JPS62240284A - Elevator device for clean room facility - Google Patents

Elevator device for clean room facility

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Publication number
JPS62240284A
JPS62240284A JP8259686A JP8259686A JPS62240284A JP S62240284 A JPS62240284 A JP S62240284A JP 8259686 A JP8259686 A JP 8259686A JP 8259686 A JP8259686 A JP 8259686A JP S62240284 A JPS62240284 A JP S62240284A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
elevator
clean
room
cage
clean room
Prior art date
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Pending
Application number
JP8259686A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
武永 雅紀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP8259686A priority Critical patent/JPS62240284A/en
Publication of JPS62240284A publication Critical patent/JPS62240284A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Types And Forms Of Lifts (AREA)
  • Cage And Drive Apparatuses For Elevators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【発明の属する技術分野】[Technical field to which the invention pertains]

この発明は同じ建屋の上下各階にクリーンルームを設備
したクリーンルーム施設における人、物品移送用のエレ
ベータ装置に関する。
The present invention relates to an elevator system for transporting people and goods in a clean room facility where clean rooms are installed on upper and lower floors of the same building.

【従来技術とその問題点】[Prior art and its problems]

昨今では半導体を中心とした電子工業1食品工業の生産
分野等における工場を対象に、頭記したクリーンルーム
が広範囲に適用されるようになっている。またその生産
設備の規模拡大化から同じ建屋の上下各階にクリーンル
ームを構成した工場内のクリーンルーム施設では、各階
のクリーンルーム間を結んで建屋にエレベータを付設し
、このエレベータで作業員の往来5および材料、cA品
等の物品の移送を行うようにしていることが多い。 ところで、この種のクリーンルーム施設に対する従来の
エレベータ装置では、エレベータのケージに通常の換気
装置を装備しているものの、1亥ケージ室内空気を積極
的に清浄化する配慮は成されていないのが現状である。 このために、エレベータを利用して作業員が上下階のク
リーンルーl、の間を往来する場合には、まず作業tは
クリーンルーム内で着用する作業服を一般作業服に着替
えた後にエレベータに乗り移り、再び別な陛のクリーン
ルームに入室する際には一般作業服をクリーンルーム用
の作業服に着替え、さらにクリーンルームの入口に隣接
して構成し・たエアシャワー室で衣服に付着した塵埃を
排除した後にクリーンルームに入室する等の入室手順が
採られている。しかして前記のようにクリーンルームへ
の出入の度に作業服を着替え、さらにエアシャワーを浴
びる方法は手間が掛かって面倒である。
In recent years, the above-mentioned clean rooms have come to be widely applied to factories in the electronic industry, mainly semiconductor manufacturing, and the food industry. In addition, due to the expansion of the scale of production equipment, in the clean room facility in the factory where clean rooms are configured on the upper and lower floors of the same building, an elevator is attached to the building to connect the clean rooms on each floor, and this elevator is used to transport workers and materials. , cA products, and other goods are often transported. By the way, in conventional elevator equipment for this type of clean room facility, although the elevator cage is equipped with a normal ventilation device, no consideration is currently taken to actively purify the air inside the cage. It is. For this reason, when workers use an elevator to go back and forth between the upper and lower floors of the clean room, the worker first changes from the work clothes worn in the clean room to regular work clothes, and then transfers to the elevator. When re-entering another clean room, change from regular work clothes to clean room work clothes, and remove dust from clothes in the air shower room located adjacent to the clean room entrance. Entry procedures are in place, including entering a clean room. However, as described above, changing work clothes and taking an air shower each time entering and exiting the clean room is time-consuming and troublesome.

