JPS62208003A - 光部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の技術分野」 この発明は、光波長多重通信に用いられる、相異なる複
数の波長の光を含む光線を、夫々の波長毎に分離する分
波器、及び相異なる波長の複数の光線を単一の光線に合
波するための合波器などの光部品に係シ、特に光軸に対
して傾けて配設される場合に適するように改良されたバ
ンド・パス・フィルタを有する光部品に関する。

「発明の技術的背景」 一般に、光フアイバ伝送方式における光波長多重技術は
、伝送容量の増大を図れるだけでなく、双方向伝送や異
徨信号の同時伝送を可能にする特徴を有し、長距離近距
離伝送、加入者系伝送、データリンク等、光フアイバ伝
送を用いるほとんど全ての分野での適用が考えられてい
る。

ところで光波長多重伝送では、送信側においては、波長
の異なる複数の光を１本の光ファイバに結合するための
合波器が、受信側においては、光７アイパを伝搬してき
た波長の異なる光を夫々分離するための分波器が必要で
ある。

そして、これら光合分波器には誘電体多層膜フィルタが
用いられているが、この種の誘電体多層膜フィルタとし
ては、〕櫂ンド・パス・フィルタ、長波長域通過フィル
タ、短波長域通過フィルタがある。

ところで、光合分波器に用いられるバンド・パス・フィ
ルタとしては、下記の構成の５キヤビテイを有する層数
３７のものが提案されている。

ガラス基板Ｉ　Ｂ−Ａ−Ｌ＠Ａ−Ｌ−Ａ−Ｂｌガラス基
板・・・・・・・・・・・・（ａ） ここで、ＡヨＨ−Ｌ−Ｈ・（２Ｌ）・Ｈ−Ｌ−Ｈ，Ｂ５
Ｌ・Ｈ−Ｌ・（２Ｌ）・Ｌ−Ｈ−Ｌであり、Ｈは高屈折
率物質が１／４波長光学的厚さで、Ｌは低屈折率物質が
１／４波長光学的厚さであって、上記構成（、）中の（
）はキャピテイを示す。

〔背景技術の問題点〕

一般にバンド・パス・フィルタは、光線の入射角度によ
り、その特性が変化する。一方、バンド・パス・フィル
タを光合分波器に組込む時は、光軸に対して傾けて配置
しなければならない。例えば、上記構成（ａ）のバンド
・パス・フィルタを、光軸に対して１５″傾けて使用す
る場合の分光特性を、透過率のチ表示で第７図の曲線２
０２に、又、損失のｄＢ表示で第８図の曲線２０４に示
す。尚、第７図、第８図には、垂直入射をした場合の分
光特性の曲線２０１．２０３をも示す。この第７図、第
８図により、上記構成（ａ）のバンド・パス・フィルタ
は通過帯域が広く、特性が急峻であるが、実際に光合分
波器に使用するに当っては、例えば入射角１５°とする
ため、通過帯のリップルＢが現れ、例えば電子ビームを
用いた真空蒸着法による製造方法では、しばしばこのリ
ップルＢの値が大きくなシ、歩留りが悪く、コストが高
くなるという欠点があった。

〔発明の目的〕

この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもの
で、光軸に対して傾斜して配置されるバンド・ノ４ス・
フィルタにおいて、通過帯域や通過損失、阻止域とその
阻止域減衰量及び阻示特性の急峻さといった特性、特に
リップルについて、垂直入射と同程度あるいはそれ以上
に改善された高性能なバンド・パス・フィルタを有する
例えば光合分波器のような光部品を再現性良く提供する
ことを目的としている。

