JPS62196775A - 形状識別方法 - Google Patents
形状識別方法Info
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- JPS62196775A JPS62196775A JP61037897A JP3789786A JPS62196775A JP S62196775 A JPS62196775 A JP S62196775A JP 61037897 A JP61037897 A JP 61037897A JP 3789786 A JP3789786 A JP 3789786A JP S62196775 A JPS62196775 A JP S62196775A
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- image
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000004382 visual function Effects 0.000 description 2
- 101100520159 Arabidopsis thaliana PIS2 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Character Input (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、たとえば生産ラインにおける物品の仕分は作
業を行う場合に有効となる形状識別方法に関する。
業を行う場合に有効となる形状識別方法に関する。
背景技術
現在、人間の目の機能に相当する工業用の視覚機能の必
要性が各種の生産現場で益々高まっている。特に視覚機
能の1つである形状識別機能は、たとえば生産ライン上
を流れてくる対象物体の仕分は作業などを自動的に行う
場合において不可欠な機能である6 とりわけ、最近は形状の差異がごく微かな対象物体を識
別する要求も生じているが、従来の画像処理装置ではこ
のような対象物体の識別を行うことは一般に困難であっ
た。その主な理由として、以下の(i)、(ii)が考
えられる。
要性が各種の生産現場で益々高まっている。特に視覚機
能の1つである形状識別機能は、たとえば生産ライン上
を流れてくる対象物体の仕分は作業などを自動的に行う
場合において不可欠な機能である6 とりわけ、最近は形状の差異がごく微かな対象物体を識
別する要求も生じているが、従来の画像処理装置ではこ
のような対象物体の識別を行うことは一般に困難であっ
た。その主な理由として、以下の(i)、(ii)が考
えられる。
(i)従来の画像路J!+!¥装置は、一般に識別すべ
き対象物体の形状の差異が処理装置の分解能に比べて充
分に大きい場合を前提として設計されており、微少な形
状の差異を検出することは困難である。
き対象物体の形状の差異が処理装置の分解能に比べて充
分に大きい場合を前提として設計されており、微少な形
状の差異を検出することは困難である。
(11)一方、対象物体の画像の細部まで識別できるだ
けの高い分解能をもつ処Jul!装置を用いて対象物体
全体の画像を処理する方法も考えられるが、画像データ
が膨大な量となり、多大な処理時間を要するとともに、
装置が高価になるという問題点があった。
けの高い分解能をもつ処Jul!装置を用いて対象物体
全体の画像を処理する方法も考えられるが、画像データ
が膨大な量となり、多大な処理時間を要するとともに、
装置が高価になるという問題点があった。
発明が解決しようとする問題点
以上のごとく、形状の差異がこくわずかな対象物体に対
しては、識別能力が高く、かつ処理時間の短い対象物体
の形状識別方法は、従来なかった。
しては、識別能力が高く、かつ処理時間の短い対象物体
の形状識別方法は、従来なかった。
したがって本発明の目的は、形状の差異がごくわずかな
対象物体であっても、これを高速かつ高精度に識別する
ための処理方法を提供することにある。
対象物体であっても、これを高速かつ高精度に識別する
ための処理方法を提供することにある。
問題点を解決するための手段
本発明は、討NL物体の全体を撮像する!@1撮像装r
a1と、対象物体の部分領域を拡大して撮像する0′!
2撮像装W12と、前記PIS2撮−像5&置2を位置
決めするための位置決め装置と、画像処理装置とを準備
し、 まず、前記第1撮像装置】によってN家物体の全体を含
む画像を撮像し、この画像を処理して対象物体の部分領
域の位置を求め、 次に、この位置に前記第2撮像装置2を前記位置決め装
置を用いて位置決めし、 その後、前記第2撮像装置12によって対象物体の前記
部分領域の拡大画像を撮像し、この拡大画像を前記画像
処理装置で処理してその形状の特徴を求めて形状を識別
することを特徴とする形状識別方法である。
a1と、対象物体の部分領域を拡大して撮像する0′!
