JPS62217684A - レ−ザ発振器におけるミラ−調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は例えば気体レーザ発振器に係り、さらに詳細に
は、気体レーザ発振器における出力ミラーあるいはりア
ミラーを微調整する４！置に閏する。

（従来の技術） 気体レーザ発振器には、高速軸流形、２軸直交形および
３軸直交形など種々の型式のものがあるが、いずれにし
ろ、リアミラーおよび出力ミラーを備えており、各ミラ
ーの角度調整は極めて厄介なものである。出力ミラーあ
るいはりアミラーを支承したミラーホルダは、レーザビ
ームの光軸に対し直交するＸ軸方向およびＹ軸方向へ僅
かに微動可能に設けられ、かつＸ軸およびＹ軸に平行な
各枢軸の回りに僅かに回動可能に設けられている。

（発明が解決しようとする問題点） 上記ミラーホルダの位置および角度調整は、ミラーホル
ダあるいはミラーホルダの周囲に配置された複数のマイ
クロメータを利用して微ｖＡ節しているのが一□般的で
ある。上述のごときミラーボルダの微調整は、例えばレ
ーザ発振器が装着されているレーザ加工機によって制限
される狭い所で行なわなければならず、また、レーザ発
振器の出力ミラーからレーザビームが出力されているた
め、ミラーボルダの微調整には危険が伴うことがある。

本発明の目的は、リアミラーあるいは出力ミラーを支承
したミラーボルダの微調整を容易に、かつ自動的に行な
い得るＪ：うにし、ざらにレーザ管の交換が容易に出来
るようにしたレーザ発振器にお（）るミラー調整装置を
提供するものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段］ 上記のごとき目的を達成づるために、本発明においでは
、支持プレートに支承されたミラーホルダに、出力ミラ
ー又はリアミラーを装着して設け、上記ミラーホルダを
、Ｘ軸方向に平行な第１軸の回りに揺動可能に設けると
共にＹ軸方向に平行な第２軸の回りに揺動可能に設け、
上記第１軸Ｊ５よび第２軸の回りにミラーホルダを自動
的に僅かに揺動づるための調整モータをミラーホルダの
側面側にそれぞれ設けてなるものである。

（作用） 本発明のミラー調整装置をレーザ発振器に採用すること
により、リアミラーあるいは出力ミラーを支承したミラ
ーホルダの微調整が容易にかつ自動的になされる。さら
に、レーザ管の交換も容易になされる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図を参照するに、総括的に符号１で示すのは一般的
なレーザ加工機で、レーザ発振器３を備えている。この
レーザ発振１３はレーザ加工機１の方向ヘレーザビーム
Ｌ８を発振するように構成してあって、レーザ加工８３
１１の後部側に装着しである。

レージ加工機１は、ベース５、ベース５から垂直に立設
したポスト７およびベース５の上方に水平にかつ片持式
にボスト７に支承されたオーバーへラドビーム９より構
成しである。ベース５上にはワークテーブル１１が備え
られており、このワークテーブル１１の上面には加工す
べきシート状のワークピースＷを水平に支持する多数の
スライドボールが回転自在に装着しである。前記オーバ
ーへラドビーム９の先端部には加工ヘッド組立体１３が
５部着してあり、この加工ヘッド組立体１３内には光学
系の１部をなすミラー組立体１５と集光レンズ１７が内
装しである。上記ミラー組立体１５は、レーザ発振器３
から発振されたレーザビーム１１３をワークピースＷの
方向へ反射するように構成しである。集光レンズ１７は
レーザビームＬＢを集光し、かつ例えば酸素のごときア
シストガスと共にワークピースＷヘレー１ｆビームＬＢ
を当てるように配設しである。したがって、上記構成の
レーザ加工機１は、レーザ発振器３からのし一ザビーム
１Ｂを受け、加工ヘッド組立体１３内の集光レンズ１７
を介してワークピースＷヘレーザビームＬＢを当てるよ
う構成しである。

加工すべきワークピースＷの移動、位置決めを行なうた
めに、レーザ加工ａ１は第１キヤリツジ１９を水平に移
動自在に備えると共に、ワークピースＷをクランプする
ための複数のクランプ装置２３を保持した第２キヤリツ
ジ２１を備えている。