〔発明の概要〕

この発明は、構成が、 ガラス基板｜Ｌ・α！■・β｜Ｌ・ｒｔ（２Ｈ）・Ｌ−
Ｈ・Ｌ−Ａ−Ｌ　　拳　Ａ−Ｌ−Ａ−Ｌ−Ｈ−Ｌ　　・
　γｚ（２Ｈ）　　・β２Ｌ・α、＋−Ｌｌ媒体 （但し、ＡはＨ−Ｌ−Ｈ・（２Ｌ）・Ｈ−Ｌ−Ｈであり
、Ｈは高屈折率物質が１／４波長光学的厚さで、Ｌは低
屈折率物質が１／４波長光学的厚さで、（）はキャピテ
イを、係数α１．α鵞、βｌ、β２゜ｒｔ　Ｉ　１２は
１／４波長光学的厚さ又は１／２波長光学的厚さからの
ずれを示す）にして、少なくとも光軸に対して入射角０
°よシ３０°以下に傾けて配置されたガラス基板上の層
数３７層、５キヤビテイのバンド・パス・フィルタを有
する光部品において、 上記係数αｌ、α２．βｉｓβ３．γ１．γ、が０．５
＜α１（１，０又は０．５＜α１＜１．０かつβ１＝β
ｚ　＝ｒｌ　＋１１　＋１．Ｑあるいは０．５＜α１＜
１．０かつ０．５＜α２（１，０かつβｌ＝β＝＝γ１
＝γ、＝ｌ、Ｑ あるいは０，７＜β１＜１．０又は０．７〈β！（１，
０かつαｌ＝α２＝γ１＝γ、＝ｌ、Ｑ あるいは０．７＜β１＜１．０かつ０．７＜β寞＜１．
０かつα！　＝α！＝γ２はｌ、Ｑあるい は０．９〈γ１（１，０又は０．９＜γ、（１，０かつ
α１＝α２＝βｌ＝β意＝１．０あるい は０．９＜γ１＜：１．０かつ０．９＜γ１（１，０か
つα１＝α冨＝βｌ＝β、＝ｌ、Ｑあるい は、上記りの全層をＸ倍し、上記Ｈの全層を（２−Ｘ）
倍するとして１．０　＜　Ｘ　＜　１．１のいずれかの
場合に設定されている光部品である。

〔発明の実施例〕

この発明による光部品例えば光合分波器を用いた一例の
光波長多重伝送システムにおいては、２つのデジタル信
号と２つのアナログ信号とを波長多重し、１本の光ファ
イバで双方向に伝送する。そして、光源のレーデ・ダイ
オードの波長の組合せは、０．８１μｍと０．８９μｍ
をデジタル信号に、１６２μｍと１．３μｍをアナログ
信号に用いる方式が考えられる。

そこで、この発明による光部品例えば光合分波器は第２
図に示すように構成され、光源として相異なる波長を有
するレーザ・ダイオードが用いられ、誘電体ブロック５
に、誘電体多層膜よりなシ上記相異なる波長に対応し次
複数のバンド参ノぐスーフィルタ２１，２２，２３．２
４が設けられている。更に、長波長域通過フィルタ２５
、ロッド・レンズ２６、光フアイバ２７等からなりてい
る。

上記の場合誘電体ブロック５としては、例えばＢＫ−７
よりなるガラス・ブロックが用いらへ光合分波器の本体
を形成している。又、バンド・パス・フィルタ２１，２
２．２３．２４の構成については、後で詳細に説明する
が、各バンド・パス・フィルタ２１，２２．２３．２４
の中心波長は、夫々０．８１μｍ、０．８９μｍ　ｌＬ
　２　Ｉ’ｍ　＋１．３μｍであシ、最初に長波長域通
過フィルタ２５で短波長（０，８１μ”　＋　０．８９
　μｍ　）を反射し、長波長（１，２μｍ、１．３μｍ
）を通過させている。そして、中心波長が０．８１μｍ
のバンド・パス・フィルタ２１は、０６８１μｍのレー
デ・ダイオードの光を透過し、０．８９μｍのレーザ・
ダイオードの光を反射させる。又、中心波長が０．８９
μｍのバンド・ノ母ス・フィルタ２２は、０．８９μｍ
のレーデ・ダイオードの光を透過し、０．８１／ａのレ
ーデ・ダイオードの光を反射させる。更に、中心波長が
１．２μｍのバンド・パス・フィルタ２３は、１．２μ
ｍのレーザ・ダイオードの光を透過し、１．３μｍのレ
ーザ・ダイオードの光を反射させる。又、中心波長が１
．３μｍの／？ハンドパス・フィルタ２４は、１．３μ
ｍのレーデ・ダイオードの光を透過し、１．２μｍのレ
ーザ・ダイオードの光を反射させる。尚、ロッド・レン
ズ２６は、光ファイバ２７に光を導入するためのもので
ある。