【発明の目的】[Purpose of the invention]

この発明は上記の点にかんがみなされたものであり、前
記した従来におけるクリーンルーム間の往来方式の難点
を解消し、エレベータを利用するに際してその度に作業
服の着替え、エアシャワー浴による塵埃除去等の面倒な
手間を省いてクリーンルーム相互間での作業員の往来、
物品の移送が自由にできるようにしたクリーンルームh
t = 用のエレベータVz iWを提供することを目
的とする。
This invention was developed in consideration of the above points, and it solves the difficulties of the conventional method of coming and going between clean rooms as described above. Eliminate troublesome work and facilitate the movement of workers between clean rooms.
Clean room h where goods can be transferred freely
The purpose is to provide an elevator Vz iW for t = .

【発明の要点】[Key points of the invention]

上記目的を達成するために、この発明はエレベータのケ
ージに対し、該ケージ室内へクリーンエアを吹出し供給
するクリーンユニットをW (Jlaし、ケージ室内の
清浄度を常時クリーンルームの通路上と略同程度の清浄
度に維持することにより、エレベータを利用する上下階
各クリーンルームの間で作業員の往来、物品の移送が作
業服の着替え。 エアシャワー浴の必要なしに自由に行えるようにしたも
のである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a clean unit for blowing and supplying clean air into the elevator cage to maintain the cleanliness inside the cage at approximately the same level as on the passageway of the clean room. By maintaining a level of cleanliness, workers can come and go between the clean rooms on the upper and lower floors using elevators, and items can be transferred freely without changing work clothes or taking an air shower. .

