JPS62184641A - 電子顕微鏡測定用光デイスク試料の前処理法 - Google Patents

電子顕微鏡測定用光デイスク試料の前処理法

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Publication number
JPS62184641A
JPS62184641A JP2391186A JP2391186A JPS62184641A JP S62184641 A JPS62184641 A JP S62184641A JP 2391186 A JP2391186 A JP 2391186A JP 2391186 A JP2391186 A JP 2391186A JP S62184641 A JPS62184641 A JP S62184641A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical disk
section
cross
immersing
liquid nitrogen
Prior art date
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Pending
Application number
JP2391186A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Masuda
耕一 増田
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Daicel Corp
Original Assignee
Daicel Chemical Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Daicel Chemical Industries Ltd filed Critical Daicel Chemical Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は電子顕微鏡(以下電顕と略称)測定用光デイス
ク試料の前処理法に関する。
(従来技術とその問題点) 従来、電顕測定用光ディスク試料は、光ディスクそのま
まの断面をミクロトーム等の物理的手段で切断しその目
的に供していた。従って時間も要り、且つ測定試料断面
が不明確で鮮明な画像は得られず光ディスクの表面溝形
状の適確な情報入手が困難であった。
そのため光デイスク製品の性能評価、品質設定などの点
で問題が残されていた。
(問題点の解決手段) 前記の問題点を解決すべく本発明者は鋭意研究の結果、
光ディスクの表面を保護シート層などで保護してから光
ディスクの裏面に切れ込みを入れ破断前に保護シートを
取り除き、液体窒素に浸漬すると瞬時に光ディスク表面
の溝形状の断面が鮮明な状態で得られることを発見し本
発明を完成するに至った。
(発明の構成) 即ち本発明は光ディスクの表面に保護層を設けて、光デ
ィスクの裏面に切り込みを入れ、液体窒素に浸漬するこ
とを特徴とする電顕測定用光デイスク試料の前処理法で
ある。
本発明の方法で好ましい方法は、光ディスクの表面に蒸
着膜をつけ保護層例えば保護フィルムや保護シートを貼
りつけてから光ディスクの裏面にカッターなどで光ディ
スクに歪が生じない程度即ち約1.0JIl程度の深さ
の切り込み溝を入れてやると液体窒素浸漬時より瞬時に
切断されて解明な光ディスク切断横断面部分が得られそ
の後の走査型電子顕微鏡による観察及び写真撮影に大変
好都合である。
また液体窒素の浸漬時間はおよそ1〜60秒で10〜3
0秒が好ましい。
光デイスク材料としては、ポリカーボネート、ポリメチ
ルメタクリレート、エボキン樹脂、ポリエステルなどが
挙げられるがこれらに限定されるものではない。
以下に本発明の実施例を挙げて説明する。
実施例 1 ポリカーボネート製光デイスク試料(巾21、長さ46
A、厚さ1,2jll)の表面に保護膜ノート(日東電
工株式会社製表面保護ンート5PV367:ポリエチレ
ン系)を貼り付けてから裏面中央部に深さ約1.0rl
の溝をカッターナイフで入れる。これを2本のビンセッ
トで左右別々に挾みそのまま液体窒素中に約15秒浸漬
してからビンセットを動かして試料片を2つに破断する
こうして得られたものを、走査型電子顕微鏡により測定
し撮影して得られた写真を第1図として示す。
(発明の効果) 第1図の写真で明らかな様に光ディスクの表面断面部分
が非常に鮮明になった。この事実から末法は光ディスク
の製品品質管理、品質保証などの面で非常に有用な方法
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法の実施例1で得られた光デイスク
試料を走査型電子顕微鏡の撮影で得られた表面の断面写
真である。 (符号の説明)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光ディスクの表面に保護層を設けて、光ディスクの裏面
    に切り込みを入れ、液体窒素に浸漬することを特徴とす
    る電子顕微鏡測定用光ディスク試料の前処理法。
JP2391186A 1986-02-07 1986-02-07 電子顕微鏡測定用光デイスク試料の前処理法 Pending JPS62184641A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03123838A (ja) * 1989-10-06 1991-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 樹脂基板の試料作製法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH03123838A (ja) * 1989-10-06 1991-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 樹脂基板の試料作製法

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