JPS62184312A - 光路センサ - Google Patents
光路センサInfo
- Publication number
- JPS62184312A JPS62184312A JP61289082A JP28908286A JPS62184312A JP S62184312 A JPS62184312 A JP S62184312A JP 61289082 A JP61289082 A JP 61289082A JP 28908286 A JP28908286 A JP 28908286A JP S62184312 A JPS62184312 A JP S62184312A
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- JP
- Japan
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- optical path
- path sensor
- phase
- gratings
- grating
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 26
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、フィルタを含む光路センサであって、少なく
とも２ｆ１Ｍｌの波長の光を有する放射ビームがフィル
タを通過し、このフィルタが光放射ビーム方向と直交す
る方向に移動するに従って異なる波長のビーム成分の減
衰量を異なる比で変化さ゛せる光路センサに関するもの
である。
とも２ｆ１Ｍｌの波長の光を有する放射ビームがフィル
タを通過し、このフィルタが光放射ビーム方向と直交す
る方向に移動するに従って異なる波長のビーム成分の減
衰量を異なる比で変化さ゛せる光路センサに関するもの
である。
欧州特許出願筒９３，２７３号から既知のこの種の装置
においＣは、フィルタが移動方向に沿ってそれぞれ配置
されでいる少なくとも２個の合成フィルタ素子を有し、
各フィルタ素子が１波長の光だけを透過している。フィ
ルタが移動した場合に異なる周波数の光成分の異なる相
対成分が検出器に到達することによって距離依存性が得
られる。
においＣは、フィルタが移動方向に沿ってそれぞれ配置
されでいる少なくとも２個の合成フィルタ素子を有し、
各フィルタ素子が１波長の光だけを透過している。フィ
ルタが移動した場合に異なる周波数の光成分の異なる相
対成分が検出器に到達することによって距離依存性が得
られる。
光波長フィルタは高価な素子である。このため異なる複
数のフィルタから成る既知の素子の製造コストは相当高
価なものになってしまう。
数のフィルタから成る既知の素子の製造コストは相当高
価なものになってしまう。
本発明の目的は、安価な素子で簡単に構成される光路セ
ンサを提供するものである。
ンサを提供するものである。
本発明による光路センサ（０１）ｔｉｃａｌ ｐａｔ
ｈｓｅｎｓｏｒ ）は、前記フィルタがビーム方向に１
個づつ配置されている２個の位相回折格子を有し、これ
ら回折格子のうちの１個だけがビーム方向と直交する方
向に移動することができ、零次回折ビームが検出器に向
けて進行するように構成したことを特徴とするものであ
る。
ｈｓｅｎｓｏｒ ）は、前記フィルタがビーム方向に１
個づつ配置されている２個の位相回折格子を有し、これ
ら回折格子のうちの１個だけがビーム方向と直交する方
向に移動することができ、零次回折ビームが検出器に向
けて進行するように構成したことを特徴とするものであ
る。
位相回折格子は簡単な構成の素子であり、安価に製造す
ることができる。このような素子は、例えばドイツ国公
開公報第３３０３６２３号から既知である。
ることができる。このような素子は、例えばドイツ国公
開公報第３３０３６２３号から既知である。
２個の回折格子が互いに相対的に移動すると、一般的に
零次回折光の量は波長が異なれば異なる母で変化する。
零次回折光の量は波長が異なれば異なる母で変化する。
例えば、波長が異なる２個の光成分の検出された光強度
の商は、２個のフィルタの移動ｍの測定値として用いら
れることができる。
の商は、２個のフィルタの移動ｍの測定値として用いら
れることができる。
位相回折格子は、これが移動すると異なる波長の光に対
して相当量の作用を与えるので特に好適である。
して相当量の作用を与えるので特に好適である。
２個の透過回折格子を用いる場合、光放射は伝送ファイ
バから回折格子を経て受光ファイバに入射する。
バから回折格子を経て受光ファイバに入射する。
一方の回折格子を反射回折格子とすれば、１本のファイ