2撮像装W12と、前記PIS2撮−像5&置2を位置
決めするための位置決め装置と、画像処理装置とを準備
し、 まず、前記第1撮像装置】によってN家物体の全体を含
む画像を撮像し、この画像を処理して対象物体の部分領
域の位置を求め、 次に、この位置に前記第2撮像装置2を前記位置決め装
置を用いて位置決めし、 その後、前記第2撮像装置12によって対象物体の前記
部分領域の拡大画像を撮像し、この拡大画像を前記画像
処理装置で処理してその形状の特徴を求めて形状を識別
することを特徴とする形状識別方法である。
作 用
本発明に従えば、基準となる対象物体の部分領域の拡大
画像の形状の特徴を教示データとして予め求め、次に識
別作業時に識別されるべき対象物体の全体を含む画像に
おいて、前記部分領域に対応する領域を求めて、この領
域の拡大画像の形状の特徴を数値データで表し、この数
値データを教示データと比較して形状を識別するように
したので、形状の差異がごく微かな対象物体であっても
拡大画像の比較によって形状の識別が可能となる。
画像の形状の特徴を教示データとして予め求め、次に識
別作業時に識別されるべき対象物体の全体を含む画像に
おいて、前記部分領域に対応する領域を求めて、この領
域の拡大画像の形状の特徴を数値データで表し、この数
値データを教示データと比較して形状を識別するように
したので、形状の差異がごく微かな対象物体であっても
拡大画像の比較によって形状の識別が可能となる。
また、部分領域のみを比較するようにしたので、処理時
間の短縮を図ることができる。
間の短縮を図ることができる。
XMA例
fjS1図は、本発明の一実施例のブロック図である。
この実施例では、生産ライン上における対象物体14の
仕分は作業を例にとって説明する。また、説明を簡略化
するために1画面内に1個の対象物体14があるものと
する。
仕分は作業を例にとって説明する。また、説明を簡略化
するために1画面内に1個の対象物体14があるものと
する。
コンベア9上を水平な移動方向10へ移動する対象物体
14は時刻り、でfjSiテレビカメラ1によって上方
より視野11内においてその全体形状が撮像されて、第
1モニタテレビ表示手段5に表示され、その映像信号が
画像処理装置13の第1画像処理部3において、画像処
理されて対象物体14の部分領域の位置が検出される。
14は時刻り、でfjSiテレビカメラ1によって上方
より視野11内においてその全体形状が撮像されて、第
1モニタテレビ表示手段5に表示され、その映像信号が
画像処理装置13の第1画像処理部3において、画像処
理されて対象物体14の部分領域の位置が検出される。
なお、こ、二で部分領域というのは、この領域を拡大し
た画像の特徴を比較して形状の識別に用いる領域を意味
し、操作具が対象物体の形状の異なる部分を予め部分領
域として定めておくものとする。
た画像の特徴を比較して形状の識別に用いる領域を意味
し、操作具が対象物体の形状の異なる部分を予め部分領
域として定めておくものとする。
次に、検出された位置信号は、第2テレビカメラ2を移
動するための走行装置7に入力されて、第2テレビカメ
ラ2を走行レール8に沿って水平な移動方向15へ移動
させて、第2テレビカメラの視野12の中に前記対象物
体14の部分領域が入るように位置決めする。移動方向
15は、移動方向10と垂直な方向である。
動するための走行装置7に入力されて、第2テレビカメ
ラ2を走行レール8に沿って水平な移動方向15へ移動
させて、第2テレビカメラの視野12の中に前記対象物
体14の部分領域が入るように位置決めする。移動方向
15は、移動方向10と垂直な方向である。
第2テレビカメラ2は、対象物体14の部分領域を時刻
Lx(Lx>L+)で撮像して、その拡大画像を第2モ
ニタテレビ表示手段6に表示し、その映像信号が画像処
理装置!13の第21ii像処J!Ii部4において画
像処理されて、形状が識別される。
Lx(Lx>L+)で撮像して、その拡大画像を第2モ
ニタテレビ表示手段6に表示し、その映像信号が画像処
理装置!13の第21ii像処J!Ii部4において画
像処理されて、形状が識別される。
