１３が動作して同時に多数個のＬＤ１０の各
種特性を測定することができるようになっており、各種
測定に要する時間を短縮でき作業能率を向上させること
ができる。
［実施例］
、以下図面に示した実施例に基づいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第１図は本発明のレーザダイオードの特性測定装置のク
レーム対応図である。
レーム対応図である。
図中、ＬＤマウント２上に等間隔配置されたＬＤ １０
− ｒ〜１０−ｎの配列ピッチａに対応して移動台９上
には、第２．第３の受光部１２゜１３が同一のピッチａ
にて設けられている。また、第１の受光部１１の中心位
Ｎｏは、レール４の形状等より配列ピー、チａの整数倍
の位置となっている。第１の受光部１１はＬＤ１０のＦ
ＦＰ特性を検出し第２の受光部１２はＬＤ１０のＩ−Ｌ
（電流−光出力）特性等を検出し、第３の受光部はＬＤ
１０のスペクトラム特性を検出するためのものが用いら
れる。
− ｒ〜１０−ｎの配列ピッチａに対応して移動台９上
には、第２．第３の受光部１２゜１３が同一のピッチａ
にて設けられている。また、第１の受光部１１の中心位
Ｎｏは、レール４の形状等より配列ピー、チａの整数倍
の位置となっている。第１の受光部１１はＬＤ１０のＦ
ＦＰ特性を検出し第２の受光部１２はＬＤ１０のＩ−Ｌ
（電流−光出力）特性等を検出し、第３の受光部はＬＤ
１０のスペクトラム特性を検出するためのものが用いら
れる。
第４図は５本発明の第１の受光部１１（ＦＦＰ測定部）
の構成図である。この図において、 ＬＤマウント２は
固定基台３に対して交換自在な構成となっている。この
ＬＤマウント２には、ＬＤ１０を等間隔に一列に装着す
ることができる。
の構成図である。この図において、 ＬＤマウント２は
固定基台３に対して交換自在な構成となっている。この
ＬＤマウント２には、ＬＤ１０を等間隔に一列に装着す
ることができる。
また、ＬＤ１０の上方には円弧状のレール４が配設され
ている。そしてこのレール４の中心０は前記ＬＤ１０の
発光面位置とされている。この円弧状のレール４には、
受光器５が取りつけられている。この受光器５は、受光
面５ａをレール４の中心方向、つまりＬＤ１０方向に向
い設けられたものである。この受光器５は駆動手段６゛
によりレール４上を円孤状に移動自在となっている。
ている。そしてこのレール４の中心０は前記ＬＤ１０の
発光面位置とされている。この円弧状のレール４には、
受光器５が取りつけられている。この受光器５は、受光
面５ａをレール４の中心方向、つまりＬＤ１０方向に向
い設けられたものである。この受光器５は駆動手段６゛
によりレール４上を円孤状に移動自在となっている。
そしてこのレール４は、回動手段７により所定角度回動
自在である。つまり、ＬＤ１０の面に対して例えば９０
°回動することによりＬＤ１０のＸ、Ｙ方向のＦＦＰＩ
Ｉｇ定することができるようになっている。
自在である。つまり、ＬＤ１０の面に対して例えば９０
°回動することによりＬＤ１０のＸ、Ｙ方向のＦＦＰＩ
Ｉｇ定することができるようになっている。
この回動手段７は、移動台９に支持されており、移動台
９は移動手段８により移動自在である。そして移動台９
は、ＬＤマウント２上のＬＤ１０のピッチ間隔ａあるい
はこのピッチａの整数倍の間隔で移動でき、これにより
複数個のＬＤ１０のＦＦＰを連続的に測定することがで
さる。
９は移動手段８により移動自在である。そして移動台９
は、ＬＤマウント２上のＬＤ１０のピッチ間隔ａあるい
はこのピッチａの整数倍の間隔で移動でき、これにより
複数個のＬＤ１０のＦＦＰを連続的に測定することがで
さる。
次に上記第１の受光部１１（ＦＦＰ測定部）の実際の組
立てを詳細に説明する。そして第２図（ａ）に示すのは
ＦＦＰ測定部の正面図、同図（ｂ）は、同側面図である
。
立てを詳細に説明する。そして第２図（ａ）に示すのは
ＦＦＰ測定部の正面図、同図（ｂ）は、同側面図である
。
前記ＬＤマウント２上にはＬＤ１０がｎ個（１０−＋〜
１０−２）配設されている。
１０−２）配設されている。
