JPS62219611A - Etcher - Google Patents

Etcher

Info

Publication number
JPS62219611A
JPS62219611A JP61062399A JP6239986A JPS62219611A JP S62219611 A JPS62219611 A JP S62219611A JP 61062399 A JP61062399 A JP 61062399A JP 6239986 A JP6239986 A JP 6239986A JP S62219611 A JPS62219611 A JP S62219611A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
etching
carbon electrodes
aluminum foil
current
current density
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61062399A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0240758B2 (en
Inventor
小池 厚
樋口 寿夫
隆司 土屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Elna Co Ltd
Original Assignee
Elna Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Elna Co Ltd filed Critical Elna Co Ltd
Priority to JP61062399A priority Critical patent/JPS62219611A/en
Publication of JPS62219611A publication Critical patent/JPS62219611A/en
Publication of JPH0240758B2 publication Critical patent/JPH0240758B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は電解コンデンサ用アルミニウム箔を連続的にエ
ツチングするためのエツチング装置に関するものである
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an etching device for continuously etching aluminum foil for electrolytic capacitors.

[従来の技術] 一般に、電解コンデンサ用アルミニウム箔は静電容量を
増大させるために適当な電解液中でその表面をエツチン
グにより増大している。
[Prior Art] Generally, the surface of aluminum foil for electrolytic capacitors is etched in a suitable electrolyte to increase the capacitance.

このエツチング方法は電解コンデンサの用途により中高
圧用(中高電圧用)と低圧用(低電圧用)とに大別され
る。特に、低圧用電解コンデンサにおける低圧用エツチ
ング箔では、エツチングにより形成される凹凸は微細な
ものほど良いために、エツチング箔をエツチング後に速
かに電解液中から引上げないと、微細な凹凸が電解液中
で溶解し、粗面化率が低下してしまうものである。
This etching method is broadly divided into medium-high voltage (medium-high voltage) and low-voltage (low voltage) etching methods depending on the use of the electrolytic capacitor. In particular, for low-voltage etched foils in low-voltage electrolytic capacitors, the finer the unevenness formed by etching, the better. This causes the surface roughening rate to decrease.

そこで、エツチング箔をエツチング後に速かに電解液中
から引上げるように構成したエツチング装置として、特
公昭42−21410号「電解蓄電器用アルミニウム箔
のエツチング方法」がすでにある。第4図に示すように
、このエツチング装置(1)は適当な電解液(2)を満
した電解槽(3)内に一対のカーボン電極(4)、(5
)を相対向させて縦設し、給電ローラ(6)、(7)を
電解槽(3)外に配設し、また電解槽(3)内には中間
ローラ(8)、(9)を配設し、給電ローラ(6)、(
7)とカーボン電極(4)、(5)との間に電源(10
)を接続し、アルミニウム箔(11)を第1の給電ロー
ラ(6)側から導入し、第1の中間ローラ(′8)およ
び第2(7)’中間・−ラ(9)を介し、カーボン電極
(4)、(5)間を通過させ、第2の給電ローラ(7)
側から導出するようにしたものである。このエツチング
装置(1)におけるアルミニウム!(11)のエツチン
グは、カーボン電極(4)、(5)の下端間に進入した
時点からエツチングが開始し、その上端に向けて移行す
る間にエツチングが進行し、電解液(2)から引上げら
れると終了することになる。エツチング用の電源として
は交流電源、直流電源のほか、パルス電源あるいはこれ
らの組合せ電源などがある。また、カーボン電極(4)
、(5)には余分な電流が流れないようにその背面、底
面あるいは側面などに電流を遮断するための絶縁板(1
2)が設けられることもある。
Therefore, as an etching device configured to quickly pull up the etching foil from the electrolytic solution after etching, there is already a Japanese Patent Publication No. 42-21410 entitled ``Method for Etching Aluminum Foil for Electrolytic Condenser''. As shown in Fig. 4, this etching device (1) has a pair of carbon electrodes (4) and (5) in an electrolytic cell (3) filled with a suitable electrolyte (2).
) are arranged vertically facing each other, power supply rollers (6) and (7) are arranged outside the electrolytic cell (3), and intermediate rollers (8) and (9) are arranged inside the electrolytic cell (3). The power supply roller (6), (
7) and the carbon electrodes (4) and (5), a power source (10
), the aluminum foil (11) is introduced from the first power supply roller (6) side, and the aluminum foil (11) is introduced from the first intermediate roller ('8) and the second (7)' intermediate roller (9), The carbon electrodes (4) and (5) are passed through the second power supply roller (7).
This is derived from the side. Aluminum in this etching device (1)! Etching (11) starts from the moment the carbon electrodes enter between the lower ends of the electrodes (4) and (5), progresses while moving toward the upper end, and is removed from the electrolytic solution (2). If it happens, it will end. Power sources for etching include AC power, DC power, pulse power, and a combination of these power sources. Also, carbon electrode (4)
, (5) has an insulating plate (1) on its back, bottom or side to prevent excess current from flowing.
2) may also be provided.

