JPS62196330U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62196330U JPS62196330U JP8525186U JP8525186U JPS62196330U JP S62196330 U JPS62196330 U JP S62196330U JP 8525186 U JP8525186 U JP 8525186U JP 8525186 U JP8525186 U JP 8525186U JP S62196330 U JPS62196330 U JP S62196330U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- vacuum chamber
- lead rod
- screw
- position adjustment
- Prior art date
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- Pending
Links
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案のスパツタリング装置の一実施
例における要部の半截縦断正面図、第２図は本考
案の一実施例を示す概略構成図、第３図は従来の
スパツタリング装置を示す概略構成図である。 ５，１８…リード棒、６…対向電極、７…ター
ゲツト電極、１５，１６…端板、１７…真空室、
１９…Ｏリング収納溝、２１…Ｏリング、２２…
押えねじ、２４…位置調節ねじ、２５…支持パイ
プ。
例における要部の半截縦断正面図、第２図は本考
案の一実施例を示す概略構成図、第３図は従来の
スパツタリング装置を示す概略構成図である。 ５，１８…リード棒、６…対向電極、７…ター
ゲツト電極、１５，１６…端板、１７…真空室、
１９…Ｏリング収納溝、２１…Ｏリング、２２…
押えねじ、２４…位置調節ねじ、２５…支持パイ
プ。
Claims (1)
- 真空室内に一対のリード棒を気密に導入し、こ
れらリード棒の内端部に対をなして相対向するタ
ーゲツト電極と対向電極とを固着してなるスパツ
タリング装置において、真空室の少なくとも一方
の端板の外面にリード棒と相埃つてＯリング収納
溝を形成する環状切欠部を設け、この環状切欠部
の周面にＯリング収納溝に収納したＯリングを押
える押えねじを螺合して設け、その押えねじにリ
ード棒を挿通するとともに、リード棒における真
空室外部に位置調節ねじを螺合して設け、位置調
節ねじと押えねじとの間にリード棒を挿通した支
持パイプを介在したことを特徴とするスパツタリ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8525186U JPS62196330U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8525186U JPS62196330U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62196330U true JPS62196330U (ja) | 1987-12-14 |
Family
ID=30940490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8525186U Pending JPS62196330U (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62196330U (ja) |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP8525186U patent/JPS62196330U/ja active Pending