第１キヤリツジ１９はベース５の上部両側に互に平行に
取付けた一対のレール２５に移動自在に支承されており
、駆動時における加工ヘッド−１立体１３の直下の加工
領域に対し接近離反自在である。

クランプ装置２３を保持した第２キヤリツジ２１は第１
キヤリツジ１９上に摺動自在に支承されており、ｔｔ記
レール２５に対し直交する方向へ駆動によって水平に移
動自在である。したがってクランプ装置２３に把持され
たワークピースＷは、第１、第２のキレリッジ１９．２
１の移動によりワークテーブル１１上において加工ヘッ
ド組立体１３の下方へ移送できるものである。

上記構成において、第１、第２キヤリツジ１９゜２１に
よりワークピースＷをワークテーブル１１上において加
工ヘッド組立体１３の直下に位置することにより、ワー
クピースＷはレーザビームＬＢによって加工される。勿
論、レーザ発振器３により発せられたシー１フビームｌ
−８は、加工ヘッド組立体１３へ与えられ、矢印で示す
ようにミラー組立体１５によって下方向へ指向される。

そして、集光レンズ１７により集光された後にワークピ
ースＷへ酸素のごときアシストガスと共に当てられる。

第２図を参照するに、前記レーザ発振器３は、仝休を支
持する支持架台２７と、支持架台２７上に支持されたレ
ーザ発振部２９と、レーザ発振部２９におけるミラー調
整や前記レーザ加工機１の光学系の調整に使用する調整
アタッチメント部３１等よりなる。すなわち、上記支持
架台２７は複数本の角パイプ材を長方形状に枠組してな
り、この支持架台２７の左右両側部に立設した箱状の支
持台３３Ａ、３３Ｂに前記レーザ発振部２９が支持され
ている。前記調整アタッチメント部３１は、レーザ発振
部２９の出力側にＪ５いて適宜一方の支持台３３Ａに装
着しである。

第２図より明らかなように、前記レーザ発振部２９から
還流されるＨｅ、Ｎ２　、ＣＯ２の混合気体よりなるレ
ーデ気体を冷却するために、前記支持架台２７の中央部
には比較的大きな主熱交換器３５が設けられている。こ
の主熱交換器３５は、冷却水等の冷媒を流入する屈曲管
を備えると共に多数の冷却フィン等を備えてなるもので
ある。

前記レーデ発振部２９は、励起光の共成、増幅を行なう
ために左右方向に延伸したレーザ管３７より成り、レー
ザ管３７の両端部は前記支持台３３Ａ、３３Ｂに支持さ
れた垂直な支持プレート３９Ａ、３９Ｂに支持されてい
る。上記支持プレート３９Ａ、３９Ｂはレーザ管３７の
延伸方向に対して直交する前後方向に延伸してあり、各
支持プレート３９Ａ、３９Ｂは複数本のタイロッド４１
によって一体的に連結しである。

レーザ管３７内ヘレーザ気体を供給するために、レーザ
管３７は気体循環駆動装置４３と接続してあり、かつレ
ーザ管３７内の放電によって加熱されたレーザ気体を冷
却するために、レーザ管３７は１）η旧主熱交換器３５
と接続しである。すなわち、気体循環駆動装＠４３は、
主熱交換器３５内の冷却されたレーザ気体を吸引してレ
ーザ管３７へ供給するもので、例えばルーツブロワ等よ
りなるもので、複数の防振ゴム４５を介して主熱交換器
３５の上面に支承されている。

上記気体循環駆動装置４３の上部には、気体循環駆動装
置４３によってレーザ気体に与えられた熱を除去して、
レーｌｆ管３７へ供給するレーザ気体をより確実に冷却
するための側熱交換器４７が設けである。側熱交換器４
７は、例えば水冷式の熱交換器よりなるらので箱状に形
成してあり、その上面には複数の接続管４９が垂直に取
付けである。また、６シ１熱交換器４７の両側面には複
数の連通管５１の基部が水平に接続しである。上記各連
通管５１の先端部はレーザ管３７の両端部付近へ延伸し
てＪ３す、その先端部付近は防振ゴム５３を介して前記
支持台３３Ａ、３３Ｂに取付（）た支持ブロック５５に
支持されている。したがって、気体循環駆動装置４３の
振動が支持架台２７や支持台３３Ａ、３３［３へ伝達さ
れるようなことがない。

