JPS62186449A - 回転対陰極ｘ線管 - Google Patents
回転対陰極ｘ線管Info
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- JPS62186449A JPS62186449A JP2678986A JP2678986A JPS62186449A JP S62186449 A JPS62186449 A JP S62186449A JP 2678986 A JP2678986 A JP 2678986A JP 2678986 A JP2678986 A JP 2678986A JP S62186449 A JPS62186449 A JP S62186449A
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- Japan
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Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特にＸ線の回折あるいは蛍光Ｘ線の波長分析等
による物質の分析に用いるための回転対陰極Ｘ線管に関
する。
による物質の分析に用いるための回転対陰極Ｘ線管に関
する。
例えば、任意の金属片等の試料に引張り、圧縮の外力を
繰り返して加え、その各状態における試料の結晶組織を
分析する場合等において、従来は一定の波長分布をもっ
たＸ線を試料に常時照射し、その回折Ｘ線の受光スリッ
トを前記外力の変化に応じて間欠的に開放する装置が用
いられていた。
繰り返して加え、その各状態における試料の結晶組織を
分析する場合等において、従来は一定の波長分布をもっ
たＸ線を試料に常時照射し、その回折Ｘ線の受光スリッ
トを前記外力の変化に応じて間欠的に開放する装置が用
いられていた。
しかしこの装置は受光スリットの開閉機構を構成する部
品が摩耗し易い欠点がある。従って本発明はＸ線の通路
に開閉スリットのような機械的な可動部を必要とするこ
となく、例えば上述のようなＸ線分析を行うことのでき
る回転対陰極Ｘ線管を提供しようとするものである。
品が摩耗し易い欠点がある。従って本発明はＸ線の通路
に開閉スリットのような機械的な可動部を必要とするこ
となく、例えば上述のようなＸ線分析を行うことのでき
る回転対陰極Ｘ線管を提供しようとするものである。
本発明は回転対陰極Ｘ線管において、その回転対陰極を
回転方向において複数の部分に区画し、この各区画をそ
れぞれ所望の対陰極金属で形成すると共に各区画の間に
段差を生じないような構造としたものである。従って対
陰極を高速度で連続回転すると同時にその対陰極の表面
の一部を電子線で励起すると、各区画における対陰極金
属の種類に応じて波長分布の異なるＸ線が交互にパルス
的に発生する。このため重連のように、試料に加える外
力を周期的に変化して、しかし一定の外力の状態におけ
る結晶組織を分析する場合等は、対陰極の回転周期と上
記外力の変化周期との関係を一定の状態に保持し、試料
による回折Ｘ線の出力をこれと同期して電気的に切換え
るだけで、機械的な可動部を必要とすることなく、所望
の分析、測定を行うことができる。このように本発明の
Ｘ線管は数種の金属の特性Ｘ線を交互にパルス的に発生
させるもので、対陰極の回転軸から得られる同期信号で
回折Ｘ線等の検出器の動作を制御することにより、所望
の状態における試料の結晶構造等の観測が可能である。
回転方向において複数の部分に区画し、この各区画をそ
れぞれ所望の対陰極金属で形成すると共に各区画の間に
段差を生じないような構造としたものである。従って対
陰極を高速度で連続回転すると同時にその対陰極の表面
の一部を電子線で励起すると、各区画における対陰極金
属の種類に応じて波長分布の異なるＸ線が交互にパルス
的に発生する。このため重連のように、試料に加える外
力を周期的に変化して、しかし一定の外力の状態におけ
る結晶組織を分析する場合等は、対陰極の回転周期と上
記外力の変化周期との関係を一定の状態に保持し、試料
による回折Ｘ線の出力をこれと同期して電気的に切換え
るだけで、機械的な可動部を必要とすることなく、所望
の分析、測定を行うことができる。このように本発明の
Ｘ線管は数種の金属の特性Ｘ線を交互にパルス的に発生
させるもので、対陰極の回転軸から得られる同期信号で
回折Ｘ線等の検出器の動作を制御することにより、所望
の状態における試料の結晶構造等の観測が可能である。
また本発明のＸ線管は爆発現象における物質の変化状態
を動的に観察するためにも有効であると共にＸ線の回折
光学系中に分光結晶を設けることにより、対陰極の交換
を必要とすることなく、光学系の角度調整だけで２種以
上の特性Ｘ線による分析を行うことができる。
を動的に観察するためにも有効であると共にＸ線の回折
光学系中に分光結晶を設けることにより、対陰極の交換
を必要とすることなく、光学系の角度調整だけで２種以
上の特性Ｘ線による分析を行うことができる。
更にＸ線管の両側から２方向へＸ線を取り出すときは異
種の特性Ｘ線による分析を同時に行うこと等も可能であ
る。しかも対陰極金属の境界に段差が形成されないよう
にしであるから、発生Ｘ線が隣接する対陰極金属で遮蔽
