JPS6222036A - 光フアイバ放射温度計の校正方法 - Google Patents
光フアイバ放射温度計の校正方法Info
- Publication number
- JPS6222036A JPS6222036A JP60161579A JP16157985A JPS6222036A JP S6222036 A JPS6222036 A JP S6222036A JP 60161579 A JP60161579 A JP 60161579A JP 16157985 A JP16157985 A JP 16157985A JP S6222036 A JPS6222036 A JP S6222036A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- calibration
- light
- light source
- radiation thermometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光ファイバ放射温度計の校正方法に関するもの
である。
である。
（従来技術）
放射温度計の校正は従来は次のように行なわれていた。
標準黒体炉を、校正したい放射温度計により温度測定し
、その読み取り温度値を予め判明している黒体炉の真の
温度値と比較する０次に黒体炉の温度設定値を何点か変
えて同様な測定を行なって複数の温度デー２を得る。こ
のデータから温度誤差が少ない場合は放射温度計は正常
動作していると判定し、温度誤差が大きい場合は校正曲
線を新しく作ったり、機器を調整する事で正しい温度を
表示するようにする。この一連の校正により放射温度計
が常に正確に温度表示されるようになる。
、その読み取り温度値を予め判明している黒体炉の真の
温度値と比較する０次に黒体炉の温度設定値を何点か変
えて同様な測定を行なって複数の温度デー２を得る。こ
のデータから温度誤差が少ない場合は放射温度計は正常
動作していると判定し、温度誤差が大きい場合は校正曲
線を新しく作ったり、機器を調整する事で正しい温度を
表示するようにする。この一連の校正により放射温度計
が常に正確に温度表示されるようになる。
校正は通常は半年か一年毎に行なわれる。
また光ファイバ放射温度計の場合は次のようにして校正
されることもある。
されることもある。
光ファイバは赤外線を遠隔伝送できるため、プロセス制
御襟に使用されることが多い、この場合は光ファイバが
数十ｍ以上も保護管を通って現場に設置されていること
が多い、このような光ファイバ放射温度計の場合は、測
定現場に黒体炉を持込み、第３図のように光ファイバ放
射温度計Ａの集光ヘッドＢで黒体炉Ｃからの赤外線を受
光して校正されている。
御襟に使用されることが多い、この場合は光ファイバが
数十ｍ以上も保護管を通って現場に設置されていること
が多い、このような光ファイバ放射温度計の場合は、測
定現場に黒体炉を持込み、第３図のように光ファイバ放
射温度計Ａの集光ヘッドＢで黒体炉Ｃからの赤外線を受
光して校正されている。
（従来技術の問題点）
黒体炉を測定現場に持込む測定方法の場合は次のような
問題があった。
問題があった。
（１）黒体炉は精密な標準器であるため、環境の悪い現
場へ持ち込んで使用するのは望ましくない（２）黒体炉
の温度が安定するのに１点につき約１〜２時間かかるた
め、５点以上とれば半日かかり、校正作業に時間かかる
。
場へ持ち込んで使用するのは望ましくない（２）黒体炉
の温度が安定するのに１点につき約１〜２時間かかるた
め、５点以上とれば半日かかり、校正作業に時間かかる
。
（３）黒体炉は大型（寸法が約４００Ｘ４００Ｘ３００
）であり、しかも重い（約１０Ｋｇ）ので運搬に不便で
ある。
）であり、しかも重い（約１０Ｋｇ）ので運搬に不便で
ある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の目的は光ファイバ放射温度計の校正を小型で軽
量な測定装置により現場で容易にしかも短時間で行なう
ことができるようにすることにある。
量な測定装置により現場で容易にしかも短時間で行なう
ことができるようにすることにある。
本発明の測定方法は、第１図、第２図に示すように１校
正用光源１に発光ダイオード、レーザダイオードなどの
発光素子を使用し、この校正用光源ｌに光ファイバ放射
温度計の光ファイバ２を連結して校正するようにしたも
のである。
正用光源１に発光ダイオード、レーザダイオードなどの
発光素子を使用し、この校正用光源ｌに光ファイバ放射
温度計の光ファイバ２を連結して校正するようにしたも
のである。
（実施例１）
第１図は本発明の一実施例を示すものである。
第１図に示すものは校正用光源ｌとして、電流により一
定光量を発光する発光ダイオード、レーザダイオードな
どの発光素子を使用し、校正用光源ｌに流れる電流値を
電流設定器３により制御するようにしである。この校正
用光源ｌは光フィバコネクタ用レセプタクル４に組み込
まれており、このレセプタクル４に光ファイバ放射温度
計の集光ヘッド５より外した光ファイバ２の先端の光コ
ネクタフェルール７を挿入し、このフェルール７の端面
より入射した光が光ファイバ２を通って光検出器８に入
射され、信号処理回路９により温度に換算されるように
したものである。
定光量を発光する発光ダイオード、レーザダイオードな
どの発光素子を使用し、校正用光源ｌに流れる電流値を
電流設定器３により制御するようにしである。この校正
用光源ｌは光フィバコネクタ用レセプタクル４に組み込
まれており、このレセプタクル４に光ファイバ放射温度
計の集光ヘッド５より外した光ファイバ２の先端の光コ
