JPH06308293A - ソーラスリット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】感度と分解能とを任意に設定することができ、
かつ構造がコンバクトなソーラスリットの提供。 【構成】互いに平行に配設された複数の隔壁板２を有す
るソーラスリットを、隔壁板２の両側それぞれに回動自
在に設けられて各隔壁板２に係合する一対の対向リンク
体３Ａ，３Ｂと、この対向リンク体３Ａ，３Ｂを回動さ
せるリンク回動部４とを備えて構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置等に
おいて、分析用ビームの散乱角を規制して平行ビームを
得るのに用いられるソーラスリットに関する。

【０００２】

【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置においては、分析精度
を高めるために、蛍光Ｘ線の散乱角を規制して平行ビー
ムとすることが行われている。そして、このような平行
ビームを得るための構成としてソーラスリットがある。
ソーラスリットは平行に配設された複数の隔壁板を備え
て構成されており、ソーラスリットを蛍光Ｘ線の光路に
沿って配置することで、通過する蛍光Ｘ線の散乱角を規
制して蛍光Ｘ線を平行ビームにするようになっている。

【０００３】このようなソーラスリットにおいては、隔
壁板の間隔を変動させて感度や分解能を調整することが
行われている。すなわち、Ｘ線強度のピークプロファイ
ルに対してピーク強度つまり感度を優先させる場合には
隔壁板の間隔を拡げ、一方、半値幅を狭くするつまり分
解能を優先させる場合には隔壁板の間隔を狭めていた。

【０００４】そして、このような感度や分析能を調整す
る機構を備えたソーラスリットとして従来から、実開平
４−９９０６１号公報に記載されたものがある。このソ
ーラスリットは、感度や分解能に応じてそれぞれの隔壁
板の間隔を設定したうえで互いに並列配置された複数の
ソーラスリットと、これらソーラスリットをその並列方
向に沿って往復搬送する搬送機構とを備えて構成されて
おり、搬送機構でソーラスリットを搬送することによっ
て分析用ビームの光路上に位置させるソーラスリットを
選択するようになっている。

【０００５】また、このほか、感度や分解能を調整する
機構を備えたソーラスリットとしては従来から、分析用
ビームの光路の近傍に光路と平行に回転軸を配設すると
ともに、この回転軸の外側に、隔壁板の間隔が互いに異
なる複数のソーラスリットを放射線状に取り付け、これ
らソーラスリットを回転軸を回転中心として回転させる
ことによって、分析用ビームの光路上に位置するソーラ
スリットを選択するものもある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
には、次のような問題があった。すなわち、いずれの従
来例にしても、隔壁板の間隔によって予め感度や分解能
が固定的に設定された複数のソーラスリットから択一的
にソーラスリットを選択することによって感度と分解能
を設定しており、選択できる感度および分解能が限定さ
れて、任意に設定できない。

【０００７】また、いずれの従来例にしても、複数のソ
ーラスリットを必要としており、そのために、分析用ビ
ームの光路の周囲には、複数のソーラスリットを収納す
るスペースや、これら複数のソーラスリットを搬送する
機構を収納するスペースが必要となり、装置が大型化す
る。

【０００８】したがって、本発明においては、感度と分
解能とを任意に設定することができ、かつ構造がコンバ
クトなソーラスリットを提供することを目的としてい
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明においては、互いに平行に配設された
複数の隔壁板を有するソーラスリットを、前記隔壁板の
両側それぞれに回動自在に設けられて各隔壁板に係合す
る一対の対向リンク体と、この対向リンク体を回動させ
るリンク回動部とを備えて構成した。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、リンク回動部によって対向
リンク体を回動させれば、その回動に伴って、隔壁板は
互いの平行を保持したままその間隔が連続的に変化する
ことになる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の第１実施例を図面を参照して
詳細に説明する。本実施例は、蛍光Ｘ線分析装置に組み
込まれたソーラスリットにおいて実施したものであっ
て、図１は本実施例のソーラスリットを備えた蛍光Ｘ線
分析装置の全体構成図であり、図２はソーラスリットの
全体構成を示す斜視図である。

【００１２】このソーラスリット１を備えた蛍光Ｘ線分
析装置１００は、試料１０１に向かって一次Ｘ線を照射
するＸ線管１０２と、一次Ｘ線を照射された試料１０１
から発生するその試料特有の蛍光Ｘ線のうち、ブラッグ
の式を満たす所定の波長の蛍光Ｘ線のみを回折Ｘ線とし
て、入射角と同一角度の回折角度で出射する分光素子１
０３と、分光素子１０３から出射された回折Ｘ線を検出
して電気信号に変換する蛍光Ｘ線検出器１０４とを備え
ている。

