JPS62197898U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62197898U JPS62197898U JP8736186U JP8736186U JPS62197898U JP S62197898 U JPS62197898 U JP S62197898U JP 8736186 U JP8736186 U JP 8736186U JP 8736186 U JP8736186 U JP 8736186U JP S62197898 U JPS62197898 U JP S62197898U
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- JP
- Japan
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- bridge
- view
- lifting
- moves
- unloader
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
図は本考案の一実施例を示し、第１図は中間の
一部を省略した正面図、第２図はプツシヤ駆動機
構の構成説明図、第３図は第１図と同様の正面図
にして異なる動作状態を示すもの、第４図は側面
図、第５図及び第６図は異なる個所における部分
拡大断面図、第７図及び第８図は部分上面図及び
部分正面図、第９図ないし第１１図は前方規制爪
の作用を説明するための部分正面図である。第１
２図ないし第１５図は基板押し込み動作の説明図
である。 １……Ｘ―Ｙテーブル、３……ローダ、４……
アンローダ、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ……基板、
２２……ブリツジ、３３，３４……プツシヤ、２
５……エアシリンダ（リフト手段）。
一部を省略した正面図、第２図はプツシヤ駆動機
構の構成説明図、第３図は第１図と同様の正面図
にして異なる動作状態を示すもの、第４図は側面
図、第５図及び第６図は異なる個所における部分
拡大断面図、第７図及び第８図は部分上面図及び
部分正面図、第９図ないし第１１図は前方規制爪
の作用を説明するための部分正面図である。第１
２図ないし第１５図は基板押し込み動作の説明図
である。 １……Ｘ―Ｙテーブル、３……ローダ、４……
アンローダ、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ……基板、
２２……ブリツジ、３３，３４……プツシヤ、２
５……エアシリンダ（リフト手段）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ブリツジに沿つて移動するプツシヤによりロー
ダからＸ―Ｙテーブルへ、更にＸ―Ｙテーブルか
らアンローダへと基板を移動させるものにおいて
、 前記ブリツジを通常の使用位置よりも高く持ち
上げるリフト手段を付設してなる基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8736186U JPS62197898U (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8736186U JPS62197898U (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197898U true JPS62197898U (ja) | 1987-12-16 |
Family
ID=30944496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8736186U Pending JPS62197898U (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197898U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021178U (ja) * | 1973-06-18 | 1975-03-10 | ||
| JPS6113997B2 (ja) * | 1978-02-28 | 1986-04-16 | Dainippon Insatsu Kk |
-
1986
- 1986-06-09 JP JP8736186U patent/JPS62197898U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021178U (ja) * | 1973-06-18 | 1975-03-10 | ||
| JPS6113997B2 (ja) * | 1978-02-28 | 1986-04-16 | Dainippon Insatsu Kk |
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