[発明が解決しようとする問題点1 次に、アルミニウム箔を電解エツチングする際に、第5
図に示すように一定電圧を印加すると、承6図に示すよ
うな時間に対する電流の変化が見られることはよく知ら
れている。これは、アルミニウム箔の表面に自然酸化に
より形成された酸化皮膜がエツチングの開始時に界面抵
抗を高くし、電流の流れを抑制する働きをするためによ
るものである。しかし、エツチングが進行し、酸化皮膜
が破壊されるに伴って電流は上昇し、所定の電流に収束
する。
[Problem to be solved by the invention 1 Next, when electrolytically etching aluminum foil,
It is well known that when a constant voltage is applied as shown in the figure, the current changes with time as shown in Figure 6. This is because the oxide film formed on the surface of the aluminum foil by natural oxidation increases the interfacial resistance at the start of etching and functions to suppress the flow of current. However, as etching progresses and the oxide film is destroyed, the current increases and converges to a predetermined current.

□  すなわち、エツチングの開始時点では電流密度は
所定の電流密度より低く、この電流密度の低いことによ
り電流のアルミニウム箔への集中化が起こり、均一なエ
ツチングの進行を妨げ、ひいてはエツチング箔の粗面化
率の低下を招いているものである。
□ That is, at the start of etching, the current density is lower than the predetermined current density, and this low current density causes the current to concentrate on the aluminum foil, hindering the progress of uniform etching, and eventually causing the rough surface of the etching foil. This is causing a decline in the conversion rate.

そこで、一般的には一定電圧を印加するのではなく、一
定電流が流れるように定電流制御を行なっている。しか
し、第4図に示したエツチング装置(1)を使用してエ
ツチングする場合は、エツチングの開始時点(X)では
所定の電流密度でアルミニウム箔(11)がエツチング
されず、前述した一定電圧を印加した場合と同様な現象
が生じているものである。つまり、定電流コントロール
電源(10)により一定電流を流した場合、カーボン電
極(4)、(5)全体マは一定電流になる。しかし、ア
ルミニウム’la (11)がカーボン電極(4)、(
5)の下端から上端に向けて移動している場合、カーボ
ン電極(4)、(5)間の電解液(2,)面付近(Z)
およびカーボン電極(4)、(5)の中間付近(Y)、
に位置するアルミニウム箔(11)はエツチングが充分
に進行しており、酸化皮膜は殆、ど存在せず、界面抵抗
、は堺く、電流は流れ易くなっている。惧れに対し、カ
ーボン電極(4)、(5)の下端間付近(芥)1に位置
するアルミニウム箔(11)はカーボン電極(4)、(
5)間に突入した直後であり、、高い界面抵抗があり、
電流は流れ難くなっている。このこと相より、第7図に
示すようにカーボン電極(4)、(5)間に位置するア
ルミニウム笥、(11)にあってはその長さ方向に電流
密度が不均一となっている。第7図に示した電流密度曲
線と第6図に示した電流曲線とは非常に類似している。
Therefore, instead of applying a constant voltage, constant current control is generally performed so that a constant current flows. However, when etching is performed using the etching apparatus (1) shown in FIG. The same phenomenon occurs when the voltage is applied. That is, when a constant current is caused to flow by the constant current control power source (10), the carbon electrodes (4) and (5) as a whole have a constant current. However, aluminum'la (11) is carbon electrode (4), (
5) When moving from the lower end to the upper end, near the electrolyte (2,) surface (Z) between the carbon electrodes (4) and (5)
and near the middle of carbon electrodes (4) and (5) (Y),
The aluminum foil (11) located at 1 has been sufficiently etched, there is almost no oxide film, the interfacial resistance is high, and current flows easily. In contrast, the aluminum foil (11) located near the lower ends of the carbon electrodes (4), (5) (1)
5) Immediately after entering the gap, there is high interfacial resistance,
Current is becoming difficult to flow. Because of this, as shown in FIG. 7, the current density is non-uniform in the length direction of the aluminum tray (11) located between the carbon electrodes (4) and (5). The current density curve shown in FIG. 7 and the current curve shown in FIG. 6 are very similar.