前記気体循環層１ＦＩＪ装置４３から送出されるレーザ
気体をレーザ管３７へ供給するために、前記各接続管４
９はレーザ管３７の中央部付近に接続してあり、各連通
管５１の先端部はレーザ管３７の両端部付近に接続しで
ある。より詳細には、前記レーザ管３７は、中央管体５
７と両側の端部管体５９．６１とに３分割してあり、接
続管４９は中央管体５７に、また連通管５１はそれぞれ
端部管体５９．６１にシリコンゴム等よりなる円筒形状
の可撓性の継手部材６３を介してそれぞれ接続しである
。したがって、気体循環駆動装置４３の振動がレーザ管
３７に伝達されるよう１．’にとがないと共に、接続管
７１９とレーザ管３７とのあらゆる方向への微小な位置
ずれを吸収し得るものである。

シー１ｆ管３７内において放電を生じせしめるために、
レーザ管３７の複数箇所には対をなす陽極と陰極が配設
してあり、かつ放電によって加熱されたレーザ管３７内
のレーザ気体を冷却するために、レーザ管３７は前記主
熱交換器３５と接続しＣある。すなわち、前記各継手部
材６３内には、それぞれ陽極（図示省略）が配設してあ
り、レーザ管３７における中央管体５７と両側の端部管
体５９．６１との間には、下端部を蛇腹を介、して主熱
交換器３５に接続し上端部を丁字形に形成した気体帰還
路６５が陰極（図示省略）を内装した複数の陰極組立体
６７を介して接続しである。上記陰極組立体６７は、左
右の支持プレート３９Ａ。

３９Ｂを連結したタイロッド４１に支承されたホルダプ
レート６９に支持されている。

上記構成により、気体循環駆動装置４３から側熱交換器
４７を経てレーザ管３７へ供給されたレーザ気体は、気
体帰還路６５を経て主熱交換器３５へ流入し、該主熱交
換器３５において冷却された侵、気体循環駆動装置４３
へ吸入され、側熱交換器４７においてより確実に冷却さ
れて再びレーザ管３７へ供給されるものである。

既に明らかなように、レーザ管３７内には、対をなす陽
極と陰極による放電区域が複数箇所設けてあり、６５７
ｔｉによって加熱されたレーザ管３７内のレーザ気体は
前述の各気体帰還路６５を経て主熱交換器３５へ還流さ
れる。前記レーザ管３７内の放電により電離した状態の
レーザ気体を中和するために、各気体帰還路６５の途中
には適宜の触媒が設けである。すなわち、各気体帰還路
６５の途中には拡大部７１が形成してあり、この拡大部
７１内には、例えば白金を担持したハニカム形状の活性
アルミナ触媒が内装しである。

上記構成により、各気体帰還路６５内の触媒はレーザ気
体によって加温されて触媒作用の効率が向上し、かつ触
媒の部分を通過するレーザ気体は触媒の作用によって中
和され、中性となって主熱交換器３５へ流入する。した
がって、陰極と主熱交換器３５との間において生じる傾
向にある無駄な放電が抑制され、注入電力の効率がより
向上することとなる。

また、第２図より明らかなように、前記レーザ管３７内
の放電により励起された励起光を共振増幅するために、
出力ミラー組立体７３とリアミラー組立体７５が設けで
ある。すなわち、レーザ管３７の一端部側には出力ミラ
ーを内装した出力ミラー組立体７３が設けてあり、レー
ザ管３７の他端部側には適宜の反射鏡を内装したりアミ
ラー組立体７５が設けである。上記出力ミラー組立体７
３とリアミラー組立体７５はそれぞれ蛇腹を介して支持
プレート３９Ａ、３９Ｂに姿勢調節自在に装着しである
。したがって、出力ミラー組立体７３、リアミラー組立
体７５それぞれの姿勢を適宜に調節することにより、レ
ーザ発振部２９のミラー調整を行ない得るものである。

第２図に示されるように、前記調整アタッチメント部３
１は、可視光レーザ発振器の例としてのＨｅ−Ｎｅレー
ザ発振器７７とビームベンダー装置７９とビームダンパ
ー８１等Ｊ：り構成しである。