さて次に、この発明の光部品例えば光合分波器で用いる
上記バンド・・ぐス・フィルタ２１゜２２．２３．２４
の構成について、詳しく説明する。

即チ、ハンド・パス・フィルＩ　２１．　、２２　。

２３．２４は、その中心波長が夫々既述の４種の波長の
ものであり、低屈折率物質と高屈折率物質の交互積層か
らなり、層数３７層、キャピテイ数５のバンド・パス・
フィルタである。そシテ、このバンド・パス・フィルタ
の具体的な膜構成は、次の通りであり、第１図に示すよ
うになっており、入射角１５°に対して基板１側第２Ｍ
及び第３６層はＶ４波長光学的厚さの０．９倍である。

基板｜Ｌ・α１Ｈ・βｌＬ・γ１（２Ｈ）・Ｌ−Ｈ−Ｌ
−Ａ・’Ｌ−Ａ−Ｌ−Ａ−Ｈ−Ｌ・γ、（２Ｈ）・β２
Ｌ・α２Ｈ−Ｌ　ｌ接着剤　　　　・・・・・・・・・
・・・・・・（ｂ）但し、Ａ：Ｈ−Ｌ−Ｈ・（２Ｌ）−
Ｈ−Ｌ−Ｈαｌ　＝α２＝０．９ βｌ　＝β、＝１．０ γｌ　＝γ、＝ｌ、Ｑ 尚、基板１としてＢＫ−７よりなるガラス基板を用い、
１７４波長光学的厚さの低屈折率物質Ｌ２とＶ４波長光
学的厚さの高屈折率物質Ｈ３の交互層よりなる誘電体多
層膜であり、上記構成（ｂ）中の（）はキャビティを示
し、膜面側は例えば紫外線硬化型の接着剤４を介して誘
電体ブロック５に貼シ合わされている。−例として、高
屈折率物質Ｈ３としては二酸化チタンが、低屈折率物質
Ｌ２としては二酸化シリコンが用いられる。

さて次に、実際に上記バンド・ノ々ス・フィルタを製作
するためには、第３図に示すような電子ビーム蒸着装置
を用いる。この装置による膜厚の制御方法は、蒸着中に
モニタ基板３１の位置で、光源４０からの光線の透過率
（あるいは図示しない方法である反射率）を受光素子４
Ｉで検値し、透過率（あるいは反射率）の変化による極
値を検出する光学モニタ方式である。

通常の誘電体多層膜形成用の電子ビーム蒸着装置は、第
３図に示すように、モニタ基板３１の他に３２．３３・
・・・・・等の複数のモニタ基板を収容出来るようにな
っておシ、各種の誘電体多層膜フィルタは複数のモニタ
基板を使用して形成する。

以下、上記構成（ｂ）の中心波長が０．８１μｍである
場合のバンド・パス・フィルタの製作法について詳述す
る。

即ち、第３図に示す電子ビーム蒸着装置において、モニ
タ基板３１の位置に、複数のモニタ基板３２　、３３　
、・・−・・等を用いてバンド・パス・フィルタの数層
ずつの光学的膜厚を制御し、ドーム３５に配置された製
品となる基板３６゜３７　、３８　等ｆ）上Ｖｃハンド
ａ　ｔ４ス−７（ルタヲ形成する。そして、蒸発源を収
能するルツ？４２は、二酸化チタンと二酸化シリコンの
２種類を複数個ずつ具備可能な、図示しない円板型のも
のである。所定の物質を蒸着させる場合、電子銃４３か
らエミッション電流が到達する位置へ回転させて持って
来る。電子銃４３の加速電圧は、例えば１０　ｋＶであ
シ、エミッション電流値は、例えば二酸化チタンの場合
２７０　ｍＡであシ、二酸化シリコンの場合６０　ｍＡ
である。

二酸化チタンの蒸着の場合、二酸化チタンが還元して黒
色に着色した膜となるのを防ぐため、酸素を例えばｌＸ
１０Ｔｏｒｒ導入する反応性蒸着を用いる。又、基板温
度は、例えば３００℃とした。そして、得られる二酸化
チタンの蒸着膜の屈折率は２．２乃至２．３であり、二
酸化シリコンの屈折率は１．４６乃至１．４７であった
。

３７層の多層膜を真空中で形成後、例えば基板温度２５
０℃以下に冷却後、大気圧に戻し、真空槽３４より取シ
出す。形成されたバンド・パス・フィルタの分光特性は
、経時変化を起し、長波長側に移動するが、数■の範囲
内で中心波長は０．８１μｍに制御される。形成された
構成（ｂ）の中心波長が０．８１μｍであるバンド・Ｉ
？ス・フィルタにおける分光特性の透過率をチ表示で第
４図に示し、又、損失をｄＢ表示で第５図に示す。

