JPS62240760A - Hearth liner for electron gun heater - Google Patents
Hearth liner for electron gun heaterInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えば真空蒸着に用いられ蒸着材料を加熱す
る電子銃加熱装置（二おいて使用されるハースライナの
構造（：門するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to the structure of a hearth liner used in, for example, an electron gun heating device (2) used in vacuum evaporation to heat a evaporation material.
一般に、半導体回路ではチップ上の配線、ポジディング
パッド等の金属部は真空中で蒸着法ｌ二より形成される
ことが多い。真空蒸着法においては蒸着材料を真空中に
おいて高温１：加熱する必要がある。高温（：加熱する
方法としては種々の方法があるが、その内の一方法とし
て電子銃加熱法があり、一般的な方法である。電子銃加
熱法とは高速電子を蒸着材料に照射し、その運動エネル
ギーな熱エネルギに変換して加熱する方法である。第２
図は一般的な電子銃加熱装置の構成を示す正面図で、第
３図は第２図におけるＩ−１線断面図である。図におい
てｆｉｌはハースライナ、（２）はフィラメント、（３
）はハース、（４）は蒸着材料である。第３図において
は、紙面Ｃ二垂直！−磁界が印加されており、フィラメ
ント（２）は高温に加熱され、熱電子を放出する。ハー
ス（；３）には正の高電圧が印加されており、フィラメ
ント（２）からハース（３）に向かつて電子が加速され
る。図の矢印は電子の流れる方向を示している。ハース
（：３）の上部はくぼんでおり、その中に蒸着材料（４
）が入れである。高速電子は蒸着材料にあたるように磁
界で調節されている。またハ−ス（３１は高温にならな
いよう（二熱伝導の良い金属、例えば銅で作られており
、水冷されている。従ってハースに引が蒸着されること
はない。しかし、この水冷のために蒸着材料（４）まで
が冷却され、蒸着材料（４）が蒸発しにくいことがある
。この蒸着材料（４１の過冷却を防ぐため（：蒸着材料
（４１とハース（３）の間に熱伝導の良くない材料を挿
入することが良く行なわれている。これがハースライナ
（１１と呼ばれるもので、その材料としてはボロンナイ
トライドが耐熱性に優れているために適しており、最も
よく用いられている。ハースライナ＋ＩＩは通常、皿型
をしており、第４図の従来のハースライナを示す（ａｌ
断面図、ｆｂｌ斜視図のような形状をしている。Generally, in semiconductor circuits, metal parts such as wiring and positive pads on a chip are often formed in a vacuum by vapor deposition. In the vacuum evaporation method, it is necessary to heat the evaporation material to a high temperature in a vacuum. High temperature (: There are various methods for heating, but one of them is the electron gun heating method, which is a common method.The electron gun heating method is a method in which high-speed electrons are irradiated onto the evaporation material, This is a method of heating by converting the kinetic energy into thermal energy.Second
The figure is a front view showing the configuration of a general electron gun heating device, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line I-1 in FIG. 2. In the figure, fil is hearth liner, (2) is filament, (3
) is a hearth, and (4) is a vapor deposition material. In Figure 3, the paper surface C2 is perpendicular! - A magnetic field is applied and the filament (2) is heated to a high temperature and emits thermoelectrons. A high positive voltage is applied to the hearth (;3), and electrons are accelerated from the filament (2) toward the hearth (3). The arrows in the figure indicate the direction in which electrons flow. The top of the hearth (:3) is recessed, and the evaporation material (4) is inside.
) is the case. The high-speed electrons are controlled by a magnetic field so that they hit the deposited material. In addition, the hearth (31) is made of a metal with good thermal conductivity, such as copper, and is water-cooled so that it does not reach high temperatures.Therefore, no heat is deposited on the hearth. The vapor deposition material (4) may be cooled down to the vapor deposition material (4), making it difficult to evaporate.In order to prevent the vapor deposition material (41) from overcooling, It is common practice to insert a material with poor conductivity.This is called a hearth liner (11).Boron nitride is suitable for this material due to its excellent heat resistance, and is the most commonly used material. The hearth liner +II is usually dish-shaped, and the conventional hearth liner is shown in Figure 4 (al
It has a shape as shown in the cross-sectional view and fbl perspective view.
ところが、このハースライナｉｌ＋を形成するボロンナ
イトライドは絶縁体であるために、電子で帯電し、電子
ビームの行路が曲げられ、電子ビームが正確に蒸着材料
（４）にあたらなくなり、加熱効率が低下することが良
くおこる。However, since the boron nitride that forms the hearth liner il+ is an insulator, it becomes charged with electrons, bending the path of the electron beam, preventing the electron beam from hitting the evaporation material (4) accurately, and reducing heating efficiency. Things often happen.
従来のハースライナは以上のよう（＝構成されているの
で、帯電を生じ、電子ビームの行路をゆがめ、ひいては
蒸発材料の加熱効率を低下するという問題点があった。Since the conventional hearth liner is configured as described above, it has the problem of being charged, distorting the path of the electron beam, and reducing the heating efficiency of the evaporation material.
この発明は上記のような問題点を解消するため（：なさ
れたもので、蒸発物の過冷却を防止するとともに、帯電
を防いで電子ビームの行路をゆがめることなく蒸発材料
の加熱効率の良いハースライナを得ることを目的とする
。This invention was made in order to solve the above-mentioned problems.It is a hearth liner that prevents overcooling of evaporated materials, prevents electrification, and has high efficiency in heating evaporated materials without distorting the path of electron beams. The purpose is to obtain.