このことから判るように、エツチングの開始時点(X)
は所定の電流密度より著しく低くなっており、電流密度
の低いことにより電流の集中化が起こり、均一なエツチ
ングの進行を妨げているもので今る。、シ、たがって、
従来は目的とする高粗面化率を有する電解コンデンサ用
アルミニウム電極箔を得ることができないもので、あっ
た。
As can be seen from this, the starting point of etching (X)
The current density is significantly lower than the predetermined current density, and the low current density causes current concentration, which hinders the progress of uniform etching. , shi, then,
Conventionally, it has been impossible to obtain an aluminum electrode foil for electrolytic capacitors having the desired high surface roughening ratio.

[問題点を解決するための手段] しかる←、本発明は上述したエツチングの開始時点の電
流密度を所定値まで引上げることにより高粗面化率を有
する電解コンデンサ用アルミニウム箔を得ることが可能
なエツチング装置を提供するものであり、具体的には相
対向する一対のカー 。
[Means for Solving the Problems] However, the present invention makes it possible to obtain an aluminum foil for electrolytic capacitors having a high surface roughening rate by increasing the current density at the start of etching to a predetermined value. The purpose of the present invention is to provide an etching device, specifically a pair of facing etching devices.

ずン電極のそれぞれの下端の相対向する位置に突□ 山部を設けたものである。□ At the opposite positions of the lower ends of each electrode. It has a mountain part.

[実施例] 以下、本発明に係るエツチング装置(IA)を!1図乃
至第3図にもとづいて説明する・説明に先立って、第4
図に示した従来例と同一6箇所については同一符号を付
す、そして、本発明においては特に改良した箇所につい
てのみ説明を加えるものとする。
[Example] Hereinafter, an etching apparatus (IA) according to the present invention will be described! The explanation will be based on Figures 1 to 3. ・Prior to the explanation, please refer to Figure 4.
Six parts that are the same as those in the conventional example shown in the figure are given the same reference numerals, and in the present invention, only particularly improved parts will be explained.

第1図に示すように、一対のカーボン電極(4)、(5
)の下端にエツチングの開始時点の電流密度を所定値ま
で引上げるために、それぞれ相対向する突出部(41)
、(51)を形成する。この突出部(41)、(51)
はカーボン電極(4)、(5)と一体または別体構造と
して形成される。突出部(41)、(51)の形状は、
第1図に示すように三角形状、第2図に示すように矩形
状、第3図に示すように台形状など、種々の形状を例示
することができる。
As shown in Figure 1, a pair of carbon electrodes (4) and (5)
) are provided with protrusions (41) facing each other in order to raise the current density at the start of etching to a predetermined value.
, (51) are formed. These protrusions (41), (51)
are formed integrally with the carbon electrodes (4) and (5) or as a separate structure. The shapes of the protrusions (41) and (51) are as follows:
Various shapes can be exemplified, such as a triangular shape as shown in FIG. 1, a rectangular shape as shown in FIG. 2, and a trapezoidal shape as shown in FIG. 3.