１−１　ｅ　−Ｎ　ｅレーザ発振器７７は、前記レーザ
発振部２９にＪ３＜プる出力ミラー組立体７３、リアミ
ラー組立体７５等のミラー調整時や前記レーザ加工機１
における光学系の調整時に使用するもので、第２図より
明らかなように、支持台３３Ａに取付けた支持ブラケッ
ト８３に垂直に装着しである。

ビームベンダー装置７９は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器７
７からのレーザビームを前記レーザ発振部２９における
レーザ管３７内へ或いはレーザ加工機１方向へ選択的に
屈曲する反射鏡あるいはプリズムをビーム屈曲部として
備えるでなるもので、本実施例においてはＨｅ−Ｎ０レ
一ザ発振器７７の上方に配置しである。前記ビームダン
パー８１はレーザ発振部２９における出力ミラー組ｗ体
７３から出力されるレーザビームｌ−Ｂを吸収、Ｎ断自
在なもので、レーザビームＬＢの通路に対して進退自在
に設けである。

ビームダンパー８１は、例えば良くみがいた金属を円錐
形に形成し、多数回反射させてレーザど−ムＬＢを吸収
自在なもので、水等によって常に冷却されており、レー
ザビームＬＢの通路に仲間するときには、レーザビーム
ＬＢの進行を阻害するものである。したがって、レーザ
加工機１側へレーザビームＬＢを不用意に供給すること
による不慮の事故を防止できるものである。

なお、レーデビームＬＢの通路にビームベンダー装置７
９およびビームダンパー８１が位置するか否かは、それ
ぞれの前進位置および後退位置に対応して配置した各リ
ミットスイッチ等（図示省略）によって検知されるもの
である。

以上のごとき説明により既に明らかなように、本実施例
によれば、１つの可視光レーザ発振器を気体レーザ発振
器におけるミラー調整とレーザ加工機における光学系の
調節とに共通に使用でき、光学系の調節が容易に行なわ
れ得る。

レーザ発振器３におけるミラー調整のために、前記出力
ミラー組立体７３とリアミラー組立体７５は、支持プレ
ート３９Ａ、３９Ｂに対して傾斜角調節自在に支承され
ている。より詳細には、第３図に示されるように、支持
プレート３９Ａがレーザ管３７に対応する位置には貫通
孔８５が突設してあり、この貫通孔８５に対応して支持
プレート３９Ａに固定したミラーホルダブラケット８７
に出力ミラー組立体７３が支承されている。

上記出力ミラー組立体７３は、出力ミラー８９を支持し
たミラーボルダリング部材９１と、ミラーホルダリング
部材９１に支持した揺動可能なミラーホルダ９３より構
成されている。より詳細には、ミラーホルダリング部材
９１は、内側のリング部材９５と外側のリング部材９７
とを一体的に嵌合しＵ　４’４成されており、内外のリ
ング部材９５゜９７の間には、出力ミラー８９を冷７！
＋　’ｊるために、氷等の冷ｎ１媒体が流出入自在な環
状の冷却室９９が形成されている。前記出力ミラー８９
は、内側のリング部材９５内に支持されてＪ３す、内側
のリング部材９５に螺入した固定リング１０１によって
内側のリング部材９５に固定されている。

上記ミラーホルダリング９１は、複数のボルト１０３に
よって前記ミラーホルダ９３に一体的に固定されている
。ミラーホルダ９３の中央部には、レーザビームＬＢが
通過自在な貫通孔１０５が突設してあり、−側面には前
記ミラーホルダブラケット８７に設けられた貫通孔１０
７に嵌合した環状の突出部１０９が形成されている。ま
た、ミラーホルダ９３の他側面の複数箇所には、凹部１
１１が形成してあり、この四部１１１を貫通してミラー
ホルダブラケット８７に固定した複数のボルト１１３と
ミラーホルダ９３との間にはコイルスプリング１１５が
弾装しである。したがって、ミラーホルダ９３には、複
数のコイルスプリング１１５の作用によってミラーボル
ダブラケット８７の方向へ抑圧付勢されている。