尚、第４図及び第５図に示す分光特性は、空気側より入
射角２３°で、即ち、接着後は入射角１５°で入射する
場合の、上記接着剤４にてＢＫ　−７からなる他のガラ
ス基板と貼シ合せた後のもので、リファレンスとして２
枚のＢＫ　−７のガラス基板を接着剤４にて貼り合せた
ものを用いた。

第４図及び第５図から明らかなように、この発明による
上記構成（ｂ）のバンド・ノ母ス・フィルタは、入射角
が１５°の場合においても、第７図の従来のバンド・パ
ス・フィルタに比べてリップルＢ　４ｘ改善され、従来
のバンド・パス・フィルタの垂直入射の場合と同程度に
、広い通過帯域が得られて阻止特性も急峻になった。

〔発明の変形例〕

上記実施例では、バンド・パス・フィルタとなる誘電体
多層膜を、一度基板ＩＫ形成しておいたものを、接着剤
４を介して誘電体ブロック５に貼り合せた場合につき詳
述したが、貼り合せずに、　ＩＩＩ電体ブロック５に直
接多層膜を形成しても良い。

又、上記実施例では、バンド・パス・フィルタの層数を
３７層と指定したが、誘電体多層膜の接着剤４側の最終
層あるいは基板１の側の第１層に低屈折率物質２を例え
ば除いても、この発明が適用出来るのは勿論である。こ
れは、低屈折率物質２の屈折率は、通常、基板１並びに
接着剤４のそれに近いため、形成されたバンド・パス・
フィルタの分光特性にほとんど影響しないためである。

又、上記実施例では、中心波長が夫々０．８１μｍ、０
．８９μｍ、１．２μｍ、ｉ、ａμｍのバンド・パス・
フィルタ２１，２２．２３．２４を有する光合分波器を
例にとシ詳述したが、光源のし一デ・ダイオードの発光
波長は数多くあり、光源の波長に応じた中心波長を有す
るバンド・ノ９ス・フィルタ全てに、この発明は適用出
来る。

そして、得られる分光特性も、入射角が１５°の場合で
も、垂直入射の場合と同様な性能が得られる。

又、上記実施例では、バンド・パス・フィルタの基板ｌ
側よシ第２層と第３６層に係数α１＝α２＝０．９を掛
けてＶ４波長光学的厚さからずらしたが、第３層と第３
５層に係数β１．β鵞を掛けたり、あるいは第４層と第
３４層に係数γ１．γ２を掛けても、同様に分光特性を
改善出来る。

即ち、各々の係数の最適値は、α１＝α鵞＝０．９ある
いはβｌ＝β２＝０．９５あるいはγ１＝ｒｌ＝０．９
９で、かつ他の係数は１．０の場合であるが、リップル
等を改善するためには各々の係数が ０．８＜α１＜１．０又は０．８＜α、＜１．０かつβ
１＝β２＝γｌ＝γ！　＝　１．０ あるいは０．８＜α１＜１．０かつ０．８＜α、（１，
０かっβ゛１＝β：＝γｌ＝γ２＝１．０ あるいは０．９＜β１＜１．０又は０．９〈β雪〈１．
０かつαｌ＝α１　＝ｒｌ　＝ｒ、　＝１．０あるいは
０．９〈βｌ（１，０かつ０．９＜β２＜１．０かつα
１：＋：α３＝γ１＝γ鵞＝１．０ あるいは０．９５（ｒ、　（１，０又は０．９５＜ｒｘ
　（１，０かつα１＝α３＝βｌ＝β雪＝１．０ あるいは０．９５（ｒ、　（１，０かつ０．９５（ｒｘ
　（１，０かつα１＝α３＝βｌ＝β雪＝１．Ｑ のいずれかの場合に当てはまれば良い。

尚、第５層から第３３層の任意の層を１／４波長光学的
厚さ又はＶ２波長光学的厚さからずらしても、分光特性
は改善されるが、上記の基板１側の３層と接着剤で貼シ
合せる側の３層の方が、リップル等の改善によシ効果的
であり、特に第２層と第３６層は１７４波長光学的厚さ
からずらす量が多いため、実際の電子ビームを用いた真
空蒸着において、膜厚を制御し易く、歩留シも良くなり
、低コストで光合分波器を提供出来る。