【発明の実施例] 第1図、第2図はそれぞれこの発明の実施例によるエレ
ベータケージの構成図、およびエレベータ装置全体の構
成図を示すものであり、まず第2図によりエレベータ装
置全体の構成を述べると、図においてlは建屋で、その
上下各階にはクリーンルーム2,3が構成されており、
かつ各階のクリーンルーム2と3との間を結んで同じ建
屋lにはエレベータ装置4が付設されている。該エレベ
ータ装置4は建屋1に形成されたエレベータ室5内を昇
降するケージ6が機械室7に設置した巻上機8により昇
降操作されるように構成されており、かつ各階のクリー
ンルーム2.3にはエレベータ室5との間に乗場扉9が
設けである。なお10はケージ6を吊り下げている素条
、11は釣り合い錘。 12はケージの緩衝器である。また前記エレベータ室5
に対して該室内の底部には排気ダクト13が引き出して
あり、排気用送風機14を介して室内空気を系外に吸引
排気するように構成されている。 一方、前記エレベータケージ6に対しては、第1図に示
すようにケージ室15を仕切る内隅壁16とケージ外壁
との間にケージ室150床と天井との間を結んで循環送
風路17が形成されており、かつその天井部分には送風
機18とHEPAフィルタ19とを組合せたクリーンユ
ニット20が装備されている。 ここでHEPAフィルタ19は送風機18の吐出側に連
ねてケージ室15への空気吹出口に設置されており、ま
たケージ室15の床には空気が自由にi3過できる簀子
状のフリーアクセスフロア21が’46Hされている。 なお22はケージの扉である。 かかる構成でクリーンユニット20の送風機18を運転
することにより、矢印Aで示すように送風機からの吐出
空気がHEPAフィルタ19を通じて除塵され、クリー
ンエアとなってケージ室15内に吹き出す、さらに空気
は床面のフリーアクセスフロア21を透過し、循環送風
路17をへて送風機18に還流するように循環送風され
る。このようにしてケージ室15内にクリーンエアを給
気することにより、作業員の作業服、物品等に付着して
いる塵埃ないしこれらから発生して室内に浮遊している
塵埃はクリーンエア気流とともに速やかにケージ室外に
排出して除塵され、ケージ室内は少な(ともクリーンル
ーム内の通路上と同程度の高清浄度に維持されることに
なる。したがってエレベータを利用して第2図に示した
上階のクリーンルーム2と下階のクリーンルーム3との
間で往来する作業員は従来のように作業服をその都度着
替えたり、クリーンルームへの再入室に当たってクリー
ンシャワーを浴びる等の必要がなく、人の往来、物品の
移送が自由にできることになる。なお第1図はケージ室
15の天井から床へ向けてクリーンエアを吹き下ろすダ
ウンフロ一方式(垂直層流方式)を示したが、これに限
るものではなくクロスフロ一方式(水平層流方式)、コ
ンベンショナル方式(乱流方式)等を採用してもよい。 一方、第2図に戻ってエレベータ室5は排気ダクト13
を通じて室内空気が送風機14により吸引排気されて常
時負正に維持されており、これによりケージ6の昇降移
動の過程でエレベータ室内に発生した塵埃は速やかに前
記排気ダクト13を通じて系外に排除されるようになり
、かつ該エレベータ室が負圧に保持されているので塵埃
がクリーンルームないしケージ室内に侵入するのを良好
に防止できる。なおこの排気ダクト13はエレベータ室
5の上部から引き出して設けてもよい。 【発明の効果】 以上述べたようにこの発明によれば、エレベータのケー
ジに該ケージ室内へクリーンエアを吹出し供給するクリ
ーンユニットを装備したことにより、エレベータのケー
ジ室内を常時高清浄度に維持することができ、したがっ
て上下各階のクリーンルームの間でエレベータを利用し
て作業員の往来、物品の移送を行う場合に、従来のよう
に作業服の着替え、クリーンルーム再入室時のエアシャ
ワー浴を必要とせずに自由な往来、移送が可能となる。
[Embodiment of the Invention] FIG. 1 and FIG. 2 respectively show a configuration diagram of an elevator car and a configuration diagram of the entire elevator system according to an embodiment of the present invention. First, FIG. 2 shows the configuration of the entire elevator system. In the figure, l is a building, and clean rooms 2 and 3 are configured on the upper and lower floors of the building.
Furthermore, an elevator device 4 is attached to the same building 1 connecting the clean rooms 2 and 3 on each floor. The elevator device 4 is configured such that a cage 6 that moves up and down inside an elevator room 5 formed in a building 1 is raised and lowered by a hoisting machine 8 installed in a machine room 7, and a clean room 2.3 on each floor. A landing door 9 is provided between the elevator room 5 and the elevator room 5. In addition, 10 is a base rod from which the cage 6 is suspended, and 11 is a counterweight. 12 is a cage buffer. In addition, the elevator room 5
On the other hand, an exhaust duct 13 is drawn out from the bottom of the room, and is configured to draw and exhaust room air to the outside of the system via an exhaust blower 14. On the other hand, for the elevator cage 6, as shown in FIG. A clean unit 20 that combines a blower 18 and a HEPA filter 19 is installed on the ceiling. Here, the HEPA filter 19 is connected to the discharge side of the blower 18 and installed at the air outlet to the cage chamber 15, and the cage chamber 15 has a free access floor 21 on the floor where air can freely pass through. was made in '46H. Note that 22 is a door of the cage. By operating the blower 18 of the clean unit 20 with this configuration, the air discharged from the blower passes through the HEPA filter 19 to remove dust as shown by arrow A, becomes clean air, and is blown into the cage chamber 15. The air is circulated so as to pass through the free access floor 21, pass through the circulation air passage 17, and return to the blower 18. By supplying clean air into the cage chamber 15 in this manner, dust attached to workers' work clothes, articles, etc., and dust generated from these and floating in the room are removed together with the clean air flow. The dust is immediately discharged outside the cage room to remove dust, and the inside of the cage room is maintained at a high level of cleanliness (at the same level as the passageway inside the clean room). Workers who come and go between the clean room 2 on the first floor and the clean room 3 on the lower floor do not need to change their work clothes each time or take a clean shower when re-entering the clean room, as was the case in the past. , goods can be transferred freely.Although Fig. 1 shows a down-flow one-way system (vertical laminar flow system) in which clean air is blown down from the ceiling of the cage chamber 15 to the floor, the system is not limited to this. Alternatively, a cross-flow one-way system (horizontal laminar flow system), a conventional system (turbulent flow system), etc. may be adopted.On the other hand, returning to FIG.
Indoor air is sucked and exhausted by the blower 14 through the elevator 14 and maintained at negative and positive levels at all times, so that dust generated in the elevator room during the up-and-down movement of the cage 6 is quickly removed to the outside of the system through the exhaust duct 13. Since the elevator chamber is maintained at a negative pressure, it is possible to effectively prevent dust from entering the clean room or the cage chamber. Note that this exhaust duct 13 may be drawn out from the upper part of the elevator room 5 and provided. [Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the elevator cage is equipped with a clean unit that blows and supplies clean air into the cage interior, thereby constantly maintaining the interior of the elevator cage at a high level of cleanliness. Therefore, when elevators are used to move workers and goods between the clean rooms on the upper and lower floors, it is no longer necessary to change work clothes or take an air shower when re-entering the clean room. This allows for free movement and transportation without any hassle.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の実施例によるエレベータ装置のケー
ジの構成図、第2図はエレベータ装置全体の構成図であ
る。各図において、 1:建屋、2:上階のクリーンルーム、3:下階のクリ
ーンルーム、4:エレベータWi、5 :エレベータ室
、S:エレベータのケージ、13:排気ダクト、15:
ケージ室、17:vii環送風送風路8:送風機、19
:HEPAフィルタ、20:クリーンユニット、A:ク
リーンエア。 第1図 非礼タクト 第2図
FIG. 1 is a block diagram of a cage of an elevator system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of the entire elevator system. In each figure, 1: Building, 2: Clean room on the upper floor, 3: Clean room on the lower floor, 4: Elevator Wi, 5: Elevator room, S: Elevator cage, 13: Exhaust duct, 15:
Cage room, 17: vii ring ventilation air channel 8: Blower, 19
: HEPA filter, 20: Clean unit, A: Clean air. Figure 1: Improper tact Figure 2:

