JPS62235536A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS62235536A JPS62235536A JP61054947A JP5494786A JPS62235536A JP S62235536 A JPS62235536 A JP S62235536A JP 61054947 A JP61054947 A JP 61054947A JP 5494786 A JP5494786 A JP 5494786A JP S62235536 A JPS62235536 A JP S62235536A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- electrode
- housing
- deflection
- electrode terminals
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
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- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧力センサ、詳しくは歪ゲージを設けたダイア
フラムを有する圧力センサに関するものである。
フラムを有する圧力センサに関するものである。
第４図に示すように、ハウジング５２に周縁部を固定保
持されるダイアフラム５１に歪ゲージを設けた圧力セン
サは公知である。
持されるダイアフラム５１に歪ゲージを設けた圧力セン
サは公知である。
ダイアフラム５１の受圧部分に圧力を受けたときの歪を
効果的に検知できるように、歪ゲージ及び歪ゲージの信
号を取り出す電極端子を真空Ｗｔ映復製法より形成され
ており、ダイアフラムーヒの電極端子に電極信号線がハ
ンダ付は又はボンディングにより接合されている。
効果的に検知できるように、歪ゲージ及び歪ゲージの信
号を取り出す電極端子を真空Ｗｔ映復製法より形成され
ており、ダイアフラムーヒの電極端子に電極信号線がハ
ンダ付は又はボンディングにより接合されている。
従来の圧力センサでは電極信号線が電極端子に接合され
ているのはダイアフラムの可動部分であるため、ダイア
フラムが圧力を受けてたわみを生じたとき、電極信号線
の接合部も応力を受ける。
ているのはダイアフラムの可動部分であるため、ダイア
フラムが圧力を受けてたわみを生じたとき、電極信号線
の接合部も応力を受ける。
応力を受けている状態で使用を継続した場合には、電極
信号線の接合部は疲労劣化して接合部の抵抗値が変化し
、センサの特性の経時変化の原因となる。更に使用を継
続すると、やがて劣化破壊して電極が剥離したり、断線
を生じたりしてセンサの重大な故障となる。
信号線の接合部は疲労劣化して接合部の抵抗値が変化し
、センサの特性の経時変化の原因となる。更に使用を継
続すると、やがて劣化破壊して電極が剥離したり、断線
を生じたりしてセンサの重大な故障となる。
従来技術の電極接合部が応力を受は劣化するという欠点
を解消するためには、圧力を受けたダイアフラム上の応
力分布が０となる位置に電極端子を配置することが考え
られるが、電極信号線の接合面精が必要となるので、実
質的に応力をＯにすることは困難である。更にダイアフ
ラムが動くことにより電極線自身の剛性の関係で接合部
に応力が発生するという問題もある。
を解消するためには、圧力を受けたダイアフラム上の応
力分布が０となる位置に電極端子を配置することが考え
られるが、電極信号線の接合面精が必要となるので、実
質的に応力をＯにすることは困難である。更にダイアフ
ラムが動くことにより電極線自身の剛性の関係で接合部
に応力が発生するという問題もある。
本発明は上記の問題点を、歪ゲージに電気的に接続され
る接続端子をダイアフラムのハウジングに固定される周
縁非可動領域に配置することにより達成した。
る接続端子をダイアフラムのハウジングに固定される周
縁非可動領域に配置することにより達成した。
本発明により、電極端子に対する電極信号線の接続部が
、ダイアフラムの可動部である有効径の範囲より外側の
ハウジングに固定される周縁非可動領域に配置される。
、ダイアフラムの可動部である有効径の範囲より外側の
ハウジングに固定される周縁非可動領域に配置される。
ダイアフラムが圧力を受けてたわんだ場合にも、当該接
続部は非可動部分にあるので、そのたわみの影響は接続
部には作用しない。ハウジングの電極端子が対応する位
置に溝を設け、電極端子及び電極信号線がはまりこむこ
とができるようになっている。従って本発明により電極
信号線の接合部が応力を受けて疲労劣化することが回避
された。
続部は非可動部分にあるので、そのたわみの影響は接続
部には作用しない。ハウジングの電極端子が対応する位
置に溝を設け、電極端子及び電極信号線がはまりこむこ
とができるようになっている。従って本発明により電極
信号線の接合部が応力を受けて疲労劣化することが回避
された。
第１図において、第１ハウジング１と第２ハウジング２
の間にダイアフラム３の周縁部が挟持された状態で固定
保持される。第１及び第２ハウジング１．２の構造は第