バを用いて放射を出射させ及び受光することができる。
バを用いて放射を出射させ及び受光することができる。
特に単一階段状の位相回折格子を用いれば、高周波数選
択性回折格子装置が得られる。２個の回折格子は等しい
格子周期及び等しい段差を有することが望ましい。この
ような回折格子を適切に形成することにより、異なる波
長のビームに対して減衰量の差をできるだけ大きくする
ことができる。
択性回折格子装置が得られる。２個の回折格子は等しい
格子周期及び等しい段差を有することが望ましい。この
ような回折格子を適切に形成することにより、異なる波
長のビームに対して減衰量の差をできるだけ大きくする
ことができる。
波長λ１の光を全移動範囲に亘ってほぼ減衰せずに透過
させ第２の波長λ２の光の減衰が移動量に強く依存する
好適実施例は、放射ビームの２個の光成分の波長λ１と
２２との比が、ｋを正又は負の整数とした場合にほぼλ
１／λ２＝ ２Ｋｆｌ と２に され、ｎを位相回折格子材料の屈折率とした場合に２個
の位相回折格子の段差ｄがｄ＝にλ’ｎ−１となるよう
にそれぞれ選択されることを特徴とする。
させ第２の波長λ２の光の減衰が移動量に強く依存する
好適実施例は、放射ビームの２個の光成分の波長λ１と
２２との比が、ｋを正又は負の整数とした場合にほぼλ
１／λ２＝ ２Ｋｆｌ と２に され、ｎを位相回折格子材料の屈折率とした場合に２個
の位相回折格子の段差ｄがｄ＝にλ’ｎ−１となるよう
にそれぞれ選択されることを特徴とする。
以下図面に基き本発明の詳細な説明する。
第１図においてレンズ１及び２により伝送ファイバ３の
像を受光ファイバ４上に結像し、受光ファイバ４の像を
伝送ファイバ３上に結像する。これら２個のレンズ間に
おいて平行ビームは位相回折格子５及び６を通過し、一
方の位相回折格子６はビーム方向と直交する方向に距離
ΔＸに亘って移動することができる。伝送ファイバ３か
らの強度Ｉｓの光は、２個のナブ回折格子５及び６から
構成される位相回折格子によって回折されて強度Ｉ
の零次光が生じ、この零次光を受光ファイＯ バ４に入射させる。光強度１ は移ｖＪ量ΔＸにＯ 依存する。
像を受光ファイバ４上に結像し、受光ファイバ４の像を
伝送ファイバ３上に結像する。これら２個のレンズ間に
おいて平行ビームは位相回折格子５及び６を通過し、一
方の位相回折格子６はビーム方向と直交する方向に距離
ΔＸに亘って移動することができる。伝送ファイバ３か
らの強度Ｉｓの光は、２個のナブ回折格子５及び６から
構成される位相回折格子によって回折されて強度Ｉ
の零次光が生じ、この零次光を受光ファイＯ バ４に入射させる。光強度１ は移ｖＪ量ΔＸにＯ 依存する。
Ｉ ＝Ｉ ・「 （ＡＸ）
Ｏｓ
関数ｆ（ＡＸ）は２個のサブ回折格子の幾何学的構造に
依存する。位相回折格子の幾何学的構造は、一方の波長
光に対して最小の減衰を与え他方の波長光に対しては大
きな減衰を与えるように構成するが極めて好適である。
依存する。位相回折格子の幾何学的構造は、一方の波長
光に対して最小の減衰を与え他方の波長光に対しては大
きな減衰を与えるように構成するが極めて好適である。
受光ファイバ４に入ｔＡする波長λ１の零次光及び波長
λ２の零次光の強度をそれぞれＩＥｏ（λ１）及びＩＥ
。（λ２）とした場合、これらの商を求めれば２個の回
折格子５及び６の相対移！１７１…ΔＸが明確に測定さ
れる。従って、本発明による光路センサを用いることに
より微小変位を正確に検出することができる。接続部の
減衰と共に伝送ファイバ３及び受光ファイバ４に減衰変
化が生じても、測定結果に何んら影−響を及ぼさない。
λ２の零次光の強度をそれぞれＩＥｏ（λ１）及びＩＥ
。（λ２）とした場合、これらの商を求めれば２個の回
折格子５及び６の相対移！１７１…ΔＸが明確に測定さ
れる。従って、本発明による光路センサを用いることに
より微小変位を正確に検出することができる。接続部の
減衰と共に伝送ファイバ３及び受光ファイバ４に減衰変
化が生じても、測定結果に何んら影−響を及ぼさない。
この理由は、これらの減衰が両方の波長の成分に対して
それぞれ同一の乗算因子による影響を及ぼすためである
。一方、測定するために用いられる回折格子５及び６に
よる作用は両方の波長光に対して本質的な差異を与える
。
それぞれ同一の乗算因子による影響を及ぼすためである
。一方、測定するために用いられる回折格子５及び６に
よる作用は両方の波長光に対して本質的な差異を与える
。
第２図は変形した装置を示すものであり、ファイバ７を
用いて伝送ビーム及び受光ビームを同時に通過させる。
用いて伝送ビーム及び受光ビームを同時に通過させる。
レンズ８により強度Ｉ の光を平行ビームとして透明位