複数の上記凹部１１１は、第４図に示されるように、ミ
ラーボルダ９３の軸心Ａを中心とした対称的な第１、第
２の位置１１１ａ、１１１ｂと、第１．第２の位ｉ？？
１１１ａ、１１１ｂを結ぶ直線のほぼ直角二等分線上方
の第３の位置１１１Ｃの３点に形成されている。また、
ミラーボルダ９３の一側面において、上記第１．第２の
位置１１１ａ、１１１ｂに近接した位置で、かつミラー
小ルダ９３の軸心Ａを中心とした対称的な位置には、貫
通孔１１７ａ、１１７ｂが穿設されている。該貫通孔１
１７ａ、１１７ｂ夫々の先端部には調整用のボルト１１
９ａ、１１９ｂが螺着されている。

上記ボルト１１９ａ　、１１９ｂを結ぶ垂直二等分線上
で前記第３の位置１１ｃと近接した位置には第５図およ
び第６図に示されるように、円形状の凹部１２１が突設
されている。この凹部１２１と一方のボルト１１９ａと
を結ぶ第１軸線と、凹部１２１と他方のボルト１１９ｂ
とを結ぶ第２軸線は直交する関係にある。前記凹部１２
１内には３個の鋼球１２３が内装されている。上記３個
の鋼球１２３は凹部１２１の周面によって拘束されてい
ると共に、互に接触して拘束されている。

前記ミラーホルダ９３を揺動可能に支持するために、前
ミラーホルダブラケット８７が３個の鋼球１２３を内装
した四部１２１と対応した位置には、３個の鋼球１２３
の間に１■合する半球状部１２５を備えた調整ねじ１２
７が螺着しである。

また、ミラーホルダ９３に穿設された貫通孔１１７ａ、
１１７ｂに対向したミラーホルダブラケット８７の位置
にあって、前記貫通孔１１７ａ　。

１１７ｂよりわずか小径の孔１２９ａ　、　１２９ｂが
穿設されている。前記貫通孔１１７ａと孔１２９ａとの
間および貫通孔１１７ｂと孔１２９ｂとの間にはミラー
ホルダ９３を前後方向に揺動するためのビン１３１ａ　
、１３１ｂが介設されている。

ビン１３１ａ、１３１ｂが前後方向に移動するために、
第４図に示されている如く、サーボモータのごとき制御
モータ１３３ａ　、１３３ｂがミラーホルダブラケット
８７の孔１２９ａ　、　１２９ｂに直交する方向すなわ
ちミラーホルダ９３の側面側の水平方向に夫々取付けら
れている。なお、ビン１３１ａおよび１３１ｂを前後方
向に移動させミラーホルダ９３を前後に揺動せしめる具
体的な駆動機構は全く同じであるため、ビン１３１ｂに
よるミラーボルダ９３を揺動せしめる駆動説明は省略す
る。

第７図に示されるでいるように、ミラーホルダブラケッ
ト８７の軸芯部には、両端部が大径からなる段付き貫通
孔１３５が穿設されている。該段付き貫通孔１３５後端
部の大径部には、制御モータ１３３ａを取付けるための
支持ブラケット１３７が嵌着されている。制御モータ１
３３ａの先端部に突出された出力軸１３９が段付き貫通
孔１３５の大径部内にあって、段付き・貫通孔１３５内
のマイクロスクリュ１４１とスプラインカップリング１
４３によって接合され、該スプラインカップリング１４
３はセットスクリュ１４５で出力軸１３９に固定される
。前記マイクロスクリュ１４１はボール１４７を介して
シャフト１４９に連結されている。

前記段付き貫通孔１３５の先端部には調整用のプラグ１
５１が嵌着され、シャフト１４９とプラク１５１との間
の段付き貫通孔１３５の大径部にスプリング１５３が介
設されていて、該スプリング１５３は常時シャフト１４
９の方へ付勢されている。シャフト１４９の一部に模１
５５が穿設され、該ＰＪ１５５には前述したビン１３１
ａの傾斜部１５７が当接している。

而して、制御モータ１３３ａを作動させると、制御モー
タ１３３ａの回転が出力軸１３９に伝達される。出力軸
１３９に伝達された回転は、スプラインカップリング１
４３内に収まっているマイクロスクリュ１４１を前後動
させる。さらに、マイクロスクリュ１４１はボール１４
７を介してシャフト１４９に連結されているから、マイ
クロスクリュ１４１の前後動がシャフト１４９に伝達さ
れてシャフト１４９が前後動する。シャフト１４９が前
後動Ｊることによって、シャフト１４９の一部に穿設さ
れた模１５５にビン１３１ａの傾斜部１５７が当接して
いるから、ビン１３１ａの傾斜部１５７が模１５５上の
面を滑りビン１３１ａが上下する。