４図に示す公知の構造とほぼ同様に形成することができ
、且つ発明の要旨ではないので、詳細な説明は省略する
。
の間にダイアフラム３の周縁部が挟持された状態で固定
保持される。第１及び第２ハウジング１．２の構造は第
４図に示す公知の構造とほぼ同様に形成することができ
、且つ発明の要旨ではないので、詳細な説明は省略する
。
第２図に示すように、ダイアフラム３には歪ゲージ４．
５．６及び電極端子７．８．９．１０．１１が真空薄膜
製法及びエツチング技術により形成される。歪ゲージ４
．５．６はダイアフラム３の可動部である有効径１２の
範囲内に、電極端子７．８．９．１０．１１はダイアフ
ラム３の可動部である有効径１２の範囲内及びその範囲
より外側に周縁の非可動領域１３に向けて延在する状態
で形成される。
５．６及び電極端子７．８．９．１０．１１が真空薄膜
製法及びエツチング技術により形成される。歪ゲージ４
．５．６はダイアフラム３の可動部である有効径１２の
範囲内に、電極端子７．８．９．１０．１１はダイアフ
ラム３の可動部である有効径１２の範囲内及びその範囲
より外側に周縁の非可動領域１３に向けて延在する状態
で形成される。
電極端子と歪ゲージとは、電極端子７−歪ゲージ４−電
（ガ端子８−歪ゲージ６−電極端子９−歪ゲージ５−電
極端子１〇−歪ゲージ６−電極端子１１の哨に電気的に
Ｗ？続される。
（ガ端子８−歪ゲージ６−電極端子９−歪ゲージ５−電
極端子１〇−歪ゲージ６−電極端子１１の哨に電気的に
Ｗ？続される。
電極端子７．１１の非可動部ｊ！ｉ！１３に形成された
部分に電極信号線１４がハンダまたはボンディングによ
り接合される。
部分に電極信号線１４がハンダまたはボンディングによ
り接合される。
第２ハウジング２の電極端子７．８．９．１０．１１に
対応する位置には溝１５が第３図に示されるように形成
され、各電極端子がはめこまれることができるようにし
である。
対応する位置には溝１５が第３図に示されるように形成
され、各電極端子がはめこまれることができるようにし
である。
電極信号線１４がハンダまたはポンディングにより接合
された部分は溝１５にはまりこみ、電極信号線１４を結
合したダイアフラム３を第２ハウジング２に接合しても
、電極信号線１４がダイアフラムとハウジングの接合を
Ｉ！１１？；することが回避される。第２ハウジング２
にダイアフラム３を接合した後第１ハウジング１が第２
ハウジング２に取りつけられる。
された部分は溝１５にはまりこみ、電極信号線１４を結
合したダイアフラム３を第２ハウジング２に接合しても
、電極信号線１４がダイアフラムとハウジングの接合を
Ｉ！１１？；することが回避される。第２ハウジング２
にダイアフラム３を接合した後第１ハウジング１が第２
ハウジング２に取りつけられる。
本発明により、電極端子がダイアフラムの圧力差により
可動なる有効径範囲より外側の周縁非可動領域に延在し
、その非可動領域の電極端子部分から電極信号線が取り
出されているため、ダイアフラムがたわみを生じても、
電極信号線取出し部分は動かず、たわみの影響を受けな
い。従って従来のような、たわみにより接合部が劣化す
ることも、センサの特性が変化することも回避された。
可動なる有効径範囲より外側の周縁非可動領域に延在し
、その非可動領域の電極端子部分から電極信号線が取り
出されているため、ダイアフラムがたわみを生じても、
電極信号線取出し部分は動かず、たわみの影響を受けな
い。従って従来のような、たわみにより接合部が劣化す
ることも、センサの特性が変化することも回避された。
第１図は本発明に係る圧力センサの略縦断面図、第２図
はダイアフラムの下面図、第３図は第２ハウジングの平
面図、第４図は従来の圧力センサの断面図である。図に
おいて、 １・・・第１ハウジング ２・・・第２ハウジング３・
・・ダイアフラム ４．５．６・・・歪ゲージ
はダイアフラムの下面図、第３図は第２ハウジングの平
面図、第４図は従来の圧力センサの断面図である。図に
おいて、 １・・・第１ハウジング ２・・・第２ハウジング３・
・・ダイアフラム ４．５．６・・・歪ゲージ
Claims (2)
- （１）歪ゲージを設けたダイアフラムと、該ダイアフラ
ムの周縁部を固定保持するハウジングとを有する圧力セ
ンサにおいて、前記歪ゲージに電気的に接続される接続
端子が前記ダイアフラムの前記ハウジングに固定される
周縁非可動領域に配置されることを特徴とする圧力セン
サ。 - （２）前記端子電極のはめ込み可能な溝が前記ハウジン
グのダイアフラム接触面に形成されていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の圧力センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61054947A JPS62235536A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 圧力センサ |