第2図は、画像毎T′!X、部3の桟体的な構成を示す
ブロック図である。第1テレビカメラ1の映像信号がア
ナログ/デジタル変換器20でアナログ信号からデジタ
ル信号に変換され、その後、マイクロコンピュータなど
によって実現される処理回路21に入力されて画像処理
が行なわれる。第1テレビカメラの入力画像や処理回路
21で処理された後の画像は、画像メモリ22に格納さ
れる。なJJ1第2画像処理部4もこれと同様な構成と
なっている。
ブロック図である。第1テレビカメラ1の映像信号がア
ナログ/デジタル変換器20でアナログ信号からデジタ
ル信号に変換され、その後、マイクロコンピュータなど
によって実現される処理回路21に入力されて画像処理
が行なわれる。第1テレビカメラの入力画像や処理回路
21で処理された後の画像は、画像メモリ22に格納さ
れる。なJJ1第2画像処理部4もこれと同様な構成と
なっている。
以下に形状を識別する過程を説明するために、11り述
の総括的に参照符14で示す対象物体は、第3図に示す
ような先端の形状だけがわずかに異なるfpJ1対東物
体14aと第2対象物体14bであり、これを識別する
場合について述べる。この2つの対象物体14a、14
1+の識別は、毘作貝が予め定めた先端の部分領域の拡
大画像を比較することによって行う。
の総括的に参照符14で示す対象物体は、第3図に示す
ような先端の形状だけがわずかに異なるfpJ1対東物
体14aと第2対象物体14bであり、これを識別する
場合について述べる。この2つの対象物体14a、14
1+の識別は、毘作貝が予め定めた先端の部分領域の拡
大画像を比較することによって行う。
まず、教示データの作成方法について述べる。
f53図(a)は、rjS1対象物体14aの全体が含
まれる標準画像40である。第1テレビカメラ1および
第2テレビカメラ2は、テレビ画面の走査線がコンベア
の移動方向と一致するように配置されており、テレビ画
面上の座標は、走査線方向にXr紬、これと直交する方
向にYf軸をとっている。
まれる標準画像40である。第1テレビカメラ1および
第2テレビカメラ2は、テレビ画面の走査線がコンベア
の移動方向と一致するように配置されており、テレビ画
面上の座標は、走査線方向にXr紬、これと直交する方
向にYf軸をとっている。
第1画像処理部3において第1対象物体14aの標準画
像40の2値画像から、論理「1」の点(すなわち信号
有りの点)を探索して3つの端点A、B。
像40の2値画像から、論理「1」の点(すなわち信号
有りの点)を探索して3つの端点A、B。
Cの座標値(例えばA(x+y)など)を求め、距JI
AB、距離BC,距離CΔを算出して、第1式、第2
式で示される関係を求める。
AB、距離BC,距離CΔを算出して、第1式、第2
式で示される関係を求める。
AB < BC・・・ (1)AB
< CA
・・べ 2 )これ
らの関係から、点A(または点B)を含むfln域を部
分領域として検出する。
< CA
・・べ 2 )これ
らの関係から、点A(または点B)を含むfln域を部
分領域として検出する。
第4図は、2台の第1および第2テレビカメラ1.2の
撮像視野の位置関係を示しており、コンベアの進)j方
向にX軸、これと直交する方向にY紬をとっている。第
1対象物体14aを第1テレビカメラ1で撮像する時刻
をLl とすれば、コンベア9上を移動して慇だ第1
対象物体14aを第2テレビカメラ2で撮像する時刻1
2 は、tiS3式で算出される。
撮像視野の位置関係を示しており、コンベアの進)j方
向にX軸、これと直交する方向にY紬をとっている。第
1対象物体14aを第1テレビカメラ1で撮像する時刻
をLl とすれば、コンベア9上を移動して慇だ第1
対象物体14aを第2テレビカメラ2で撮像する時刻1
2 は、tiS3式で算出される。
L2=L、+(L、+LI/2−L3)/V ”’(
3)ただし、各信号は以下の値を示すものとする。
3)ただし、各信号は以下の値を示すものとする。
Lo;第1テレビカメラ1とtlS2テレビカメラ2間
のX軸方向の距離 Ll;第1テレビカメラ1の視野11のX軸方向の長さ L2;1IS2テレビカメラの視野12のX軸方向の長