【００１３】また、この蛍光Ｘ線分析装置１００は、試
料１０１と分光素子１０３との間にあって分光素子１０
３に入射される蛍光Ｘ線の入射角を制限する１次ソーラ
スリットＡと、分光素子１０３と蛍光Ｘ線検出器１０４
との間にあって分光素子１０３から蛍光Ｘ線検出器１０
４に出射される回折Ｘ線の出射角を制限する２次ソーラ
スリットＢとを備えている。そして、これらソーラスリ
ットＡ，Ｂのうち、１次ソーラスリットＡが本実施例の
ソーラースリット１から構成されている。

【００１４】このソーラースリット１は試料から出射さ
れる蛍光Ｘ線の光路に沿って互いに平行に配設された複
数の隔壁板２，…と、これら隔壁板２，…を保持する一
対の対向リンク板３Ａ，３Ｂと、リンク回動部４とを備
えている。対向リンク板３Ａ，３Ｂは隔壁板２，…の両
側に互いに平行に配設されている。これら対向リンク板
３Ａ，３Ｂの上端どうしは連結部５，６を介して天井板
７によって回動自在に連結されている。また、対向リン
ク板３Ａ，３Ｂの下端どうしは連結部８，９を介して底
板１０によって回動自在に連結されている。底板１０
は、図示しない基部に固定されている。

【００１５】対向リンク板３Ａ，３Ｂには、複数の長孔
１１，…が互いに平行に穿設されており、各隔壁板２，
…は両側部をこの長孔１１，…に挿通させることによっ
て対向リンク板３Ａ，３Ｂの間にあって互いに平行に保
持されている。このようにして、対向リンク板３Ａ，３
Ｂと隔壁板２，…とは互いにリンク結合している。

【００１６】リンク回動部４は対向リンク体３Ａ，３Ｂ
を回動させるものであって、一方の対向リンク板３Ａの
下端から連結部８の軸方向外側に向かって突出するとと
もに対向リンク板３Ａと回転一体に形成された駆動軸１
２と、この駆動軸１２を回転駆動する駆動モータ１３
と、駆動軸１２と駆動モータ１３とを連結する連結ベル
ト１４からなっている。そして、駆動モータ１３による
回転駆動は制御部１５によって制御されている。

【００１７】次に上記構成のソーラスリット１の動作を
図３（ａ）,（ｂ）の図面を参照して説明する。隔壁板
２，…の間隔は、図３（ａ）に示すように、対向リンク
板３Ａと垂直線αとの間に形成される角度θが０°のと
き最大値ｄ₁となる。そして、駆動モータ１３によって
駆動軸１２を、いずれかの方向（図３では右回り）に所
定角度回転させる。そうすると、図３（ｂ）に示すよう
に、対向リンク板３Ａがその下端を回動中心にして回動
する。対向リンク板３Ａが回動すると、対向リンク板３
Ａ．３Ｂにリンク結合している隔壁板２，…も互いの平
行関係を維持しつつ近接しあうことになる。ここで、対
向リンク板３Ａ，３Ｂが回動した場合の隔壁板２，…の
間隔ｄ₂は、隔壁板２の厚みをｔとした場合に、ｄ₂＝
（ｄ₁＋ｔ）ｃｏｓθ−ｔの式によって求められ、間隔
ｄ₂は角度θが大きくなるにしたがって狭くなっていく
ことがわかる。

【００１８】このように角度θが０°から９０°の間の
任意の値になるように、駆動モータによって対向リンク
板３Ａを回動駆動すれば、隔壁板２…の間の間隔を０〜
ｄ₁の間の連続した任意の値に設定できる。隔壁板２，
…の間隔は感度と分解能とに密接に関係しており、図６
に示すように、隔壁板２，…の間隔を狭めれば、分解能
は良くなるが感度が低下する。一方、隔壁板２，…の間
隔を拡幅すれば、分解能は低下するが感度が向上すると
いう互いに相反する関係にある。したがって、制御部１
５を介してリンク回動部４を駆動して隔壁板２…の間隔
を任意の値に設定することにより、測定要求に応じた感
度や分解能を連続した任意の値で精度よく設定できる。
なお、図６においては、実線が感度の変化を示してお
り、点線がピークプロファイルの半値幅、すなわち分解
能の変化を示している。

【００１９】ところで、リンク回動部４によって隔壁板
２…の間隔を変動すると、隔壁板２，…は位置ずれする
ことになる。そのため、蛍光Ｘ線の光路を、隔壁板２，
…が位置ずれした場合でも隔壁板２，…から外れない位
置（例えば、図３中、Ａで示した領域）に予め設定して
おく必要がある。そうすれば、ソーラスリット１が蛍光
Ｘ線の光路からずれることはない。

【００２０】次に本発明の第２実施例を説明する。この
実施例のソーラースリット２０は図４に示すように、対
向リンク板２１Ａ，２１Ｂは隔壁板２，…の両側に互い
に平行に配設されている。これら対向リンク板２１Ａ，
２１Ｂの上端どうしは連結部２２，２３を介して天井板
２４によって回動自在に連結されている。また、対向リ
ンク板２１Ａ，２１Ｂの下端どうしは連結部２５，２６
を介して底板２７によって回動自在に連結されている。
底板２７は、図示しない基部に固定されている。以上の
構造は第１実施例と同様である。

