JPS62188237A - ウエ−ハプロ−ビングマシンのプロ−ビング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く利用分野〉 この発明は半導体製造の工程において、ウェーハ上に多
数個規則的に配置されたチップの電気的性能を連続して
検査するウェーハプロービングマシンのプロービングを
行なう方法に係るものである。

〈従来技術〉 プロービングマシンにおいては、従来ウェーハをテーブ
ル上に位置決めしてセットし、その上に取り付けられた
プローブカードの触針に対してチップの電極パッドを接
触させて測定検査を行なっている。この場合、テーブル
の移動方向Ｘ、Ｙに対してカードの触針の方向を正確に
一致させる必要があるので、プローブカードのカードホ
ルダーを回転可能とし、プローブカードを修正回転し、
触針を電極パッドの位置に合わせて測定を開始するよう
にしている。これはプローブカードの製作上の誤差、バ
ラツキ或は該カード固定時の誤差等によるものであって
、カードをカードホルダーにセットする際約±１°程度
の触針方向のｍ正を要していた。

いまその測定の順序を第３図によって説明すると、テー
ブル２上のウェーハ１に配列されたチップ１ａは正確に
Ｘ、Ｙ方向に位置決めされて、ブローブカード（ｆｆ＄
２図の符号３）の中心に対して一点鎖線で示す移動を行
なっている。ここで、プローブカードは固定されていて
、ウェーハテーブル２がＸ、Ｙ方向に移動するのである
が、そのときの触針中心の軌跡をウェーハ上に示したも
のが図の一点鎖線である。

そこで、例えば図上でウェーハの右下のチップから測定
を開始したとすると、まずＸ方向にだけ所定のピッチで
左に移り、その列のチップの最終に米なところで一列だ
けＹ方向に上がり、二列目をＸ方向に右に移る順序で一
点鎖線で示す移動を行なうことになる。通常このテーブ
ルのＸ、Ｙ移動はマイクロコンピュータによって制御さ
れている。そこでまずプローブカードをウェーハ上のチ
ップの配列によって修正する必要上、カードホルダーに
はプローブカードを回転修正する機構を必要とする。こ
こでプローブカードには多数本の導線がプリントされて
いて、その端子電極とカードホルダーを結ぶ部分を可動
にするためには不必要に導線を長くする必要があり、製
作に賛用を要するだけでなく、信号損失に影響する高周
波検査には不利となる欠点がある。

そこでプローブカードの誤差のないものが希望されてい
るのであるが、カードは人手によって１枚ずつ製作され
るため誤差を零とすることは非常に困難である。

く本発明の方法〉 上記のような従来の問題点に鑑みて本発明が提供された
もので、本発明はプローブカードのイｌ正回転機構を設
けずに、固定されたプローブカードの傾きθを検出し、
ウェー八載設テーブルをその平面座標に於いて該傾き及
びＸ、Ｙ方向も併せて整合させるべく回転させるだけで
位置合わせを可能とした簡単な方法を提供するものであ
る。

以下その実施例を図面を参照して説明する。

第２図において、ウェーハ１は予め位置決め（プリアラ
イメント）されて、方向Ｘ、Ｙに移動可能のテーブル２
の上にセットされ、更に精密にテーブルを回転して精密
位置合わせ（ファインアライメント）されて、プローブ
カード３の触針４の下に移動する。このときプローブカ
ード３はカードホルダー５に前記のように、固定されて
いる。そこでテーブル２を上昇（Ｚ移動）させて、針先
につニーハチツブの電極パッド（図示せず）を近接させ
る。そして針先とパッドとの関係を顕微鏡で観察して、
針先列を基準としてテーブル２を回転して、全部の針先
をパッドに一致させる。このときのつ工−ハの修正回路
角度をθとし、そのときのＸｌＹ位置と共にこれを平面
座標としてマイクロコンビ丹−タに記憶させる。ここで
θはセットされたカードの触針のずれ角度であって、本
発明においてはウェーハを載置したテーブル２をθだけ
ずらせるのである。

次に一例として、第３図のような順序をもって、図上右
下のチップから左方に測定点を移動させる場合を説明す
ると、第１図に示すように、テーブル２の移動方向はＸ
％Ｙであって、ウェーハ１はθだけ回転している。そこ
で右下のチップ１１の測定を終わった時点でチップ１２
に移るのであるが、これには×１、ｙｌの移動を行なう
必要がある。

いまチップ１１．１２．１３のＸ方向の間隔がＬであり
、回転角が前述したようにθであるので、これによって
マイクロコンピュータ１こよりＸ’、Ｆ＋を演算し、Ｘ
１％　Ｖ＋の移動を同時に行なえば、その合成によって
チップ１２．１３曲間の位置を触針位置に合わせること
ができる。なお最下列のチップの測定が終了して、下か
ら二列目に入るときも、Ｘ２Ｆ２の合成移動によればよ
い。このとき横方向の移動’！ｘＩ　Ｆ　ｌｓ縦方向の
移動量Ｘ２ｙ２はウェーハ上のチップの配置が一定して
いる限り一定値を取るため、一度演算すれば同品種のウ
ェーハにそのデータを共通して利用することができる。

従って一枚のウェーハの測定が終わると、次のウェーハ
がテーブル２上に精密に位置決めされてセットされるの
でこれを前述した回転角θだけ回転し、移動量Ｘ＋Ｆ＋
及びに２ｙ２によって前述同様に移動させて測定を行な
い、即ち連続測定が可能となる。

〈効果〉 本発明においてはプローブカードはカードホルグーに差
し込まれた状態で固定されて使用されるため、該ホルダ
一部の回転機構が省略できることになり、全体として鎖
部の機構が簡単となり、信頼性が向上して製作費も安く
なると共にプローブカードとカードホルダーの接続導線
が短くなるので高周波測定に非常に好都合となる。また
導線の連結が簡単になって、取り扱いに便利という効果
も奏する。

更に又、本発明方法によれば、同品種のウェーハを多数
測定する場合、最初のウェーハでプローブカードとウェ
ーハの平面座標を整合設定してやれば、２枚目からはそ
のデータを利用することで簡単に整合できるので、測定
のスピードアップがはかれ、作業効率が向上することに
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプロービング方法の説明図、第２図は
プロービングマシンの測定部における構造の概略説明図
、第３図は従来のチップ測定順序を示す説明図。 １：ウェーハ　　２：テーブル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｘ、Ｙ、Ｚ移動並びに回転可能のテーブルに、チップの
   配設されたウェーハを精密位置決めしてプローブカード
   の下に移動させるプロービングマシンにおいて、プロー
   ブカードをそのホルダーに固定し、その触針の先端列の
   座標位置を基準として、テーブルを移動させてチップを
   触針の座標に合わせ、チップの間隔と傾きとによりチッ
   プ間の移動量を演算して、順次その移動量をもって次の
   チップにウェーハを移動させて連続測定するウェーハプ
   ロービングマシンのプロービング方法。