さ I−1;点Aと基準点QのX軸方向の氏さI、4;点A
と基準点QのX軸方向の長さ■ ;コンベア9の速度 fPJ2テレビカメラ2で第1対象物体14aの点Aを
含む部分領域を撮像するためには、第2テ゛レビカメラ
2をX軸方向に移動して、X軸方向の距離がL4となる
ように位置決めし、前述した時刻L2における画像を入
力すればよい。
のX軸方向の距離 Ll;第1テレビカメラ1の視野11のX軸方向の長さ L2;1IS2テレビカメラの視野12のX軸方向の長
さ I−1;点Aと基準点QのX軸方向の氏さI、4;点A
と基準点QのX軸方向の長さ■ ;コンベア9の速度 fPJ2テレビカメラ2で第1対象物体14aの点Aを
含む部分領域を撮像するためには、第2テ゛レビカメラ
2をX軸方向に移動して、X軸方向の距離がL4となる
ように位置決めし、前述した時刻L2における画像を入
力すればよい。
ln3図(b)は、第2テレビカメラ2によって時刻L
2 において撮像された第1対來物体14aの先端部
の拡大画像41である。第2画像処理部4では、第1対
象物体14aの先端部の拡大画像41の2値画像から慣
性主軸45を検出し、慣性主軸45と2値画像の論理「
1」の点との交点の中でも最も端にある点Pnを検出し
、点Paを基準として慣性主軸45に沿う−・辺の長さ
が()1+!2)であり、慣性主軸45に暇直な一辺の
長さが()3十ノ4)である長方形の関心領域44を設
定する。なお、この関心領域44には、fIS1討宋物
体14aの注目すべき先端部の全てが含まれるように長
さ71〜!4を設定するものとする。この関心領域44
内における第1対象物体14aの面積(2値画像の論理
「1」の点の個数)を算出し、処理回路21内のメモリ
に格納する。以上で第1対象物体14aの、−7,p
aの両側にそれぞれ長さ!1および12で切った第3図
(b)の斜線で示す領域の面積Slが形状の特徴を表す
第1のデータすなわち、教示データとして求められた。
2 において撮像された第1対來物体14aの先端部
の拡大画像41である。第2画像処理部4では、第1対
象物体14aの先端部の拡大画像41の2値画像から慣
性主軸45を検出し、慣性主軸45と2値画像の論理「
1」の点との交点の中でも最も端にある点Pnを検出し
、点Paを基準として慣性主軸45に沿う−・辺の長さ
が()1+!2)であり、慣性主軸45に暇直な一辺の
長さが()3十ノ4)である長方形の関心領域44を設
定する。なお、この関心領域44には、fIS1討宋物
体14aの注目すべき先端部の全てが含まれるように長
さ71〜!4を設定するものとする。この関心領域44
内における第1対象物体14aの面積(2値画像の論理
「1」の点の個数)を算出し、処理回路21内のメモリ
に格納する。以上で第1対象物体14aの、−7,p
aの両側にそれぞれ長さ!1および12で切った第3図
(b)の斜線で示す領域の面積Slが形状の特徴を表す
第1のデータすなわち、教示データとして求められた。
以上の操イヤを第2討求物体14bにも同様に行うこと
によって、第3図の(c)に示した第2対束物体14b
の標準画像42およびriS2 対象物体14bの先端
部の拡大画像43から、m3図(d)の第2対象物体1
4bの点Pa’の両側にそれぞれ長さ11および12で
切った斜線で示す領域の面積S2が算出され、12対象
物体14bの形状の特徴を表す教示データが求められる
。
によって、第3図の(c)に示した第2対束物体14b
の標準画像42およびriS2 対象物体14bの先端
部の拡大画像43から、m3図(d)の第2対象物体1
4bの点Pa’の両側にそれぞれ長さ11および12で
切った斜線で示す領域の面積S2が算出され、12対象
物体14bの形状の特徴を表す教示データが求められる
。
犬に、識別作業時について述べる。識別作業時において
は第1対象物体+4a または第2′N家物体14 b
の任意の姿勢でコンベア9上を搬送されてくるものとす
る。識別作業時には、前述した教示(ヤ業時と全く同様
にして、識別されるべき対象物体]4の先端部の一定の
長さ()1十ノ2)で切つjこ領域の面積Sを露出し、