相回折格子９を経て反射回折格子１０に入射させる。こ
の回折格子から強度Ｉ の零次回折光がレンズ８を経
てファイバ７Ｏ に戻る。
相回折格子９を経て反射回折格子１０に入射させる。こ
の回折格子から強度Ｉ の零次回折光がレンズ８を経
てファイバ７Ｏ に戻る。
第１図に示す実施例と比較すれば、１個のレンズだけが
必要となる。この光路センサでは■−のファイバだけが
接続され、更に必要な調整部材が一層少なくて済む。
必要となる。この光路センサでは■−のファイバだけが
接続され、更に必要な調整部材が一層少なくて済む。
原理的には、２個の回折格子５及び６又は９及び１０を
いかなる構造とすることもできる。この場合でも波長λ
１及びλ２の関数ｆ （ΔＸ）の商は光路変化に依存す
る最大範囲まで変化することは勿論である。特に、単一
階段状の回折格子は簡単な方法で適切な寸法とすること
ができる。更に、このような回折格子は簡単に製造する
ことができる。第４図の回折格子では受光零次ビームの
相対強度は、波長λ１の成分光と波長λ２の成分光につ
いて相対移！７１１１ε＝ΔＸ／Δ（Δ＝格子周期）に
応じて第３図に示すようになる。波長λ１＝１８０ｎＩ
１１の光は減衰せずに受光ファイバに到達する。
いかなる構造とすることもできる。この場合でも波長λ
１及びλ２の関数ｆ （ΔＸ）の商は光路変化に依存す
る最大範囲まで変化することは勿論である。特に、単一
階段状の回折格子は簡単な方法で適切な寸法とすること
ができる。更に、このような回折格子は簡単に製造する
ことができる。第４図の回折格子では受光零次ビームの
相対強度は、波長λ１の成分光と波長λ２の成分光につ
いて相対移！７１１１ε＝ΔＸ／Δ（Δ＝格子周期）に
応じて第３図に示すようになる。波長λ１＝１８０ｎＩ
１１の光は減衰せずに受光ファイバに到達する。
一方、第２の波長λ２ ＝８５１ｎｍの光は、相対移動
量がＯからε＝ ０．２５の範囲について１００％から
０％の値で変化する。
量がＯからε＝ ０．２５の範囲について１００％から
０％の値で変化する。
第４図に示す回折格子装置により第３図の最適条件を少
なくともほぼ達成することができる。格子周期へを有す
る第１の回折格子５の段差をｄｌとし、同一の格子周期
を有する第２の回折格子６の段差をＯ２とする。格子の
ステップ、すなわち格子溝の半分の値を、両方の格子に
ついで値ａに等しくする。
なくともほぼ達成することができる。格子周期へを有す
る第１の回折格子５の段差をｄｌとし、同一の格子周期
を有する第２の回折格子６の段差をＯ２とする。格子の
ステップ、すなわち格子溝の半分の値を、両方の格子に
ついで値ａに等しくする。
第５図は、第４図に示す回折格子を透過回折格子とした
場合の位相差の変化を示す。
場合の位相差の変化を示す。
上記式においてｎは格子材料の屈折率ひあり、λは真空
中での光の波長である。
中での光の波長である。
第６図は、回折格子の相対移動量がΔ×の場合の２個の
回折格子によって生ずる全位相’％＝５’＋＋％２を示
す。
回折格子によって生ずる全位相’％＝５’＋＋％２を示
す。
第４図の回折格子装置の場合に１６ける零次回折光に対
する回折効率７２０の結果は： り。−１＋（８°Ｃ−４Ｃ）（１−ｃｏｓ（ψ、＋ψ２
）〕＋２ｔ （ｃｏｓ ψ、＋ｃｏｓ ｃｐ２−ＣＯｓ
（９’１＋ψ２）−１）＋２ｅ （２＋Ｃ０８（９）
、＋９）２）＋Ｃ０８（９）１−９２）−２０Ｏ８ψ、
−２０ｏＳψ２〕 ここで、Ｃ＝ａ ／△ １ε１く△／４の移動範囲内において７１０とεとの間
に明確な関係が存在する。従って、関数ｒ（ＪＸ＞は値
ｒｔｏに対応し、波長λ１及びλ２に対しては一般的に
相異した値となる。位相角Ｔ１を−９）２どなるように
選択すれば、次のような結果となる。
する回折効率７２０の結果は： り。−１＋（８°Ｃ−４Ｃ）（１−ｃｏｓ（ψ、＋ψ２
）〕＋２ｔ （ｃｏｓ ψ、＋ｃｏｓ ｃｐ２−ＣＯｓ
（９’１＋ψ２）−１）＋２ｅ （２＋Ｃ０８（９）
、＋９）２）＋Ｃ０８（９）１−９２）−２０Ｏ８ψ、
−２０ｏＳψ２〕 ここで、Ｃ＝ａ ／△ １ε１く△／４の移動範囲内において７１０とεとの間
に明確な関係が存在する。従って、関数ｒ（ＪＸ＞は値
ｒｔｏに対応し、波長λ１及びλ２に対しては一般的に
相異した値となる。位相角Ｔ１を−９）２どなるように
選択すれば、次のような結果となる。
ｑ。−１＋４５（ＣＯ８９）２−ｔ）＋２ε２（ａ＋ｃ
ｏｓ（２ψ２）−４ｃｏｓψ２）、 ψ ２ −（１−４εｓ１ｎ −） ｓｉｎ ２（５’２ ／２）は、波長λ１に対してＯと
なり別の波長λ２に対しＣ最大値１となるように記述す
ることができる。この条件は、２個の波長λ１及びλ２