また、移動手段８゛は、一対のガイドレール８ａ、８ａ
及びボールねじ８ｂにより構成されており、ボールねじ
８ｂ一端は、パルスモータ８ｃに接続されている。
及びボールねじ８ｂにより構成されており、ボールねじ
８ｂ一端は、パルスモータ８ｃに接続されている。
そしてボールねじ８ｂの移動部８ｄは、移動台９に固定
されている。移動台９中夫には軸受は部４ａが設けられ
ており、この軸受は部４ａはレール４を水平方向に回動
自在に支持している。この軸受は部４ａに設けられるウ
オームホイール４ｂにはウオームギヤ４Ｃが歯合し、ウ
オームギヤ４Ｃは、移動台９に固定のパルスモータ９ｄ
に連結されている。したがって、レール４は、軸受は部
４ａを中心として回動自在であり、かつ回動角度は、図
示の位置及び９０°回動した位置の２ケ所となっている
。このレール４は筐体４ｈにより覆われており下方のみ
開口している。またこの回動角度は１回動するレール４
側に設けられる一枚の遮光板４ｄ及び移動台９の回動方
向の計２箇所に設けられるフォトインタラプタ４ｅ 、
４ｅにより検出されている。
されている。移動台９中夫には軸受は部４ａが設けられ
ており、この軸受は部４ａはレール４を水平方向に回動
自在に支持している。この軸受は部４ａに設けられるウ
オームホイール４ｂにはウオームギヤ４Ｃが歯合し、ウ
オームギヤ４Ｃは、移動台９に固定のパルスモータ９ｄ
に連結されている。したがって、レール４は、軸受は部
４ａを中心として回動自在であり、かつ回動角度は、図
示の位置及び９０°回動した位置の２ケ所となっている
。このレール４は筐体４ｈにより覆われており下方のみ
開口している。またこの回動角度は１回動するレール４
側に設けられる一枚の遮光板４ｄ及び移動台９の回動方
向の計２箇所に設けられるフォトインタラプタ４ｅ 、
４ｅにより検出されている。
そして第３図（ａ）、（ｂ）に示す如く、レール４には
、受光器５がレール４を挟んで設けられている。つまり
受光器５は、レール４上面に設けられる１４４ ｆに入
り込むコロ５ａ、５ａ及びレール４下面のコロ５ｂ、５
ｂによりレール４上を移動自在となっている。そして受
光器５の下面５Ｃには、２個の受光素子５ｄ 、５ｅが
設けられている。この受光素子５ｄは短波長用（０，８
５ＩＬ■）ＬＤのＦＦＰの測定に用いられ、−力受光素
子５ｅは長波長用（１，３ａ ｍ＋） Ｌ ＤのＦＦＰ
測定用に用いられる。
、受光器５がレール４を挟んで設けられている。つまり
受光器５は、レール４上面に設けられる１４４ ｆに入
り込むコロ５ａ、５ａ及びレール４下面のコロ５ｂ、５
ｂによりレール４上を移動自在となっている。そして受
光器５の下面５Ｃには、２個の受光素子５ｄ 、５ｅが
設けられている。この受光素子５ｄは短波長用（０，８
５ＩＬ■）ＬＤのＦＦＰの測定に用いられ、−力受光素
子５ｅは長波長用（１，３ａ ｍ＋） Ｌ ＤのＦＦＰ
測定用に用いられる。
この受光器５は、前記駆動手段６の一部である紐６ａに
連結されている。そして紐６ａは、レール４上に等間隔
に設けられるガイドコロ４ｇ及びレール４外部のガイド
コロ６ｂを介して回転軸６Ｃに巻回されている０回転軸
６Ｃはレール４の筐体４ｈ上に設けられる駆動手段６と
してのパルスモータ６ｄにギヤ６ｅ、６ｆを介して連結
されている。また、パルスモータ６ｄの回転は、エンコ
ーダ板６ｇ及び検出器６ｈにより検出されている。
連結されている。そして紐６ａは、レール４上に等間隔
に設けられるガイドコロ４ｇ及びレール４外部のガイド
コロ６ｂを介して回転軸６Ｃに巻回されている０回転軸
６Ｃはレール４の筐体４ｈ上に設けられる駆動手段６と
してのパルスモータ６ｄにギヤ６ｅ、６ｆを介して連結
されている。また、パルスモータ６ｄの回転は、エンコ
ーダ板６ｇ及び検出器６ｈにより検出されている。
次に以上の構成による動作を説明する。まず、複数個の
Ｌ Ｄ １０ （１０−ｒ 〜１０− ｎ ）を。
Ｌ Ｄ １０ （１０−ｒ 〜１０− ｎ ）を。
ＬＤマウント２上に装着する。装着時ＬＤ１０の方向は
、ＬＤマウント２に設けられるＬＤ１０の端子受けによ
り一方向に整列配置されるようになっている。
