JPS62233750A - 物質表面の組織解析方法 - Google Patents
物質表面の組織解析方法Info
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- JPS62233750A JPS62233750A JP61077050A JP7705086A JPS62233750A JP S62233750 A JPS62233750 A JP S62233750A JP 61077050 A JP61077050 A JP 61077050A JP 7705086 A JP7705086 A JP 7705086A JP S62233750 A JPS62233750 A JP S62233750A
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Links
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物質の組織解析に適用される物質表面の濃度
分布の分析表示方法に関する。
分布の分析表示方法に関する。
従来より物質表面の譲度分布状、広を測定する方法とし
ては、X線マイクロアナライザーによるX線像が知られ
ている。
ては、X線マイクロアナライザーによるX線像が知られ
ている。
しかしながら、かかる方法では、#度分布の二次元的な
分布状況を定性的に把握することは可能であるが2分布
状況を定量的に把握することが困難であった。
分布状況を定性的に把握することは可能であるが2分布
状況を定量的に把握することが困難であった。
本発明は、物質表面の徽小領域の濃度分布状況を定量的
に分析表示する方法を提供しようとするものである。
に分析表示する方法を提供しようとするものである。
そこで本発明は、物質表面の濃度分布を測定する方法に
おいて、材料表面に電子線を二次元的に連続して照射し
、各照射点から発生する特性X線をX線検出器によって
検出し、特性X線計数値から得られる元素濃度を任意の
濃度範囲毎に分類し、全分析点数に対する任意の濃度範
囲内にある分析点数の割合を濃度に対して表示すること
を特徴とする物′a表面の組織解析方法とした。
おいて、材料表面に電子線を二次元的に連続して照射し
、各照射点から発生する特性X線をX線検出器によって
検出し、特性X線計数値から得られる元素濃度を任意の
濃度範囲毎に分類し、全分析点数に対する任意の濃度範
囲内にある分析点数の割合を濃度に対して表示すること
を特徴とする物′a表面の組織解析方法とした。
上述した本発明によれば、物質表面の羨度分布状i、l
を定量的に把握することができる。
を定量的に把握することができる。
以下1本発明に係る実施例を図を参照して説明する。
第1図は本発明による組織解析方法を示す原理図である
。X線マイクロアナライザの電子発生イタ1より゛電子
ビーム2を収束させて試料3表面に照射する。該試料3
は図示しない試料駆動装置に固定されており、駆動制御
装置4の信号により一定時間間隔で連続的にXY方向へ
移動する。電子ビーム2の照射によって各照射位1直か
ら発生する特性X線50強度はX線検出器6によって検
出され、その強度信号は各照射位置jσに記憶装置f
7に記憶される。
。X線マイクロアナライザの電子発生イタ1より゛電子
ビーム2を収束させて試料3表面に照射する。該試料3
は図示しない試料駆動装置に固定されており、駆動制御
装置4の信号により一定時間間隔で連続的にXY方向へ
移動する。電子ビーム2の照射によって各照射位1直か
ら発生する特性X線50強度はX線検出器6によって検
出され、その強度信号は各照射位置jσに記憶装置f
7に記憶される。
次に、電算機8によって該X線信号強度を元素濃度に変
換し、各分析点を任意の濃度範囲に分類し、該濃度範囲
内にある分析点数を算出し。
換し、各分析点を任意の濃度範囲に分類し、該濃度範囲
内にある分析点数を算出し。
その全分析点数に対する比を面積率として元素濃度に対
してディスプレイ装置またはプリンター9に出力表示す
る。
してディスプレイ装置またはプリンター9に出力表示す
る。
しかして本発明方法によれば次のような操作により従来
の解析法では得られなかった組織解析に関する定量的な
情報を得ることができた。
の解析法では得られなかった組織解析に関する定量的な
情報を得ることができた。
第2図および第3図は、オーステナイト鋼のクロム濃度
分布の本発明方法による解析結果である。第2図は市販
されたままの鋼の解析結果で、第3図は同調を700°
Cで1%時間加熱した後の鋼の解析結果である。第2図