されるようなおそれもないと共にＸ線の焦点位置の移動
を防止し得る等の効果がある。
種の特性Ｘ線による分析を同時に行うこと等も可能であ
る。しかも対陰極金属の境界に段差が形成されないよう
にしであるから、発生Ｘ線が隣接する対陰極金属で遮蔽
されるようなおそれもないと共にＸ線の焦点位置の移動
を防止し得る等の効果がある。
第１図は本発明実施例の一部を縦断した側面図、第２図
は第１図のＡ−Ａ断面図、また第３図は第１図における
Ｂ−８部分を示した図である。真空気密筺体１は図示し
てないが高真空排気ポンプに連結される。その筺体Ｉに
軸受２を設けて円筒状の回転対陰極３の軸４を保持し、
軸４の先端に取り付けたプーリ５をベルト６で駆動する
ようにしである。また回転対陰極３の側面と対向するよ
うに電子銃７を設けると共にこの電子銃から上記対陰極
３の側面に入射する電子線の入射部と対向するように筺
体１にＸ疎意８を形成しである。上記対陰極３は例えば
銅で形成した中空の円筒状体に軸４を設けたもので、そ
の周側面に複数個の軸方向の凹溝を等間隔に形成して例
えばモリブデンのような異種金属９．９・・・を嵌合し
である。なおこのような対陰極の製作法の一例を記すと
、銅の対陰極３の表面に軸方向の凹溝を形成したのち、
電解析出法あるいは蒸着法等でその全表面を異種金属９
で被覆して、つぎに銅の部分が露出するまで表面を均等
に切削する。従って銅の部分とモリブデンの部分との境
界に段差を生ずることなく、銅の対陰極部分とモリブデ
ンの対陰極部分とが回転方向に交互に配列する。このた
め一方の金属がら発生して窓８から取り出されるＸ線が
上記段差で遮蔽されるようなおそれが除かれる。また各
金属の幅をそれぞれ適当に選定することによって、それ
ぞれの金属から発生するＸ線の強度の割合を任意に設定
することができる。
は第１図のＡ−Ａ断面図、また第３図は第１図における
Ｂ−８部分を示した図である。真空気密筺体１は図示し
てないが高真空排気ポンプに連結される。その筺体Ｉに
軸受２を設けて円筒状の回転対陰極３の軸４を保持し、
軸４の先端に取り付けたプーリ５をベルト６で駆動する
ようにしである。また回転対陰極３の側面と対向するよ
うに電子銃７を設けると共にこの電子銃から上記対陰極
３の側面に入射する電子線の入射部と対向するように筺
体１にＸ疎意８を形成しである。上記対陰極３は例えば
銅で形成した中空の円筒状体に軸４を設けたもので、そ
の周側面に複数個の軸方向の凹溝を等間隔に形成して例
えばモリブデンのような異種金属９．９・・・を嵌合し
である。なおこのような対陰極の製作法の一例を記すと
、銅の対陰極３の表面に軸方向の凹溝を形成したのち、
電解析出法あるいは蒸着法等でその全表面を異種金属９
で被覆して、つぎに銅の部分が露出するまで表面を均等
に切削する。従って銅の部分とモリブデンの部分との境
界に段差を生ずることなく、銅の対陰極部分とモリブデ
ンの対陰極部分とが回転方向に交互に配列する。このた
め一方の金属がら発生して窓８から取り出されるＸ線が
上記段差で遮蔽されるようなおそれが除かれる。また各
金属の幅をそれぞれ適当に選定することによって、それ
ぞれの金属から発生するＸ線の強度の割合を任意に設定
することができる。
更に軸４の端部には非磁性体の円板１０を同軸的に固定
して、その円板の表面に適当な方向に磁化された永久磁
石１１，１１・・・を前記異種金属９．９・・・と同数
だけ第３図のように等間隔で配列しである。すなわち上
記磁石の１つと対向するように小型のコイル１２を配置
することによって、電子線が上記異種金属９の部分に入
射して、その金属からＸ線が発生したとき、これと同期
的に上記コイルからパルスを発生させて、発生Ｘ線の弁
別に利用することができる。
して、その円板の表面に適当な方向に磁化された永久磁
石１１，１１・・・を前記異種金属９．９・・・と同数
だけ第３図のように等間隔で配列しである。すなわち上
記磁石の１つと対向するように小型のコイル１２を配置
することによって、電子線が上記異種金属９の部分に入
射して、その金属からＸ線が発生したとき、これと同期
的に上記コイルからパルスを発生させて、発生Ｘ線の弁
別に利用することができる。
第４図は本発明Ｘ線管の利用例を示した図で、気密筺体
ｌ内の対陰極３に電子銃７から電子線ｅを照射すると、
その入射部から発生したＸ線Ｘが窓８から取り出されて
ゴニオメータ！３の中心に配置された試料１４に入射す
る。この試料で回折したＸ線が検出器１５で検出されて
、その出力が切換器Ｉ６により記録装置１７または１８
に分配されるが、その切換器１６を前記コイルＩ２の出
力で制御しである。すなわち電子線ｅが対陰極３の基体
を構成した金属である銅の部分に入射する状態では検出
器１５の出力が記録装置１７に加えられ、またモリブデ
ンのような異種金属９に入射する状態では記録装置Ｉ８
に加わるように切換器１６を制御しである。従って検出
器Ｉ５と試料１４とを矢印ｐのように２対１の角速度を
もって低速度で回動させると同時に対陰極３を高速度で
連続回転させると、例えば銅の特性Ｘ線が試料１４に入
射したときの回折Ｘ線およびモリブデンの特性Ｘ線が上
記試料に入射した場合の回折Ｘ線がそれぞれ記録装置１
７と１８とに分離して別個に記録される。
ｌ内の対陰極３に電子銃７から電子線ｅを照射すると、
その入射部から発生したＸ線Ｘが窓８から取り出されて