ネクタフェルール７を挿入し、このフェルール７の端面
より入射した光が光ファイバ２を通って光検出器８に入
射され、信号処理回路９により温度に換算されるように
したものである。
校正に際しては電流設定器３により電流値を変
「えることが黒体炉の温度設定を変える
ことと等価となるので、複数の電流値における表示温度
を読むだけでよい。
「えることが黒体炉の温度設定を変える
ことと等価となるので、複数の電流値における表示温度
を読むだけでよい。
以下の手順は従来の校正方法と同様にすればよい、その
手順は具体的には次のようにする。
手順は具体的には次のようにする。
正しい動作状態の光ファイバ放射温度計の場合、電流値
が５ｍＡのときは表示温度が６００℃、１０ｍＡのとき
′は６５０℃というように記録しておく。
が５ｍＡのときは表示温度が６００℃、１０ｍＡのとき
′は６５０℃というように記録しておく。
次回の校正時に同じ校正用光源ｌに同じ値の電流例えば
１０ｍＡを流し、そのとき６５０℃と表示されればこの
光ファイバ放射温度計は正常動作していると判断できる
。
１０ｍＡを流し、そのとき６５０℃と表示されればこの
光ファイバ放射温度計は正常動作していると判断できる
。
またこのときｌｏｍＡで６４０℃というような前回と異
なった値が表示されればその放射温度計は正常動作して
いないので、調整を行なう必要があると判断できる。
なった値が表示されればその放射温度計は正常動作して
いないので、調整を行なう必要があると判断できる。
この校正方法は光フィバなしの放射温度計とか光７アバ
熱物体検出装置の動作チェックにも使用することができ
る。
熱物体検出装置の動作チェックにも使用することができ
る。
（実施例２）
第２図は本発明の異なる実施例を示すものであ第１図の
実施例は光学へラド５を外して校正を行なう方法である
が、第２図は光学ヘッドをつけた状態で校正を行なう方
法である。
実施例は光学へラド５を外して校正を行なう方法である
が、第２図は光学ヘッドをつけた状態で校正を行なう方
法である。
光学ヘッドをつけたままの場合は、光軸ズレの問題が大
きいため第２図のように校正用光源ｌに拡散板１０を取
り付ければよい。
きいため第２図のように校正用光源ｌに拡散板１０を取
り付ければよい。
第２図において１は発光素子を用いた校正用光源、１１
は同党源ｌからの光を均一に広げるレンズ、１０は光軸
ズレが生じても問題が生じにくくするために拡散光の角
度依存性を少なくした拡散板である。
は同党源ｌからの光を均一に広げるレンズ、１０は光軸
ズレが生じても問題が生じにくくするために拡散光の角
度依存性を少なくした拡散板である。
この校正方法も光ファイバなしの放射温度計や熱物体検
出装置のチェックにも使用できる。
出装置のチェックにも使用できる。
なお本発明では黒体炉からの赤外線の代りに発光素子か
らの赤外線を使用しているため１発光スペクトルは黒体
炉が広く、発光素子は狭いという点で異なるが、検出器
においてはスペクトルに関係なく光量に比例した電力が
発生するので特に問題はない。
らの赤外線を使用しているため１発光スペクトルは黒体
炉が広く、発光素子は狭いという点で異なるが、検出器
においてはスペクトルに関係なく光量に比例した電力が
発生するので特に問題はない。
（発明の効果）
本発明は校正用光源ｌとして黒体炉ではなく発光素子を
使用するものであるため１次のような各種効果がある。
使用するものであるため１次のような各種効果がある。
（１）光量の安定性が良い。
（２）温度が非常に短い時間（１秒以下）で安定するの
で単時間で校正を行なうことができる。
で単時間で校正を行なうことができる。
（３）定電流電源により駆動する回路を含めても約２Ｋ
ｇと軽量かつ小型となるため携帯に便利である。
ｇと軽量かつ小型となるため携帯に便利である。
（４）電源として電池を使用すれば更に小型、軽量にな
り、現場への携帯が更に便利になる。
り、現場への携帯が更に便利になる。
（５）校正用光源１が黒体炉でないため現場へ携帯して
も支障がない。
も支障がない。
（６）発光素子は一般に光通信に多く使用されているの
で安価である。
で安価である。
（７）校正用光源１として、光通信で使用される０、８
３，１．３，１．５終ｍの発光ダイオード、レーザダイ
オードを使用すれば、特に長寿命となり出力も安定性す
る。
３，１．３，１．５終ｍの発光ダイオード、レーザダイ
オードを使用すれば、特に長寿命となり出力も安定性す
る。
（８）特許請求の範囲第２項に記載のように、校正用光
源１に拡散光の角度依存性を少なくした拡散板１０を取
付ければ、光軸ズレの問題が生じにくくなるため、光フ
ァイバ６を光学へラド５をつけたまま校正用光源ｌに接
続することができる。
源１に拡散光の角度依存性を少なくした拡散板１０を取
付ければ、光軸ズレの問題が生じにくくなるため、光フ
ァイバ６を光学へラド５をつけたまま校正用光源ｌに接
続することができる。
このようにすれば光学へラド５を取り外す手間が不要に
なり、窓材の汚れのチェックも併せて行なうことができ
るため非常に便利である。
なり、窓材の汚れのチェックも併せて行なうことができ
るため非常に便利である。
第１図、第２図は本発明の異なる実施例を示す説明図、
第３図は従来の方法の説明図である。 ｌは校正用光源 ２は光ファイバ
第３図は従来の方法の説明図である。 ｌは校正用光源 ２は光ファイバ
Claims (2)
- （１）校正用光源に発光ダイオード、レーザダイオード
などの発光素子を使用し、この校正用光源に光ファイバ
放射温度計の光ファイバを連結して校正を行なうように
したことを特徴とした光ファイバ放射温度計の校正方法