| US07/025,025 US4770045A (en) | 1986-03-14 | 1987-03-12 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61054947A JPS62235536A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62235536A true JPS62235536A (ja) | 1987-10-15 |
Family
ID=12984848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61054947A Pending JPS62235536A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 圧力センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4770045A (ja) |
| JP (1) | JPS62235536A (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5031462A (en) * | 1989-05-08 | 1991-07-16 | Honeywell Inc. | Snap-fit construction low cost pressure sensing device |
| US5184107A (en) * | 1991-01-28 | 1993-02-02 | Honeywell, Inc. | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal |
| CA2058916C (en) * | 1991-01-28 | 2000-03-21 | Dean Joseph Maurer | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal |
| US5303593A (en) * | 1991-06-07 | 1994-04-19 | Maclean-Fogg Company | Strain gauge distribution for resistive strain gauge pressure sensor |
| US5349867A (en) * | 1991-12-02 | 1994-09-27 | Kavlico Corporation | Sensitive resistive pressure transducer |
| US5281782A (en) * | 1992-04-28 | 1994-01-25 | Campbell Hausfeld | Diaphragm pressure switch |
| US5317921A (en) * | 1992-05-05 | 1994-06-07 | Maclean Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
| US5386730A (en) * | 1992-06-25 | 1995-02-07 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor having a sealed water-resistant construction |
| US5356176A (en) * | 1993-05-25 | 1994-10-18 | Trw Technar Inc. | Vehicle occupant restraint apparatus |
| US11118990B2 (en) | 2019-06-21 | 2021-09-14 | Honeywell International Inc. | Micro-molded fluid pressure sensor housing |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3808480A (en) * | 1973-04-16 | 1974-04-30 | Bunker Ramo | Capacitive pressure transducer |
| JPS5522125A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-16 | Hitachi Ltd | Pressure sensor |
| US4411158A (en) * | 1981-04-14 | 1983-10-25 | Ametek, Inc. | Apparatus for sensing the condition of a fluid |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP61054947A patent/JPS62235536A/ja active Pending
-
1987
- 1987-03-12 US US07/025,025 patent/US4770045A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4770045A (en) | 1988-09-13 |
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