以上の如く説明したように、ビン１３１ａ、１３１ｂが
上下することによって、ミラーホルダ９３が上下するた
め、ミラーホルダ９３は前記第１軸線および第２軸線を
中心として僅かに揺動され、出力ミラー８９の傾斜角が
微調節されることとなる。

前記気体循環駆動装置４３によって循環されるレーザガ
ス内には、気体循環駆動装置４３に使用されている潤滑
油の微小格が含有されることがあり、この微小間の潤滑
油が出力ミラー８９に次第に付着することがある。そこ
で、この実施例においては、出力ミラー８９への潤滑油
等の付着を防止するための手段が講じられている。すな
わち、ミラーホルダ９３の適数個所には、第３図に示さ
れる如く出力ミラー８９の方向へ新鮮なレーザガスを噴
射する噴射孔１５９が突設されている。訂細な図示を省
略するが、上記噴射孔１５９は、通貨のガスボンベのご
ときレーザガス供給装置に接続されている。

一ヒ記構成により、噴射孔１５９からは出力ミラー８９
へ向けて新鮮なレーザガスが噴射されることとなり、出
力ミラー８９の冷却が行なわれると共に、出力ミラー８
９に付着した付着物が吹き払われることとなる。したが
って、付着物によるレーザビームのパワー損失や出力ミ
ラーの温度上界や熱膨張を防止できるものである。

なお、前記リアミラー組立体７５にＪ３けるリアミラー
の傾斜角調節は、前述のごとき出力ミラー組立体７４の
構成と同様の構成によって行われ得るものである。した
がって、リアミラー組立体７５の構成については説明を
省略刃る。

［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、本発
明によれば、出力ミラー等の傾斜調節がミラーホルダ・
ブラケットの側面から容易にかつ自動的に行なうことが
可能となる。また、ミラーボルダ前後のスペースを有効
に活用することが出来ると共に、レーザヘッド自体を小
型化することが出来、かつ簡単に交換が可能である。

さらに、本発明によれば、ミラーホルダの後面を使用し
ない為、２軸直交形や３軸直交形タイプのものにも応用
でき、有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るレーザ発振器を備えてなるレーザ
加工機を示η正百図である。 第２図は本発明に係るレーザ発振器の正面図である。 第３図は第２図における■矢視部分の拡大正面断面図で
ある。 第４図は第２図におけるＩＶ　−ＩＶ線に沿った拡大側
面図ぐある。 第５図は第４図におけるＶ−ｖ線に沿った断面図である
。 第６図は第５図のＶｌ　−Ｖｌ線に沿った矢視図である
。 第７図ば第４図における■−■線に沿った断面図である
。 ［図面の主要な部分を表わす符号の説明１１・・・レー
ザ加工機　　　　３・・・レーザ発振器３９．３９ｂ・
・・支持プレート ８５・・・リアミラーボルダ ９３・・・ミラーホルダブラケット ８９・・・出力ミラー ９３・・・ミラーホルダ　　　１２７・・・調整ネジ１
３１ａ、１３１ｂ−・・ビン

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）支持プレートに支承されたミラーホルダに、出力
   又はリアミラーを装着して設け、上記ミラーホルダをＸ
   軸方向に平行な第１軸の回りに揺動可能に設けると共に
   Ｙ軸方向に平行な第２軸の回りに揺動可能に設け、上記
   第１軸および第２軸の回りにミラーホルダを自動的に僅
   かに揺動するための調整モータをミラーホルダの側面側
   にそれぞれ設けてなることを特徴とするレーザ発振器に
   おけるミラー調整装置。
2. （２）前記調整モータが第１軸線に直交する側面側と、
   他側面とにミラーホルダの軸心を中心とした対称的な位
   置に夫々独立して設けられていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のレーザ発振器におけるミラー調
   整装置。
3. （３）第１軸と第２軸との交点においてミラーホルダは
   支持プレートに揺動可能に支承されており、ミラーホル
   ダの軸心と直交する方向の直線と第１軸および第２軸と
   の交点位置にミラー調整位置を設けてなることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器における
   ミラー装置。