。 - （２）校正用光源に輝度に視る角度依存性を少なくした
拡散板を取付けてなる特許請求の範囲第１項記載の光フ
ァイバ放射温度計の校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60161579A JPS6222036A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | 光フアイバ放射温度計の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60161579A JPS6222036A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | 光フアイバ放射温度計の校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6222036A true JPS6222036A (ja) | 1987-01-30 |
Family
ID=15737803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60161579A Pending JPS6222036A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | 光フアイバ放射温度計の校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6222036A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275433U (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | ||
| EP0599494A2 (en) * | 1992-11-25 | 1994-06-01 | Canon Information Systems, Inc. | Correlated color temperature detector |
| EP0756159A1 (en) * | 1995-07-26 | 1997-01-29 | Applied Materials, Inc. | A method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| EP0798547A2 (en) * | 1996-03-28 | 1997-10-01 | Applied Materials, Inc. | A method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| US5938335A (en) * | 1996-04-08 | 1999-08-17 | Applied Materials, Inc. | Self-calibrating temperature probe |
| US6179465B1 (en) | 1996-03-28 | 2001-01-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039941B2 (ja) * | 1984-05-14 | 1985-09-09 | 松下冷機株式会社 | 製氷機 |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP60161579A patent/JPS6222036A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039941B2 (ja) * | 1984-05-14 | 1985-09-09 | 松下冷機株式会社 | 製氷機 |
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| US6086245A (en) * | 1995-07-26 | 2000-07-11 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| EP0798547A2 (en) * | 1996-03-28 | 1997-10-01 | Applied Materials, Inc. | A method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| US6179465B1 (en) | 1996-03-28 | 2001-01-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources |
| EP0798547A3 (en) * | 1996-03-28 | 1998-03-04 | Applied Materials, Inc. | A method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| KR100512191B1 (ko) * | 1996-03-28 | 2005-10-21 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 열처리시스템내의온도프로브의교정방법및장치 |
| US5938335A (en) * | 1996-04-08 | 1999-08-17 | Applied Materials, Inc. | Self-calibrating temperature probe |
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