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)建屋の上下各階に構成されたクリーンルームの間を
結んで作業員の往来、物品の移送を行うクリーンルーム
施設用のエレベータ装置において、エレベータのケージ
に該ケージ室内へクリーンエアを吹出し供給するクリー
ンユニットを装備したことを特徴とするクリーンルーム
施設用のエレベータ装置。 2)特許請求の範囲第1項記載のエレベータ装置におい
て、クリーンユニットがケージ室の循環送風路に設置し
た送風機と、該送風機の吐出側に連ねてケージ室内への
空気吹出口に配備したHEPAフィルタとからなること
を特徴とするクリーンルーム施設用のエレベータ装置。 3)特許請求の範囲第1項記載のエレベータ装置におい
て、エレベータケージの昇降通路となる建屋のエレベー
タ室には、該エレベータ室の室内空気を系外へ吸引排気
する排気ダクトが設けてあることを特徴とするクリーン
ルーム施設用のエレベータ装置。
[Claims] 1) In an elevator system for a clean room facility that connects clean rooms configured on the upper and lower floors of a building for the movement of workers and the transfer of goods, an elevator cage is provided with clean air into the cage interior. An elevator device for a clean room facility, characterized by being equipped with a clean unit that blows out and supplies. 2) In the elevator system according to claim 1, the clean unit includes a blower installed in the circulation air passage of the cage room, and a HEPA filter installed at the air outlet into the cage room in line with the discharge side of the blower. An elevator device for clean room facilities, characterized by comprising: 3) In the elevator system according to claim 1, the elevator room of the building that serves as the elevator car's ascending and descending passage is provided with an exhaust duct for sucking and exhausting indoor air from the elevator room to the outside of the system. Features: Elevator equipment for clean room facilities.
JP8259686A 1986-04-10 1986-04-10 Elevator device for clean room facility Pending JPS62240284A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05155563A (en) * 1991-12-04 1993-06-22 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk Conveyor equipped with cleaning means
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