JPS62193722U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62193722U JPS62193722U JP8196686U JP8196686U JPS62193722U JP S62193722 U JPS62193722 U JP S62193722U JP 8196686 U JP8196686 U JP 8196686U JP 8196686 U JP8196686 U JP 8196686U JP S62193722 U JPS62193722 U JP S62193722U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- processed
- developing device
- drive mechanism
- reverse rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る現像装置の一実施例を示
す概念図、第２図は回転体の正逆回転数を示すグ
ラフ、第３図は正逆回転移行時に所定時間停止さ
せる場合を示す第２図相当図、第４図は従来の一
方向にのみに回転させる場合を示す第２図、第３
図相当図である。 図において、１はウエハ（被処理体）、２は回
転体、３は回転駆動機構である。
す概念図、第２図は回転体の正逆回転数を示すグ
ラフ、第３図は正逆回転移行時に所定時間停止さ
せる場合を示す第２図相当図、第４図は従来の一
方向にのみに回転させる場合を示す第２図、第３
図相当図である。 図において、１はウエハ（被処理体）、２は回
転体、３は回転駆動機構である。
Claims (1)
- 被処理体に現像液を噴霧して現像層を被着形成
させる現像装置において、上記被処理体を載置す
る回転体と、この回転体を正逆回転制御する回転
駆動機構とを備えたことを特徴とする現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8196686U JPS62193722U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8196686U JPS62193722U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193722U true JPS62193722U (ja) | 1987-12-09 |
Family
ID=30934190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8196686U Pending JPS62193722U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62193722U (ja) |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP8196686U patent/JPS62193722U/ja active Pending