JPS62198043U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62198043U JPS62198043U JP8719386U JP8719386U JPS62198043U JP S62198043 U JPS62198043 U JP S62198043U JP 8719386 U JP8719386 U JP 8719386U JP 8719386 U JP8719386 U JP 8719386U JP S62198043 U JPS62198043 U JP S62198043U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- pipe material
- workpiece
- cleaning liquid
- setting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
Description
第１図は本考案装置の１例の斜視図、第２図及
び第３図は夫々第１図の―線及び―線截
断面図、第４図は第３図の―線截断平面図で
ある。 １……機台、３……セツト台、６ａ，７ａ，８
ａ，９ａ……ノズル、１２……ガード、１２ａ，
１２ｂ，１２ｃ……パイプ材、１４，１６……噴
射孔。
び第３図は夫々第１図の―線及び―線截
断面図、第４図は第３図の―線截断平面図で
ある。 １……機台、３……セツト台、６ａ，７ａ，８
ａ，９ａ……ノズル、１２……ガード、１２ａ，
１２ｂ，１２ｃ……パイプ材、１４，１６……噴
射孔。
Claims (1)
- 機台に、ワークを載置してこれに回転を与える
回動自在なセツト台を備えると共に、外方から該
セツト台上のワークに向けて洗浄液やエアを噴射
するノズルと、該セツト台の上方に該セツト台上
のワークを囲繞する昇降動自在なガードとを設け
て成る洗浄装置において、該ガードをパイプ材で
構成し、該パイプ材内に洗浄液やエアを供給して
該パイプ材のワーク側の面に形成した噴射孔から
洗浄液やエアを噴射させるようにしたことを特徴
とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8719386U JPS62198043U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8719386U JPS62198043U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62198043U true JPS62198043U (ja) | 1987-12-16 |
Family
ID=30944193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8719386U Pending JPS62198043U (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62198043U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022527664A (ja) * | 2019-05-08 | 2022-06-02 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | クリーニング・チャンバおよびクリーニング装置 |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP8719386U patent/JPS62198043U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022527664A (ja) * | 2019-05-08 | 2022-06-02 | 北京北方華創微電子装備有限公司 | クリーニング・チャンバおよびクリーニング装置 |