では、狭い濃度範囲内にほとんどの分析点があることを
示しておシ、クロム元素慣度分布が均一であることを示
している。第3図では、濃度範囲が広がっており、長時
間加熱による析出物の形成等に対応して濃度分布が不均
一になっていることがわかった。
分布の本発明方法による解析結果である。第2図は市販
されたままの鋼の解析結果で、第3図は同調を700°
Cで1%時間加熱した後の鋼の解析結果である。第2図
では、狭い濃度範囲内にほとんどの分析点があることを
示しておシ、クロム元素慣度分布が均一であることを示
している。第3図では、濃度範囲が広がっており、長時
間加熱による析出物の形成等に対応して濃度分布が不均
一になっていることがわかった。
応用例(1)
第4図は、前記オーステナイト鋼を700°Cで加熱し
、その過程での元素濃度分布状態を本発明法によって組
織解析した結果を応用した例であり、横軸に加熱時間を
縦軸に最大面積率の変化をとったものである。加熱に伴
って最大面積率が減少すなわち濃度分布が不均一になる
ことを定量的に把握することができた。
、その過程での元素濃度分布状態を本発明法によって組
織解析した結果を応用した例であり、横軸に加熱時間を
縦軸に最大面積率の変化をとったものである。加熱に伴
って最大面積率が減少すなわち濃度分布が不均一になる
ことを定量的に把握することができた。
応用例(2)
次に本発明の他の応用例について説明する。
先ず事業用ボイラ過熱器管及び主蒸気管として長時間使
用された21/4Cr−I Mo W4をはじめとする
フェライト系耐熱鋼のlmmX1mmの領域のMO濃度
を本発明に係るX tOマイクロアナライザにより多数
点(1000点X 1000点)分析することによって
測定し、全濃度範囲を0.2%間隔に分け。
用された21/4Cr−I Mo W4をはじめとする
フェライト系耐熱鋼のlmmX1mmの領域のMO濃度
を本発明に係るX tOマイクロアナライザにより多数
点(1000点X 1000点)分析することによって
測定し、全濃度範囲を0.2%間隔に分け。
全分析点数に対する各濃度範囲内にある分析点の数の割
合を面積率として濃度に対してプロットした。第5図は
未使用材のMo儂度分布11と長時間使用材のMO濃度
分布12を示したものである。
合を面積率として濃度に対してプロットした。第5図は
未使用材のMo儂度分布11と長時間使用材のMO濃度
分布12を示したものである。
長時間使用によるMO濃度の不均一化の程度をM。
濃度分布の面積率最大値13と分布スペクトルの半価幅
14によって整理して2種々の使用材について面積率最
大値と分布スペクトル半価幅とクリープ破断寿命消費率
との関係を示す余寿命評価基準線図を作成した。第6図
に2%Cr−1、M。
14によって整理して2種々の使用材について面積率最
大値と分布スペクトル半価幅とクリープ破断寿命消費率
との関係を示す余寿命評価基準線図を作成した。第6図
に2%Cr−1、M。
鋼のMO濃度分布の最大面積率による余寿命評価基準線
図を、第7図に半価幅による余寿命評価基準線図を示す
。次いで事業用ボイラで長時間使用された過熱器管の表
面部分のMo 4度分布を前記方法によって求め、前記
余寿命評価基準線図を適用して最大面積率と半価幅から
該過熱器管のクリープ破断寿命消費率を推定したところ
最大面積率による推定値が58%、半価幅による推定値
が56%であった。実際に該過熱器管のクリープ破断試
験を実施してクリープ破断寿命消費率を求めたところ、
その値は51.4%であり。
図を、第7図に半価幅による余寿命評価基準線図を示す
。次いで事業用ボイラで長時間使用された過熱器管の表
面部分のMo 4度分布を前記方法によって求め、前記
余寿命評価基準線図を適用して最大面積率と半価幅から
該過熱器管のクリープ破断寿命消費率を推定したところ
最大面積率による推定値が58%、半価幅による推定値
が56%であった。実際に該過熱器管のクリープ破断試
験を実施してクリープ破断寿命消費率を求めたところ、
その値は51.4%であり。
本発明の方法によって求めた寿命消費率と精度よく一致
していた。
していた。
一方オーステナイト鋼についてもCrg度分布について
前記方法に従って余寿命評価線図を作成し、長時間使用
材のOr濃度分布の最大面積率と半価幅から該使用材の
クリープ破断寿命消費率から余寿命を評価したところク
リープ破断試験による結果と精度よく一致していた。
前記方法に従って余寿命評価線図を作成し、長時間使用
材のOr濃度分布の最大面積率と半価幅から該使用材の
クリープ破断寿命消費率から余寿命を評価したところク