又、上記実施例では、接着後のバンド・パス・フィルタ
の膜面に対して、入射角が１５°の光合分波器を例にと
シ詳述したが、他の構成の光合分波器で入射角が上記実
施例と異なる場合にも、この発明は適用出来る。例えば
、第６図に、上記層数３７、キャピテイ数５のバンド・
パス・フィルタについて、３０°までの入射角を与えた
ことで発生したリップル等の分光特性の劣化を改善する
、上記１／４波長光学的厚さ又はＶ２波長光学的厚さか
らのずれを表わす係数αｌ（α２＝αＫ　）の最適値１
０１を、又、係数β１（β２＝βｓ　　）（７）最適値
１０２及び係数１１（ｒｚ＝１１　）の最適値１０３を
示す。そして、入射角３０°付近までは、第６図に示す
ように、この発明を適用することで、各々の係数が、 ０．５＜α１＜１．０又は０．５〈α、　（１，０かつ
β１＝β２＝γｌ＝γ、＝ｌ、Ｑ あるいは０．５＜α１＜１．０かつ０．５＜α、（１，
０かつβ１　＝β２＝γ！＝γ、＝ｌ、Ｑ あるいは０．７〈β１＜１．０又は０．７＜β２＜１．
０かつα′１＝α２＝γｌ＝７．＝ｌ、Ｑ あるいは０．７＜β２＜１．０かつ０．７＜β２＜１．
０かつα１＝α、　＝ｒ１　＝ｒ、　＝ｔ、。

あるいは０６９＜β１＜１．０又は０．９（’γ２（１
，０かつα１＝α２＝β１＝β、＝１．Ｑ あるいは０，９〈γｌ（１，０かつ０．９〈γ、（１，
０かつαｌ＝α叩＝β１＝β、＝ｌ、Ｑ のいずれかの場合に当てはまれば、上記リップルを改善
することが可能である。

尚、入射角が３０°以上でも、この発明を適用出来るが
、リップルの劣化が著しく、バンド・ノ臂ス・フィルタ
として使用することは少ないので、除外しである。

又、上記実施例では、バンド・パス・フィルタの基板側
及び接着剤で貼シ合せる側の各３層のうち、いずれかの
層を１／４波長光学的厚さ又はＶ２波長光学的厚さから
ずらすことで、バンド・ｌ？ス・フィルタの分光特性を
改善したが、上記低屈折率物質Ｌ２の全層をＸ倍し、上
記高屈折率物質Ｈ３の全層を（２−Ｘ）倍することでも
、上記実施例と同様の効果が得られる。接着後のバンド
・・ぐス・フィルタへの入射角が１５°の場合、Ｘ＝１
．０１が最適値であるが、１．０＜Ｘ＜１．０２の範囲
に係数Ｘがあれば良い。

入射角１５°でＸ＝１．０１とした場合、第４図及び第
５図とほぼ同じ分光特性が得られた。

又、入射角を０９より３０°以下として、係数Ｘの最適
値１０４を第６図に示す。これよシ、入射角３０°付近
までは、係数Ｘが１．０　（Ｘ　（１，１の範囲にある
ように、この発明を適用することで、分光特性が改善出
来る。