第2両像処理部4で以下のように形状を識別する。
は第1対象物体+4a または第2′N家物体14 b
の任意の姿勢でコンベア9上を搬送されてくるものとす
る。識別作業時には、前述した教示(ヤ業時と全く同様
にして、識別されるべき対象物体]4の先端部の一定の
長さ()1十ノ2)で切つjこ領域の面積Sを露出し、
第2両像処理部4で以下のように形状を識別する。
l S−3,l < l S−321・・・(4)のと
き、識別されるべき対象物体は、第1対象物体14aで
ある。
き、識別されるべき対象物体は、第1対象物体14aで
ある。
l S−32l < l S−S
I I ・・・ (5
)のとき、識別されるべき対象物体は、第2対象物体1
4bである。
I I ・・・ (5
)のとき、識別されるべき対象物体は、第2対象物体1
4bである。
なお、ここでは形状の特徴として面積を用いたが、周囲
長などの池の特徴を用いたり、形状を重ね合わせて比較
するいわゆるテンプレートマツチングの手法を用いても
よい。また、前記実施例では、先端に形状の違いがある
対象物体の場合について述べたが、先端以外の任意の箇
所に形状の差異がある対象物体の場合でも同様に識別す
ることができる。以上は、対象物体14が21!1類の
場合であるが、3以上の多種類となっても各対象物体に
応じた部分領域と形状のvf徴を用いることに上って、
同様に形状を識別することができる。まj、こ、前記実
施例では、1画面に1個の対象物体を月応させた場合を
述べたが、1画面に同時に複数個の対象物体がある場合
でも個々の物体に本方法を適用することによって、個/
zの物体の形状を識別することができる6 さらに、前記実施例では、撮像装置として2台のテレビ
カメラ1.2を用いる場合について述べたが、1台のテ
レビカメラでズームレンズの光学系の倍率を切り換える
構成にしてもよい。
長などの池の特徴を用いたり、形状を重ね合わせて比較
するいわゆるテンプレートマツチングの手法を用いても
よい。また、前記実施例では、先端に形状の違いがある
対象物体の場合について述べたが、先端以外の任意の箇
所に形状の差異がある対象物体の場合でも同様に識別す
ることができる。以上は、対象物体14が21!1類の
場合であるが、3以上の多種類となっても各対象物体に
応じた部分領域と形状のvf徴を用いることに上って、
同様に形状を識別することができる。まj、こ、前記実
施例では、1画面に1個の対象物体を月応させた場合を
述べたが、1画面に同時に複数個の対象物体がある場合
でも個々の物体に本方法を適用することによって、個/
zの物体の形状を識別することができる6 さらに、前記実施例では、撮像装置として2台のテレビ
カメラ1.2を用いる場合について述べたが、1台のテ
レビカメラでズームレンズの光学系の倍率を切り換える
構成にしてもよい。
本発明によって識別すべき形状は、対象物体の外形に限
らず、全体の形状の部分のみ、たとえば表面の汚れなど
も含まれる。
らず、全体の形状の部分のみ、たとえば表面の汚れなど
も含まれる。
効 果
以上のように、本発明によれば形状の差異がごくわずか
な対象物体に対してもこれを、高速かつ、1’j精度に
識別することができるようになる。これによって対象物
体を撮像する撮像装置の分解能をむやみに大きくする必
要はなく、あるいはまた、その画像データをストアする
メモリの容量が所望に大きくなることが避けられる。
な対象物体に対してもこれを、高速かつ、1’j精度に
識別することができるようになる。これによって対象物
体を撮像する撮像装置の分解能をむやみに大きくする必
要はなく、あるいはまた、その画像データをストアする
メモリの容量が所望に大きくなることが避けられる。
第1図は本発明の一実施例の全体の系統図、第2図は第
1画像処理部3の具体的な構成を示すブロック図、Pt
53図はNS1および第2テレビカメラ1.2によって
撮像した画像を示す図、第4図は第1および第2テレビ
カメラ1.2の撮像視野の位置関係を示す図である。 1・・・第1テレビカメラ、2・・・!R2テレビカメ
ラ、3・・・第1画像処理部、4・・・第2画像処J!