、ＬＤマウント２に設けられるＬＤ１０の端子受けによ
り一方向に整列配置されるようになっている。
また１図示しないが、ＬＤ１０の被測定時、第１〜第３
の受光部１１〜１３は、ＬＤ１０上より退避している。
の受光部１１〜１３は、ＬＤ１０上より退避している。
そしてＬＤ１０の測定時、これらｐ５Ｌ〜第３の受光部
１１〜１３は例えば第１図中矢印に示すＡ方向へ後述の
如く順次進行するようになっている。
１１〜１３は例えば第１図中矢印に示すＡ方向へ後述の
如く順次進行するようになっている。
まず、移動手段８により第３の受光部１３は。
ＬＤ１０−１上に位置して、ＬＤ １０− ｔのスペク
トラムを測定する。
トラムを測定する。
次で、第３の受光部１３は、移動手段８に、より、ＬＤ
−＋〜１Ｏ−２のピッチａの間隔分だけＡ方向に進行し
てＬＤ１０−２上に位置してＬＤ１０−２のスペクトラ
ムを測定する。このとき。
−＋〜１Ｏ−２のピッチａの間隔分だけＡ方向に進行し
てＬＤ１０−２上に位置してＬＤ１０−２のスペクトラ
ムを測定する。このとき。
第２の受光部１２は、ＬＤ １０−１上に位置しており
同時に第２の受光部１２によりＬＤ１０−＋のＩ−Ｌ特
性等を測定する。
同時に第２の受光部１２によりＬＤ１０−＋のＩ−Ｌ特
性等を測定する。
このようにしてＬＤ１０を順次測定を続けると、ＬＤ１
０−＋上に第１の受光部１１の受光器５が位置する（第
１図に示す状り、つまり。
０−＋上に第１の受光部１１の受光器５が位置する（第
１図に示す状り、つまり。
ＬＤ１０−、上部の受光器５は、駆動手段６により第１
図及び第２図（ａ）に示す図中矢印Ｂ、Ｂ’方向に各々
移ｇｈ（左右６０”ずつ、計１２０°） ＬテＬＤ １
０−１（７）Ｘ方向（７）ＦＦＰを測定する。続いて１
回動手段７が動作してレール４自体を９０°回動させる
。この後、同様に受光器５が移動してＬＤ１０−＋のＹ
方向ＦＦＰを測定する０以上の動作にてＬＤ１０−、に
対するＦＦＰＱ定は終了するがこのとき同時に第２の受
光部１２により他のＬＤ１０−４のＩ−Ｌ特性等が検出
され、第３の受光器１３により更に他のＬＤ１０−６の
スペクトラム特性が検出されるようになっている。この
とき、第１の受光部１１によるＦＦＰ測定測定光受光器
５動時間中で第２゜第３の受光部１２．１３が動作して
同時に多数個のＬＤ １０の各種特性を測定することが
できるようになっている。
図及び第２図（ａ）に示す図中矢印Ｂ、Ｂ’方向に各々
移ｇｈ（左右６０”ずつ、計１２０°） ＬテＬＤ １
０−１（７）Ｘ方向（７）ＦＦＰを測定する。続いて１
回動手段７が動作してレール４自体を９０°回動させる
。この後、同様に受光器５が移動してＬＤ１０−＋のＹ
方向ＦＦＰを測定する０以上の動作にてＬＤ１０−、に
対するＦＦＰＱ定は終了するがこのとき同時に第２の受
光部１２により他のＬＤ１０−４のＩ−Ｌ特性等が検出
され、第３の受光器１３により更に他のＬＤ１０−６の
スペクトラム特性が検出されるようになっている。この
とき、第１の受光部１１によるＦＦＰ測定測定光受光器
５動時間中で第２゜第３の受光部１２．１３が動作して
同時に多数個のＬＤ １０の各種特性を測定することが
できるようになっている。
尚、進行方向前部に第２、第３の受光部１２゜１３が設
けられているがこれらを用いた検出に要する時間はＦＦ
Ｐ測定に対して短時間で行うことができるので、短いあ
る程度の時間経過後にはこれら第１、第２．第３の受光
部１１，１２．１３にて多数個のＬＤ１０の各種特性測
定を同時に行なうことができるようになっている。
けられているがこれらを用いた検出に要する時間はＦＦ
Ｐ測定に対して短時間で行うことができるので、短いあ
る程度の時間経過後にはこれら第１、第２．第３の受光
部１１，１２．１３にて多数個のＬＤ１０の各種特性測
定を同時に行なうことができるようになっている。
また、第１の受光部１１は、外部が筐体４ｈに覆われて
いて、第２．第３の受光部１２．１３との相互干渉が防
止されている。
いて、第２．第３の受光部１２．１３との相互干渉が防
止されている。
尚、第２．第３の受光部の動作タイミングは。
第１の受光部１１の動作中、時分割して各々動作させる