ゴニオメータ！３の中心に配置された試料１４に入射す
る。この試料で回折したＸ線が検出器１５で検出されて
、その出力が切換器Ｉ６により記録装置１７または１８
に分配されるが、その切換器１６を前記コイルＩ２の出
力で制御しである。すなわち電子線ｅが対陰極３の基体
を構成した金属である銅の部分に入射する状態では検出
器１５の出力が記録装置１７に加えられ、またモリブデ
ンのような異種金属９に入射する状態では記録装置Ｉ８
に加わるように切換器１６を制御しである。従って検出
器Ｉ５と試料１４とを矢印ｐのように２対１の角速度を
もって低速度で回動させると同時に対陰極３を高速度で
連続回転させると、例えば銅の特性Ｘ線が試料１４に入
射したときの回折Ｘ線およびモリブデンの特性Ｘ線が上
記試料に入射した場合の回折Ｘ線がそれぞれ記録装置１
７と１８とに分離して別個に記録される。
第１図は本発明実施例の一部を縦断した側面図、第２図
は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図におけるＢ−
８部分を示した図、また第４図は本発明によるＸ線管の
利用例の構成を示した図である。なお図において、ｌは
真空気密筐体、２は軸３の基台金属と異なる種類の金属
、１０は円板、１１は永久磁石、１２はコイル、Ｉ３は
ゴニオメータ、１４は試料、１５はＸ線検出器、１６は
切換器、Ｉ７．１８は記録装置である。
は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図におけるＢ−
８部分を示した図、また第４図は本発明によるＸ線管の
利用例の構成を示した図である。なお図において、ｌは
真空気密筐体、２は軸３の基台金属と異なる種類の金属
、１０は円板、１１は永久磁石、１２はコイル、Ｉ３は
ゴニオメータ、１４は試料、１５はＸ線検出器、１６は
切換器、Ｉ７．１８は記録装置である。
Claims (1)
- 回転対陰極の表面をその回転方向において複数の部分に
区画し、複数の対陰極金属をそれらの境界に段差が形成
されないように上記各区画に配置したことを特徴とする
回転対陰極Ｘ線管
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2678986A JPS62186449A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 回転対陰極ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2678986A JPS62186449A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 回転対陰極ｘ線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186449A true JPS62186449A (ja) | 1987-08-14 |
Family
ID=12203077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2678986A Pending JPS62186449A (ja) | 1986-02-12 | 1986-02-12 | 回転対陰極ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186449A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013076598A1 (en) * | 2011-11-23 | 2013-05-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Periodic modulation of the x-ray intensity |
-
1986
- 1986-02-12 JP JP2678986A patent/JPS62186449A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013076598A1 (en) * | 2011-11-23 | 2013-05-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Periodic modulation of the x-ray intensity |
| CN103959423A (zh) * | 2011-11-23 | 2014-07-30 | 皇家飞利浦有限公司 | X射线强度的周期性调制 |
| JP2015503190A (ja) * | 2011-11-23 | 2015-01-29 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | Ｘ線強度の周期変調 |
| US9870892B2 (en) | 2011-11-23 | 2018-01-16 | Koninklijke Philips N.V. | Periodic modulation of the X-ray intensity |
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