両カーボン電極(4)、(5)間の距離<a>と両案山
部(41)、(51)間の距離(b)はエツチング条件
によって異なるが、例えば厚さが100μmのアルミニ
ウム箔(11)を電流密度400 m A / Cm 
”でもってエツチングするような場合、距離(a)とし
ては50 m m、距離(b)としては15mmを例示
することができる。
The distance <a> between both carbon electrodes (4) and (5) and the distance (b) between both guide portions (41) and (51) vary depending on the etching conditions, but for example, an aluminum foil with a thickness of 100 μm ( 11) Current density 400 mA/Cm
In the case of etching with ``Distance (a)'', distance (a) may be 50 mm, and distance (b) may be 15 mm.

次に、具体的なエツチングとその効果について述べる。Next, we will discuss specific etching and its effects.

電解液(2)の組成を、Hc(2が0.5pa 、 A
 I2c II sが0.5M%H2SO4が0.05
M、’H,PO4が0.5Mとし、液温6o℃で、かつ
電流密度が400mA/cm2で、純度が91.99%
のアルミニウム1m(11)をエツチングする。次に、
エツチングしたアルミニウム箔(11)をアジピン酸ア
ンモニウム系水溶液にて50vの電圧を印加して化成す
る。このようにして製造された化成箔(実施例)と従来
例について静電容量と折曲強度との対比を第1表に示す
The composition of the electrolytic solution (2) is Hc (2 is 0.5 pa, A
I2c II s is 0.5M% H2SO4 is 0.05
M, 'H, PO4 are 0.5M, the liquid temperature is 6o℃, the current density is 400mA/cm2, and the purity is 91.99%.
1m (11) of aluminum is etched. next,
The etched aluminum foil (11) is chemically converted with an ammonium adipate aqueous solution by applying a voltage of 50V. Table 1 shows a comparison between the capacitance and bending strength of the chemically formed foil (Example) manufactured in this way and the conventional example.

実施例1は第1図に示したカーボン電極(4)、(5)
を使用したもの、実施例2は第2図によるもの、実施例
3は第3図によるものである。
Example 1 uses the carbon electrodes (4) and (5) shown in FIG.
Example 2 is shown in FIG. 2, and Example 3 is shown in FIG. 3.

なお、従来例は第4図に示した従来のエツチング装置に
より上述したエツチング条件および化成条件により得た
ものである。
The conventional example was obtained using the conventional etching apparatus shown in FIG. 4 under the above-mentioned etching conditions and chemical formation conditions.

第1表から判るように、本発明によって製造されたエツ
チング箔は従来例より静電容量が大きく、また折曲強度
が大きいものを得ることができるものである。
As can be seen from Table 1, the etching foil manufactured according to the present invention has a higher capacitance and a higher bending strength than the conventional example.