この発明の電子銃加熱装置用ハースライナはハースライ
ナを形成する高耐熱性基材の蒸着材料載置面に電子が通
過する孔を形成したものである。The hearth liner for an electron gun heating device of the present invention has holes through which electrons pass formed on the vapor deposition material mounting surface of the highly heat-resistant base material forming the hearth liner.
この発明においては、孔中を電子が流れるためハースラ
イナの帯電を防ぐことができ、蒸着材料の効率的加熱が
できる。In this invention, since electrons flow through the holes, charging of the hearth liner can be prevented, and the vapor deposition material can be heated efficiently.
以下、この発明の一実施例を＄１図について説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the $1 figure.
第１図（ａｌはハースライナの断面図を＋１））はその
斜視図を示している。図中（５）はハースライナ＋１１
の蒸着材料（４）載置面、この場合は底部に形成された
孔である。FIG. 1 (al indicates a sectional view of the hearth liner at +1) shows a perspective view thereof. (5) in the diagram is Hearth Liner +11
The vapor deposition material (4) mounting surface, in this case, the hole formed at the bottom.
この実施例のハースライナにおいては、底部に形成した
孔１５１の中を電子が流れるためハースライナ＋１１の
帯電が防げる。従って電子ビームの行路がゆがめられる
ことがなく、蒸着材料の加熱効率が低下せず、効率的加
熱が行える。In the hearth liner of this embodiment, since electrons flow through the hole 151 formed at the bottom, charging of the hearth liner +11 can be prevented. Therefore, the path of the electron beam is not distorted, the heating efficiency of the vapor deposition material is not reduced, and efficient heating can be performed.
ハースライナ（１１を形成する基材としては、高耐熱性
を有するものであれば何でも良いが、ボロンナイトライ
ドが最も耐熱性（：優れており適当である。The base material for forming the hearth liner (11) may be any material as long as it has high heat resistance, but boron nitride has the best heat resistance (: excellent) and is suitable.
なお、上記実施例では孔＋５１を底部に１個設けたもの
を示したが、複数個であっても、底部でなくとも′電子
の通過するパスを形成できれば他の場所でも同様の効果
を奏する。Although the above embodiment shows one hole +51 provided at the bottom, the same effect can be achieved at other locations even if there are multiple holes, as long as a path through which the electrons can pass is formed, even if the hole +51 is provided at the bottom. .
以上のようにこの発明によれば、ハースとこれに載置す
る蒸着材料との間に介在させて上記蒸着材料から上記ハ
ースへの熱伝導を妨げる電子銃加熱装置用ハースライナ
において、ハースライナな形成する高耐熱性基材の上記
蒸着材料載置面（：電子が通過する孔を形成することに
より、ハースライナの帯電を防止でき蒸着金属材料の加
熱効率が良くなる効果がある。As described above, according to the present invention, in a hearth liner for an electron gun heating device that is interposed between a hearth and a vapor deposition material placed thereon to prevent heat conduction from the vapor deposition material to the hearth, the hearth liner is formed as a hearth liner. The vapor deposition material mounting surface of the highly heat resistant base material (: By forming holes through which electrons pass, the hearth liner can be prevented from being charged and the heating efficiency of the vapor deposited metal material can be improved.
第１図はこの発明の一実施例のハースライナを示すもの
で、（ａｌは断面図、（ｔ）ｌは斜視図、′！ｆＪ２図
は一般的な電子銃加熱装置を示す正面図、第３図は第２
図の１−１線断面図、第４図は従来のハースライナを示
すもので、（ａｌは断面図、（１）ｌは斜視図である。
図において＋１１はハースライナ、（２）はフィラメン
ト、（３）はハース、（４）は蒸着材料、１５）は孔で
ある。
なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。Fig. 1 shows a hearth liner according to an embodiment of the present invention, (al is a sectional view, (t)l is a perspective view, '!fJ2 is a front view showing a general electron gun heating device, The figure is the second
A sectional view taken along the line 1-1 in the figure, and FIG. 3) is a hearth, (4) is a vapor deposition material, and 15) is a hole. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or equivalent parts.
Claims (2)
せて上記蒸着材料から上記ハースへの熱伝導を妨げる電
子銃加熱装置用ハースライナにおいて、ハースライナを
形成する高耐熱性基材の上記蒸着材料載置面に電子が通
過する孔を形成したことを特徴とする電子銃加熱装置用
ハースライナ。(1) In a hearth liner for an electron gun heating device that is interposed between a hearth and a vapor deposition material placed thereon to prevent heat conduction from the vapor deposition material to the hearth, the above-mentioned highly heat-resistant base material forming the hearth liner is used. A hearth liner for an electron gun heating device, characterized in that holes through which electrons pass are formed on a deposition material mounting surface.
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子銃加
熱装置用ハースライナ。(2) The hearth liner for an electron gun heating device according to claim 1, wherein the highly heat-resistant base material is a boron nitride base material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8316586A JPS62240760A (en) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | Hearth liner for electron gun heater |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP8316586A JPS62240760A (en) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | Hearth liner for electron gun heater |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62240760A true JPS62240760A (en) | 1987-10-21 |
Family
ID=13794648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8316586A Pending JPS62240760A (en) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | Hearth liner for electron gun heater |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62240760A (en) |
-
1986
- 1986-04-10 JP JP8316586A patent/JPS62240760A/en active Pending
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