こともできる。
こともできる。
そしてＬＤマウント２上には多数個のＬＤ１０を並べて
、このＬＤ１０の配列ピッチａに対応して更に、第４、
第５の受光部を増設することもでき、この場合でも全て
の受光部を同時に動作させることができ、各種測定を更
に能率良く行うことができる。
、このＬＤ１０の配列ピッチａに対応して更に、第４、
第５の受光部を増設することもでき、この場合でも全て
の受光部を同時に動作させることができ、各種測定を更
に能率良く行うことができる。
また、上述の実施例では移動台９の移動方向Ａ前部から
第３．第２、第１の受光部１３〜１１を設けるようにし
たが、この構成は逆であっても良く、ＬＤ１０−＋を初
めに第１の受光器１１によりＦＦＰ′ＩＭ定するように
してもよい。
第３．第２、第１の受光部１３〜１１を設けるようにし
たが、この構成は逆であっても良く、ＬＤ１０−＋を初
めに第１の受光器１１によりＦＦＰ′ＩＭ定するように
してもよい。
尚、上述の実施例では、第１〜３の受光部１１〜１３は
ＬＤの各種特性を測定するが、被発光体の発光素子とし
て他にＬＥＤ等があげられ、これら別の被発光体の各種
特性を測定することもできる。
ＬＤの各種特性を測定するが、被発光体の発光素子とし
て他にＬＥＤ等があげられ、これら別の被発光体の各種
特性を測定することもできる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によるレーザダイオードの特
性測定装置によれば、ＬＤのＦＦＰ測定を短時間にて行
うことができるとともに、ＬＤの交換作業を必要とせず
に多数個のＬＤを順次連続的に測定することができ、作
業能率を向上させることができる。
性測定装置によれば、ＬＤのＦＦＰ測定を短時間にて行
うことができるとともに、ＬＤの交換作業を必要とせず
に多数個のＬＤを順次連続的に測定することができ、作
業能率を向上させることができる。
また、複数の受光部を、ＬＤマウントのＬＤの配列ピッ
チと同じ幅あるいは整数倍の幅としたので多数個のＬＤ
において各々各種測定を同時に行うことができ、更に各
種のＬＤ特性を短時間にて測定することができる。
チと同じ幅あるいは整数倍の幅としたので多数個のＬＤ
において各々各種測定を同時に行うことができ、更に各
種のＬＤ特性を短時間にて測定することができる。
第１図は１本発明によるレーザダイオードの特性測定装
置のクレーム対応図、第２図（ａ）。 （ｂ）は、同装置の実際の組立て図を示す正面及び側面
図、第３図（ａ）、（ｂ）は、受光器及びレールを示す
拡大側断面図及び一部裁断拡大正面図、ｐ５４図は１本
発明のＦＦＰＩＭ定部の構成図。 第５図は、従来のレーザダイオードの特性測定装置を示
す平面図である。 ２・・・ＬＤマウント、３・・・固定基台、３ａ・・・
上部固定基台、４・・・レール、５・・・受光器、６・
・・駆動手段、７・・・回動手段、８・・・移動手段、
９・・・移動台、１０・・・ＬＤ、１１・・・第１の受
光部（ＦＦＰ用）、１２・・・第２の受光部（Ｉ−Ｌ用
）、１３・・・第３の受光部（スペクトラム用）。 特許出願人 アンリッ株式会社 代理人 弁理士 西 村 教 先 竿１図 第２図（ｂ） 第４図
置のクレーム対応図、第２図（ａ）。 （ｂ）は、同装置の実際の組立て図を示す正面及び側面
図、第３図（ａ）、（ｂ）は、受光器及びレールを示す
拡大側断面図及び一部裁断拡大正面図、ｐ５４図は１本
発明のＦＦＰＩＭ定部の構成図。 第５図は、従来のレーザダイオードの特性測定装置を示
す平面図である。 ２・・・ＬＤマウント、３・・・固定基台、３ａ・・・
上部固定基台、４・・・レール、５・・・受光器、６・
・・駆動手段、７・・・回動手段、８・・・移動手段、
９・・・移動台、１０・・・ＬＤ、１１・・・第１の受
光部（ＦＦＰ用）、１２・・・第２の受光部（Ｉ−Ｌ用
）、１３・・・第３の受光部（スペクトラム用）。 特許出願人 アンリッ株式会社 代理人 弁理士 西 村 教 先 竿１図 第２図（ｂ） 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＬＤ（レーザダイオード）１０のファーフィールドパタ