が次の条件を満す場合に成立するλ、２に±１ λ２２に ここで、Ｋはできるだけ小さく選択されるべき正又は負
の整数である。回折格子の段差ｄは次の値をとらねばな
らない。
ｏｓ（２ψ２）−４ｃｏｓψ２）、 ψ ２ −（１−４εｓ１ｎ −） ｓｉｎ ２（５’２ ／２）は、波長λ１に対してＯと
なり別の波長λ２に対しＣ最大値１となるように記述す
ることができる。この条件は、２個の波長λ１及びλ２
が次の条件を満す場合に成立するλ、２に±１ λ２２に ここで、Ｋはできるだけ小さく選択されるべき正又は負
の整数である。回折格子の段差ｄは次の値をとらねばな
らない。
ｄ＝Ｋ ・ λ ＋／（ｎ−ｉ）
第３図の特性曲線は、波長λ＋ ＝ ７８０ｎｍ 、λ
２２−８５１ｎで値に＝６の条件で見い出した。実際に
は、格子開明Δ−１００μｍに対して有用な最大移動範
囲は、Ｊｘ＝２５μｍとなる。
２２−８５１ｎで値に＝６の条件で見い出した。実際に
は、格子開明Δ−１００μｍに対して有用な最大移動範
囲は、Ｊｘ＝２５μｍとなる。
波長λ＋ ＝ ｙａｏｎｍ 、λ２ ＝８５１ｎｌＤの
場合最良の感度が得られる。しかし、波長λ１及び／又
はλ２が最適値かられずかにずれても十分量【プ入れる
ことができる。
場合最良の感度が得られる。しかし、波長λ１及び／又
はλ２が最適値かられずかにずれても十分量【プ入れる
ことができる。
原理的に、第２図に示ずようなセンサ構成を用いた場合
同一の寸法規制を適用することができる。
同一の寸法規制を適用することができる。
しかしながら、放射は第１のサブ回折格子を２回通過す
ることになる。この結果、２個のサブ回折格子の段差ｄ
が相当小さくなる。
ることになる。この結果、２個のサブ回折格子の段差ｄ
が相当小さくなる。
第１図は互いに移動可能な２個の位相回折格子を有する
本発明による光路センサの基本構成を示す線図、 第２図は透明位相回折格子及び反射回折格子を有する実
施例を示す線図、 第３図は位相回折格子を通過した債の波長の異なる２個
の光ビームの光強度を一方の回折格子の移動量の関数と
して示すグラフ、 第４図は２個の位相回折格子の好適例の構造を示す断面
図、 第５図は第４図に示す回折格子の移動ωが零の場合の位
相角を示す線図、 第６図は第４図の回折格子の相対移動量がΔｘ ”の場
合の位相角を示す線図である。 １、 ２． ８・・・レンズ ３・・・伝送ファイバ
４・・・受光ファイバ ７・・・ファイバ９・・
・透過回折格子 １０・・・反射回折格子電１
本発明による光路センサの基本構成を示す線図、 第２図は透明位相回折格子及び反射回折格子を有する実
施例を示す線図、 第３図は位相回折格子を通過した債の波長の異なる２個
の光ビームの光強度を一方の回折格子の移動量の関数と
して示すグラフ、 第４図は２個の位相回折格子の好適例の構造を示す断面
図、 第５図は第４図に示す回折格子の移動ωが零の場合の位
相角を示す線図、 第６図は第４図の回折格子の相対移動量がΔｘ ”の場
合の位相角を示す線図である。 １、 ２． ８・・・レンズ ３・・・伝送ファイバ
４・・・受光ファイバ ７・・・ファイバ９・・
・透過回折格子 １０・・・反射回折格子電１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、フィルタを含む光路センサであって、少なくとも２
個の波長の光を有する放射ビームがフィルタを通過し、
このフィルタが光放射ビーム方向と直交する方向に移動
するに従って異なる波長のビーム成分の減衰量を異なる
比で変化させる光路センサにおいて、 前記フィルタがビーム方向に１個づつ配置されている２
個の位相回折格子を有し、これら回折格子のうちの１個
だけがビーム方向と直交する方向に移動することができ
、零次回折ビームが検出器に向けて進行するように構成
したことを特徴とする光路センサ。 ２、前記２個の位相回折格子を透過回折格子としたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光路センサ。 ３、一方の位相回折格子を透過回折格子とし、他方の位
相回折格子を反射回折格子としたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光路センサ。 ４、前記位相回折格子の少なくとも１個を階段状の回折
格子としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項から
第３項のいずれか１に記載の光路センサ。 ５、少なくとも１個の回折格子を単一の階段状回折格子
としたことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の光