[!部、5・・・第1モニタテレビ表示手段、6・・・
@2モニタテレビ表示手段、7・・・第2テレビカメラ
用走行装置、8・・・走行レール、9川コンベア、11
・・・第1テレビカメラ1の視野、12・・・第2テレ
ビカメラ2の視野、13・・・画像処理装置、I J、
14a、14b・・・対象物体、45・・・慣性主軸 第3 .. (a) (b) (d)
1画像処理部3の具体的な構成を示すブロック図、Pt
53図はNS1および第2テレビカメラ1.2によって
撮像した画像を示す図、第4図は第1および第2テレビ
カメラ1.2の撮像視野の位置関係を示す図である。 1・・・第1テレビカメラ、2・・・!R2テレビカメ
ラ、3・・・第1画像処理部、4・・・第2画像処J!
[!部、5・・・第1モニタテレビ表示手段、6・・・
@2モニタテレビ表示手段、7・・・第2テレビカメラ
用走行装置、8・・・走行レール、9川コンベア、11
・・・第1テレビカメラ1の視野、12・・・第2テレ
ビカメラ2の視野、13・・・画像処理装置、I J、
14a、14b・・・対象物体、45・・・慣性主軸 第3 .. (a) (b) (d)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 対象物体の形状を識別する方法において、 対象物体の全体を撮像する第1撮像装置1と、対象物体
の部分領域を拡大して撮像する第2撮像装置2と、第2
前記撮像装置2を位置決めする溜めの位置決め装置と、
画像処理装置とを準備し、まず、前記第1撮像装置1に
よつて対象物体の全体を含む画像を撮像し、この画像を
前記画像処理装置で処理して対象物体の部分領域の位置
を求め、 次に、この位置に前記第2撮像装置2を前記位置決め装
置を用いて位置決めし、 その後、前記第2撮像装置2によつて、対象物体の前記
部分領域の拡大画像を撮像し、この拡大画像を前記画像
処理装置で処理して形状の特徴を求めて形状を識別する
ことを特徴とする形状識別方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61037897A JP2516587B2 (ja) | 1986-02-22 | 1986-02-22 | 形状識別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61037897A JP2516587B2 (ja) | 1986-02-22 | 1986-02-22 | 形状識別方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62196775A true JPS62196775A (ja) | 1987-08-31 |
JP2516587B2 JP2516587B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=12510332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61037897A Expired - Fee Related JP2516587B2 (ja) | 1986-02-22 | 1986-02-22 | 形状識別方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2516587B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021064356A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | 東京エレクトロンデバイス株式会社 | プログラム、情報処理システム、情報処理方法及び情報処理装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60218164A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Toshiba Corp | 画像処理装置 |
-
1986
- 1986-02-22 JP JP61037897A patent/JP2516587B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60218164A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Toshiba Corp | 画像処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021064356A (ja) * | 2019-10-10 | 2021-04-22 | 東京エレクトロンデバイス株式会社 | プログラム、情報処理システム、情報処理方法及び情報処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2516587B2 (ja) | 1996-07-24 |
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