JPS62186226U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62186226U JPS62186226U JP7088386U JP7088386U JPS62186226U JP S62186226 U JPS62186226 U JP S62186226U JP 7088386 U JP7088386 U JP 7088386U JP 7088386 U JP7088386 U JP 7088386U JP S62186226 U JPS62186226 U JP S62186226U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical head
- measuring device
- suction hole
- vacuum
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Head (AREA)
Description
第１図は本考案に係る装置の被測定物たる光ヘ
ツドの分解斜視図、第２図はその平面図、第３図
は第２図の正面図、第４図、第５図は測定時の作
用状態を示す説明図、第６図、第７図及び第８図
は本考案に係る測定装置の説明図、第９図、第１
０図、第１１図、第１２図、第１３図、第１４図
及び第１５図は従来技術の説明図である。 １……対物レンズ、２１……装置ベース、２２
……Ｘ方向基準板、２３……Ｙ方向基準板、２４
……レーザー光通過孔、６１……真空吸引用孔。
ツドの分解斜視図、第２図はその平面図、第３図
は第２図の正面図、第４図、第５図は測定時の作
用状態を示す説明図、第６図、第７図及び第８図
は本考案に係る測定装置の説明図、第９図、第１
０図、第１１図、第１２図、第１３図、第１４図
及び第１５図は従来技術の説明図である。 １……対物レンズ、２１……装置ベース、２２
……Ｘ方向基準板、２３……Ｙ方向基準板、２４
……レーザー光通過孔、６１……真空吸引用孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 装置ベース上に光ヘツドのＸ方向基準板及
びＹ方向基準板を配備してなる光ヘツドの測定装
置において、 前記装置ベースにおける光ヘツドの載置面に真
空吸引用孔を設けるとともに前記真空吸引用孔を
真空発生装置と連通構成し、 前記真空吸引用孔における吸引値検出用の真空
スイツチを設けて構成したことを特徴とする光ヘ
ツドの測定装置。 (2) 前記光ヘツドの対物レンズ部は、測定時に
通電用コンタクトピンを介して正しい測定位置に
補正制御されるように構成されていることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の光ヘ
ツドの測定装置。 (3) 前記光ヘツドの測定は、前記光ヘツドの上
方に配設されるポジシヨンセンサー、顕微鏡対物
レンズを介して測定されるように構成されている
ことを特徴とする光ヘツドの測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088386U JPS62186226U (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088386U JPS62186226U (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186226U true JPS62186226U (ja) | 1987-11-26 |
Family
ID=30912927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7088386U Pending JPS62186226U (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186226U (ja) |
-
1986
- 1986-05-12 JP JP7088386U patent/JPS62186226U/ja active Pending
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