路センサ。 ６、２個の位相回折格子を単一の階段状の回折格子とし
たことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の光路セ
ンサ。 ７、前記２個の位相回折格子が同一の格子周期を有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第６項のい
ずれか１に記載の光路センサ。 ８、前記２個の単一階段状の位相回折格子の段差が等し
くされていることを特徴とする特許請求の範囲第７項記
載の光路センサ。 ９、放射ビームの２個の光成分の波長λ＿１とλ＿２と
の比が、ｋを正又は負の整数とした場合にほぼλ＿１／
λ＿２＝（２Ｋ±１）／（２Ｋ）とされ、ｎを位相回折
格子材料の屈折率とした場合に２個の位相回折格子の段
差ｄがｄ＝Ｋλ＿１１／（ｎ−１）となるようにそれぞ
れ選択されることを特徴とする特許請求の範囲第８項記
載の光路センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3543179.2 | 1985-12-06 | ||
| DE19853543179 DE3543179A1 (de) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | Optischer weg-sensor mit einem filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184312A true JPS62184312A (ja) | 1987-08-12 |
Family
ID=6287818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61289082A Pending JPS62184312A (ja) | 1985-12-06 | 1986-12-05 | 光路センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4776669A (ja) |
| EP (1) | EP0231538B1 (ja) |
| JP (1) | JPS62184312A (ja) |
| DE (2) | DE3543179A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8706317D0 (en) * | 1987-03-17 | 1987-04-23 | Bicc Plc | Optical sensor |
| JPH0816739B2 (ja) * | 1988-12-22 | 1996-02-21 | 日本電気株式会社 | 波長分岐挿入素子 |
| US5161045A (en) * | 1990-06-28 | 1992-11-03 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Large field of view light beam transceiver having small motion of optics |
| US6480334B1 (en) * | 1994-01-18 | 2002-11-12 | Massachusetts Institute Of Technology | Agile beam steering using phased-array-like elements |
| US6404553B1 (en) * | 1994-02-07 | 2002-06-11 | Engineered Support Systems, Inc. | Phase active diffractive optical method |
| JP3540062B2 (ja) * | 1995-08-28 | 2004-07-07 | 富士通株式会社 | チューナブルフィルタモジュール |
| SE0001992L (sv) * | 2000-05-29 | 2001-11-30 | Forskarpatent I Vaest Ab | Metod för läges- och/eller vinkelmätning baserad på kombination av fasgitter erhållen genom avbildning |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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