ーン、Ｉ−Ｌ（電流−光出力）特性、スペクトラム特性
を測定するレーザダイオードの特性測定装置において； 複数個のＬＤ１０を所定ピッチａで直線状に装着保持し
、かつ固定基台３より交換可能なＬＤマウント２と； 該ＬＤ１０のファーフィールドパターン検出用の第１の
受光部１１と； 前記ＬＤのＩ−Ｌ特性等検出用の第２の受光部１２と； 前記ＬＤのスペクトラム特性検出用の第３の受光部（１
３）と； 前記ＬＤマウント２上の複数個のＬＤ１０のピッチａと
同ピッチあるいは整数倍のピッチで前記第１、第２、第
３の受光部１１、１２、１３を取りつけることにより、
それぞれに対向した前記ＬＤ１０の特性を同時に測定可
能な位置関係に前記第１、第２、第３の受光部１１、１
２、１３を配置し固定する移動台９と； 該移動台９をＬＤ１０の配置方向に所定間隔毎直線移動
可能な移動手段８と； を具備することを特徴とするレーザダイオードの特性測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61086055A JPH0629827B2 (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 | レ−ザダイオ−ドの特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61086055A JPH0629827B2 (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 | レ−ザダイオ−ドの特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62245128A true JPS62245128A (ja) | 1987-10-26 |
| JPH0629827B2 JPH0629827B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=13876001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61086055A Expired - Lifetime JPH0629827B2 (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 | レ−ザダイオ−ドの特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629827B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0199071U (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-03 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161478A (ja) * | 1984-09-01 | 1986-03-29 | Japan Spectroscopic Co | 発光半導体検査装置 |
-
1986
- 1986-04-16 JP JP61086055A patent/JPH0629827B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161478A (ja) * | 1984-09-01 | 1986-03-29 | Japan Spectroscopic Co | 発光半導体検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0199071U (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-03 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629827B2 (ja) | 1994-04-20 |
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