【００２１】本実施例では、隔壁板２，…の係合構造に
特徴がある。すなわち、対向リンク板２１Ａ，２１Ｂの
内側面には係合溝２８が形成されており、隔壁板２，…
はその側部をこの係合溝２８に係合することによって対
向リンク板２１Ａ，２１Ｂの間で平行状態に保持されて
いる。なお、これら以外の構成は第１実施例と同様であ
るため、図中、同一ないし同様の部分には、第１実施例
と同一の符号を付し、それらの詳細な説明は省略する。

【００２２】次に本発明の第３実施例を説明する。この
実施例のソーラースリット３０は図５に示すように、隔
壁板２，…の両側に一対づつ計４本の対向リンク棒３１
Ａ，３１Ｂ，３２Ａ，３２Ｂが配設されている。これら
対向リンク棒３１Ａ，３１Ｂ，３２Ａ，３２Ｂは隔壁板
２，…を挟んでその両端に互いに平行に設けられてい
る。そして、各対向リンク棒３１Ａ，３１Ｂ，３２Ａ，
３２Ｂの上端は天井板３３によって回動自在に連結され
ている。また、各対向リンク棒３１Ａ，３１Ｂ，３２
Ａ，３２Ｂの下端は底板３４によって回動自在に連結さ
れている。底板３４は図示しない基部に固定されてい
る。

【００２３】対向リンク棒３１Ａ，３１Ｂ，３２Ａ，３
２Ｂには複数の挿通孔３５，…が並列に形成されてい
る。また、隔壁板２の両側に配置された対向リンク棒３
１Ａ，３１Ｂ（３２Ａ，３２Ｂ）の間には複数の連結棒
３６，…が互いに平行にかつ等間隔に配設されており、
これら連結棒３６…の両端が対向リンク棒３１Ａ，３１
Ｂ（３２Ａ，３２Ｂ）の挿通孔３６，…に係合してい
る。本実施例では、対向リンク棒３１Ａ，３１Ｂ（３２
Ａ，３２Ｂ）と連結棒３６，…とによって対向リンク体
が構成されている。そして、隔壁板２，…は両側を連結
棒３６，…に巻き付けることで連結棒３６，…に回転自
在に取り付けられている。また、上記以外の構成は第１
実施例と同様であるため、図中、同一ないし同様の部分
には、第１実施例と同一の符号を付し、それらの詳細な
説明は省略する。

【００２４】ところで、上記各実施例においては、本発
明を蛍光Ｘ線分析装置１００の１次ソーラスリットＡに
実施したものであったが、本発明はこれに限るわけでは
なく、蛍光Ｘ線分析装置１００の２次ソーラスリットＢ
にも、さらには、１次，２次のソーラスリットＡ，Ｂ両
方ともに実施できるのはいうまでもない。

【００２５】さらには、本発明は蛍光Ｘ線分析装置だけ
ではなく、Ｘ線回折装置や小角散乱測定装置といった装
置に組み込まれるソーラスリットに実施できるのもいう
までもない。

【００２６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、リンク回
動部によって対向リンク体を回動することにより、平行
を保持したまま隔壁板の間隔を連続的に変動することで
き、そのため、測定要求に対して最適の感度および分解
能を設定することが可能になり、その分、分析精度が向
上した。

【００２７】また、複数のソーラスリット構造を備える
必要がなくなったので、複数のソーラスリットを収納す
るスペースや、これら複数のソーラスリットを搬送する
機構を収納するスペースがいらなくなり、その分、装置
の小型化が達成できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るソーラスリットを組み込んだ蛍光
Ｘ線分析装置の全体構成図である。

【図２】本発明の第１実施例のソーラスリットの構成を
示す斜視図である。

【図３】第１実施例のソーラスリットの動作をそれぞれ
示す正面図である。

【図４】第２実施例のソーラスリットの構成を示す正面
図である。

【図５】第３実施例のソーラスリットの構成を示す斜視
図である。

【図６】蛍光Ｘ線分析装置における隔壁板の間隔と感度
および分解能との間の関係を示す線図である。

【符号の説明】

２ 隔壁板 ３Ａ，３Ｂ 対向リンク体 ４ リンク回動部 ３１Ａ，３１Ｂ 対向リンク棒 ３２Ａ，３２Ｂ 対向リンク棒 ３６ 連結棒

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに平行に配設された複数の隔壁板を有
   するソーラスリットであって、 前記隔壁板の両側それぞれに回動自在に設けられて各隔
   壁板に係合する一対の対向リンク体と、この対向リンク
   体を回動させるリンク回動部とを備えたことを特徴とす
   るソーラスリット。