[効果] 以上に述べたように、本発明においてはエツチング装置
の相対向する一対のカーボン電極のそれぞれの下端の相
対向する位置に突出部を形成したので、従来のようにア
ルミニウム箔のエツチング開始時点におけるアルミニウ
ム箔の不均一な溶解を防止することができるものである
。このため、高粗面化率を有するエツチング箔を提供す
ることができるものである。
[Effects] As described above, in the present invention, since the protrusions are formed at opposite positions of the lower ends of each of the pair of oppositely facing carbon electrodes of the etching device, it is difficult to start etching the aluminum foil as in the conventional method. This makes it possible to prevent uneven melting of the aluminum foil at this point. Therefore, it is possible to provide an etching foil having a high surface roughening rate.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係るエツチング装置を示す図、第2図
および第3図はカーボン電極の他の形状を示す図、第4
図は従来のエツチング装置を示す図、第5図は印加電圧
特性を示す図、第6図は電流特性を示す図、第7図は第
4図に示したエツチング装置でのアルミニウム箔とカー
ボン電極間の長さ方向における電流密度の関係を示す図
である。 図中、(1)、(IA)・・・エツチング装置、  (
2)・・・電解液、   (3)・・・電解槽、  (
4)、(5)・・・カーボン電極、(6)、(7)、(
8)、(9)  ・・・ローラ、(10)・・・電源、
  (11)・・・アルミニウム箔、  (12)・・
・絶縁板、  (41)。 (51)・・・突出部。 特許出願人  エルナー株式会社 第5図 晴T 第61 第7図□
FIG. 1 is a diagram showing an etching apparatus according to the present invention, FIGS. 2 and 3 are diagrams showing other shapes of carbon electrodes, and FIG.
The figure shows a conventional etching apparatus, Fig. 5 shows applied voltage characteristics, Fig. 6 shows current characteristics, and Fig. 7 shows aluminum foil and carbon electrodes in the etching apparatus shown in Fig. 4. It is a figure which shows the relationship of the current density in the length direction between. In the figure, (1), (IA)... etching device, (
2)... Electrolyte solution, (3)... Electrolytic cell, (
4), (5)... Carbon electrode, (6), (7), (
8), (9)...roller, (10)...power supply,
(11)...aluminum foil, (12)...
- Insulating plate, (41). (51)...Protrusion. Patent applicant Elnor Co., Ltd. Figure 5 Clear T Figure 61 Figure 7 □

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)電解液を満した電解槽内に一対のカーボン電極を
縦設し、両カーボン電極の下端の間隙からアルミニウム
箔を導入してエッチングを開始し、アルミニウム箔の電
解液からの引上げに伴ってエッチングを終了するように
した連続エッチング装置において、両カーボン電極の下
端の相対向する位置に突出部を形成したことを特徴とす
るエッチング装置。
(1) A pair of carbon electrodes is installed vertically in an electrolyte bath filled with an electrolytic solution, and an aluminum foil is introduced from the gap between the lower ends of both carbon electrodes to start etching. What is claimed is: 1. A continuous etching apparatus which finishes etching at the end of the etching process, characterized in that protrusions are formed at opposing positions of the lower ends of both carbon electrodes.
JP61062399A 1986-03-20 1986-03-20 Etcher Granted JPS62219611A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61062399A JPS62219611A (en) 1986-03-20 1986-03-20 Etcher

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61062399A JPS62219611A (en) 1986-03-20 1986-03-20 Etcher

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62219611A true JPS62219611A (en) 1987-09-26
JPH0240758B2 JPH0240758B2 (en) 1990-09-13

Family

ID=13199018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61062399A Granted JPS62219611A (en) 1986-03-20 1986-03-20 Etcher

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62219611A (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0240758B2 (en) 1990-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4390407A (en) Electrolytic processing device for belt-shaped metal plates
JPH08316111A (en) Apparatus and method for manufacturing aluminum electrolytic capacitor
JPS62219611A (en) Etcher
JPH0474406A (en) Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPS628006B2 (en)
JPS62219612A (en) Etcher
JPH0620029B2 (en) Etching method for electrode foil for aluminum electrolytic capacitors
JPH0240760B2 (en)
JP3729013B2 (en) Manufacturing method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JP2802730B2 (en) Etching method of aluminum foil for electrolytic capacitor
JPS62219610A (en) Etcher
JP2847717B2 (en) Method for etching electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JP4428037B2 (en) Manufacturing method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPS623240B2 (en)
JP2005203529A (en) Method for manufacturing electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JP4423813B2 (en) Formation method of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPH10256096A (en) Electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and production thereof
JP2765105B2 (en) Method for producing electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPH0240908A (en) Etching device
JP2002246274A (en) Electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and its producing method
JPS61121420A (en) Manufacture of aluminum electrolytic capacitor
KR890000435B1 (en) The method which supply electric for aluminium foil in fluid
JPS63299309A (en) Manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor
JPS6119115A (en) Method of etching electrode foil for electrolytic condenser
JPS62113416A (en) Etching of aluminum foil for electrolytic capacitor