〔発明の効果〕

この発明によれば、光軸に対して傾けて配置されるバン
ド・パス・フィルタにおいて、そのリップルを垂直入射
と同程度以上に改善することが出来る。更に、通過帯域
や阻止特性は高性能のまま維持したバンド・パス・フィ
ルタを有する光合分波器等の光部品を、低コストで提供
することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図゛はこの発明の光部品に用いるバンド・ノ９ス・
フィルタを示す断面図、第２図はこの発明の一実施例に
係る光部品（光合分波器）を示す構成図、第３図は第１
図のバンド・パス・フィルタを形成するための電子ビー
ム蒸着装置を示す構成図、第４図及び第５図はこの発明
で用いるバンド・ノ４ス・フィルタの分光特性を示す特
性曲線図、第６図はこの発明で用いるバンド・パス・フ
ィルタへの入射角度と１／４波長光学的厚さから又はＶ
２波長光学的厚さのずれの関係を示す特性曲線図、第７
図及び第８図は従来のバンド・、ｐ４ス・フィルタの分
光特性を示す特性曲線図である。 １・・・基板、２・・・低屈折率物質、３・・・高屈折
率物質、４・・・接着剤、５・・・誘電体ブロック、２
１゜２２．２３．２４・・・バンド・パス・フィルタ、
２５・・・長波長域通過フィルタ、２６・・・ロッド・
レンズ、２７・・・光ファイバ。 第１図 第３図 ４夫　（ｄＢ） 値達キ　（’１０　）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）構成が、 ガラス基板｜Ｌ・α＿１Ｈ・β＿１Ｌ・ｒ＿１（２Ｈ）
   ・Ｌ・Ｈ・Ｌ・Ａ・Ｌ・Ａ・Ｌ・Ａ・Ｌ・Ｈ・Ｌ・ｒ＿
   ２（２Ｈ）・β＿２Ｌ・α＿２Ｈ・Ｌ｜媒体 （但し、ＡはＨ・Ｌ・Ｈ・（２Ｌ）・Ｈ・Ｌ・Ｈ、Ｈは
   高屈折率物質が１／４波長光学的厚さ、Ｌは低屈折率物
   質が１／４波長光学的厚さ、（）はキャビティ、係数α
   ＿１、α＿２、β＿１、β＿２、ｒ＿１、ｒ＿２は１／
   ４波長光学的厚さ又は１／２波長光学的厚さからのずれ
   を夫々示す）にして、少なくとも光軸に対して入射角０
   °より３０°以下に傾けて配置されたガラス基板上の層
   数３７層、５キャビティのバンド・パス・フィルタを有
   する光部品において、上記係数α＿１、α＿２、β＿１
   、β＿２、γ＿１、ｒ＿２が０．５＜α＿１＜１．０又
   は０．５＜α＿２＜１．０かつβ＿１＝β＿２＝γ＿１
   ＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．５＜α＿１＜１．０かつ０．５＜α＿２＜
   １．０かつβ＿１＝β＿２＝ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．７＜β＿１＜１．０又は０．７＜β＿２＜
   １．０かつα＿１＝α＿２＝ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．７＜β＿１＜１．０かつ０．７＜β＿２＜
   １．０かつα＿１＝α＿２＝ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．９＜ｒ＿１＜１．０又は０．９＜ｒ＿２＜
   １．０かつα＿１＝α＿２＝β＿１＝β＿２＝１．０ あるいは０．９＜ｒ＿１＜１．０かつ０．９＜ｒ＿２＜
   １．０かつα＿１＝α＿２＝β＿１＝β＿２＝１．０ あるいは、上記Ｌの全層をＸ倍し、上記Ｈの全層を（２
   −Ｘ）倍するとして１．０＜ｘ＜１．１のいずれかの場
   合に設定されていることを特徴とする光部品。
2. （２）上記入射角を１５°とし、上記係数α＿１、α＿
   ２、β＿１、β＿２、γ＿１、ｒ＿２、あるいはＸが０
   ．８＜α＿１＜１．０又は０．８＜α＿２＜１．０かつ
   β＿１＝β＿２＝ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．８＜α＿１＜１．０かつ０．８＜α＿２＜
   １．０かつβ＿１＝β＿２＝γ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．９＜β＿１＜１．０又は０．９＜β＿２＜
   １．０かつα＿１＝α＿２＝ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．９＜β＿１＜１．０かつ０．９＜β＿２＜
   １．０かつα＿１＝α＿２＝ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは０．９５＜ｒ＿１＜１．０又は０．９５＜ｒ＿
   ２＜１．０かつα＿１＝α＿２＝β＿１＝β＿２＝１．
   ０あるいは０．９５＜ｒ＿１＜１．０かつ０．９５＜ｒ
   ＿２＜１．０かつα＿１＝α＿２＝β＿１＝β＿２＝１
   ．０あるいは１．０＜Ｘ＜１．０２ のいずれかの場合に設定されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の光部品。
3. （３）上記入射角を１５°とし、上記係数α＿１、α＿
   ２、β＿１、β＿２、ｒ＿１、ｒ＿２、あるいはＸがα
   ＿１＝α＿２＝０．９かつβ＿１＝β＿２＝１．０かつ
   ｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは、α＿１＝α＿２＝１．０かつβ＿１＝β＿２
   ＝０．９５かつｒ＿１＝ｒ＿２＝１．０ あるいは、α＿１＝α＿２＝１．０かつβ＿１＝β＿２
   ＝１．０かつｒ＿１＝ｒ２＝０．９９ あるいは、Ｘ＝１．０１ のいずれかの場合に設定されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項及び第２項記載の光部品。