リープ破断試験による結果と精度よく一致していた。
従って9本発明法を応用して濃度分布の最大面積率や半
価幅を得て、材料ごとにクリープ破断寿命消費率を整理
しておくことにより、高温で長時間使用された実機部材
の最大面積率又は半価1陥から当該部材の予寿命を推定
することができる。
価幅を得て、材料ごとにクリープ破断寿命消費率を整理
しておくことにより、高温で長時間使用された実機部材
の最大面積率又は半価1陥から当該部材の予寿命を推定
することができる。
以上詳述した如く1本発明によれば物質表面の濃度分布
を面積率分布として定敏的に把握することができ1機械
部品の品質管理、長時間高温で使用された耐熱部品の劣
化調査等て有効に応用しうる。
を面積率分布として定敏的に把握することができ1機械
部品の品質管理、長時間高温で使用された耐熱部品の劣
化調査等て有効に応用しうる。
第1図は本発明の一実施例における物質表面の組織解析
に用いられる装置を示す概略図、第2図乃至第3図はオ
ーステナイト鋼のクロム濃度分布を本発明方法により分
析1表示した線図。 第4図乃至第7図は本発明の詳細な説明する線図である
。 l・・・電子発生器、2・・・電子ビーム、3・・・試
料。 4・・・試料駆動制御装置、5・・・特性X線、6・・
・X線検出器、7・・・記憶装置、8・・・電算機、9
・・・ディスプレイ装置 第1図 第2図 第3日 第4図 加熱時間
に用いられる装置を示す概略図、第2図乃至第3図はオ
ーステナイト鋼のクロム濃度分布を本発明方法により分
析1表示した線図。 第4図乃至第7図は本発明の詳細な説明する線図である
。 l・・・電子発生器、2・・・電子ビーム、3・・・試
料。 4・・・試料駆動制御装置、5・・・特性X線、6・・
・X線検出器、7・・・記憶装置、8・・・電算機、9
・・・ディスプレイ装置 第1図 第2図 第3日 第4図 加熱時間
Claims (1)
- 物質表面の濃度分布を測定する方法において、材料表面
に電子線を二次元的に連続して照射し、各照射点から発
生する特性X線をX線検出器によって検出し、特性X線
計数値から得られる元素濃度を任意の濃度範囲毎に分類
し、全分析点数に対する任意の濃度範囲内にある分析点
数の割合を濃度に対して表示することを特徴とする物質
表面の組織解析方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61077050A JPS62233750A (ja) | 1986-04-03 | 1986-04-03 | 物質表面の組織解析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61077050A JPS62233750A (ja) | 1986-04-03 | 1986-04-03 | 物質表面の組織解析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62233750A true JPS62233750A (ja) | 1987-10-14 |
Family
ID=13622954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61077050A Pending JPS62233750A (ja) | 1986-04-03 | 1986-04-03 | 物質表面の組織解析方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62233750A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57142551A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-03 | Nippon Steel Corp | Determination of foreign matter in metal |
-
1986
- 1986-04-03 JP JP61077050A patent/JPS62233750A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57142551A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-03 | Nippon Steel Corp | Determination of foreign matter in metal |
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